光纤直接连接型MEMS光开关的设计方法研究
微波MEMS开关技术研究
第８第 期 ２ ４ 卷
誊 戡 ； 纂 篱
鞭毫
２ ｌ
绝 缘 介
图 １ 并联电容式膜开关的示意 图
信 号 线 地 电 极
（ ａ）开 关 处 于 导 通 状 态
图 ２ 微 波 信 号 传 输 示 意 图
（ ｂ）开 关 处 于 断 开 状 态
关 和工艺流片， 完成 了验证样品的研制。
分析了影响开关响应速度 的几个重要 因素 ， 确定
２微 Ｍ ｓ关 计 术 究 了 波 Ｅ 开 设 技 研 微 Ｍ 釜
２ １ 微波 ＭＥ Ｓ开 关机 械特 性研究 ． Ｍ 通过 优化设 计 开 关 的几 何 尺 寸 和材 料 特 性 ， 中 ， 两端 支撑 的上 电极 结 构在 不 同加 载条 件 下 对
供 了一 个 在 移 相器 没 计 中用 最 小 损 耗 Ｍ Ｍ Ｅ Ｓ开
通的， 金属膜没有变形。由于金属膜和信号线之 间的间距相 当大 ， 两者之间的耦合电容就很小， 微
波信号 以极 低 的插 入损耗 通过开关 ； 当上 、 极板 下 问施 加 直 流 电压 时 ， 电 吸引 力 使 膜 向下 偏 移 。 静
数性 能达到 了设计要 求。 关键词 微波 Ｍ Ｍ Ｅ Ｓ开关 信号 传输 微 细加 工
１ 引 言
微波 Ｍ Ｍ 开关是工作在射频到毫米波（ ． ＥＳ ０ １ Ｈ 一１ Ｇ Ｚ 频率下的微机械开关 ， ＧＺ ０ Ｈ） ０ 其可动部
件是 利 用 微 加 工 技 术得 到 的 ， 有 极 低 的损 耗 。 具
用于射 频领域 的 ＭＥ ＭＳ开 关 ， 早是 由 Ｋ ｚ Ｐ — 最 ． ．ｅ
基于三维微光机电系统光开关的研究
设计光学 系统时 ， 我们采用对称共焦光学系统 。即光束 束腰 正好处于光学系统的中心 ， 瞄准仪的准直透镜 对输 这样 入输 出端 口具有相 同的放大倍数 ， 而能补 偿光学 发散 ， 从 因
而具有 高的耦合效率 、 并且具有较大的装 配公差 。此外束腰
硕士研 究生
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关 键 词 ： 型 光 机 电 系统 ； 分插 复 用 器 ； 开 关 ； 交叉 连 接 ； 网络 ； 微 光 光 光 光 波分 复 用 中 图分 类号 ￣ ９ ９ ｌ ＴＮ ２ 、 文献标识码 ： Ａ
０ 引言
随着通信数据量的急剧增加和波分复用技术 （ Ｍ） ＷＤ 的
２ 新 型微镜 反射 型三维 ＭＥ ＭＳ光 开关 结构 和工 作
大容量 的光开关结构 ， 并与常规 结构的三维微光机 电系统的光开关进行对 比， 在保证设 计参数 不变的情况下 ， 保证
系统全连接的情 况下， 可以减 少微镜的最大偏转 角， 而实现快速的光路切换 ， 从 并且采用静 电梳状 微致动 器能进 一
步 降低工作 电压 ， 实现低 功耗 和快速 的交叉连接 ， 并对 系统设计需 注意的事项进行分析 。
反射到回射器 ， 经由回射器反射到第二个反射镜阵列的微反
射镜 ， 微反射镜对准光束 瞄准仪变成输出光。这里 任意光束 进入回射器将平行反射 回来 ， 但是具有确定的位置 平移。和 普通的平面镜相 比， 最基本 的不 同在于 ， 回射器具有“ 行位 平
图 Ｉ 三维微光机电系统大型多端 口开关结构 图
原 理
发展 ， 促进 了全光 网络的发展。作为全光 网核心器件 的光交
叉连接 （ Ｃ 和光分插复用器（ Ａ Ｍ）其关键技术在 于光 ０ｘ ） Ｏ Ｄ ，
mems光开关原理
mems光开关原理MEMS光开关是利用微型机械系统以及光学元件来控制光在通信系统中的传输，其原理主要是通过控制光学元件中的光路和波导，实现光信号的开关和控制。
本文将对MEMS光开关的原理进行详细介绍。
