利用Zemax辅助标定长期存放的大口径圆形离轴非球面

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某结构参数多次赋值，并将其他结构参数设为变量，化并观察干涉图变化，到最佳参数值。根据优找Ｚｍｘ对参数的优化结果，用４干涉仪和ｑ１的平面反射镜，建实际检测光路，ｅａ使Ｄ￣０ｍｍ５搭观察干涉
图并进行微调，测得最终结果。去彗差和像散前后图像ＰＶ值几乎不变，达到了调节标定要求。使用
Ｚｅａｉｅａｅｉｇｆｒｌｎ－ｅｍｔｒｄｌｒｅａｅｔｒｍｘａｄｄｌｂｌｎｏｏｇｔｒｓｏｅａｇ－ｐｒｕｅｃｒｕａｆ — ｘｓａｐｒｃｓｒａｅｉｃｌｒｏａｉｓｈｅｉｕｆｃ
Ａｂｓｒｃ：Ａｎ￣３ｌｆ－ｘｓｓｈｒｃｕａｅｔａｔｑ５０ｍｉｏｆａｉａｐｅｉｓｒｃｗａｌｂｌｄａｅｙａｓｆｓｏａｅｌｆｓａｅｅｆｒｅｒｏｔｒｇ．Ａｃｏｄｎｔｔｅｔｃｒｉｇｏｈ
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第４ｏ卷第７期
Ｖ０．Ｎｏ．１４０７
红外与激光工程
ＩｆａｅｎａｅｎｉｅｒｇｎｒｒｄａｄＬｓｒＥｇｎｅｉｎ
２１０１年７月
Ｊ１Ｏｌｕ．２ｌ
利用Ｚｍａｅｘ辅助标定长期存放的大口径圆形离轴非球面
ｖｒａｌｖｌ．ＴｈｎｈｅｏｒｓｏｄｎｉｔｒｅｏｒｍｗａｏｔｍｚｄｎｄｎｌｚｄａｔｅｐｉｕａｉｂｅａｕｅｅｔｃｒｅｐｎｉｇｎｅｆｒｇａｓｐｉｅａａａｙｅｎｄｈｏｔｍｉｍｐａｅｅｗａｆｕｄＷｉｔｅｏｔｍｚｔｎｅｕｔｔｅｒｃｉａｔｓｐｔｗａｓｔｐｗｉａＤｒａｍｔｒｓｏｎ．ｈｔｈｐｉａｉｒｓｌ，ｈｐａｔｌｅｔａｈｉｏｃｓｅｕｔｈ４
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Ｚｍａｅｘ软件辅助干涉仪对离轴非球面的检测，大大提高了检测效率，有利于光学加工效率的提高。
关键词：大口径离轴非球面；Ｚｍｘ辅助标定；离轴量；４干涉仪ｅａＤ
中图分类号：Ｔ３Ｔ０Ｂ１３；Ｇ８６文献标志码：Ａ文章编号：１０ — ２６２１）７１１ — ４０７２７（０１０ — ３００
叶海仙，鄢定尧，张宁，杨李茗（成都精密光学工程研究中心，四川成都６０４）１０１
摘
要：测标定了一块放置多年的４３ａ检５０ｒｎ离轴非球面。根据当年的结构参数，光学设计软件ｉ在
Ｚｍａｅｘ中建立了该离轴非球面的检测模型。用＿轴离心和Ｘ轴倾斜实现了离轴和光束倾斜。利ｙ通过对
ＹｅＨａｘａｉｉｎ，ＹａｎｙｏｎＤｉｇａ，ＺｈｎｎａｇＮｉｇ，ＹａｍｉｇｎｇＬｉｎ
（ｈｎｄｉｅＯｔａＥｇｎｅｉｇＲｅｅｒｈＣｎｅ，ｈｎｄ１０１ＣｉａＣｅｇｕＦｎｐｉｌｎｉｅｒｓａｃｅｔｒＣｅｇｕ６０４，ｈｎ）ｃｎ