CDA与特气简介
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2,连杆(2)在弹簧力作用下返回，调节阀（TV）关闭,导致中间压力为负值,膜片(4)向左移动;同 时卸荷阀（UV）打开,高压转子出口压力通过消音器(US)排放;空压机卸载运行;
2、储气桶槽
储压，稳压 缓和管道内的压力波动，减少空压机的频繁加卸载；
冷却 储气桶表面积大，压缩空气可利用其外气散热；
•转子的旋转齿间容积达到了最大，此位置齿间 容积与吸气口断开，吸气过程结束。 •同时阴阳转子的齿峰与机壳密封，齿槽内的气 体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中；
•齿间容积由于转子齿的啮合而不断减少，实现 气体的压缩，气体压力不断升高；
•齿间容积与排气口连通后即开始排气，持续 到齿末端的型线完全啮合为止；
塞气
阀
10%进气 高压排气阀
AC24V - 0.7bar
- 0.9bar
高压转子出 口
排气消音器
膜片转换阀
大气0bar
一级压缩 LP
中间压力
管网压力达到卸载压力时，电磁阀(Y1)失电，在弹簧力的作用下向下运动，
1,中间压力停止向阀腔(1)供气, 阀腔(1)中的控制压力气体通过电磁阀(Y1)和阀腔(3)向压 缩机机头进口处放空。
干燥机工作步聚
再生:当一个桶槽吸附时，另一桶槽就可以开始再生；
①，先将桶槽B2进行缓慢卸压;
②，鼓风机经过单向止回阀R3 吸取环境空气经电加热器将环 境空气加热到需求的再生温度 后经过气动二通阀K6从上而下 进入桶槽B2;
③，对B2内的吸附剂和吸附的 水分进行加热，经过气动二通 阀K4后将水气排入环境中;
排水 气体在桶槽内旋转碰撞，凝结成水滴，在桶底 积聚，通过自动排水装置排出；
INLET
OUTLET
常 温 空 气
DRAIN TRAP
3、干燥机 移除压缩空气中的水分子
图例
原理
露点控制范围
冷冻式
利用低温冷媒冷却并凝结出水份
2℃
吸附式
利用多孔性吸水材料来捕捉水气
-20 ~ - 70 ℃
无热再生
有热再生
膜片转换阀
0 bar
排气消音器
管网压力降低到加载压力时，电磁阀（Y1）得电向上运动; 1,中间压力进入阀腔（1）, 该压力比阀腔（3）的压力高，摧动加载活塞克服弹簧力向右运动; 2,在连杆上的调节阀（TV）随同也打开;而卸荷阀（UV）同时关闭;空压机加载运行;
空压机卸载运行：
K04
加
电磁阀
载 活
进
CDA系统与特气简介
内容提要
一. CDA的特点 二. CDA设备组成 三. CDA管网 四. 厂内特气
一、CDA的特点
• CDA：–Compressed Dry Air –Clean Dry Air
Air 外界空气
Compressed 压缩
Clean 洁净
Dry 干燥
压力 颗粒，油
露点
CD A
CDA的压力，洁净，及低露点特点满足现在高精密的制程要求
干燥机工作步聚
冷却:再生加热完成后，为了避免吸附剂内的高温对现场使用的影响，即 进入桶槽的冷却；
①，冷却采用密闭循环，避 免环境空气的影响。
②，首先鼓风机反转，冷却空气经单 向止回阀R4,气动二通阀K4从下而上 进入桶槽B2冷却，
③，与吸附剂换热后经气动二通阀K6 与冷却器换热冷却，吸附剂的热量最 终被冷却水带走。
④，冷却空气被鼓风机吸入后再 度循环。冷却过程是从下而上。
4、过滤滤芯
Tank 气罐
前置
Filter
Dryer 干燥机
后置
Filter
末置
Filter
过滤器
前置 后置 末置
初始压差bar
≤0.08 ≤0.04 ≤0.12
滤径μm
0.01 1 0.01
残存油份mg/m³
0.01 0.1 0.001
作用
CDA系统中的主要设备为空压机，气罐，干燥机，过滤器及相应的管路；
1、空压机
将气体增压的设备；按工作原理可分为：
空压机
定排量式 速度式
往复式 回转式 轴流式 径流式
活塞机 螺杆机
离心机
Fab#3使用的阿特拉斯水冷式螺杆机；
螺杆压缩机构造：平行的一对相互啮合的螺旋形转子；
阳转子
球轴承
阴转子
推力轴承
• 压缩空气品质标准 – 国际标准：ISO-8573-1