一、MEMS光开关的原理MEMS光开关是一种基于微机械系统和光学器件的光开关技术，其基本构造包括驱动电极、弯曲驱动膜、静电力电极、波导、反射镜等。
波导是在芯片上制造的，用于传输光信号；反射镜则是用来将光信号从一个波导转移到另一个波导。
在光学元件上会有一个电极，这个电极有两种状态，一种是关闭状态，一种是打开状态，这两种状态可以由微型加热器和电流进行控制。
MEMS光开关的工作原理是，当加上电压时，静电作用力会产生引力，将反射镜向波导方向平移。
由于光线的绕射效应，反射镜的平移可以改变光线的传输路径，使其从一个波导转移到另一个波导，实现光信号的开关和控制。
二、MEMS光开关的分类MEMS光开关根据其工作原理的不同可以分为机械光开关和全光开关两种类型。
1. 机械光开关机械光开关是使用微型机械系统来控制光的路由。
在机械光开关中，电极位置和反射镜之间的距离决定了光的路径，这种开关在路由时需要较大的功率和时间。
机械光开关主要用于制造低成本的和切换速度较慢的光开关器件。
2. 全光开关全光开关是利用非线性光学材料在电场作用下产生的折射率变化来控制光路的开关，光的传输不需要机械部件作为介质。
全光开关可以通过较小的功率和时间进行光路的路由和控制，因此速度比机械光开关快很多。
全光开关主要用于制造高速，高功能的光开关器件。
三、MEMS光开关的优缺点MEMS光开关的优点主要有以下几个方面：1. 小型化MEMS光开关器件可以在单个芯片上制造，由于微型机械系统集成技术的进步，器件尺寸越来越小，已经可以制造出毫米级别的MEMS光开关器件。
2. 具有较快的切换速度MEMS光开关器件的开关速度快，可以从纳秒到毫秒的时间范围内，可以快速实现光信号的切换和控制。
MEMS的设计
非线性分析——考虑材料和几何、边界和单元的非线性 因素，当材料在达到初始屈服极限时，往往还有很大 潜力，采用非线性分析会得到有效的结果 热传导分析——计算出结构内的热分布状况 流体/固体耦合分析——解决流体和结构之间的互相作 用效应，NASTRAN拥有流/固体耦合法、非弹性流体单 元法、虚质量法等方法 空气动力弹性及颤振分析——气动、惯性及结构力间的 相互作用，NASTRAN可作静态和动态气弹响应分析、颤 振分析及气弹优化。
时间T
l 2 l F F=[l ] 3 l 4 l
1
a=F/M
l1 l 2 2 1 l 3 l F 3 1 F 3 a [l ][l ] [l ][l ] 3 [l ] 0 l l 4 1 l l
3、ANSYS、NASTRAN程序简介
(1)ANSYS在MEMS设计中的应用
模块——结构、电磁、热传导、声学、流体动力学等
多物理场耦合问题
•直接耦合方法——受到耦合许可的限制 •序贯耦合方法——对一个物理场进行分析后，将结 果输入到随后的另一个物理分析中，只要非线性程 度不高，序贯耦合分析是有效的
1、MEMS的CAD
三、 MEMS的CAD与仿 真
目的：设计阶段比较方案，检验掩模/工艺可行性
特点： 1.微小结构尺寸
•尺度效应对工作机理的影响 •晶体内部结构对材料性质的影响
2.MEMS制造工艺
•工艺可能改变材料机械/电性质 •与微电子联系紧密
3.多能量域耦合
•要求知识学科跨度大 •建模、分析难度大 •计算量大
静力分析——与时间无关（或可忽略）的静力载荷（如 集中/分布静力、温度载荷、强制位移、惯性力等）下 的响应，并得出所需节点位移、节点力、约束（反） 力、单元内力、单元应力和应变能等 动力学分析——瞬态响应、振动模态、 冲击谱、动力 灵敏度、声学分析等。阻尼类型、动力定义方式类型 决定其分析能力。 屈曲分析（稳定性分析）——确定结构失稳临界载荷
光开关的原理及种类
