HEPA效率测试与检漏有关问题
高效过滤器检漏方法及标准
高效过滤器检漏方法及标准高效过滤器在工业领域的应用非常广泛，其主要功能是用于对空气或液体进行过滤，从而保证生产系统的正常运行。
然而，在过滤器长时间使用后，会存在一定的检漏问题，这就需要采取一些高效的检漏方法来进行检测和修复。
本文将详细介绍高效过滤器检漏的方法及标准。
一、高效过滤器的检漏方法1.声波检测法声波检测法是一种通过听声音来识别漏洞的方法。
使用专门的设备将声音传输到过滤器上，如果存在漏洞，就会导致声音发生变化。
通过对声音的变化进行分析，可以找出漏洞的位置并进行修复。
2.压差测试法压差测试法是一种通过测量过滤器两侧的压差来检测漏洞的方法。
首先将过滤器两侧的压差测量值记录下来，然后将过滤器连接到专门的测试设备上，逐步增加压力，如果漏洞存在，就会导致压差值的变化。
通过比较压差测试前后的数值差异，可以找出漏洞的位置。
3.微粒子计数法微粒子计数法是一种通过测量过滤器中微粒子的数量来检测漏洞的方法。
先将过滤器连接到专门的微粒子计数器上，然后通过计数器的显示结果来判断过滤器是否存在漏洞。
如果微粒子计数值超出正常范围，就可以确定漏洞的位置。
4.涂料探伤法涂料探伤法是一种通过在过滤器表面涂覆一层特殊的涂料，然后通过观察涂料表面的变化来检测漏洞的方法。
如果涂料出现了裂纹或褪色等情况，就可以判断过滤器存在漏洞，并进行修复。
5.真空泄漏测试法真空泄漏测试法是一种通过在过滤器内部建立真空环境，然后观察真空泄漏情况来检测漏洞的方法。
如果真空泄漏速度超过了正常范围，就可以判断过滤器存在漏洞。
二、高效过滤器检漏标准为了保证高效过滤器检漏的准确性和有效性，国际上已经建立了一系列的标准，对于各种检漏方法和设备进行了规定和要求。
1.声波检测标准对于声波检测方法，国际上一般采用ISO 16858:2008标准进行规范。
该标准规定了声波检测设备的技术要求、测量方法和数据处理等方面的内容，保证了声波检测方法的准确性和可靠性。
2.压差测试标准对于压差测试方法，国际上一般采用ISO 3966:2016标准进行规范。
HEPA效率测试与检漏有关问题
HEPA/ULPA 过滤器效率测试及检漏方法有关问题讨论转载–未经原作者许可，只用于学习讨论 1 、 HEPA ／ ULPA 过滤器效率测试方法1．1 测试方法及其特点当前对 HEPA 过滤器测试方法主要有：(1)DOP 法：此法是以光度计作检测，测试用气溶胶必须是单分散 (0．31μm) 的 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的。
此法灵敏度不如粒子计数法，只能用于效率 99．99 ％ (0．3μm) 及 99．999 ％ (0．3μm) 的 HEPA 过滤器的测试。
(2) 粒子计数法此法是以离散粒子计数器 (DPC) 作为检测仪器，测试用气溶胶可以是单分散或多分散液体或固体物质，选择范围较宽，常用多分散气溶胶，如 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的，亦常用 SPL( 聚苯乙烯乳胶球 ) 固体物质所发生的0．1-0．2p,m 粒径的气溶胶。
此法灵敏度较高，目前主要用于 ULPA 过滤器其η≥99．999 ％ (0．1-0．2μm) 的测试，当然亦可用于H EPA 过滤器的测试。
替代 DOP 法当已是趋势。
(3)MPPS 法此法是欧盟 ENl822 标准所规定的，亦是以 DPC 作为检测仪器，测试用气溶胶要求同 (2) 。
其与粒子计数法的区别主要在于：以过滤器最易穿透的粒径作为测试用粒径， HEPA ／ ULPA 纤维过滤器在某一粒径下其过滤效率会出现最低，这是因为在此粒径下扩散机理与惯性机理对过滤器所起的过滤作用，两者都达到最低，此粒径与过滤器的滤料、给结构及滤速有关，一般在0．1-0．3μm 间，对 ULPA 过滤器常为0．1-0．2μm ；过滤器测试时，需先测定滤料的 MPPS ：另外，其对过滤器效率的测试不是采用整体测试，而是扫描测试每一处的局部穿透率然后统计处理 ( 按 95 ％置信度 ) 得出 < 整体 ) 穿透率及 ( 整体 ) 效率。
最大允许局部穿透率比整体的高 5 倍或更多，见表 1 。
HEPA／ULPA过滤器效率检测仪器相关问题的探讨
特 点 以 及在 实 际应 用 中存 在 的 问题 ，通 过 论 述 指 出 ：随 着 洁 净技 术 的发 展 ，光 学粒 子 计 数 器 和凝 结核 粒 子计 数 器将 是 主流
ｐｅｅｔ ｔ ｒ ｃ ｌ ｎ ｈｒｃ ｒ ｔｓｏ ｒｅｐ ｒｃｅｄｔｃ ｒ ｐｏｏ ｅ ｒ ｏｔ ａ ｐｒｃ ｏｎｅ ｎ ｏｄｎａｏ ｕｌ ｓ ｒｓｎｓ ｈ ｐ ｎｉ ｅ ａｄｃａａｔｉ ｉ ｆ ｈｅ ａ ｉ ｅｅｔ ｓ（ｈｔｍ ｔ ， ｐｉ ｌ ａｔ ｌ ｃｕ ｔ ａｄｃｎ ｅ ｓｔｎｎ ｃ ｕ ｅ ｉ ｐ ｓ ｅｓｃ ｔ ｔｌ ｏ ｅ ｃ ｉｅ ｒ ｉ ｅ ｃｕ ｔ ｏｎｅ ｔｅ ，ｈｉ ｅｉｉｇｐｏ ｌ ｓｉ ｒｃ ｃ ｅｅａａ ｚｄｉ ｅ ｉ Ｂ ｓｄｏ ｅｄｓｕｓ ｎ ｉｗ ｓｃｎｌｄｄｔａ ｏｔ ａ ｒ）， ｎ ｔｅ ｘ ｔ ｒｂｅ ｎｐａｔｅｗ ｒ ｌ ｅ ｎｄｔｌ ａｅ ｎｔ ｉ ｓ ｏ ， ｔ ａ ｏｃ ｅ ｔ ｐ ｃ ｈ ｒ ｓｎ ｍ ｉ ｎ ｙ ａ． ｈ ｃ ｉ ｕ ｈ ｉｌ
ｐ ｒ ｃ ｏ ｎｅ ｄｃ ｎ ｅ ｓｔ ｎｎ ｃ ｕ ｏ ｎｅ ｗ ｌ ｂ ｅｍ ｊｒ ａｔ ｌ ｄ ｔ ｔｒ ｆ Ｅ Ａ Ｕ Ｐ ｌ ｒ ｅｔ ｇｉ ｔｅ ｕｕ ｅ ａｔ ｌ ｃ ｕ ｔｒ ｏ ｄ ｎ ａｉ ｕ ｌ ｓ ｕ ｔ ｉ ｅｔ ａ ｒ ｃ ｅｅ ｏ ｒ Ｐ ／ Ｌ Ａ ｆｔ ｓ ｎ ｔｒ． ｉｅ ｎ ａ ｏ ｅ ｃ ｒ ｌ ｈ ｏ ｐ ｉｅ ｃ ｓｏ Ｈ ｉ ｅ ｔ ｉ ｎｈ ｆ
１ 光 度计
１１ 光 度 计 检 测 原 理 ．
