KYE系列操作使用说明
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KYE系列操作使用说明
一.特点
- 运转叶片真空泵及压缩机,干式运转,气冷。
- KYE干式真空泵即无油干式机械真空泵简称干泵
- 干泵是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中,泵腔内无油无水或其他工作介质,而且泵的极限压力与其他真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
二、适用范围
- 干泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:1).低压化学气相沉积中的多晶硅制设备工艺中。
2)半导体刻蚀工艺,在这
些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒。
3)化
学工业,医药工业,食品工业中的蒸馏,干燥,脱泡,包装等。
不同类型的干泵具有各自的特点,使用时可根据不同的用途加
以选择。
这种干泵具有全无油无水,高耐用性,高可靠性以及
易维护等优势,是众多应用领域的理想前级真空获得产品。
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三. 技术参数及真空泵外型
四.使用安全规则
- 安装真空泵/压缩机应于适当位置,勿与热物体表面接触。
- 保护真空泵周围区域。
- 安装警告标记。
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五. 运用事项
- 运转方式为干式运转,避免油雾吸入,此项规格有效于800公尺高度以下之海洋高度。
入口空气必须为标准干燥大气空气。
不可输送有毒的或易燃品。
- 如果粉尘与空气混合在一起时,将会使机器温度升高,而使机器无法顺利运转。
六. 运输及储藏保管
- 真空泵储藏于干燥地区,预防水蒸气产生之压缩冷凝。
在吊车装卸和运输时,仅使用吊装螺栓环。
七.安装
- 在安装放射性压缩机时,应考虑到易于保养维修。
压缩机与周围隔墙壁之间,空间至少不低于10公分,以保证冷却所需的空
气流动畅通无阻。
在消音罩内进行安装工作时,请先向生产厂
家咨询联络。
周围环境温度不超过45℃.
八.连接与装配
- 注意确保尺寸之正确(见表格)和管路清理,勿使接口沾染油液,油脂,水和其他污染物以保持连接物之顺畅。
对于长度超
过2公尺长之管路,我们建议安装逆止阀。
- 空气排出线路可以经由AS通往外部。
- 耐压管路或吸气管路的连接线其长度设计标准为3m,对于管路之标准长度为10 m,我们建议接近较大之管路直径。
如果管路
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长度超过10 m,请联络我们的工厂以取得更理想的管路直径
之资讯。
移开于DN和SA底盖,不要连接管路。
九.电机连接
-放射型压缩机的电源连接方式应符合规定,电机可按照接线盒内的电路图或者备好插头进行,此工作只能由专职电工完成。
注意检查连接电压及频率。
配置电机安全开关,按电机额定电
流进行设置(数据见电机型号牌)。
每小时内开关次数不应超
过4-6次。
- 电机稍作运转,检查其转向是否正确(参照电机壳上之箭头),若转向不对时,更换状态。
- 运转测试真空泵,吸气管接SA端,确定消音器AS之进气通畅,以及除去真空安全阀SV空气排出之阻碍。
十. 维护保养
- 经常性的维护保养可使真空泵/压缩机保持最佳工作状态,维护保养周期取决于使用情况及工作条件如灰尘产生之程度。
在初
期选择较短期之维修间距是有必要的,接着依据经验获得间距
可以调整。
- 在进行保养之前,须切断电机的电源,并确保不会出现无意中的重新启动。
- 用压缩空气吹出冷风道KL槽之脏物。
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十一. 过滤器
- 滤芯装在壳盖GD的后面,需根据灰尘堆积进行清洗。
清洗时用压缩空气槽过滤器由内往外吹。
在周遭空气和额外操作情况
(如:多样替换操作)如果高灰尘情况,我们推荐每周检查过
滤器(初期一周一次)。
清洗时用压缩空气槽过滤器由内向外
吹。
- 必须定期更换阻塞,浸油或沾上油脂的滤芯。
处理旧滤芯,在非常多灰尘的环境下外加过滤器可利于操作。
十二. 叶片
-由于与机壳体内部的摩擦,叶片会有磨损。
碳精叶片属于耗材,须定期检查更换。
-在进行3000小时之后或至少一年,应检查叶片的宽度。
保养维修时须打开壳体盖LH和侧盖SD(八颗螺栓)。
用两颗螺栓
于G处平稳地拆开以及小心地从转子卸下叶片。
-请勿在转子上使用外力触碰叶片。
独特的设计与侧边黄油喷嘴:于连接VS处解开黄油。
确定清洁最高可能标准在所有装
配状态与运转。
保持压缩机机房之灰尘分子畅通。
在组装时注
意叶片之跑出边缘的适当位置。
检查油封垫片和滚动培林,清
理转子轴心上之油脂,小心地推开于转子上之侧盖。
轻微地举
起以确定壳盖由固定梢固定中心,平稳地锁紧8颗螺栓确定固
定梢不会倾斜,检查转子是否容易回转。
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十二. 培林
-滚珠培林在进行3000小时运转后,当压缩机在运转时使用黄油枪-10g黄油涂在SN两处之黄油嘴。
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