•一、前言光纤通信技术的问世和发展给通信业带来了革命性的变革，目前世界大约85％的通信业务经光纤传输，长途干线网和本地中继网也已广泛使用光纤。
同时，密集波分复用(DWDM)技术的发展和成熟为充分应用光纤传输的带宽和容量开拓了广阔的空间，具有高速率、大带宽明显优势的DWDM光通信网络已经成为目前通信网络发展的趋势。
特别是近几年，以IP为主的Internet业务呈现爆炸性增长，这种增长趋势不仅改变了IP 网络层与底层传输网络的关系，而且对整个网络的组网方式、节点设计、管理和控制提出了新的要求。
一种智能化网络体系结构—自动交换光网络(ASON：automatic switched optical networks)成为当今系统研究的热点，它的核心节点由光交叉连接(OXC：optical cross connect)设备构成，通过OXC，可实现动态波长选路和对光网络灵活、有效的管理。
光交叉互连(OXC)技术在日益复杂的DWDM网中是关键技术之一，而光开关作为切换光路的功能器件，则是OXC中的关键部分。
光开关矩阵是OXC的核心部分，它可实现动态光路径管理、光网络的故障保护、波长动态分配等功能，对解决目前复杂网络中的波长争用，提高波长重用率，进行网络灵活配置均有重要的意义。
光开关不仅是OXC中的核心器件，它还广泛应用于以下领域。
（1）光网络的保护倒换系统，实际的光缆传输系统中都留有备用光纤，当工作通道传输中断或性能劣化到一定程度，光开关将主信号自动转至备用光纤系统传输，从而使接收端能接收到正常信号而感觉不到网路已出了故障，其会将网络节点连成环形以进一步改善网络的生存性。
（2）网络性能的实时监控系统，在远端光纤测试点，通过1×N多路光开关把多根光纤接到光时域反射仪上，进行实时网络监控，通过计算机控制光开关倒换顺序和时间，实现对所有光纤的检测，并将检测结果传回网络控制中心，一旦发现某一路出现问题，可在网管中心直接进行处理。
了射频微机电系统(MEMS)开关技术的最新进展及其优势
了射频微机电系统(MEMS)开关技术的最新进展及其优势数字测试、仪器和无线通信领域的新兴应用需要高性能的开关产品。
未来的应用将延续这一趋势——需要更宽的带宽、更低的损耗、更高的电阻可重复性和更高的线性度。
以TeraVicta 为代表的开关产品供应商将继续利用MEMS开关技术的优势，推动新一代开关产品的发展，满足最新应用的需求。
关键词：射频微机电系统MEMS本文分析了射频微机电系统(MEMS)开关技术的最新进展，介绍了该技术的优势，并对最新的MEMS产品与传统的机械式和机电式继电器和开关进行了对比。
一直以来，消费者对更快的处理器速度与更高的数据通信速率越来越高的要求促使人们不断提高电子器件的性能。
这一推动力遍及各个方面，已经成为电子行业的基本特点——从设备供应商到元件制造商和系统集成商。
到目前为止，已有开关技术的性能基本上能够满足开关性能增长的需要，开关制造商在很大程度上没有十分迫切的性能需求。
但是，电子行业若干关键领域中的一些重要应用正要求大幅度提高开关的性能。
这些应用包括测试与仪器设备，以及无线手持设备与基础架构等。
新的挑战开关技术面临的新挑战主要来源于测试与仪器领域，其中新一代IC器件的时钟与数据速率已经超过了1Gbps，这是大多数已有自动测试设备(ATE)的最高性能。
由于新一代高性能ATE 系统往往价格昂贵，研发时间很长，因此器件制造商不得不充分利用现有的工作——通常采用负载板上的开关网络构成“环形”通路，用待测器件(DUT)进行自我测试(如图1所示)。
图1：环路测试原理图。
这些应用需要低损耗、高带宽的开关(用于环路)，同时提供较高的可重复性和较低的电阻(用于连接ATE系统内高精度的参数测试电子元件)。
