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干膜培训讲义PPT课件(PPT32页)
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2、流程
曝光
目的: 通过感光成像完成图形转移。 曝光能量:25~60mj/cm2 曝光尺:6~9级盖膜(ETERTEC 21级
曝光尺)
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四、显影
1、原理或目的
将未曝光之干膜溶解,已曝光的部分则被保留下来,初
步形成内层线路图形。
显影的机制:
干膜中未曝光部分的活性基团与弱碱溶液反应生成可
溶性物质而溶解下来,显影时活性基团羧基-COOH 在
2、流程
预热 贴膜
冷却
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目的:加热板面温度,为贴膜做准备。 温度:70~90 ℃ 速度: 2.0~2.5 m/min
目的:将干膜贴在干净的铜面上。 压力: 3.5±0.5 Kg/cm2 温度:105±5 ℃ 速度:2.0~2.5 m/min 出板温度: 45~65 ℃
目的:去除铜面无机氧化物。 喷淋压力:2.0±0.5 Kg/cm2 H2SO4浓度:3%~5%
目的:粗化铜面,使其表面积达到最 大化。
磨辘规格:500 目 磨痕要求:8~12 mm 水膜测试:≥15 sec.
目的:烘干铜面水迹,使其保持一个 新鲜的铜表面
温度:60~80℃
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PCB培训教材一优质获奖课件
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2)工艺流程:(废物:菲林、过滤芯棉套、包装瓶;废气:SO2、非甲烷总烃)
浮石粉前处理
清洁
黑菲林直接生产
NO
NO
贴膜
对位
YES
YES
YES
黑菲林制作 QA检验 生产前检验
重氮片曝光 重氮片显影
检验 菲林清洁
曝光
显影 检、修板
NO退回
三、pcb生产工艺流程
❖ 图形电镀工序
1)图形电镀是在经过图形转移后,把不需要电镀铜旳部位用干膜 保护起来,而显露旳需要镀铜部位镀足铜厚,并再镀锡作为抗 蚀剂。
内层蚀刻
黑化/棕化
废物:包装瓶、过滤芯 废气:H2SO4、SO2
层压
内层外形加工
按双面板流程
废物:过滤芯、包装瓶 废液:膨胀、沉铜、 高锰酸钾、钯; 废气:H2SO4、HCl、 NOX、甲醛
废物:菲林、过滤 芯棉套、包装瓶; 废气:SO2、非 甲烷总烃
废物:滤芯、包装瓶;
废液:镀锡液;
废物:过滤芯、包装瓶
废气:H2SO4、SO2 HCl、NOX
废液:蚀刻液、退锡液 废气:NOX、非甲烷总 烃;
2)蚀刻流程图 废物:过滤芯、包装瓶、干膜渣;
废液:酸性蚀刻液、碱性蚀刻液、退锡水;
前工序
废气:NOX、非甲烷总烃;
出板
退膜 蚀刻 退锡
人工检不OK 修理orMRB OK
OK
QC检板
配缸
OK 不OK
三、pcb生产工艺流程
❖ 湿菲林(液态光致阻焊剂)
1)目旳:
使用液态光致阻焊剂,经过曝光显影,到达保护过孔、线路以及图形旳目旳。
湿菲林 插头镀金
字符 外形
电测试 终检
ENTE K
浮石粉前处理
清洁
黑菲林直接生产
NO
NO
贴膜
对位
YES
YES
YES
黑菲林制作 QA检验 生产前检验
重氮片曝光 重氮片显影
检验 菲林清洁
曝光
显影 检、修板
NO退回
三、pcb生产工艺流程
❖ 图形电镀工序
1)图形电镀是在经过图形转移后,把不需要电镀铜旳部位用干膜 保护起来,而显露旳需要镀铜部位镀足铜厚,并再镀锡作为抗 蚀剂。
内层蚀刻
黑化/棕化
废物:包装瓶、过滤芯 废气:H2SO4、SO2
层压
内层外形加工
按双面板流程
废物:过滤芯、包装瓶 废液:膨胀、沉铜、 高锰酸钾、钯; 废气:H2SO4、HCl、 NOX、甲醛
