镀膜机操作说明书
镀膜机操作规范-czh
深圳富泰宏精密工业有限公司设备操作规范设备 Desc P/N镀膜机工站名称 Station Name镀膜规范编号.CMOO-0249版次 RevA页次 Page (共1页)1※ 操作步骤1.打开子控制柜的主电源旋钮2.打开中心控制柜主电源旋钮3.打开（外部）主要水阀:（1）Di water pressure:4㎏/c ㎡(>3㎏/c ㎡); （2）Water temperature:18±2.5℃;（3）Water pressure:4㎏/c ㎡(>3㎏/c ㎡)。
4.打开（外部）主要气体供应阀:（1）Ar gun primary:↑及Ar gun secondary:±;（2）N2 gunprimary:↑及N2 gun secondary: ±;（3）C2H2 gun primary:↑及C2H2 gun secondary:5. 将机械帮浦及鲁式帮浦手动开关切至”off ”6. 开启电脑、萤幕、印表机之电源。
7. 待WindosNT 程式执行完出现按钮画面後按Ctrl+Alt+Del 8. 待WindosNT 出现输入密码画面时於”NAME ”格子内确认机台编号,後按”Enter ”或以滑鼠点取”ok ”9. 待电脑自动执行FL 程式後出现输入密码画面时执行镀膜机自动系统启动作业。
※ 关机1. 选择[System OFF],在涡轮冷却并通风约10分钟后系统（设备）旋至SYSTEM OFF 状态2. 关闭（外部）主要空气供给阀3. 关闭（外部）主要气体供给阀4. 关闭（外部）主要水阀5.关闭子控制柜主要电源※ 注意事项1. 关闭其它阀时,设备应处在SYSTEM OFF 状态※ 图示图一 镀膜机核定 品管 工程 制作 李吉长制定日期 2005/05/17发行修订日期。
镀膜机安全技术操作规程（三篇）
镀膜机安全技术操作规程镀膜机是一种常用的表面涂覆设备，用于给物体表面增加一层薄膜，提高其耐磨、防腐蚀等性能。
由于涉及到化学物品和高温等危险因素，因此在操作镀膜机时必须严格遵守安全技术操作规程，以确保操作人员和设备的安全。
以下是镀膜机的安全技术操作规程，共计2000字。
一、使用前的准备工作1.操作人员必须接受相关的安全培训和操作指导，熟悉设备的结构和工作原理。
2.检查设备的各个部位，如输送带、喷涂系统、加热系统等，确保其正常运行，并进行必要的维护和保养。
3.确认所有的安全设施完好，如安全门、安全防护网、紧急停机按钮等。
二、穿戴个人防护装备1.操作人员必须穿戴适当的个人防护装备，如安全帽、安全鞋、护目镜、防护手套等。
2.针对具体镀膜材料和工艺，选择合适的防护服和口罩。
三、操作过程中的安全控制1.在操作镀膜机前，必须确保操作区域的绝对干燥，以避免与湿气产生反应或发生事故。
2.严禁在操作过程中穿插其他人员或随意接近设备。
3.确保机器运行稳定后再进行下一步操作，以免因异常造成安全事故。
4.操作人员必须时刻关注设备运行状态，发现异常情况及时采取应急措施，如关闭设备、紧急停机等。
5.禁止在操作过程中使用手机等与操作无关的电子设备。
6.严禁将任何非操作材料放入喷涂系统，以避免发生化学反应或堵塞设备。
四、应急措施和事故处理1.设备操作过程中，如发现异常燃烧、爆炸或其他突发事故，应第一时间切断电源，并立即报警和呼叫专业人员进行应急处理。
2.若发生泄漏、溢出等事故，应密切关注涉及范围的浓度是否达到爆炸或有毒的程度，确保工作区域的人员安全，及时进行清理和处理。
3.在事故处理中，操作人员必须穿戴好个人防护装备，并按照应急预案进行处置，有条件的情况下可启动应急喷淋系统或其他应急设备。
五、日常维护和保养1.设备日常维护和保养必须由专业人员进行，如定期检查设备运行情况、清理设备内部、更换易损件等。
2.定期组织设备的安全检查和保养记录，及时处理设备的故障和隐患，确保设备的正常运行和使用安全。
镀膜机操作规程
镀膜机操作规程RDBL/WJ-7.5.1-011概述:本指导书对镀膜机的起动、生产、关机及进气的操作做了比较具体的规定，用以指导微机岗工艺控制员对镀膜机的操作；2 适用范围: 镀膜机的操作3 操作步骤:3.1设备起动3.1.1 说明:设备起动即为生产做准备，包括真空泵的起动及各仓室抽气到工作压力。
各起动步骤可在自动和手动方式下实现。