Ｍ Ｐ ） 在 ０１ 一 ． １ 之 间 的某 一 点 ，先 确 定 测 试 条 ＰＳ ． ｍ ０２ ． ５Ｌ ｍ 件 最 易 穿 透 粒 子 粒 径 ，然后 连 续 扫 描 测 量 过 滤器 对 该 粒 径 粒 子 的过 滤 效 果 ，欧 洲 人 将 此 方 法 称 为 ＭＰ ｓ Ｐ 法 Ｉ ｌ ｌ 。各 测 试 方 法 一 般 都 由 气 溶 胶 发 生 系 统 、 风道 系 统 和 取 样 检 测 系 统 三 部 分 组 成 ，其 中 风 道 系 统 、流 量 测 量装 置 和 取 样 系统 都 是 通 用 的技 术 ，差 别 不 大 ；各 测 试 方 法 的 主 要 差 别 在 于 测 试 气 溶 胶 的 稳定 发生 和气 溶 胶 浓 度 准 确 检测 这两 个 方 面 。 实 际 检测 过 程 中 要 求 气 溶 胶 发 生 系 统 发 生 特 定 粒 径 、浓 度 稳 定 、分 散 度 和 可 重 复性 较 好 的人 工 气 溶 胶作 为测 试 尘 源 ， 然后采用相应 的检测 仪器 测试过 滤器上下 游气溶 胶浓度 ， 再 由 下 游 和 上 游 浓 度 之 比计 算 出被 测 过 滤器 的 透 过 率 ，最 后 计 算 出过 滤 器 的 过 滤 效 率 。各 测 试 方 法 发 生 的 气 溶 胶 种 类 不 尽 相 同 ，检 测 仪 器 也 差 别 较 大 。和 现 有 的 主 要 的 测 试 方 法 相 对 应 ，高 效 空 气 过 滤 器 效 率 检 测 仪 器 主 要 有 三 种 ： 光度计 （ 火焰 光 度 计 ） 、光 学 （ 光 ）粒 子计 数器 和凝 结 核 激 粒 子 计 数 器 。这 三 种 检 测 仪 器 都 是 通 过 将 粒 子 的散 射 光 转 化成 可测得 的物理量 （ 流 或电位 ）而进行浓 度测量 的 。 电 但 在 灵 敏 度 、检 测 范 围 ，仪 器 复 杂 程 度 等 方 面还 是 有 较 大
现场高效过滤器检漏原理及方案
主题：关于高效风口在线检漏方案一、产品简介：高效过滤器（HEPA）—般是指对粒径大于等于0.3um粒子的过滤效率在99.95%以上的过滤器，通常作为制药企业洁净车间的末端过滤装置，用以提供洁净的空气。
洁净室是否能达到和保持设计的洁净级别在相当程度上与高效过滤器的性能及其安装有关。
因此对洁净车间的高效过滤器进行检漏测试，确保其符合要求，是保证车间洁净环境的重要手段之—。
二、对高效过滤器安装后进行检漏测试的要求FDACGMP在无菌药品生产指南中，BuildingAndFacility指出在高效过滤器安装后应进行检漏测试，以检查过滤器密封垫、框架及过滤器滤材等处的密封性，对于无菌制剂生产车间应定期进行高效过滤器的检漏试验。
三、高效过滤器检漏目的高效过滤器本身的过滤效率—般由生产厂家检测，出厂时附有滤器过滤效率报告单和合格证明。
对制药企业来说，高效过滤器检漏是指高效过滤器及其系统安装后的现场检漏，主要是检查过滤器滤材中的小针孔和其他损坏，如框架密封、垫圈密封以及过滤器构架上的漏缝等。
检漏的目的是通过检查高效过滤器及其与安装框架连接部位等处的密封性，及时发现高效过滤器本身及安装中存在的缺陷，采取相应的补救措施，保证区域的洁净度。
四、DOP检漏法原理高效过滤器的检漏通常采用气溶胶发生器在过滤器上游发尘，使用光度计（photometer）或尘埃粒子计数器（0PC）检测过滤器上下游气溶胶浓度来判定过滤器是否有泄漏。
发尘的目的是因为高效过滤器在大气环境内上游尘粒浓度较低，且随地点及时间等变化，有时较大，有时较低。
人工气溶胶常以DEHS[Sebacicacid-bis（2-ethylhexyl）ester]通用名癸二酸二辛脂及PAO （poly-aphaolefin聚烯烃）等，但实验方法仍称“）0P法”FDA指出在进行检漏时，选用的气溶胶应符合—定的理化要求，不应使用会引起微生物污染、造成微生物滋生的气溶胶。
气溶胶发生器可分为热发生和冷发生两种，热发生器是利用蒸发冷凝的原理，被雾化的气溶胶粒子用加热器蒸发，并在特定条件下冷凝成微小液滴，去掉过大和过小的液滴后留下0.3um左右的雾状气溶胶进入风道，粒径分布在0.10.3um。
高效过滤器检漏原理及方法
制药行业：高效 过滤器检漏技术 用于确保药品生 产过程中的无菌 条件，提高药品 质量和安全性。
环保领域：高效 过滤器检漏技术 用于检测空气和 水的污染物，为 环保监测和治理 提供技术支持。
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电子工业：在半导体制造、平板显示器制造等过程中，高效过滤器检漏可确保高精度的生 产环境。
食品工业：用于检查食品生产车间的空气洁净度，保证食品安全。
医疗行业：在手术室、无菌病房等场所，高效过滤器检漏可确保空气洁净，防止感染。
高效过滤器检漏的发展趋势
高效过滤器检漏技术的创新发展
智能化检测：采用传 感器和人工智能技术， 实现高效过滤器的实 时监测和自动检漏， 提高检测精度和效率。
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操作步骤：将高效过滤器放置在测 试台上，开启风机，测量风速
优点：操作简单，成本低
高效过滤器检漏的注意事项
检漏前的准备工作
确保过滤器安装 正确，无破损或 松动现象
检查过滤器周围 环境，确保无尘 埃、杂质等污染 源
确保过滤器进出 口阀门处于关闭 状态
准备好检漏所需 的工具和材料， 如检漏仪、手套、 口罩等
保养：定期对高效 过滤器进行保养， 保持其性能和寿命
记录：对检漏结果 进行记录，方便后 续追踪和管理
报告：向相关部门 提交检漏报告，及 时反馈处理结果
高效过滤器检漏的应用场景
洁净室检测
高效过滤器检漏 的应用场景之一 是洁净室检测， 用于确保洁净室 内空气洁净度符 合标准要求。
ห้องสมุดไป่ตู้
洁净室检测中， 高效过滤器检漏 技术可以检测出 洁净室内微粒和 微生物的数量， 以及过滤器的过 滤效果。
高效过滤器检漏方法及标准
高效过滤器检漏方法及标准过滤器是工业生产中常用的设备，用于过滤液体或气体中的杂质，保障生产设备的正常运行。
