SiO2的结构和性质

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SiO2的结构和性质

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字号2010-05-03 21:31:25| 分类:微电子材料| 标签:sio2psg氧化原子薄膜|(氧化硅的结构怎样?为什么SiO2能够用作为B、P、Sb、As等杂质扩散的掩蔽膜?)

原创作者:Xie M. X. (UESTC,成都市)

氧化硅(SiO2)有晶体与非晶体之分,例如水晶(石英)就是一种晶态氧化硅,而硅片上热生长的氧化膜则为非晶态氧化硅。晶态氧化硅中的原子分布具有长程有序性;非晶态氧化硅中的原子分布也具有一定的有序性,但只是短程有序性。

在Si表面上制备氧化硅薄膜的方法有许多种,例如:热生长法;CVD(化学气相淀积)法,如烷氧基硅烷(如正硅酸乙酯[Si(OC2H5)4],TEOS)的热分解(或热解氧化)淀积法;PVD(物理气相淀积)法等。

(1)SiO2的一般性质:

原子密度= 2.3×1022 cm-3;晶体密度= 2.27 g-cm-3;熔点≈1700 oC;比热Cp =1.0 J/g-oC;热导率= 0.014 W/cm-K;热膨胀系数(ΔL/LΔT)=0.5×10-6 [1/oC](比Si和GaAs的都小);禁带宽度Eg≈8eV;电阻率> 1016 Ω-cm(为绝缘体);击穿电场≈600 V/μm。

(2)SiO2的结构:

氧化硅中的基本化学键是Si-O键(含有50 %的共价键和50 %的离子键)。

氧化硅中原子排列的基本结构是一种Si-O键构成的正四面体,即每一个Si离子的周围有4个按正四面体分布的O离子(Si离子中心与O离子中心之间的距离为1.6?,O离子与O离子中心之间的距离为2.27?)。然后,这种Si-O正四面体通过顶角的O离子而规则地连接起来形成网络式的结构,即构成晶态氧化硅。否则,若这些Si-O正四面体的连接不是很规则,即形成具有一些错乱的网络式结构,则为非晶态氧化硅。

显然,在氧化硅中存在许多由多个Si-O正四面体包围而成的空洞(网络中间的空洞),这些空洞的体积都比较大。实际上,Si-O分子本身所占据整个的体积较小,只有43%,而大部分都是空洞。因此,氧化硅的比重较小,晶态氧化硅的为2.65g/cm3,非晶态氧化硅的为2.21g/cm3。也因此,氧化硅比较容易地能够让半径较小的H、Na、K、Ca、Ba等杂质原子进入到其网络结构中(处在空洞里),并且这些杂原子在网络结构中的扩散也较容易,这种杂质往往称为网络改变剂。

在SiO2中掺入B、P、Sb、As、Al等杂质原子时,即可形成磷硅玻璃(PSG)、硼硅玻璃(BSG)等。掺入的这些杂质原子,在SiO2结构中往往取代Si-O正四面体中心的Si,形成带电的缺陷,这些杂质原子常称为网络形成剂。由于这种杂质原子在网络中的位置稳定,故在SiO2中的扩散速度较慢,所以氧化硅薄膜可用作为热扩散工艺中的掩蔽膜,以阻止B、P、Sb、As等这些杂质原子的扩散。

由Si和SiO2的比重可以求出每一克分子的Si和SiO2的体积分别为12.06cm3/mole和27.18cm3/mole,则每一克分子的Si薄膜和SiO2薄膜的厚度之比为0.44,这就是说,若要生长100nm的SiO2薄膜,那么只需要消耗44nm的Si即可。

(3)Si/SiO2界面的性质:

一般,Si/SiO2界面处的界面态密度≤1010cm2。这些界面态往往是由于氧化不完全等之故,使得在界面的30?范围内存在许多Si原子的悬挂键(即未与氧原子结合的价键——带正电荷的中心)所造成的。为了减少这种悬挂键,可以通过氢气退火,让一些氢原子进入到界面、并与悬挂键形成Si-H键(中性)来实现;不过,这些Si-H键的离解能较小,约为0.3 eV。

Si/SiO2界面处的势垒高度与半导体型号有关:对n型半导体的电子,势垒高度约为3.2eV;对p型半导体的空穴,势垒高度约为4.9 eV。

(4)磷硅玻璃(PSG)薄膜的性质:

①磷硅玻璃(PSG)的成分为P2O5+ SiO2。

②PSG中的氧负电中心对Na离子有提取、固定和阻挡作用,故可用作芯片的最后钝化膜。但为了避免SiO2膜中偶极子的极化效应以及潮解所引起的器件不稳定和Al条被腐蚀等弊病,应该控制SiO2膜中P2O5的含量<5%,或者在PSG膜上再淀积一层SiO2、成为[SiO2-PSG-SiO2]复合膜来使用。

③PSG的热膨胀系数随着P2O5成分的增大而增大,利用这种特性即可实现PSG与半导体的良好热匹配。例如:

P2O5含量≈15%的PSG可与硅有很好的热匹配性;P2O5含量≈20%~24%的PSG可与GaAs能很好热匹配。因此,可在半导体表面上直接淀积成分适当的较厚的PSG薄膜来进行钝化。

④PSG可以阻挡Zn和Sn等杂质的扩散(而SiO2薄膜则否),则PSG可用作为GaAs的扩散掩蔽膜、注入掩蔽膜或包覆层。⑤PSG在1000oC~1100oC的中性或氧化性气氛中加热时,会变软和回熔,并产生一层平滑的几何外形,这有利

于随后的金属布线。作为这种用途的PSG,其中的P2O5含量可偏高到6% ~8%(P2O5含量低时不易软化和流动);包含有B的PSG(B3%,P5%),在900 oC左右就会软化.

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