3.1.2 设备准备:a 检查下列单元的可靠性：真空泵的油位（应保持2/3的油位）、阴极冷却水白罐应保持一半以上的水位；外循环泵供水泵开启，且供水压力值在0.5～0.75Mpa范围内，供水温度＜30℃；压缩空气（压力值在0.6～0.8Mpa）；b 开设备总电源开关、开启PLC；c 检查PLC中央控制器及扩展单元的缓冲寄存装置电池，此电池只能由受过培训的人员更换，更换电池前应开启电源，如电源已关，应在外部电池插孔中接入一外部电源（电压3.4V）；d 按“急停复位”按钮；e 检查信号灯（所有信号灯必须亮）f 开启温控单元，水压0.4 ～0.7MPa, 水温40℃；g 开启下列真空测量仪:TM210S、IM110D、IM210，其中IM110D、IM210要在传输室TM210S显示值小于5×10-2mbar时才能开启。
h 手动方式下的起动过程见第3节，自动方式下起动过程见第4节3.1.3 手动方式下起动3.1.3.1 在大气压状态（1bar）下起动此方式只用于维修、维护或换靶后设备进大气的情况下。
a 开启“手动方式”；b 关入口室锁阀, 开传输室１的锁阀；c 开启各室的泵单元及过渡抽气的泵单元；d 入口室开始抽气；e 溅射室通过入口室抽气, 等待溅射室压力小于或等于8×10-2mbar,溅射室开始抽气, 起动分子泵并升速到额定速度。
f 分子泵进入正常工作, 关闭传输室１的锁阀；g 进入“生产”一节3.1.3.2 溅射室P＝30mbar...1bar时的起动溅射室压力在P＝30mbar...1bar之间，不能直接开始抽气，长时间停机后，溅射室内的压力可能会有一定的升高，检测设备泄漏率，并与标准值比较(见“维护”一章中“真空检测”一节)如实际值与标准值有较大差值，应进行检漏。
镀膜机操作顺序
Duroch-1100镀膜机操作顺序
接通外部电源→先开空压机、冷水机→打开清洗机镀膜机电源→点击自动操作→输入密码→点击自动操作→上班开机→预热完成后→打开柜门、挂上零件，关门→打开氮气开关→点击自动操作→选择钛（保持架）或铬（内外圈，滚子）→点击运行→镀膜→停机到计时→停机到计时变绿并放气→完成一次镀膜过程→打开柜门、取出零件→关闭真空室大门→按返回键→下班关机→关机倒计时→关机倒计时结束后关闭空压机、冷水机→关闭电源
注意事项：
1、开机前必须检查冷却水路无泄露，冷水机去离子水足够。
2、开机前一定要检查泵组中各泵的润滑油是否达到规定值；
3、气瓶气压是否足够；
4、真空系统密封情况是否良好：
5、沉积室内部清理干净，观察窗玻璃保持干净；
6、弧电源，离子源冷却风扇是否正常工作。
7、轴承零件在装卡时必须带手套、口罩，并注意轴承零件间距。
8、轴承零件装卡后必须先旋转转架，防止装卡不合适，无法正常旋转转架。
镀膜机操作指引
/
客户型号
/
工序号 工 序 名 称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A
001
工站名称
镀膜机操作指引
/
页数
1/10
/
作业步骤
图片
作业说明
备注
/ 镀膜机整体图示
蒸发器温控（保护）
冷阱温控（保 护）
/
镀膜机操作面板 各按钮说明
当，膜会渗到连接器的
端子上。
客户名称
/
客户型号
/
工序号 工 序 名 称
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
/
页数
6/10
/
作业步骤
图片
作业说明
备注
14.c 贴胶布
14.d
用胶布将保护盖与连接器之间 注意：胶布不可沾到电
客户名称
/
客户型号
/
工序号 工 序 名 称
21
打开盖子，取出 钢网
标准作业指导书
Standard Operation Procedure
文件编号 版本
工序编号
SOP-镀膜 A 001
工站名称
镀膜机操作指引
/
页数
10/10
/
作业步骤
图片
作业说明
备注
大约5分钟后（排完气），可以 打开Chamber密封盖子，取出钢 网，检查线与钢网接触面是否 完好；
16.d
磁控溅射镀膜机使用说明
磁控溅射镀膜机使用说明磁控溅射镀膜机是一种广泛应用于材料科学、电子制造领域的设备，通过磁控溅射技术，可以在各种基底材料上沉积一层或多层金属、非金属或半导体薄膜。
该设备主要由真空室、磁控溅射源、进样室、控制系统等部分组成。