随着电子器件I/O引脚数量的增加，负载板上的空间局限性也越来越大，这反过来又要求开关元件必须同时缩小尺寸，提高性能。
尽管新一代ATE系统有望能够满足当前的测试需求，但是随着时钟频率和数据速率的增大、信号电平的下降(在更高的时钟速率下降低功耗)和元件引脚数量的不断增加，人们对信号完整性的要求越来越高。
运用光电三极管原理设计光电开关实验方案
光电开关可以输出多种形式的开关量信号 ，如NPN、PNP、常开、常闭等，方便与 不同控制系统的接口连接。
04
实验方案
实验器材准备
光电三极管：选择适当型号的光电三极管，具 有高灵敏度和快速响应特性。
01
电源：为光电三极管和光源提供适当的电 压和电流。
03
02
光源：使用LED或激光器等光源，提供稳定 的光照条件。
最终输出开关控制信号。
实验数据分析
在实验过程中，我们记录了不同光照条件下的光电三极管 输出信号，并对其进行了详细的分析。实验结果表明，该
光电开关具有较高的灵敏度和稳定性。
实验不足与改进方向
不足之处
实验环境较为理想化，未考虑实际应 用中可能存在的干扰因素，如环境光
、温度变化等。
对于某些特殊光照条件（如强光、弱 光等），光电开关的性能表现可能不 够理想。
结果
03
讨论实验中遇到的问题、解决方案以及实验的局限性
和改进方向
02
光电三极管原理
光电三极管结构
01
02
03
基极
光电三极管的基极通常由 光敏材料制成，负责接收 光线并产生光电流。
发射极
发射极是光电三极管的电 流输出端，与基极之间形 成电流通路。
集电极
集电极是光电三极管的电 流输入端，与发射极之间 通过负载电阻连接。
重复性测试
在相同实验条件下进行多次测量，结果表明 光电三极管的输出稳定性良好，具备较高的 可重复性。
实验结论
01
光电三极管原理验证
通过实验结果分析，验证了光电三极管能够将光信号转换为电信号的原
理，为后续的光电开关设计提供了理论支持。
02
实验数据与理论预期相符
mems光开关的控制
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System s，微机电系统）是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型器件或系统。
而MOEMS是 Micro-Opto-Electro- Mechanical Sy ST em的缩写，意为微光机电系统，把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。
微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感等多个方面。
随着光通信的快速发展，作为光网络节点的光互连与光交换的地位越来越重要。
光交换器件是以光为核心实现光的通断和交叉连接的系统部件，不存在光电转换。
MEMS光开关具备了低损耗和高稳定的优点，且与传输的数据速率和信号协议无关。
实用化的MEMS光开关原理十分简单，其结构实质上是一个二维微镜片阵列，当进行光交换时，通过移动或改变镜片角度，把光直接送到或反射到光开关的不同输出端。
MEMS光开关是利用机械开关的原理，但又能像波导开关那样，集成在单片硅基底上，因此兼有机械光开关和波导光开关的优点，同时克服了它们所固有的缺点。
MEMS光开关响应速度和可靠性大大提高，插入损耗和串音低，偏振和波长相关损耗也非常低，对不同环境的适应能力良好，功率和控制电压较低，并具有闭锁功能。
2 MEMS光开关控制原理2.1 MEMS光开关简介典型的MEMS光开关器件可分为二维和三维结构。
二维MEMS的空间旋转镜通过表面微机械制造技术单片集成在硅基底上，准直光通过微镜的适当旋转被接到适当的输出端。
