一种防干扰装置及半导体制程机台[实用新型专利]

专利名称：一种防干扰装置及半导体制程机台专利类型：实用新型专利
发明人：夏欢,何毓纬,傅永达,赵琼,杨翼虎
申请号：CN201921016248.1
申请日：20190702
公开号：CN210200672U
公开日：
20200327
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本实用新型公开一种防干扰装置及半导体制程机台，所述防干扰装置包括弯管部件、紧固部件以及吸能部件，所述弯管部件具有两端口，所述紧固部件套设于所述弯管部件的两端口上，所述吸能部件安装于所述弯管部件上，其中所述吸能部件介于所述紧固部件间。

所述半导体制程机台包括机台本体和电容真空计，所述机台本体与防干扰装置的一端连接，所述电容真空计与防干扰装置的另一端连接。

本实用新型能够减弱机械波，从而避免了机械波影响电容距离。

申请人：合肥晶合集成电路有限公司
地址：230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
国籍：CN
代理机构：上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人：王华英
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