洁净室管理培训ppt课件
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• 2、主要特点 • （1）全室断面上的流速比较均匀。
（2）至少在工作区内流线平行。流线平行指 时均流线彼此平行。 （3）至少在工作区内没有涡流。
复合式洁净室
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局 部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以过滤器将制程区域或工作区域100%覆 盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。
非层流方式
• 非单向流洁净室原理主要特点：从来流到出流之间气 流的流通断面是变化的。
单向流(层流)洁净室(又称垂直流，平行流)
(1) 气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一 方向在整个室内截面下通过的洁净室。单向流洁 净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。迅速把 室内污染排向回风道。
(2) 要想实现“活塞流”的作用，最重要的是高效过 滤器必须满布。但是由于高效过滤器有边框，放 置高效过滤器也要有支架，不可能百分之百的满 布。所以我国《洁净厂房设计规范》规定，垂直 流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净 室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离， 以避免机器维修时影响了工作及品质
•
(2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净
化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及
发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，
可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。
洁净室管理培训
课程表
1
洁净厂房的设计与组成
2 洁净室人员卫生与个人职责
3 洁净室耗材
4
LCD制造过程中废品图示
洁净室之定义
洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室。是 指将一定空间范围内之空气中的微粒子、 有害空气、细菌等之污染物排除，并将室 内之温度、洁净度、室内压力、气流速度 与气流分布、噪音振动及照明、静电控制 在某一需求范围内，而所给予特别设计之 房间。亦即是不论外在之空气条件如何变 化，其室内均能俱有维持原先所设定要求 之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室控管之项目
1. 能除去空气中飘浮之微尘粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压力之调节。 5. 有害气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁干扰预防。 9. 安全因素之考虑。 10. 节能之考量。
洁净室控制微粒污染的主要途径：
B.生物学安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对 外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。
洁净室的分类
• 按气流分类(按气流可分为三类) ①.非单向流洁净室（乱流、涡流） ②.单向流洁净室（层流、活塞流） ③.复合流洁净室（乱流、层流同在）
非单向流洁净室(又称乱流式)
• 乱流式： 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)
• 1. 控制污染源，减少污染发生量； • 2. 迅速有效地排除室内已经发生的污染； • 3. 有效地阻止室外的污染侵入。（或有效
地防止室内污染逸至室外）
洁净室的分类
• 按用途分类(可分为两大类) • ①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。主要控制空
气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。 ②生物洁净室：以控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒 （尘埃）对工作对象的污染。 • 生物洁净室又可分为： • A.一般生物洁净室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。 同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持 正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁 净室。
进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型 式适用于洁净室等级千级--十万级。
•
优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比
较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提
高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排
出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲 达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
单向流洁净室
• 单向流洁净室的分类 • 1 、垂直单向流洁净室 • 顶棚满布高效过滤器送风，全地板格栅回风这是
典型的垂直单向流洁净室，见图。 • 优点是：可获得均匀向下的单向气流，因而自净
能力强，能够达到最高的洁净度级别。 • 缺点是：顶棚结构较复杂，造价和维护费用高，
高效过滤器堵漏较困难。
垂直单向流洁净室
净化原理
净化过程：气流 →初效空气处理 →空气调节→ 中效 空气处理→ 风机加压送风→ 净化送风管道→ 高效 送风口→ 洁净室→ 带走尘埃（细菌） → 回风夹道 新风、初效空气处理。
洁净室的空气洁净度的三种状态： ●空态：设施已经建成，所有动力接通并运行， 但无生产设备、材料及人员。 ●静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并 按业主及供应商同意的状态运行，但无人员。 ●动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员 在场，并在商定的状况下进行工作。
的效果当然越好。非单向流洁净室的原理就是稀释作用。
• 2、原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，把 室内污染逐渐排出，来实现洁净（乱流洁净室一般设计在 千级以上至10万级净化级别）。
• 3、特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净级别。换 气次数决定净化级别（换气次数越多，净化级别越高）
非单向流洁净室
垂直层流方式
单向流洁净室
• 2、水平单向流洁净室 • （ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ）送风墙满布高效过滤器水平送风，全
墙面回风 • （2）“隧道”式单向流送风
水平单向流洁净室
水平层流方式
单向流洁净室的原理
• 1、在单向流洁净室内，干净气流不是一股或 几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不 是靠掺混作用，而是靠推出作用将室内脏空气 沿整个断面排至室外，从而达到净化室内空气 的目的。
非单向流洁净室的原理和特性