微铰链把微镜铰接在硅基底上，微镜两边有两个推杆，推杆一端连接微镜铰接点，另一端连接可平移梳妆电极。
转换状态通过调节梳妆电极使微镜发生转动，当微镜为水平时，可使光束从该微镜上面通过，当微镜旋转到与硅基底垂直时，它将反射入射到它表面的光束，从而使该光束从该微镜对应的输出端口输出。
MEMS开关基本原理及性能优势
MEMS开关基本原理及性能优势过去30年来，MEMS开关一直被标榜为性能有限的机电继电器的出色替代器件，因为它易于使用，尺寸很小，能够以极小的损耗可靠地传送0 Hz/dc至数百GHz信号，有望彻底改变电子系统的实现方式。
这种性能优势会对大量不同的设备和应用产生重要影响。
在MEMS开关技术的帮助下，很多领域都将达到前所未有的性能水准和尺寸规格，包括电气测试与测量系统、防务系统应用、医疗保健设备。
图1 ADI MEMS开关技术目前的开关技术都或多或少存在缺点，没有一种技术是理想解决方案。
继电器的缺点包括带宽较窄、动作寿命有限、通道数有限以及封装尺寸较大。
与继电器相比，MEMS技术一直就有实现最高水平RF开关性能的潜力，其可靠性要高出好几个数量级，而且尺寸很小。
但是，难以通过大规模生产来大批量提供可靠产品的挑战，让许多试图开发MEMS开关技术的公司停滞不前。
Foxboro Company是最早开始MEMS开关研究的公司之一，其于1984年申请了世界最早的机电开关专利之一。
ADI公司自1990年开始通过一些学术项目涉足MEMS开关技术研究。
到1998年，ADI公司终于开发出一种MEMS开关设计，并根据该设计制作了一些早期原型产品。
2011年，ADI公司大幅增加了MEMS开关项目投入，从而推动了自有先进MEMS开关制造设施的建设。
现在，ADI公司已能够满足业界一直以来的需求：量产、可靠、高性能、小尺寸的MEMS开关取代衰老的继电器技术。
ADI公司与MEMS技术有着深厚的历史渊源。
世界上第一款成功开发、制造并商用的MEMS加速度计是ADI公司于1991年发布的ADXL50 加速度计。
ADI公司于2002年发布第一款集成式MEMS陀螺仪ADXRS150。
以此为开端，ADI公司建立了庞大的MEMS 产品业务和无可匹敌的高可靠性、高性能MEMS产品制造商声誉。
ADI公司已为汽车、工业和消费电子应用交付了逾10亿只惯性传感器。
浅谈MEMS在光通信及光传感中的应用
浅谈MEMS在光通信及光传感中的应用摘要：随着半导体集成技术以及机械微加工技术的发展，衍生出的MEMS技术正逐步应用到生产生活的各个领域。
本文主要介绍MEMS技术在光通信以及光传感中典型应用，MEMS凭借微小易于集成等特点，发挥出在通信及传感领域的独特优势，将成为光通信、光传感以后发展的变革性力量。
关键词：MEMS；光通信；光传感Discussion on the applications of MEMS in opticalcommunications and optical sensingSheng-yang Tong（Optical Engineering, Dalian University of Technology）Abstract: With the development of Semiconductor Integrated Technology and Mechanical micromachining,the MEMS technology is gradually applied to all areas of production and life. This article Focuses on MEMS technology in optical communication and optical sensing,with the