然而，由于过滤器长期运行或操作不当，会导致过滤效果下降或漏水漏气现象。
因此，高效过滤器的检漏方法及标准显得尤为重要。
本文将针对高效过滤器的检漏方法及标准进行详细分析和阐述。
一、高效过滤器的检漏方法1.目视检查法目视检查法是最简单直接的检漏方法之一，通过目测过滤器外部是否有漏水漏气现象。
通常可以观察到过滤器设备外壳是否有渗水迹象或气泡产生。
这种方法适用于一些小型过滤器设备，检测过程简单快捷。
2.手感检查法手感检查法是通过手触摸过滤器外壳表面，感知是否有漏水漏气现象。
当过滤器外壳表面有明显的渗水感或气泡感时，即可判断过滤器存在漏水漏气问题。
这种方法主要针对一些小型过滤器设备，检测效果较为直观。
3.漏率测试法漏率测试法是通过专业的漏率测试仪器，对过滤器进行漏率测试。
漏率测试仪器一般通过充气或充水的方式，对过滤器进行压力测试，通过测试仪器的读数来判断过滤器是否存在漏水漏气问题。
这种方法适用于各类规格的过滤器设备，测试结果准确可靠。
4.烟雾检测法烟雾检测法是通过向过滤器内部充入烟雾或其他可见气体，利用烟雾或气体的流动轨迹来判断过滤器内部是否存在漏洞。
这种方法适用于一些较大型的过滤器设备，检测效果较为直观。
5.超声波检测法超声波检测法是通过超声波检测仪器，对过滤器进行超声波检测。
超声波能够通过材料的厚度和密度来判断是否存在漏洞或损伤，通过检测仪器的反馈来判断过滤器是否存在漏水漏气问题。
这种方法适用于各类规格的过滤器设备，测试结果准确可靠。
6.液体浸泡法液体浸泡法是将过滤器完全浸泡在液体中，通过观察浸泡过程中是否有气泡产生或液体渗出来判断过滤器是否存在漏水漏气问题。
这种方法主要适用于一些较小型的过滤器设备，测试效果较为直观。
二、高效过滤器的检漏标准1.漏率标准漏率是评定过滤器性能的重要指标之一，通常以每小时漏失的液体或气体量来表示。
高效过滤器检漏 培训资料
的粒子量的比值，常以百分数（%）表示。 ➢ 阻力：过滤器通过额定风量时，过滤器前后的
静压差，以Pa表示。 ➢ 额定风量：单位时间内处理的最大空气体积流
量，单位m3/h。
3
效率与泄漏率
效率在过滤器出厂时 由生产厂家按照一定 的标准进行测试，并 将结果标注在过滤器 铭牌上。
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现场检漏方法
1.粒子计数扫描法：
➢ 适用于各种过滤器，属于定量检测方法，灵敏度高 ➢ 粒子计数扫描法检漏可减少对洁净室末端高效过滤器的
损害，延长过滤器使用寿命 ➢ 测试值反映气流中计径粒子的计数浓度(粒/L)，但结果
为累积读数，不利于计算和判断，另外国际上对粒子计 数检漏结果判断标准不统一 ➢ 测试过程对背景环境有要求高，过滤器下游应与周围环 境空气进行隔离
高效空气过滤器检漏
技术部 贺元刚 2020年5月13日
目的
• 认识过滤器效率测试和现场检漏的区别 • 熟悉过滤器现场检漏方法
高效空气过滤器
高效空气过滤器：额定风量下过滤效率不低于 99.9%的空气过滤器。 缩写：HEPA (High Efficiency Particulate Air Filter)
冷发气溶胶发生器 发烟中值粒径：0.65µm 适用于单个过滤器检漏
光度计
热发型气溶胶发生器 发烟中值粒径：0.3µm 适用于大型系统过滤器 检漏
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压缩气体
光度计法检漏示意图
PAO
采样头 1
高效过滤器
PAO发生器
采样头
2
光度计
现场检漏
准备
• 拆去散流板（如果有） • 清洁箱体和框架，避免积尘干扰
高效过滤器检漏方法
高效过滤器(HEPA)安装后检漏方法浅析摘 要：高效过滤器(HEPA)作为医药、电子行业净化空调系统的末端过滤装置，用以提供洁净的空气，是实现洁净室空气净化要求的关键设备。
洁净室能否达到设计洁净级别在很大程度上与高效过滤器(HEPA)的性能及其安装有关。
因此，对于安装于送、排风末端的高效过滤器(HEPA)，必须在其安装完成后进行过滤器检漏工作。
Summary ：High efficiency particulate air filter is the terminal unit for air cleaning system of pharmaceuticals and electronic industry, it is used to supply clean air and it is the pivotal unit to achieve air purification for clean room. Whether the clean room can reach the cleaning level is connected with the performance and the installation of the filter. So we must do the particle leakage test for the high efficiency particulate air filter installed at the end of supply/exhaust system after installation.关键词 高效过滤器；净化空调；检漏Keyword ：HEPA ；air cleaning system ；particle leakage test.1 概述净化空调系统中，高效过滤器是用以确保洁净室洁净度达到设计要求的关键设备。
所以在高效过滤器安装完成后，需要对高效过滤器进行检漏测试，确认高效过滤器的完整性及安装的密闭性，并验证高效过滤器的过滤效率是否符合要求。
高效过滤器检漏测试的法规
高效过滤器检漏测试的法规
随着环保意识的提高和污染物排放的限制，各个行业都在加强对排出气体的控制。
而过滤器作为最常见的气体净化设备之一，其有效性的检测也变得越来越重要。
针对过滤器检漏测试，我国制定了一系列相关法规，主要包括以下几点：
1. 气体过滤器的国家标准：GB/T 14295-2018《气体过滤器》。