（1）确认电源连接正常，检查真空泵、冷却循环水等设备是否正常工作。
（2）打开真空室门，将基底材料放置在样品台上。
（3）关闭真空室门，启动真空系统，将室内抽至高真空状态。
（4）打开磁控溅射源，进行预溅射清洗靶材。
（5）调整工艺参数，如溅射功率、时间、气压等，开始进行溅射镀膜。
（6）镀膜过程中，监控各种参数，如气压、电流、功率等，确保设备正常运行。
定期检查和维护设备部件，如真空泵、冷却循环水系统等。
避免在镀膜过程中触摸设备内部部件，以免造成人身伤害。
如遇设备故障或异常情况，请立即停机检查，并专业人员进行维修。
保持设备清洁和整洁，定期进行清洁和维护。
磁控溅射镀膜技术的研究始于20世纪70年代，最初是为了满足空间电子器件对抗辐射损伤的需求。
随着科技的发展，磁控溅射镀膜技术的应用领域越来越广泛，然而也存在一些问题，如薄膜应力大、耐磨性差等，需要进一步研究和改进。
磁控溅射镀膜技术的基本原理是利用磁场控制下的电场放电，使靶材表面上的原子或分子被激发后沉积到基材表面，形成一层薄膜。
具体工艺过程包括：真空泵抽气、加热靶材、加磁场、加电场、溅射沉积等步骤。
该技术的特点在于沉积速度快、薄膜质量高、适用范围广等。
磁控溅射镀膜技术在光电领域的应用主要是在太阳能电池上制备减反射膜和抗反射膜。
在光学领域，磁控溅射镀膜技术可以用来制备各种光学薄膜，如增透膜、反射膜、滤光片等。
在电子领域，磁控溅射镀膜技术可以用来制备各种电子薄膜，如半导体薄膜、绝缘薄膜、导电薄膜等。
未来，磁控溅射镀膜技术的发展趋势主要体现在以下几个方面：一是进一步完善磁控溅射镀膜技术的工艺参数，提高薄膜的质量和性能；二是研究磁控溅射镀膜技术在新型材料制备中的应用，如纳米材料、石墨烯等；三是探索磁控溅射镀膜技术在生物医学、环境治理等领域的应用可能性。
(整理)镀膜机操作说明书
关机准备：
关扩散泵——（1h后）关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。
大纲要求关机操作说明：
(1)关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。
(2)自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会在15Min左右由程序自动完成至开门。
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
四、镀膜机的日常维护
（三）安全评价的内容和分类镀膜机常见问题排查：
（2）可能造成轻度环境影响的建设项目，编制环境影响报告表，对产生的环境影响进行分析或者专项评价；1.真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。
2.真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。
（4）化工、冶金、有色、建材、机械、轻工、纺织、烟草、商贸、军工、公路、水运、轨道交通、电力等行业的国家和省级重点建设项目；3.真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
1.筛选环境影响：环境影响被筛选为三大类，一类是被剔除、不再作任何评价分析的影响，如内部的、小的以及能被控抑的影响；另一类是需要作定性说明的影响，如那些大的但可能很不确定的影响；最后一类才是那些需要并且能够量化和货币化的影响。(3)镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。
磁控溅射镀膜机使用说明
磁控溅射镀膜机使用说明
1、检查水箱液面高于冷却管，三相电指示灯，出气管放到窗外。
（推荐用纯净水）
2、放样品
a、打开放气阀，打开侧门，关闭放气阀。
（或看真空计示数）
b、升顶盖
c、放靶材，放样品，用万用表检查靶材与外壳是否短路
d、降顶画，关侧门
3、抽真空
a、手按住侧门，开机械泵，开电磁阀，开预抽阀
b、清洗Ar气管，将Ar气减压阀关闭（逆时针），将Ar气开关打向（D08－1F）清洗，示数降为零（0.1－0.2）打到关闭，打开Ar气瓶上减压阀0.2Mpa
