一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置[实用新型专利]

专利名称：一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置
专利类型：实用新型专利
发明人：鲁朝宇,张丽娟,邓荣斌,段尧,马兴民,方江璨,高思博申请号：CN201922399071.4
申请日：20191227
公开号：CN211497763U
公开日：
20200915
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型公开了一种适用于真空镀膜的衬底冷却装置，涉及真空蒸镀装置技术领域。

用于真空镀膜的衬底冷却装置，包括基板、材料仓和降温腔，所述基板的内部开设有材料仓，材料仓周围开设有降温腔，所述基板的底部设置有第一降温管、第二降温管和第三降温管，所述降温腔的内部开设有与第一降温管、第二降温管和第三降温管相适配的孔。

适用于真空镀膜的衬底冷却装置，主要通过设置第一降温管内所通的高温水，对其所需要降温的材料进行小幅度的降温，其次，第二、三降温管进行缓慢的降温，对材料和坩埚起到了良好的保护作用，有效的避免了直接冷却降温对材料和坩埚本身造成的损害。

申请人：云南北方奥雷德光电科技股份有限公司
地址：650223 云南省昆明市五华区教场东路31号
国籍：CN
代理机构：昆明祥和知识产权代理有限公司
代理人：张亦凡
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