该标准规定了过滤器的设计、制造、检验和试验方法等要求，其中包括过滤器检漏测试的相关规定。
2. 环保法律法规：《大气污染防治法》、《环境影响评价法》等环保法律法规也都对过滤器的检测提出了相应要求和规定，以确保过滤器在使用过程中的有效性和安全性。
3. 行业标准：根据不同行业的特点和需求，制定了一些过滤器检漏测试的行业标准，如GJB 420A-2009《军用航空器气体过滤器检漏试验规范》、HG/T 3688-2017《化学工业用过滤器检测方法》等。
以上法规和标准对过滤器的检漏测试都提出了具体的要求和测试方法，如要求使用专业的检漏仪器，采用标准测试气体，按照标准的检测流程和指标进行测试等。
同时，也对测试结果的判定和记录提出了具体要求。
总之，过滤器的检漏测试是一个重要的环节，必须严格按照相关法规和标准进行，以确保过滤器的有效性和安全性，同时保护环境和人体健康。
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HEPA-ULPA过滤器效率测试及检漏方法
筑龙网 W W W .Z H U L O N G .C OM HEPA/ULPA 过滤器效率测试及检漏方法有关问题讨论1 、 HEPA ／ ULPA 过滤器效率测试方法1．1 测试方法及其特点当前对 HEPA 过滤器测试方法主要有：(1)DOP 法：此法是以光度计作检测，测试用气溶胶必须是单分散 (0．31μm) 的 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的。
此法灵敏度不如粒子计数法，只能用于效率 99．99 ％ (0．3μm) 及 99．999 ％ (0．3μm) 的 HEPA 过滤器的测试。
(2) 粒子计数法 此法是以离散粒子计数器 (DPC) 作为检测仪器，测试用气溶胶可以是单分散或多分散液体或固体物质，选择范围较宽，常用多分散气溶胶，如 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的，亦常用 SPL( 聚苯乙烯乳胶球 ) 固体物质所发生的 0．1-0．2p,m 粒径的气溶胶。
此法灵敏度较高，目前主要用于 ULPA 过滤器其 η≥99．999 ％ (0．1-0．2μm) 的测试，当然亦可用于 HEPA 过滤器的测试。
替代 DOP 法当已是趋势。
(3)MPPS 法 此法是欧盟 ENl822 标准所规定的，亦是以 DPC 作为检测仪器，测试用气溶胶要求同(2) 。
其与粒子计数法的区别主要在于： 以过滤器最易穿透的粒径作为测试用粒径， HEPA ／ ULPA 纤维过滤器在某一粒径下其过滤效率会出现最低，这是因为在此粒径下扩散机理与惯性机理对过滤器所起的过滤作用，两者都达到最低，此粒径与过滤器的滤料、给结构及滤速有关，一般在 0．1-0．3μm 间，对 ULPA 过滤器常为 0．1-0．2μm ；过滤器测试时，需先测定滤料的 MPPS ：另外，其对过滤器效率的测试不是采用整体测试，而是扫描测试每一处的局部穿透率然后统计处理 ( 按 95 ％置信度 ) 得出 < 整体 ) 穿透率及 ( 整体 ) 效率。
压力容器氦质谱检漏法介绍
被检件漏孔检漏方法介绍压力容器氦质谱检漏法介绍一、概述检漏的目的是确定被检件漏孔的位置和漏率，这些目的是通过采用一些标准的检漏方法实现的。
采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。
根据不同的检漏目的，基本上有吸入法、喷吹法、背压法、真空箱法等几种常用检漏方法：1、吸入法——确定漏孔位置又称吸枪检漏，如图1-5，将专用吸枪联接在仪器检漏口上，被检件则充入规定压力的氦气（纯氦气或一定比例含氦的混合气）。
检漏时，让吸枪沿可疑漏孔处慢慢移动，若被检件有漏孔，氦气自漏孔漏出，被吸枪吸入送至仪器的质谱管而被检测。
吸入法检漏灵敏度相对喷吹法要低，但是其检漏口真空主要是由吸枪流量决定的，所以不受被检件容积的限制，适合检测大的容器。
2、喷吹法——确定漏孔位置该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向可疑漏孔喷吹氦气。
当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。
下图是喷吹法原理示意图。
喷吹法检漏的灵敏度高，质谱管不吸枪检漏仪装有氦气的压力容器装有氦气的压力容器喷枪被检件漏孔检漏仪易受污染，但是检大容器时可能有真空抽不下来的情况，可能要加辅助真空设备。
3、 背压法——测总漏率电子元器件进行气密性检测时常用背压法。
检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。
若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，最终到达质谱管。
用这种方法测得的漏率也是总漏率。
图1－7为背压法检漏示意图。
4、 真空箱法真空箱法是一种比较复杂的方法。
检漏时先将工件如上图放入真空箱中，关闭V1、V2，打开V3使用真空箱预抽系统对真空箱抽真空，如果可以在规定时间内抽到规定的真空度，说明被检工件没有大漏，反之有大漏则需要将工件拿下来检大漏。
关于高效过滤器的PAO检漏法的几个疑问
问：1.高效过滤器PAO检漏时，高浓度的PAO颗粒被截留在高效过滤器上，经过多次测试是否会导致过滤器堵塞？其影响程度有多大？2.耐高温高效过滤器PAO检漏后，当灭菌设备温度升高到工艺温度（如350度）时，是否会导致高效过滤器上截留的PAO会变成小分子而泄漏到下游，进而污染了产品？3.据说有企业依然采用尘埃粒子测试法检漏，不过不能将上下游的粒子浓度进行比较，只能测出常规情况下过滤器下游的粒子浓度，这种方法是否被官方认可，如果是的话，其检测标准如何制定，有无文献依据！答：1.高效过滤器PAO检漏时，PAO颗粒通常作为气溶胶，会逐步挥发，不会在过滤器表面形成大量堆积，而且PAO的测试的频率也不高，通常一年一次。