feature of Small-scale and easy to Integrate has exerted unique advantages incommunications and sensing,and will be a revolutionary forces in the area of optical communications and optical sensing.Key words:MEMS;optical communications;optica sensing1引言微机电系统是Micro-Electro-Mechanical-System的英文缩写，简称MEMS。
基于微波光子学的f-p腔式光纤mems压力传感技术研究
基于微波光子学的f-p腔式光纤mems压力传感技术研究引言部分的内容：1. 引言概述：本篇长文将介绍基于微波光子学的F-P腔式光纤MEMS压力传感技术的研究。
随着科技的快速发展和人们对精确度越来越高的需求，压力传感器作为一种重要的传感器应用，具有广泛的应用领域和巨大的市场需求。
然而，传统压力传感技术在某些方面存在一些局限性，如精密度、稳定性和尺寸等方面。
因此，发展一种新型的压力传感器技术显得极为重要。
本文将以微波光子学为基础，并结合MEMS技术，设计和研究了F-P腔式光纤MEMS压力传感器。
2. 文章结构：本文共分为五个部分，具体结构如下：第一部分是引言部分。
主要介绍了论文概述、文章结构以及论文研究目标。
第二部分是微波光子学基础知识。
首先介绍了光纤传输原理，包括单模光纤和多模光纤，并展示了其在通信系统中的应用。
然后概述了微波光子学的基本概念，包括微波信号和光信号之间的相互转换原理。
最后，介绍了F-P腔式光纤MEMS 压力传感器的概述，包括其结构、工作原理和应用领域。
第三部分是F-P腔式光纤MEMS压力传感技术原理研究。
首先介绍了MEMS 技术的基础知识，包括MEMS的定义、发展历程以及在不同领域中的应用。
接着详细说明了F-P腔式光纤MEMS压力传感器的工作原理，包括其结构设计和工作原理分析。
最后，探讨了压力传感性能分析与优化方法研究。
第四部分是实验设计与结果分析。
首先介绍了实验的设计和搭建过程，包括所使用的设备和材料等。
然后详细描述了数据采集和处理方法，以及相应的结果展示。
最后对实验结果进行分析并进行相关讨论。
第五部分是结论与展望。
首先总结并阐述本文研究工作的贡献，并指出存在问题以及未来改进方向。
最后展望基于微波光子学的F-P腔式光纤MEMS压力传感技术在未来的应用前景。
2. 微波光子学基础知识:2.1 光纤传输原理:光纤传输原理是指通过光纤中的光信号传递和传输的机制。
一般情况下，光信号主要通过光纤的全内反射来进行传输。
第五章 光开关
光开关光开关是光纤通信中光交换系统的基本元件，并广泛应用于光路监控系统和光纤传感系统。
光纤通信器件包括光传输器件和光交换器件两大类。
波分复用光传输器件经过近几年的努力，已日趋成熟，已有一批可供使用的产品。
特别是波分复用器、波分复用光源和波分复用光放大器的巨大进步，使光传输由0-E-0转变成0-0-0，使光纤通信向全光化迈进了一大步。
但是光交换器件，包括光交叉连接器（OXC）和光分插复用器（OADM），及其基础器件——光开关，基本上还是光电混合的。
光开关已有一定的产品问世，但还不太成熟，有待进一步完善。
光开关在光通信中的作用有三类：其一是将某一光纤通道的光信号切断或开通；其二是将某波长光信号由一光纤通道转换到另一光纤通道去；其三是在同一光纤通道中将一种波长的光信号转换为另一波长的光信号（波长转换器）。
光开关的特性参数主要有插入损耗、回波损耗、隔离度、串扰、工作波长、消光比、开关时间等。