1、定义：乱流洁净室的定义是气流以不均匀的速度、不 平行流动，伴有回流或涡流的洁净室。当一股干净气流从 送风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合。同时把差不 多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室 内污染的空气，把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了， 一直达到平衡。所以气流扩散的越快，越均匀，那么稀释
（2）至少在工作区内流线平行。流线平行指 时均流线彼此平行。 （3）至少在工作区内没有涡流。
复合式洁净室
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局 部超洁净之空气。
(1)洁净隧道：以过滤器将制程区域或工作区域100%覆 盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。
非层流方式
• 非单向流洁净室原理主要特点：从来流到出流之间气 流的流通断面是变化的。
单向流(层流)洁净室(又称垂直流，平行流)
(1) 气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一 方向在整个室内截面下通过的洁净室。单向流洁 净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用。迅速把 室内污染排向回风道。
(2) 要想实现“活塞流”的作用，最重要的是高效过 滤器必须满布。但是由于高效过滤器有边框，放 置高效过滤器也要有支架，不可能百分之百的满 布。所以我国《洁净厂房设计规范》规定，垂直 流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净 室不应小于40%，否则就是局部单向流了。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离， 以避免机器维修时影响了工作及品质
•
(2)洁净管道：将产品流程经过的自动生产线包围并净
化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及
发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，
可节省能源，不需人工的自动化生产线为最适宜使用。
洁净室管理培训
课程表
1
洁净厂房的设计与组成
2 洁净室人员卫生与个人职责
3 洁净室耗材
4
LCD制造过程中废品图示
洁净室之定义
洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室。是 指将一定空间范围内之空气中的微粒子、 有害空气、细菌等之污染物排除，并将室 内之温度、洁净度、室内压力、气流速度 与气流分布、噪音振动及照明、静电控制 在某一需求范围内，而所给予特别设计之 房间。亦即是不论外在之空气条件如何变 化，其室内均能俱有维持原先所设定要求 之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室控管之项目
1. 能除去空气中飘浮之微尘粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压力之调节。 5. 有害气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁干扰预防。 9. 安全因素之考虑。 10. 节能之考量。
洁净室控制微粒污染的主要途径：
B.生物学安全洁净室：主要控制工作对象的有生命微粒对 外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。
洁净室的分类
• 按气流分类(按气流可分为三类) ①.非单向流洁净室（乱流、涡流） ②.单向流洁净室（层流、活塞流） ③.复合流洁净室（乱流、层流同在）
非单向流洁净室(又称乱流式)
• 乱流式： 空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)
• 1. 控制污染源，减少污染发生量； • 2. 迅速有效地排除室内已经发生的污染； • 3. 有效地阻止室外的污染侵入。（或有效
地防止室内污染逸至室外）
洁净室的分类
• 按用途分类(可分为两大类) • ①工业洁净室-以无生命微粒的控制为对象。主要控制空
气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。 ②生物洁净室：以控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒 （尘埃）对工作对象的污染。 • 生物洁净室又可分为： • A.一般生物洁净室，主要控制微生物（细菌）对象的污染。 同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保持 正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁 净室。
进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型 式适用于洁净室等级千级--十万级。
•
优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比
较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提
高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排
出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲 达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
单向流洁净室
• 单向流洁净室的分类 • 1 、垂直单向流洁净室 • 顶棚满布高效过滤器送风，全地板格栅回风这是
典型的垂直单向流洁净室，见图。 • 优点是：可获得均匀向下的单向气流，因而自净
能力强，能够达到最高的洁净度级别。 • 缺点是：顶棚结构较复杂，造价和维护费用高，
高效过滤器堵漏较困难。
垂直单向流洁净室
净化原理
净化过程：气流 →初效空气处理 →空气调节→ 中效 空气处理→ 风机加压送风→ 净化送风管道→ 高效 送风口→ 洁净室→ 带走尘埃（细菌） → 回风夹道 新风、初效空气处理。
洁净室的空气洁净度的三种状态： ●空态：设施已经建成，所有动力接通并运行， 但无生产设备、材料及人员。 ●静态：设施已经建成，生产设备已经安装，并 按业主及供应商同意的状态运行，但无人员。 ●动态：设施以规定的状态运行，有规定的人员 在场，并在商定的状况下进行工作。
的效果当然越好。非单向流洁净室的原理就是稀释作用。
• 2、原理：乱流洁净室靠送风气流不断稀释室内空气，把 室内污染逐渐排出，来实现洁净（乱流洁净室一般设计在 千级以上至10万级净化级别）。
• 3、特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净级别。换 气次数决定净化级别（换气次数越多，净化级别越高）
非单向流洁净室
垂直层流方式
单向流洁净室
• 2、水平单向流洁净室 • （ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ）送风墙满布高效过滤器水平送风，全
墙面回风 • （2）“隧道”式单向流送风
水平单向流洁净室
水平层流方式
单向流洁净室的原理
• 1、在单向流洁净室内，干净气流不是一股或 几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不 是靠掺混作用，而是靠推出作用将室内脏空气 沿整个断面排至室外，从而达到净化室内空气 的目的。
非单向流洁净室的原理和特性
1、定义：乱流洁净室的定义是气流以不均匀的速度、不 平行流动，伴有回流或涡流的洁净室。当一股干净气流从 送风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合。同时把差不 多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室 内污染的空气，把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了， 一直达到平衡。所以气流扩散的越快，越均匀，那么稀释