2.耐高温高效过滤器PAO检漏后，当灭菌设备温度升高到工艺温度（如350度）时，由于很快PAO粒子就挥发掉了，不会导致高效过滤器上截留的PAO会变成小分子而泄漏到下游，进而污染了产品？3.采用尘埃粒子测试法检漏，仍可参考洁净技术规范。
答：《洁净厂房设计规范》GB50073-2001发布日期：2006-4-18 阅读：264次GB50073-2001《洁净厂房设计规范》（部分章节）第一章总则第1．0．1 条洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。
第1．0．2 条本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。
本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。
第1．0．3 条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。
第1．0．4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行创造必要的条件。
第1．0．5条洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。
高效检漏方案
洁净区高效过滤器检漏文件编码：C03-0017版本号：01项目姓名签名日期起草彭伟审核牛亚飞审核万一龙批准逯佩荣生效日期分发范围质量部（04）及分发号分发号目录一、目的 (1)二、适用范围 (1)三、内容 (1)四、附件 (10)五、变更历史 (10)洁净区高效空气过滤器检漏 C03-0017 01 页码：1/10一、 目的制定洁净区高效过滤器的检漏测试方法，规范QA 人员的检漏操作，确保洁净区的空气质量。
二、 适用范围适用于QA 人员对洁净区高效过滤器的检漏测试。
三、 内容1. 制定依据1.1.中华人民共和国标准：GB/T 16292-1996； 1.2.中华人民共和国标准：高效过滤器GB/T 13554-2008； 1.3.《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010 1.4. 药品生产质量管理规范（GMP.2010年版）。
2. 原理高效空气过滤器HEPA 是空调净化系统最有效的净化处理关键部件，一般情况D 级以上洁净室HVAC 系统安装的HEPA 要求≥0.5μm 的微粒过滤效率≥99.99%：高效过滤器滤料为纸质过滤元件（超细玻璃纤维滤纸），一次性使用不可再生，恶劣条件下（高湿、超压）可能造成不可恢复性损坏；胶接树脂长时间使用可能老化和龟裂；压紧式安装，长期高压运行压块可能松动等。
必须周期性进行检漏测试及时消除异常以保证正常处理效果。
对送、排（回）风高效空气过滤器的现场检漏采用的原理是：在系统运行条件下，当上游被检测对象（气溶胶或大气尘粒子）浓度达到规定条件，同时检测上游和下游的被检测粒子浓度，从而确认过滤器滤材是否完好、密封部位是否严密的过程。
3. PAO 气溶胶高效检漏3.1. 检测仪器 散流孔板高效滤纸压筋密封层静压箱体进风口彩钢板胶接树脂密封胶洁净区高效空气过滤器检漏C03-0017 01 页码：2/10美国气溶胶光度计（配手持式扫描探头），最低检测限0.00005μg/l，理论上游绝对最低浓度0.5μg/l。
常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准
常见的四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测标准氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。
当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。
在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将氦质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种氦质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
真空法氦质谱检漏采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。
按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。
其中真空喷吹法采用喷枪的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。
真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
真空法的检测标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
正压法氦质谱检漏采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。
高效过滤器检漏的注意事项
检漏是用来捕获尘粒在0.5um和各种悬浮物以及各种过滤系统末端过滤。
以超细玻璃纤维纸为过滤材料，以橡胶板、铝箔等材料为隔板，用镀锌钢板、不锈钢板和铝合金型材制成新型聚氨酯密封胶。
每个试验都具有过滤效率高、阻力低、粉尘量大的特点。
可广泛应用于光电、液晶制造、生物医学、精密仪器、饮料、食品、PCB印刷等行业无尘车间空调末端供气端。
洁净室末端采用高效、超高效过滤器，可分为高效过滤器、无隔板高效过滤器、高效空气过滤器、超高效过滤器等三个部分。
还有三种高效过滤器，其中一种是超高效过滤器，一种是抗菌无隔板高效空气过滤器，具有抗菌效果，防止细菌进入洁净车间，一种是高效过滤器，价格便宜，用于不需要很高的净化空间。
高效过滤器检漏的安装是空调系统和洁净室施工安装的关键，应注意以下几点：1、安装前要清洁这个系统应该用空气清洗。