– Fab#3压缩干燥空气系统采用的是1级标准设计
•CDA的特性：
1，获取与贮存 易于获得且易于贮存，输送方便； 2，安全性 没有特殊的有害性能，能在恶劣环境下工作且危险后果不会引起火灾； 3，设计与控制 使用的气动元件简单，易于实现直线与回转运动，且自动控制方便；
螺杆空压机管路流向(水,油,压缩空气)：
压缩空气 冷却水 油
加卸载调节阀
空气过滤器 油过滤器
空气进口
低压转子
消声器 单向阀
贮油槽
高压转子 油泵
中冷器
后冷器
冷却水出
冷却水进
水分离器 排污阀
压缩空气出口
油冷却器
空压机加载运行：
K04 AC 24V
电磁阀
C
加载活塞
100%进气
进气 阀
高压排气 阀
中间压力2.3bar
4，经济性 元件价格合适，使用时间长，维修费用较低；
压缩空气已成为仅次于电力的第二大动力能源；
二、CDA设备组成
• CDA系统流程图：
Compressor 空压机
Ambபைடு நூலகம்ent
Tank 气罐
Filter
Dryer 干燥机
Filter Filter
冷却水冷却 自动排水器
Clean, Dry, & Pressurized Air
吸附式干燥机根据其再生方式：
加热管 彭风机
吸附剂：利用分子间的“范得华”力,将水分子吸附其表面；
硅胶
图例
比表面积m²/g 500～600
机械强度 较高
吸附量% 5～8
氧化铝
250～300
高
4～6
分子筛
800～1000
有限
8～15
分子筛放大照
Fab#3干燥机使用的干燥剂： 选用的是30%的分子筛+70%的活性氧化铝
1,阳转子作为主动转子，带动阴转子转动； 2,转子上的球轴承使转子实现轴向定位，并承受压缩机中的轴向力； 3,转子两端的圆锥滚子推力轴承使转子实现径向定位，并承受径向力和轴向力；
螺杆空压机产气过程：
吸气 封闭 压缩 排气
•齿脱离啮合位置形成齿间容积，在其内部形成 了真空，外气在压差作用下流入其中；
去除压缩空气中的水，油 去水/油，保护末端滤芯 去除颗粒，保证供气质量
三、CDA管网
2F Tank
1F
计量
Tank 空压机
1,Fab#3每个楼层设置有Tank保证本楼层压力的稳定; 2,每个区域采用环网管路，进一步保证至各机台压力的稳定；
3,所有CDA管路材质使用是SUS 316L BA SCH 5S不锈钢管;
2、储气桶槽
储压，稳压 缓和管道内的压力波动，减少空压机的频繁加卸载；
冷却 储气桶表面积大，压缩空气可利用其外气散热；
•转子的旋转齿间容积达到了最大，此位置齿间 容积与吸气口断开，吸气过程结束。 •同时阴阳转子的齿峰与机壳密封，齿槽内的气 体被转子齿和机壳包围在一个封闭的空间中；
•齿间容积由于转子齿的啮合而不断减少，实现 气体的压缩，气体压力不断升高；
•齿间容积与排气口连通后即开始排气，持续 到齿末端的型线完全啮合为止；
塞气
阀
10%进气 高压排气阀
AC24V - 0.7bar
- 0.9bar
高压转子出 口
排气消音器
膜片转换阀
大气0bar
一级压缩 LP
中间压力
管网压力达到卸载压力时，电磁阀(Y1)失电，在弹簧力的作用下向下运动，
1,中间压力停止向阀腔(1)供气, 阀腔(1)中的控制压力气体通过电磁阀(Y1)和阀腔(3)向压 缩机机头进口处放空。
干燥机工作步聚
再生:当一个桶槽吸附时，另一桶槽就可以开始再生；
①，先将桶槽B2进行缓慢卸压;
②，鼓风机经过单向止回阀R3 吸取环境空气经电加热器将环 境空气加热到需求的再生温度 后经过气动二通阀K6从上而下 进入桶槽B2;
③，对B2内的吸附剂和吸附的 水分进行加热，经过气动二通 阀K4后将水气排入环境中;
排水 气体在桶槽内旋转碰撞，凝结成水滴，在桶底 积聚，通过自动排水装置排出；
INLET
OUTLET
常 温 空 气
DRAIN TRAP
3、干燥机 移除压缩空气中的水分子
图例
原理
露点控制范围
冷冻式
利用低温冷媒冷却并凝结出水份
2℃
吸附式
利用多孔性吸水材料来捕捉水气
-20 ~ - 70 ℃
无热再生
有热再生
膜片转换阀
0 bar
排气消音器
管网压力降低到加载压力时，电磁阀（Y1）得电向上运动; 1,中间压力进入阀腔（1）, 该压力比阀腔（3）的压力高，摧动加载活塞克服弹簧力向右运动; 2,在连杆上的调节阀（TV）随同也打开;而卸荷阀（UV）同时关闭;空压机加载运行;
