二氧化铈对准晶真空蒸镀薄膜的影响

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二氧化铈对准晶真空蒸镀薄膜的影响
第六图书馆
采用DMD-450真空镀膜仪将Al65Cu20Fe15准晶粉末沉积在Q235钢表面制备薄膜。

研究了二氧化铈对薄膜的组织和结构的影响。

采用透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)等分析了薄膜的组织结构和表面形貌。

利用纳米压痕仪(MTS)测试了薄膜的显微硬度和弹性模量。

结果表明:通过准晶粉末真空蒸镀可以形成准晶薄膜。

其组成相有CuAl2,A1Cu3 and
I(Al65Cu20Fe15)相等。

薄膜的成分取决于制备工艺。

二氧化铈对薄膜的结构没有产生明显的影响。

但是薄膜的显微硬度和弹性模量随二氧化铈添加量的增加而提高。

当二氧化铈添加量为5%(质量分数)时,薄膜的显微硬度达到9.0GPa,弹性模量最高达到190GPa。

此外,二氧化铈的添加明显增加了薄膜的耐蚀性能。

采用DMD-450真空镀膜仪将Al65Cu20Fe15准晶粉末沉积在Q235钢表面制备薄膜。

研究了二氧化铈对薄膜的组织和结构的影响。

采用透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)等分析了薄膜的组织结构和表面形貌。

利用纳米压痕仪(MTS)测试了薄膜的显微硬度和弹性模量。

结果表明:通过准晶粉末真空蒸镀可以形成准晶薄膜。

其组成相有CuAl2,A1Cu3 and I(Al65Cu20Fe15)相等。

薄膜的成分取决于制备工艺。

二氧化铈对薄膜的结构没有产生明显的影响。

但是薄膜的显微硬度和弹性模量随二氧化铈添加量的增加而提高。

当二氧化铈添加量为5%(质量分数)时,薄膜的显微硬度达到9.0GPa,弹性模量最高达到190GPa。

此外,二氧化铈的添加明显增加了薄膜的耐蚀性能。

Al-Cu-Fe
二氧化铈 真空蒸镀 薄膜功能材料周细应 宓一鸣 何亮 [1]上海工程技术大学材料工程学院,上海200336 [2]上海交通大学材料科学与工程学院,上海2000302007第六图书馆
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