c、当气压计小于5pa，开分子泵（先合上电源，再按运行，运行一段时间后自动停止），关预抽阀，开抽板阀
d、烘烤（约半小时），关烘烤（未做）
e、等待真空至要求值。
4、溅射
关小抽板阀，打开Ar气开关至阀控，流量设置为要求值（文献），调节抽板阀令腔内气压至工作气压（文献Ar气压）20pa
打开偏压电源（直流），打开基底挡板，清洗基底（清洗完关基底挡板）。
恒电流：
打开射频电源，调节功率至要求值，打开靶材挡板，开始溅射。
射频电源要令Pr尽可能至零（调节LOAD，TUNE调占空比）。
打开基底挡板，开始溅射。
5、停机
溅射完，关射频电源off,流量调至0，关Ar气至关闭，打开抽板阀，抽真空1小时。
关抽板阀，关分子泵（先按STOP，一直到示数为0，再关闭电源），关电磁阀，关机械泵。
6、关气瓶（主）
注意：
1、不允许真空状态下，打开顶盖升降。
2、不允许分子泵，运行时，打开充气阀。
3、Ar气减压阀，一定逆时针关闭后才能清洗Ar气管。
镀膜机安全技术操作规程
镀膜机安全技术操作规程一、安全技术操作规程概述本安全技术操作规程适用于镀膜机的操作与维护，旨在加强人员安全意识，确保工作环境安全，提高工作效率。
所有操作人员必须严格遵守本规程的各项要求。
二、工作前的准备1. 检查设备在开始操作之前，操作人员应仔细检查镀膜机的各项设备是否完好，特别是相关传感器、电缆与管路等是否松动或破损。
2. 确认工作区域清洁操作人员应确保工作区域干净整洁，避免有杂物或其他障碍物存在。
3. 穿戴个人防护装备进行镀膜机操作前，操作人员必须穿戴符合安全标准的个人防护装备，包括防滑鞋、防护手套、护目镜、防护服等。
4. 检查电源与紧急停止装置操作人员应检查所用电源是否正常，并确保紧急停止装置处于可正常使用状态。
5. 准备工作文件操作人员应将操作手册、设备维护手册、应急处置手册等相关文件整理齐备，并放置在易于取阅的位置。
三、操作规程1. 操作前确认操作人员在开始操作之前，应确保工作区域内没有其他人员，以免造成人身伤害。
2. 启动设备操作人员应按照操作手册的要求，依次启动镀膜机的各系统，并确保各个系统正常工作。
3. 参数设定根据所要进行的镀膜工艺要求，操作人员应在操作界面上设定相应的参数，并确保参数设置正确无误。
4. 工艺样品制备操作人员在进行正式镀膜之前，应上传工艺样品，进行预试验以验证设定参数的正确性。
5. 操作过程监控在镀膜过程中，操作人员应始终关注设备运行情况，特别是注意各个系统的工作状态，以及可能发生的异常情况。
6. 操作中禁止（1）禁止用手触摸正在运转的设备，以免发生意外伤害。
（2）禁止在设备工作过程中随意调整参数，以免影响正常运行。
（3）禁止在设备运行过程中将其他物品放置在设备上，以免堵塞管路或导致设备故障。
7. 预警与处理操作人员在发现任何异常情况时，应立即停止设备运行，并按照应急处置手册的要求采取相应的措施。
8. 操作结束操作人员在完成镀膜工艺后，应按照操作手册要求，依次关闭设备的各个系统，并进行清洁和维护。
镀膜机安全操作规程
镀膜机安全操作规程
《镀膜机安全操作规程》
一、操作前的准备
1. 操作人员必须穿戴合格的防护服和耐酸碱手套，并佩戴护目镜和防毒面具。
2. 确保镀膜机的各项设备正常运转，无异常声音或异味。
3. 对镀膜机进行周围环境的检查，清除周围杂物，并确保通风良好。
二、操作中的注意事项
1. 操作人员需熟悉镀膜机的操作流程和规定，严格按照操作手册的要求进行操作。
2. 确保所使用的化学药品符合标准，并按照规定的比例进行混合。
3. 镀膜机操作过程中禁止随意触摸设备各部件，避免发生意外伤害。
三、紧急情况的处理
1. 如发生镀膜机设备故障或泄漏现象，应立即停止操作，迅速撤离现场，并通知相关人员及时进行处理。
2. 如遇火灾或有害气体泄漏等紧急情况，应按照应急预案进行处理，确保人员安全撤离并报警求助。
四、操作后的整理
1. 操作结束后，及时清洁和检查镀膜机设备，确保各部件的完好无损。
2. 对操作过程中产生的废弃物和化学药品进行规范处理，保证环境卫生和安全。
五、个人防护
1. 操作人员必须经过相关培训并持证上岗。
2. 操作过程中，不得穿戴宽松的衣物和首饰，避免发生危险情况。
六、违规处罚
1. 对违反镀膜机安全操作规程的人员，一经查实，将按照公司相关规定进行违规处罚及培训，严重者将追究法律责任。
