SILAR法制备无机化合物薄膜

SILAR法制备无机化合物薄膜
靳正国;刘晓新;步绍静;程志捷
【期刊名称】《材料导报》
【年(卷),期】2003(017)003
【摘要】介绍了一种新的液相法薄膜制备工艺-SILAR法(连续离子层吸附反应法),该方法设备简单,成本低廉,成膜质量好.解释了它的非均相薄膜生长机理,对它的工艺参数影响以及研究应用情况进行了综合评述.指出了研究发展前景.
【总页数】3页(P66-68)
【作者】靳正国;刘晓新;步绍静;程志捷
【作者单位】先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津大学材料学院,天
津,300072;先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津大学材料学院,天
津,300072;先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津大学材料学院,天
津,300072;先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津大学材料学院,天
津,300072
【正文语种】中文
【中图分类】TB43
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