空压机卸载运行：
K04
加
电磁阀
载 活
进
CDA系统与特气简介
内容提要
一. CDA的特点 二. CDA设备组成 三. CDA管网 四. 厂内特气
一、CDA的特点
• CDA：–Compressed Dry Air –Clean Dry Air
Air 外界空气
Compressed 压缩
Clean 洁净
Dry 干燥
压力 颗粒，油
露点
CD A
CDA的压力，洁净，及低露点特点满足现在高精密的制程要求
干燥机工作步聚
冷却:再生加热完成后，为了避免吸附剂内的高温对现场使用的影响，即 进入桶槽的冷却；
①，冷却采用密闭循环，避 免环境空气的影响。
②，首先鼓风机反转，冷却空气经单 向止回阀R4,气动二通阀K4从下而上 进入桶槽B2冷却，
③，与吸附剂换热后经气动二通阀K6 与冷却器换热冷却，吸附剂的热量最 终被冷却水带走。
④，冷却空气被鼓风机吸入后再 度循环。冷却过程是从下而上。
4、过滤滤芯
Tank 气罐
前置
Filter
Dryer 干燥机
后置
Filter
末置
Filter
过滤器
前置 后置 末置
初始压差bar
≤0.08 ≤0.04 ≤0.12
滤径μm
0.01 1 0.01
残存油份mg/m³
0.01 0.1 0.001
作用
CDA系统中的主要设备为空压机，气罐，干燥机，过滤器及相应的管路；
1、空压机
将气体增压的设备；按工作原理可分为：
空压机
定排量式 速度式
往复式 回转式 轴流式 径流式
活塞机 螺杆机
离心机
Fab#3使用的阿特拉斯水冷式螺杆机；
螺杆压缩机构造：平行的一对相互啮合的螺旋形转子；
阳转子
球轴承
阴转子
推力轴承
• 压缩空气品质标准 – 国际标准：ISO-8573-1
– Fab#3压缩干燥空气系统采用的是1级标准设计
•CDA的特性：
1，获取与贮存 易于获得且易于贮存，输送方便； 2，安全性 没有特殊的有害性能，能在恶劣环境下工作且危险后果不会引起火灾； 3，设计与控制 使用的气动元件简单，易于实现直线与回转运动，且自动控制方便；
螺杆空压机管路流向(水,油,压缩空气)：
压缩空气 冷却水 油
加卸载调节阀
空气过滤器 油过滤器
空气进口
低压转子
消声器 单向阀
贮油槽
高压转子 油泵
中冷器
后冷器
冷却水出
冷却水进
水分离器 排污阀
压缩空气出口
油冷却器
空压机加载运行：
K04 AC 24V
电磁阀
C
加载活塞
100%进气
进气 阀
高压排气 阀
中间压力2.3bar
4，经济性 元件价格合适，使用时间长，维修费用较低；
压缩空气已成为仅次于电力的第二大动力能源；
二、CDA设备组成
• CDA系统流程图：
Compressor 空压机
Ambபைடு நூலகம்ent
Tank 气罐
Filter
Dryer 干燥机
Filter Filter
冷却水冷却 自动排水器
Clean, Dry, & Pressurized Air
吸附式干燥机根据其再生方式：
加热管 彭风机
吸附剂：利用分子间的“范得华”力,将水分子吸附其表面；
硅胶
图例
比表面积m²/g 500～600
机械强度 较高
吸附量% 5～8
氧化铝
250～300
高
4～6
分子筛
800～1000
有限
8～15
分子筛放大照
Fab#3干燥机使用的干燥剂： 选用的是30%的分子筛+70%的活性氧化铝
1,阳转子作为主动转子，带动阴转子转动； 2,转子上的球轴承使转子实现轴向定位，并承受压缩机中的轴向力； 3,转子两端的圆锥滚子推力轴承使转子实现径向定位，并承受径向力和轴向力；
螺杆空压机产气过程：
吸气 封闭 压缩 排气
•齿脱离啮合位置形成齿间容积，在其内部形成 了真空，外气在压差作用下流入其中；
去除压缩空气中的水，油 去水/油，保护末端滤芯 去除颗粒，保证供气质量
三、CDA管网
2F Tank
1F
计量
Tank 空压机
1,Fab#3每个楼层设置有Tank保证本楼层压力的稳定; 2,每个区域采用环网管路，进一步保证至各机台压力的稳定；
3,所有CDA管路材质使用是SUS 316L BA SCH 5S不锈钢管;