以上规程严格按照公司标准制定，希望每一位操作人员都能严格遵守，确保安全生产。
镀膜机操作规程
镀膜机操作规程为了保证镀膜机的正常安全的运行，确保操作人员的人身安全。
现将镀膜机的操作规程作如下规定：在预热开机前必须首先打开冷却水的循环水泵和空压机电源，确保冷却水和压缩空气的正常。
然后检查所需预热机号的冷却水循环和压缩空气是否正常，扩散泵电炉是否就位等相关事宜。
待上述事项检查都没有问题后才可对机器进行预热、生产。
预步骤如下：1、预热打开总电源，启动机械泵：必须点动两到三次后方可将机械泵处于正常运转状态，此时所有阀门都处于关闭状态。
然后打开前级阀、打开真空检测计。
当前级真空达到5.0Pa以下就可打开扩散泵对其进行预热，此时前级阀门应该处于打开状态。
扩散泵预热时间正常在90分钟左右，最终以泵体的实际温度为准。
若超过90分钟还没有达到正常的炉温应立即检查电炉丝、循环水等相关事项，一旦发现问题应立即停止预热并通知相关人员加以解决。
2、生产当炉温达到正常温度时就可对真空室放气，装上工件（内管），装管完毕后关闭真空室门并将门锁死，此时关闭放气阀门，打开预抽阀门对真空室进行预抽真空，当真空达到10Pa以下便可开高阀进行精抽。
步骤如下：并闭预抽阀门(此时至少停顿两秒以上！以防止阀门关闭不严造成气体串流而造成伤害)，打开前级阀门，打开高阀。
当真空达到规定的本底真空时即可进行镀膜。
3、放气取件镀膜完毕后必须对真空室进行充气（即所谓的放气）。
此时首先关闭气体流量单元，关高阀(此时前级阀必须是打开的)，此时必须观察真空计的真空室测量规管，看真空度是否回升，当真空度回升到4.0×10-2Pa，前级真空度比镀膜时要低时，才可关闭真空测量计打开放气阀对真空室进行充气。
以上条件和缺少一个都不能对真空室进行充气。
4、3#机在实际操作中，将阀门打到前级时必须同时关闭前级的拔动开关，以防止前级阀门没有关死。
5、4#机在刚开机时，最好不要按自动运行按钮，此时如果自动运行可能会直接打开高阀，这样必然会出现故障。
解决办法为：关闭控制柜上的控制电源的总开关并停顿几秒钟后再重新打开总电源，并打开所有应该打开的部分（维持泵、扩散泵），便可自动运行。
镀膜机操作步骤
镀膜机操作步骤1、打开冷却水开关、空压机开关（空压机红色按钮向上拔为打开，向下按为关闭）和镀膜机总电源开关。
2、将玻璃基板至于样品托中，导电一面向下，刻蚀带一侧靠近样品托蓝色线条一侧。
3、预处理室放气，待放好气后拧紧放气阀，打开预处理室仓门，将样品托放在推拉杆上，关闭仓门。
4、打开机械A、机械B泵及四个真空计。
5、基片预处理：打开角阀，当预处理室真空度达到 2.0E1 ～5.0E1 (2.0×10～5.0×10)Pa时，关闭角阀、打开真空蒸镀室角阀。
打开直流溅射电源、再按下启动按钮，调节电流0.020-0.025A，轰击10分钟，将电流调节至0A，按下停止按钮，关闭电源。
6、打开A泵，角阀，待度达4.0E0以下时，即当两边真空气压基本相当的的时候（约十分钟），关闭角阀，A阀，打开蒸镀室与预处理室之间的闸板阀（顺时针方向开，逆时针方向关），检查旋转台下的挡板，一定要将挡板放在恰当位置。
样品传送至蒸镀室，用机械手抓取样品托，并保持在机械手上；然后将推拉杆拉回至预处理中，关闭闸板阀；降低蒸镀台与机械手平齐，将样品托轻轻推入蒸镀台下方的样品托导引槽（上方导引槽）。
7、当蒸镀室真空度达到1.2E1（1.2×10） Pa以下时，关闭角阀、机械A泵。
打开闸板阀，将蒸镀室抽高真空至7.0E-4Pa（约2个小时）。
8、插入掩模板：将样品升降电源调到手动，将蒸镀台旋转180度（用皮带精确定位），用升降盒使蒸镀台最下方的掩模板导引槽与掩膜版库轨道，至于同一水平线上，用机械手将掩膜版轻轻推至蒸镀台的掩模板导引槽。
（注意机械手用完一定要挂起）9、蒸镀过程：打开快门总开关，膜厚测试仪（F1是清零，F5是开始或停止）放样品托的架子升最高，且旋转。
打开PID（束源炉）开关，调节温度，依次蒸镀相关材料，制备OLED器件。
10、若继续实验，打开机械A泵、预处理室角阀，至预处理室真空度达到4.0E0（4.0×1） Pa以下，同时将掩膜版归位，用机械手将样品托取下。
镀膜机安全技术操作规程