清洗车间应再次清洗，如真空吸尘器、普通真空吸尘器和超净滤袋真空吸尘器。
如果安装在天花板上，天花板应该被打扫。
本系统可以清洁干净的测试操作系统达到12h后，所以高效过滤器可以安装。
2、拆包只有在安装现场，安装时间才被拆卸，HEPA过滤器应在包装后去除，目视检查，并具体要求测试数据的各项性能指标，而不是一般的打印限值数据。
3、检漏清洁度等于或高于清洁车间的100级。
安装前必须进行现场检漏。
关键是检查过滤器是否有渗漏或渗漏等质量问题。
所有级别的洁净厂房都需要安装高效过滤器检漏。
当当前的规范没有给出检查数量时，它可以占自身的百分比。
安装和检漏的关键是空气滤清器的密封质量。
4、性能分配各滤器之间的阻力差会影响风量和空气分布的平衡，应安装空气过滤器，以消除个别阻力过高或过低，相同大小的空气过滤阻力在同一房间内同一房间的不同空气过滤阻力也应分散位置。
杭州克林埃尔检测技术有限公司是一家独立商检机构，具有独立法人地位和第三方实验室地位。
为国内净化厂房和设备提供第三方检测、调试和咨询服务。
公司拥有检测设备、配备资深技术团队及丰富经验的质量管理专家，力求为产品的安全符合性提供定制的解决方案。
高效空气过滤器检漏的指南依据
高效空气过滤器检漏的指南依据一.洁净级别、高效空气过滤器（HEPA）分类、定义1.洁净级别、HEPA分类是HAVC验证的基础知识，HEPA属于HACV验证之一，需要掌握上述知识点。
2.美国ISO、欧美和中国（ABCD）＞百级万级十万级的洁净级别分类：《制药流体工艺实施手册（奥星•何国强2013）》P82页3.效空气过滤器分类、H14级HEPA含义：《药品GMP指南•厂房与设备（2010年）》P351页+《制药流体工艺实施手册（奥星・何国强2013）》P83页二.ACPH、压差、HEPA检漏顺序1.测试顺序见《GB50457-2019医药工业洁净厂房设计标准》的附录B。
≪GB50457-2019））原文明确告知参考了大量ISO14644标准，以下内容如果知识点重复，以ISOI4644为重点。
2.≪ISO14644-3-2005洁净室和相关控制环境.第3部分测试与测试方法》的附录A、≪IS014644-3-2019^附录A,两个附录A表述不完全一样，2019突出协商、评估3.测试顺序：（1）GB50457-2019、ISO14644-3-2005顺序：风量和换气次数测试（ACPH）＞压差、HEPA检漏。
（2）ISoI4644-3-2019顺序：压差、ACPH›HEPA检漏。
（3）实操经验顺序：最初应把距离空调送风系统AHU最远洁净房间的送风阀全开，相当于固定了WorStCaSe的风量、对外绝对压力固定了，以此为锚点逐个调试。
先调压差，再调ACPH,最后HEPA检漏。
三.HEPA检漏1测试前的风量HEPA检漏时，HAVC运行吗？风量范围应该是多少？答：（1）应该开启HAVC,FFU上游发烟，需要一定的气流才能把烟压出HEPA,最终下游检漏。
（2）风量范围：按照《GBT14295-2019空气过滤器》《GB/T13554-2023高效空气过滤器》《GBT6165-2023高效空气过滤器性能试验方法效率和阻力》，FFU-HEPA厂家，需要很大的风量做一些测试，出具COA,证明产品质量没有问题。
氦质谱检漏的工艺方法与检验关键点
氦质谱检漏的工艺方法与检验关键点作者：白金浩万聪来源：《速读·下旬》2016年第06期摘要：从电子元器件气密性封装的原理入手，介绍了常用的检漏试验方法，阐述了美军标MIL-STD-883氦质谱检漏试验方法的最新发展，分析了积累氦质谱试验方法的特点及要求，并探讨了基于氦气交换时间常数τHe的氦质谱检漏思路。
关键词：氦质谱；密封；标准；试验方法1 常用的检漏试验方法鉴于密封对电子元器件的重要性，国内外已经开展了多种漏率检测技术的研究与应用。
在著名的美国军用标准最新发布的MIL-STD-883J《微电子器件试验方法和程序》的方法1014.14中，规定了多种测量密封器件漏率的试验方法，其中包括氦质谱细检漏、放射性同位素（Kr85）粗/细检漏、碳氟化合物粗检漏、光干涉法粗/细检漏、染料浸透粗检漏、增重粗检漏和积累氦质谱粗/细检漏共7类方法。
所谓粗/细检漏是以等效标准漏率L=1.0Pa·cm/s为界限，一般将检漏范围大于该标准漏率值的称为粗检漏，小于的称为细检漏。
细检漏方法包括氦质谱细检漏、放射性同位素（Kr85）细检漏和光干涉法细检漏等方法。
其中，放射性同位素（Kr85）细检漏所采用的公式中Kr85的压入和外泄均按粘滞流，理论上不够严谨，Kr85检测的等效标准漏率可能与氦质谱检漏仪检测的漏率相差非常大，又伴有辐射，在美国应用较为普遍，近年来又推出了Kr85热检漏，但国内应用甚少。
光干涉法细检漏不受吸附漏率的影响，主要适用于具有易变形金属或陶瓷上盖的封装，可用于集成在圆晶片上的MEMS等微小器件的矩阵式检测，检测效率高，近来发展较快，目前其可检等效标准漏率L已与较先进的单级氦质谱检漏仪相当。
普通氦质谱检测仪细检漏的最小有效可检测量漏率判据一般为5×10Pa·cm/s（He），检测效率较高，且无损无害，是目前应用最为普遍的细漏检测方法，但被检件的表面氦气吸附常严重地制约氦质谱检漏仪的检测灵敏度（最小可检漏率），并限制着判据加严。
氦检漏漏率及水检漏标准
1 X围本标准规定了压缩机泄漏的检测方法与泄漏的判定标准。
本标准适用于公司内所有压缩机的泄漏检测。
2 引用标准GB/T21360-2008 《汽车空调用制冷压缩机》。
3 名词备注压力：文中所指压力在未说明时均指表示压力氦检：指氦质谱检漏方法，文中简称氦检。
4 检漏方法包括水检漏和氦气检漏两种方法。
4.1 水检漏4.1.1水检漏漏率理论计算〔气泡观察检漏〕气泡检漏法适用于允许承受正压的容器、管道、零部件、密封元件等的气密性检验。
在被检件内充入一定压力的示漏气体后放入清洁水中, 气体通过漏孔进入周围的液体形成气泡, 气泡形成的地方就是漏孔存在的位置, 根据气泡形成的速率、气泡的大小以与所用气体和清洁水的物理性质,计算出漏孔的泄漏率。