有些参数与其它器件的定义相同，有的则是光开关特有的。
1．微机电开关这是靠微型电磁铁或压电器件驱动光纤或反射光的光学元件发生机械移动，使光信号改变光纤通道的光开关。
其原理如图1和图2所示。
图1移动光纤式光开关图2 移动反射镜式光开关以上这两种器件体积较大，很难实现组成集成化的开关网络。
近年来正大力发展一种集成化的微机电系统（MEMS）开关，在硅片上用微加工技术做出大量可移动的微型镜片构成的开关阵列。
例如采用硅在绝缘层上（SOI）的硅片生长一层多晶硅，再镀金制成反射镜，然后通过化学刻蚀或反应离子刻蚀方法除去中间的氧化层，保留反射镜的转动支架。
通过静电力使微镜发生转动。
图3是一个MEMS实例，它采用16个可以转动的微型反射镜，实现两组光纤束间的4×4光互连。
图3 用16个移动反射镜光开关构成的两组4×4 MEMS开关阵列机电光开关的优点是：结构简单；插入损耗低(<2dB)；消光比高(>60dB)；隔离度好（>45dB）；而且不受偏振和波长的影响。
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学
光 纤 直 接 连 接 型 ＭＥ ＭＳ光 开 关 的设 计 方 法 研 究
４－ ＜
赵 兴海 ， 高
杨 ● 生 程永
（ 中国工程物理研究 院电子工程研究所 ， 四川 绵阳 ６ １ ０ ） ２ ９０
摘 要 ： 仿真和实验研究了一种作为高功率激光能量续断器的光纤直接连接型 ＭＥ 光开关的设计方法， ＭＳ 包括光纤对准误
ｍ ｅ ｔ Ｔｈ ｒ ｃ ｓ ｉ ｇ ｔ ｃ ｎ ｃ ｌｇ ｉ ｅ ｉ ｅ ｆｆ ｅ ｐ ｉａ ’ ｉｒ ｃ ｕ ｔ ｒａ ｅ ｉ ｖ ｓ ｉ ａ ｅ ． ｎ． ｅ ｐ ｏ ｅ ｓｎ ｅ ｈ ｉａ ｕ ｄ ｌ ｓ ｏ ｉ ｒｏ ｔｃ ｌ Ｓｍ ｃ ｏ ａ ｔ ａ ｏ ｒ ｅ ｔ ｔ ｄ ｎ ｂ ｎ ｇ Ｋｅ ｒ ｓ Ｍ ＥＭ Ｓ ｏ ｔｃ ｌ ｓ ｔ ｈ；ｈ ｇ ｏ ｒ ｌ ｓ ｒ ｏ ｐ ｉ ｇ ｃ ａ ａ ｔ ｒｓ ｉ ｓ ｉ ｅ ｃ ｕ ｔ ｒ ｌ ｓ ｒ ｅ ｅ ｇ ｙ ｗｏ ｄ ： ｐ ｉａ ｗｉ ｃ ｉ ｈ ｐ ｗｅ ａ ｅ ；ｃ ｕ ｌ ｈ ｒ ｃ ｅ ｉｔｃ ；ｆｂ ｒ ａ ｔ ａ ｏ ； ａ ｅ ｎ ｒ ｙ ｎ
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第２ １卷 第 ３期 ２０ ０ ８年 ３月
传 感 术 技
ＣＨＩ Ｓ Ｊ ＮＥ Ｅ ＯＵＲ Ｌ Ｅ ＯＲ ＮＡ ０Ｆ Ｓ ＮＳ Ｓ
报
Ａ ＴＵＡ ＯＲ Ｃ Ｔ Ｓ
Ｖｏ ． １ Ｎｏ． １２ ３ Ｍ＿Ｒ． ０ ８ Ａ ２０
ｃｅ ｃ ｉｎ ｙ，ｄ ｓｇ ｅ ｈ ｄ ｎ ｕ ｄ ｉ ｅ ｆａ ｔ ａ ｏ 。 Ｔｈ ｆｕ ｎ ｅ ｏ ｒ ｎ ｖ ｒ ｅｍ ｉａ ｉ ｎ ｅ ｔｏ ｈ ｐ ｉｅ ｅ ｉｎ ｍ ｔ ｏ ｓａ ｄ ｇ ｉｅｌ ｓｏ ｃｕ ｔ ｒ ｎ ｅｉ ｌｅ ｃ ｆ ａ ｓ ｅ ｓ ｓ ｌ ｍ ｎ ｎ ｔ ｅｓ ｌ ｎ ｔ ｇ ｃ
差对激光传能特性 的影 响、 致动器 的设计 原则 与基本性 能指 标 。光纤 对准误 差 中， 向偏移 对耦合 效率 的影响 较大 ， 横 角度偏
移的影响不 明显 。对 比了芯径 ４ ０ ０ ｍ光 纤分别与芯径 ４ ０ ０ ｍ、０ ｍ光纤 对接 的耦 合效率 ， 明芯径 ４ ０ ６０ 证 ０ ｍ光 纤与芯径 ６０ ０ ｍ光纤对接 时的耦 合效率对对准误差更加稳 健 。建立 了光纤 的等效悬臂 粱模 型 ， 讨论 了光开关中致动器的设计原则 ， 论
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