镀膜机安全技术操作规程镀膜机是一种常用的表面涂覆设备，用于给物体表面增加一层薄膜，提高其耐磨、防腐蚀等性能。
由于涉及到化学物品和高温等危险因素，因此在操作镀膜机时必须严格遵守安全技术操作规程，以确保操作人员和设备的安全。
以下是镀膜机的安全技术操作规程，共计2000字。
一、使用前的准备工作1.操作人员必须接受相关的安全培训和操作指导，熟悉设备的结构和工作原理。
2.检查设备的各个部位，如输送带、喷涂系统、加热系统等，确保其正常运行，并进行必要的维护和保养。
3.确认所有的安全设施完好，如安全门、安全防护网、紧急停机按钮等。
二、穿戴个人防护装备1.操作人员必须穿戴适当的个人防护装备，如安全帽、安全鞋、护目镜、防护手套等。
2.针对具体镀膜材料和工艺，选择合适的防护服和口罩。
三、操作过程中的安全控制1.在操作镀膜机前，必须确保操作区域的绝对干燥，以避免与湿气产生反应或发生事故。
2.严禁在操作过程中穿插其他人员或随意接近设备。
3.确保机器运行稳定后再进行下一步操作，以免因异常造成安全事故。
4.操作人员必须时刻关注设备运行状态，发现异常情况及时采取应急措施，如关闭设备、紧急停机等。
5.禁止在操作过程中使用手机等与操作无关的电子设备。
6.严禁将任何非操作材料放入喷涂系统，以避免发生化学反应或堵塞设备。
四、应急措施和事故处理1.设备操作过程中，如发现异常燃烧、爆炸或其他突发事故，应第一时间切断电源，并立即报警和呼叫专业人员进行应急处理。
2.若发生泄漏、溢出等事故，应密切关注涉及范围的浓度是否达到爆炸或有毒的程度，确保工作区域的人员安全，及时进行清理和处理。
3.在事故处理中，操作人员必须穿戴好个人防护装备，并按照应急预案进行处置，有条件的情况下可启动应急喷淋系统或其他应急设备。
五、日常维护和保养1.设备日常维护和保养必须由专业人员进行，如定期检查设备运行情况、清理设备内部、更换易损件等。
2.定期组织设备的安全检查和保养记录，及时处理设备的故障和隐患，确保设备的正常运行和使用安全。
磁控镀膜操作规程
磁控镀膜操作规程《磁控镀膜操作规程》一、设备准备1. 检查磁控镀膜设备的各项功能是否正常，如真空系统、控制系统、电源系统等。
2. 清洁设备表面，确保无杂物影响操作。
二、镀膜工艺参数设置1. 根据所需镀层材料，设定合适的工作压力、工作温度和镀层厚度等参数。
2. 确定镀膜目标和生产量，设置时间参数，确保生产效率和镀层质量。
三、镀膜前处理1. 将待镀物清洁干净，去除表面油污和杂质。
2. 确保基材表面光洁度和粗糙度符合镀膜要求。
四、真空抽气1. 打开真空系统，将系统内的气体抽出，建立所需的真空环境。
2. 监测真空度，确保达到镀膜所需的真空度。
五、镀膜操作1. 将基材放置于镀膜室内，确保均匀分布。
2. 打开镀膜源和辅助源，开始镀膜过程。
3. 定时监控镀膜厚度和表面质量，调整工艺参数确保镀层均匀、致密。
六、室内排气1. 镀膜结束后，关闭镀膜源和辅助源，开始排气。
2. 确保室内气体排净，避免对环境造成影响。
七、镀膜后处理1. 将镀好的物品取出，进行表面检查和包装2. 清理设备，做好设备保养和维护。
八、安全注意1. 操作人员需穿戴好相关防护用具。
2. 遵守设备操作规程和安全操作流程。
九、记录和报告1. 记录镀膜工艺参数和设备运行情况。
2. 发现异常情况及时报告并做好记录。
十、设备关机1. 关闭设备电源和真空系统，确保设备安全关机。
2. 清理操作区域，确保整洁。
以上即为《磁控镀膜操作规程》，请操作人员严格遵守规程，确保镀膜操作顺利进行，生产出优质的镀层产品。
镀膜机安全技术操作规程模版
镀膜机安全技术操作规程模版安全技术操作规程模板第一章总则第一条为了确保镀膜机的安全操作，保护操作人员的人身安全和设备的正常运行，制定本安全技术操作规程。
第二条本规程适用于所有使用镀膜机的操作人员，包括操作人员、维修人员等。
第三条操作人员在操作前必须熟悉本规程的内容，并按照要求进行操作。
第二章操作前的准备工作第四条操作人员在操作前应穿戴好个人防护装备，包括安全帽、眼镜、防护鞋等。
第五条检查镀膜机各部位的运行状态，确保设备的正常运行。
第六条检查镀膜机的电源线是否连接牢固，各电器设备是否正常。
第七条检查镀膜机工作区域是否清洁，无杂物和障碍物。
第八条确保机器的周围有足够的通行空间和安全操作空间。