图示1如图1 所示,当气泡在液面以下一定深度h时，测得气泡的直径为D, 此时, 气泡内的压力P b为大气压力P a、漏孔所处位置的液体压力Qgh 和清洁水表面X力R 引起的压力4R/D之和，即：气泡1内压力P b=P a+Qgh+4R/D 〔Mpa〕〔式4-1〕式中：P b －气泡内的压力〔Mpa 〕；Qgh －液体压力〔Mpa 〕；R －液体的表面X 力〔N/M 2〕；D 为气泡直径〔M 〕。
如图1所示，当气泡在液面或接近液面时，气泡内的压力Pb 为大气压力Pa 和清洁水表面X 力R 引起的压力4R/D 之和，即：P b =P a +4R/D 〔Mpa 〕 〔式4-2〕气泡内的体积L ′=πD ³/6 〔M 3〕 〔式4-3〕 漏率计算按照“阿弗加德罗定律〞计算漏率Q ，并代入式4-2和4-3，即：Q=PV=P b *L ′=〔P a +4R/D 〕*πD ³/6*n 〔Mpa* M 3/min 〕 〔式4-4〕 式中：n 为气泡的频率 〔1/min 〕；R 取20度时的水X 力0.0728〔N/M 〕。
根椐公式：PV=nRT 〔式4-5〕 查表得：n=1/102=0.00980(质量分数1/g)；R=8.31 〔气体常数pa* M 3/S 〕；T=293.15 〔20℃的绝对温度K 〕。
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HEPA/ULPA 过滤器效率测试及检漏方法有关问题讨论转载–未经原作者许可，只用于学习讨论 1 、 HEPA ／ ULPA 过滤器效率测试方法1．1 测试方法及其特点当前对 HEPA 过滤器测试方法主要有：(1)DOP 法：此法是以光度计作检测，测试用气溶胶必须是单分散 (0．31μm) 的 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的。
此法灵敏度不如粒子计数法，只能用于效率 99．99 ％ (0．3μm) 及 99．999 ％ (0．3μm) 的 HEPA 过滤器的测试。
(2) 粒子计数法此法是以离散粒子计数器 (DPC) 作为检测仪器，测试用气溶胶可以是单分散或多分散液体或固体物质，选择范围较宽，常用多分散气溶胶，如 DOP 或其替代的 DOS 等液态物质所发生的，亦常用 SPL( 聚苯乙烯乳胶球 ) 固体物质所发生的0．1-0．2p,m 粒径的气溶胶。
此法灵敏度较高，目前主要用于 ULPA 过滤器其η≥99．999 ％ (0．1-0．2μm) 的测试，当然亦可用于H EPA 过滤器的测试。
替代 DOP 法当已是趋势。
(3)MPPS 法此法是欧盟 ENl822 标准所规定的，亦是以 DPC 作为检测仪器，测试用气溶胶要求同 (2) 。
其与粒子计数法的区别主要在于：以过滤器最易穿透的粒径作为测试用粒径， HEPA ／ ULPA 纤维过滤器在某一粒径下其过滤效率会出现最低，这是因为在此粒径下扩散机理与惯性机理对过滤器所起的过滤作用，两者都达到最低，此粒径与过滤器的滤料、给结构及滤速有关，一般在0．1-0．3μm 间，对 ULPA 过滤器常为0．1-0．2μm ；过滤器测试时，需先测定滤料的 MPPS ：另外，其对过滤器效率的测试不是采用整体测试，而是扫描测试每一处的局部穿透率然后统计处理 ( 按 95 ％置信度 ) 得出 < 整体 ) 穿透率及 ( 整体 ) 效率。
最大允许局部穿透率比整体的高 5 倍或更多，见表 1 。
表 1. HEPA/ULPA 过滤器性能要求（ EN1822 ）此法用于 HEPA ／ ULPA 过滤器的测试，其灵敏度比一般粒子计数法还高，更接近实际，在测效率的同时亦解决了扫描检漏。
(4) 钠焰法此法采用火焰光度计，它对 NaCl 燃烧的火焰色度 ( 相当于 NaCl 的质量 ) 作响应， NaCl 质量粒径分布在0．02-2μm 间或更狭一些。
其质量平均粒径 (MMD) 在0．5-0．6μm 间。
此法灵敏度低，且 NaCl 对微电子工厂的产品质量有害，因此国外早已不用。
1．2 测试方法的灵敏度及其误差1．2．1 灵敏度测试方法的灵敏度主要决定于仪器本身。
光度计的灵敏度／分辨率一般可至0．001μg ／ L 空气，误差可至 --+5 ％。
高档的粒子计数器灵敏度／分辨率可在± 10 ％以内，本底噪音计数可控制达零。
增大上风侧测试用气溶胶浓度会增加灵敏度。
光度计在测试过滤器效率时常用于 80mg ／ m3 空气 -100mg ／ m3 空气的气溶胶浓度，而 DPC 所采用浓度 ( 质量 ) 远低于此。
1．2．2 误差及控制过滤器效率测试误差有系统本身误差及随机误差。
为满足很高效率的 ULPA 过滤器的测试要求，必须用高灵敏度的测试系统以适应之，随机误差已是不可忽略的因素。
1．2．2．1 系统本身误差及控制(1) 流速，除粒径外是影响过滤器效率的较重要的因素。
因此必须使流速均匀并稳定。
常需通过测定并调整进行控制。
(2) 气溶胶浓度变化会影响测试结果，因此其浓度均匀及稳定亦是必须保证的，常需通过混匀器及多点测试并调整进行控制。
(3) 气溶胶粒子在测试系统内会沉积，会影响测试结果，需采用尽量短的管路并合理布置。
(4) 管路内壁由于气流流动时会积聚静电，影响气溶胶粒子沉积，因此需采用金属管道并接地。
(5) 在用冷发的气溶胶时，气溶胶在喷嘴内进行机械破碎时会带静电 ( 热发时不存在 ) ，因此需要设中和器加以中和，以免粒子沉积。
(6) 粘度、压降、温湿度、振动以及非等动力采样都会在一定条件下对测试产生影响，一般有的关系不大，有的易控制或在计算时加以修正。
(7) 采用粒子计数器作检测时，需注意避免重叠误差需采用稀释器及本底噪音值的控制并及时校正。
以上有关测试系统本身误差的各种因素，合格的测试系统都应视情况具有相关的测量及控制措施的。
图 1 是 IEST-RP-CC034．1 标准中， ULPA 过滤器性能测试的典型系统示意图。
1．2．2．2 随机误差及其处理过滤器效率测试需采用高性能的粒子计数器，其本底噪音计数为。
