基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统

基于原子力显微镜的微纳结构力学测试系统
鲍海飞;李昕欣;张波;郭久福;韩建强
【期刊名称】《机械强度》
【年(卷),期】2007(29)2
【摘要】原子力显微镜是微纳米尺度科学研究中的一个精密仪器,从原理和应用,设备的软件、硬件的扩展都具有很大的发展空间。

随微纳机电系统的应用,非常迫切需要开发基于原子力显微镜的力学相关测试系统。

在此情况下,着重开发部分相关力学测试软件和系统硬件的扩展。

基于原子力显微镜中的一个最基本的力—位移曲线功能,开发力学测试软件,实施单点、多点的力曲线测量,疲劳度测量和单线扫描四个测试功能,系统在硬件上增添微动平台,具有较大的横向位移,保证微纳结构尺寸的测试。

相关测试表明,该软件具有较好的一致性和使用性,能方便地进行力学量的提取。

【总页数】5页(P223-227)
【关键词】原子力显微镜;微纳结构;硬件软件;悬臂梁;力学测试
【作者】鲍海飞;李昕欣;张波;郭久福;韩建强
【作者单位】中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海爱建纳米科技发展有限公司
【正文语种】中文
【中图分类】TH742
【相关文献】
1.采用原子力显微镜评价集料的微纳观特征 [J], 季节;郑文华;翟鹏;索智;许鹰
2.原子力显微镜在骨微纳观结构与功能研究中的应用 [J], 唐卓;戴如春;廖二元
3.基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统 [J], 夏加飞;孙涛;闫永达;梁迎春;程凯;董申
4.用原子力显微镜测试碳纤维微区相对硬度 [J], 刘小兰;肖刚;霍冀川;胡海龙;陈丽;李林
5.原子力显微镜微悬臂梁杨氏模量动态测试方法 [J], 王飞;赵学增
因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。