第三章操作规范第九条操作人员必须按照镀膜机的操作指南进行操作。
第十条操作人员禁止擅自拆卸镀膜机的任何部件，如需维修应由专业维修人员进行。
第十一条操作人员禁止将手指或其他物体伸入机器内部。
第十二条操作人员在操作过程中应经常检查设备的运行状态，发现异常应立即报告。
第十三条操作人员禁止在机器工作过程中插拔电源。
第十四条镀膜机工作时应保持设备稳定，禁止拍打或撞击设备。
第十五条禁止在操作过程中吸烟、喷洒易燃物品等危险行为。
第十六条在操作过程中如遇突发情况，操作人员应立即停止操作，并采取相应的应急措施。
第四章紧急情况处理第十七条在发现设备出现异常或故障时，操作人员应立即停止操作，并通知维修人员进行维修。
第十八条在发生火灾或其他紧急情况时，操作人员应立即拉下紧急停止开关，并迅速撤离现场。
第十九条在使用灭火器进行火灾扑灭时，应站在风向反方向进行扑灭。
第二十条在紧急情况处理结束后，必须详细记录事故情况，并进行事故分析，查明事故原因。
第五章操作后的清理工作第二十一条操作结束后，操作人员应关闭所有电源开关，并拔掉电源插头。
第二十二条清理机器工作区域，清除杂物和障碍物。
第二十三条对设备进行常规维护和保养，确保设备的正常运行。
第六章处罚措施第二十四条违反本规程的操作人员，根据情节的严重程度，采取相应的处罚措施，包括批评教育、停工整改、责令离岗等。
镀膜设备操作规程
镀膜设备操作规程镀膜设备操作规程一、镀膜线旋转A型架操作1、操作1.1、开机：上下片台旋转A型架的电源取自上下片台相应的急停开关后，当上下片台正常工作时，合上旋转A型架控制箱内的空气开关，上下片台旋转A型架即可得电工作。
1.2、A型架选择：旋动A型架控制柜上的A型架选择旋钮，选择1号架和2号架，则选定的A型架可以工作。
下片台A 型架控制箱，此旋钮只有一个有效位置。
1.3、前进后退：按动A型架控制柜上的相应按钮，1号架或2号架就会相应地向南或向北移动。
松开按钮，A型架会缓慢停止。
当A 型架移动到限位时，A型架会自动停止。
1.4、对位：当A型架运动到限位时，只能退回，不能继续前进。
如果位置不对，将A型架返回，再次无停顿地前行至自然停止即可。
当A型架运动到装卸位时，HEGLA操作屏上相应的A型架到位（rack in position）灯点亮，表明A型架确实到位，可以进行上片操作。
1.5、当上下片台机械手在对A型架进行取片的过程中，不可移动该A型架。
1.6、强行：强行按钮只在维修时使用。
1.7、关机：关闭控制箱中的空气开关；当上下片台关机时，A型架将自动关机。
2、注意事项2.1、A型架运动到装卸位并准备进行装卸时，必须将固定销销上。
2.2、移动A型架时必须注意观察A型架的实际位置，不要使A型架冲出限位。
2.3、在A型架上放置空箱时需要注意：2.3.1 A型架中部，即旋转部位，严禁垫放木块或其他支撑；2.3.2其他位置垫放支撑不得高于固定支撑；2.3.3检查空箱是否按照A型架固定支撑的位置垫放马粪纸；2.3.4移动过程中，必须保持A型架AB面固定，插上插销后方可进行。
二、镀膜线上片台操作1、开机首先将电源柜主电源开关（MAIN SWITCH）旋转到1位，然后按下电源控制启动按钮（CONTROL POWER ON）。
此时电源柜顶部左侧红色指示灯不停地闪，大约一分钟后，红色指示灯熄灭，电源柜顶部右侧和操作控制台的红色和绿色指示灯同时亮，按下复位键（RESET EMO），红色指示灯熄灭，绿色指示灯仍亮，显示进入自动控制状态（如果电源柜顶部右侧和操作控制台的红色指示灯熄灭，而黄色指示灯仍亮，说明进入手动状态）。
镀膜机操作规范2023
行政部□
高压□
PMC部□
浸染□
品质部□
镀膜部□
业务部□
丝印部□
项目部□
淋涂□
采购部□
全检部□
资材部□
财务部□
CNC部□
生效日期
批准
审核
制订
修 改 履 历
版次
变 更 内 容
作者
日期
A0
新制订
1.目的：
指导员工采用正确的方法镀膜操作，以确保人身安全和设备良好。
2.职责：
1）生产班长负责新进员工整体技能的培训及考核。
7.1《镀膜机点检记录表》
3.2.4当CM1、CM14腔室压力在3000Pa以下时，点开RP1.2和RP5.2罗茨泵，当
CM2-CM13腔室压力在500Pa以下时，依次点开RP2.2-RP4.2罗茨泵。