时，随机误差已是最主要的误差。
当充分混匀的测试用气溶胶，穿透过滤器至下风侧的粒子数是某一平均浓度下的随机值，并由计数器随机地在某一平均浓度下测得，此测得的值与实际平均值 ( 进行无数次测得平均值 ) 之间存在着差异，测得的粒数越少其差异越大。
因此随机误差对穿透率很小的效率很高的 ULPA 过滤器，更显得不能忽视，它是下风侧计数值的最大的不定因素。
此误差现以统计学方法来处理，即采用 95 ％置信度。
并对上风侧、下风侧在无被测过滤器时，测得存在的粒子数差异 ( 由管路长短不一，或有稀释器，或采用同时采样时有二台粒子计数器存在的差异等所引起 ) 一并进行统计方面。
采用计算软件对其进行统计方法处理计算以修正随机误差来提高测试结果的准确性，这灵敏度较高的粒子计数器法及 MPPS 法进行 HEPA ／ ULPA 过滤器尤其是 ULPA 过滤器应是重要的—个方面。
1.3 采用粒子计数法及 MPPS 法进行 HEPA ／ ULPA 过滤器性能测试应是趋向。
粒子计数器：灵敏度高；对气溶胶选择余地大，可以满足产品生产对分子污染控制的要求用 SPL 替代 DOP 或 DOS 等 ) 或发生源的经济方便；所用气溶胶的浓度 ( 质量浓度 ) 远低于光度计所需的，可以降低被测过滤器的污染程度。
因此采用 DPC 作为检测的系统必然是趋向。
而 MPPS 法与粒子计数法之间各有特点，但高效率的 ULPA 过滤器，看来 MPPS 法的灵敏度更高的特点可能是重要因素。
2 、 HEPA ／ ULPA 过滤器的现场检漏2．1 检漏方法及其特点过滤器及其系统安装后的现场枪漏方法有整体检漏及扫描检漏。
(1) 整体检漏整体检漏方法的灵敏度低于扫描检漏，因此限用于 HEPA 过滤器，即效率η=99．99 ％— 99．999 ％ (0．3μm) 的或相当的η=99．95 ％ ~99．995 ％ (MPPS) 的，且不便于进行扫描检漏的场合，如安装在风管内或AHU 内的；以及非单流洁净室的末端过滤器。
此方法采用的可为光度计或粒子计数器 (DPC) 。
(2) 扫描检漏扫描检漏方法的灵敏度比整体检漏法高，一般除不便的场合外，都应采用此法检漏。
所用仪器可以是光度计或 DPC 。
由于光度计的灵敏度不及 DPC ，因此光度计扫描检漏限用于 HEPA 过滤器及其系统，而 ULPA 过滤器及其系统须采用 DPC 扫描检漏。
另外，光度计检漏所用气溶胶浓度较高，常在 20mg ／ m3 空气 ~80mg ／ m3 空气间，因为过低灵敏度不够，过大对被检过滤器受气溶胶污染程度增多，而 DPC 枪漏所用气溶胶浓度一般为光度计的 1 ／ 100~1 ／ 1000( 质量浓度 ) 因此 DPC 扫描检漏广泛被采用。
(3) 检漏用气溶胶检漏，多采用多分散气溶胶如冷发的 DOP 或 DOS 等，因为它比单分散气溶胶来得经济方便并亦能满足要求。
对需用 DPC 扫描检漏的用于微电子工厂等的 ULPA 过滤器，对分子污染有要求的，常采用 SPL 固粒气溶胶 (0．1-0．2μm) 。
2．2 有关问题讨论或注意2．2．1 规定漏穿透率 PL规定漏穿透率 PL 是指被检到时最小的漏，亦即是最大允许漏穿透率： PL 常以过滤器的穿透率 Ps 的倍数来表示， PL=KPs 。
PL 一般是按过滤器效率或穿透率，检漏方法及检漏场合 ( 生产厂或现场 ) 等而定的，亦可说是按过滤器效率、检漏方法的灵敏度及要求而定，若 h 取得过低 ( 严 ) ，即允许漏要求甚小，会带来检漏时间的增长、气溶胶沉积在过滤器上的量增加，检漏费用增多，而只是为了找甚小的漏，其间的时间、经济及必要性的平衡用户往往需作衡量的。
因此，国外有关检漏标准 ( 规定 ) ，对 h 提出的只是建议值，最后留给用户去定夺。
表 2 、表 3 列出有关标准的 PL 值。
表 2 HEPA 过滤器的 PL 值表 3 HEPA/ULPA 过滤器 DPC 扫描检漏的 PL 值从表 2 可以看出，有关标准对光度计检漏时，无论是扫描还是整体检漏， PL 值都采用 HEPA 过滤器η=99．99 ％ (0．3μm) 的 Ps 值，这里需要注意的是 Ps 值是以0．3gm 单分散 DOP 测试的，而检漏时采用多分散 DOP ，其质量粒径分布的平均质量粒径 (MMD) 约为0．7μm ，实际上相当于增加了 Ps(0．3μm) 的倍数，由于光度计灵敏度低，又是 HEPA 过滤器，要求不是很严，因此对效率 99．99 ％ ,--99．999 ％ (0．3μm) 及相当于此的 HEPA 过滤器，两个标准都采用同一的 h 值。
2．2．2 规定漏粒子数 Npa ：DPC 扫描检漏时，仪表反应的读数是粒子个数，不同于光度计所反应的穿透率，因此需要建立以观察到的粒子数来判断漏，规定漏粒子数 Ne ，即是 DPC 扫描检漏时，在该条件下相应于检漏穿透率 PL 下最小漏的粒子数。
规定漏粒子数 Npa 。
是需要视具体情况合理选定的基础上确定的，其确定的方法是，先选定 Nh 的期望值NP ，然后得出扫描速度 sr ，按照过滤器扫描检漏方法原理，应符合其关系式：注意使 Sr<5cm ／ s( 一般所取 ) ；但 IS014644-3(DIS) 提出 <8cm ／ s ，认为 >8cm ／ s 会引起空气扰动而影响结果的准确性。
并亦需满足 DP ／ Sr~DPC 的取样获取时间 Ts ，宜接近 Ts 。
以上几点必须满足以减少误差。
往往可以采取选择以下其中的几项在其限值允许范围内作合理调整，如增加 Cc 的浓度，增加 Ts 值，增加 PL 值或减少 Np 值。
在满足以上要求基础上，反过来按下式确定值 Npa ：以上 (1) 、 (2) 式中：Cc ——测试用气溶胶浓度 (Pc ／ m3)Sr ——探头扫描速度 (cm/s)Ps ——过滤器最大穿透率 ( ％ )Dp ——探头长度 ( 平行于扫描方向 )(cm)Fs —— DPC 的标准取样流率， 472cm3 ／ s(28．3L ／ min)公式 (2) 是符合忽略假计数 ( 过滤器在非漏情况下，即由其 Ps 引起的粒子数等 ) 的情况。