迈克尔逊干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析

迈克尔逊干涉光谱仪动镜倾斜误差容限分析
杨庆华;周仁魁;赵葆常
【期刊名称】《光子学报》
【年(卷),期】2009(38)3
【摘要】系统分析了迈克尔逊干涉光谱仪中平面动镜在运动过程中发生倾斜致使反射光束偏转时对干涉图的影响.结果表明,光束偏转带来的误差分为三部分:光束偏转导致整体增加的恒定光程差,垂直光轴方向因不同光线而引入的偏移光程差以及偏转光束中心相对于光轴的偏移量.从调制度和相位误差角度给出了平面动镜倾斜误差容限,并讨论了减小干涉图受光束偏转影响的方法.
【总页数】4页(P677-680)
【关键词】干涉仪;动镜倾斜;调制度;相位误差
【作者】杨庆华;周仁魁;赵葆常
【作者单位】中国科学院西安光学精密机械研究所空间光学研究室,西安710119;中国科学院研究生院,北京100049
【正文语种】中文
【中图分类】TH744.1
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