二次离子质谱法

二次离子质谱法
二次离子质谱法（Secondary Ion Mass Spectrometry，SIMS）是一种用于表面分析和薄膜分析的高灵敏度和高分辨率的分析技术。

SIMS通过将样品表面轰击高能离子，使得表面原子和分子产生剥离，并产生离子化的次级离子。

这些次级离子可以被聚焦、加速并进入质谱仪进行分析。

通过SIMS技术，可以获得准分子级别的元素和化合物的信息，包括元素的种类、含量和分布、化合物的成分和结构等。

SIMS广泛应用于半导体、电子、材料、生物和环境等领域。

同时，SIMS也经常被用于表面识别、研究表面反应、表面处理、薄膜生长等方面的研究。