3.2.5待各腔室的真空度均达到5Pa以下时，依次点开FV2.1-FV11.3分子泵，待分子泵有转数显示时，关闭插板阀SV2、SV5。
3.2.6待镀膜腔室真空度达到10-1数量级时，开机步骤基本完成，待真空度达到所需即可调试生产。
3.3注意事项
3.3.1要注意中间罗茨泵的开启顺序。
3.3.2要注意各抽气阀的开启顺序。
3.3.3分子泵开启5分钟后应检查分子泵体的温度是否正常。
3.3.4各靶电源开启后要经常检查靶冷却水的温度。
相关表单：
2）生产主管负责员工上岗前的考核确认。
3.参数设置：
2.职责：
1）生产班长负责新进员工整体技能的培训及考核。
2）生产主管负责员工上岗前的考核确认。
3.作业内容：
3.1.1确定各外围设备空调、空压机、冷冻机组、工艺冷却水都是开启的，检查工艺水压、气压是否正常。
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(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
(4)换钨丝：钨丝一般情况下6-8次换一次，即每天下班的时候需要换钨丝。
(5)换铝丝：铝丝在确定长度的情况下，需要对折2次，铝丝不能拧紧在一起，也不能太松散，只要4根铝丝靠在一起就行。
(6)精抽阀关掉后，一般需要等10S左右的时间再按下工作室放气——主要这时硅管刚处于高温发红的状态，空气过早的进入会氧化硅管，10S后硅管冷却后再按下工作室放气。
二、真镀操作
1.真镀操作流程：
换钨丝——换铝丝——上产品——关门——关前置阀——开启粗抽阀——（至J5灯亮）关粗抽阀——开前置阀——开精抽阀——（至J6灯亮）开蒸发开关——调节蒸发电流——蒸发电流复位——关蒸发开关——关精抽阀——（10S左右后）按下工作室放气——开门。
2.操作说明：
(1)以上过程为手动操作的过程。
一、真镀前准备
1、开机前准备操作：
气路——水路——开电源总闸——按下电源控制——开启真空计——开启粗抽泵——开启前置阀——（J1灯亮）开启扩散泵。
2、操作说明：
1.气路开启：开启楼而压力不到就进行其它的操作容易导致开前置阀时，虽然显示前置阀开启，但是前置阀却实际为关闭的——阀门的开启与关闭主要靠压缩空气驱动。
4.一般每次还完扩散泵油以及粗抽泵油后，都需对蒸发的参数进行略微的调整。
5.当改变镀的种类如由镀铝改为镀铬时，需要重新设置蒸发的参数。
6.蒸发过程的参数在触摸屏上面可以直接设置，需要密码验证，密码：8031.
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
(3)镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。
四、镀膜机的日常维护
镀膜机常见问题排查：
1.真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。
2.真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。
3.真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。
4.真镀产品上面有黑点一般是由于真镀腔体内不干净而造成的。
5.真镀产品上面有铝颗粒——即飞铝现象一般是由于熔融电压过大或者熔融保持时间过长造成的。
6.蒸发过程中有掉表——即真空度下降的情况，一般是由于扩散泵油有烧坏的情况、或者漏气以及腔体太脏的原因。
三、关机准备与关机
关机准备：
关扩散泵——（1h后）关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。
关机操作说明：
(1)关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。
(7)J5、J6的上限设置详见真空计使用说明。J5上限设置为一般为5.0的0次方，J6的上限设置为一般为5.0的-2次方。J5灯亮即为粗抽转精抽的标志，J6灯亮即为可镀的标志。J6的上限设置越小，镀出来的产品一般越亮。目前镀膜机的设置为4.0的-2次方，实验室镀膜机最小抽真空能力为2.0的-2次方左右。