废物:菲林、过滤 芯棉套、包装瓶; 废气:SO2、非 甲烷总烃
废物:滤芯、包装瓶;
废液:镀锡液;
废物:过滤芯、包装瓶
废气:H2SO4、SO2 HCl、NOX
废液:蚀刻液、退锡液 废气:NOX、非甲烷总 烃;
2)蚀刻流程图 废物:过滤芯、包装瓶、干膜渣;
废液:酸性蚀刻液、碱性蚀刻液、退锡水;
前工序
废气:NOX、非甲烷总烃;
出板
退膜 蚀刻 退锡
人工检不OK 修理orMRB OK
OK
QC检板
配缸
OK 不OK
三、pcb生产工艺流程
❖ 湿菲林(液态光致阻焊剂)
1)目旳:
使用液态光致阻焊剂,经过曝光显影,到达保护过孔、线路以及图形旳目旳。
湿菲林 插头镀金
字符 外形
电测试 终检
ENTE K
PCB干膜培训教材(完整)PPT课件
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1.有较高的分辨率,一般线宽可做4mil; 2.干膜应用在图形电镀工艺中,电镀加厚在高而 垂直的夹壁间进行,在镀层厚度小于抗蚀剂厚 度时,可以防止产生镀层突延和防止去膜时抗 蚀剂嵌入镀层下面,保证线条精度;
3.干膜的厚度和组成一致,避免成像时的不连 续性,可靠性高; 4.应用干膜,大大简化了印制板制造工序,有利 于实现机械化、自动化。
干膜工艺流程详细介绍
磨板 贴膜 曝光
显影
蚀刻或电镀
褪膜
干菲林 Cu
基材 底片
一、磨 板
磨板的作用:基板前处理主要是解决表面清洁度和表 面粗糙度的问题。粗化铜面,便于菲林附着在铜面上 。 磨板的种类:化学磨板、机械磨板。 机械磨板工艺:
酸洗 水洗 磨板 水洗 水洗 吸干 热风干
以上关键步骤为酸洗和磨板段。
四、 显 影
显影的作用:
是将未曝光部分的干菲林去掉,留下感光的部分 。
显影的原理:
未曝光部分的感光材料没有发生聚合反应,遇弱 碱Na2CO3(0.8-1.2%)溶解。而聚合的感光材料则留在 板面上,保护下面的铜面不被电镀或蚀刻药水溶解。
• 6.干膜起皱 • 7.干膜与基板铜表面之间出现气泡
干膜的类型
• v 1.溶剂型干膜
使用有机溶剂作显影剂和去膜剂,例如用 1.1.1三氯乙烷显影,二氯甲烷去膜,这两种溶 剂遇
火不燃烧。醋酸丁酯等有机溶剂也可用作显影和去膜, 但易燃烧,很不安全。 溶剂型干膜是美国最早研制并投 入大量生产的一种干膜,我国早期也研制过。它的优点 是 技术成熟,工艺稳定,耐酸耐碱,应用范围广。但是, 使用这种干膜需要消耗大量的有机溶剂,需 要价格昂贵 的显影和去膜设备及辅助装置,生产成本高,溶剂有毒, 污染环境,所以日趋以水溶 性干膜所取代,仅在特殊要 求时才使用。
干膜介绍及干膜工艺详解(PPT40张)
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压辘设定温度
:110~120℃
压膜时压辘温度 :100~115 ℃
贴膜压力
贴膜速度
:3.0~5.0kgf/cm2
:1.5~2.5m/min
贴膜后静置时间 :15min~24H
工序注意事项
• 贴膜
贴膜压辘各处温度均匀; 定期测定贴膜压辘的温度;
贴膜上下压辘要平行;
贴膜压辘上无油污或膜碎等杂物; 清洁压辘上异物时不可用尖锐或硬的工具; 贴膜不可超出板边; 干膜不可超过有效期内。
短路(銅渣造成)
短路(銅渣造成
短路(銅渣造成)
短路(膜下雜物)
短路(膜下銅渣)
短路(銅渣造成 )
短路(滲鍍)
5.常见缺陷图片及成因
開路(膜碎造成)
開路(膜碎造成)
開路(膜碎造成)
開路(膜碎造成)
劃傷,蝕刻後
劃傷,蝕刻後
凸起,雜物造成
缺口,膜碎造成
6. 讨论
谢 谢 大 家!
• • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • •
干膜介绍及干膜工艺详解
2013-01
主要内容安排:
1.干膜介绍及发展趋势 2.线路板图形制作工艺(以SES流程为例) 3.基本工艺要求 4.各工序注意事项 5.常见缺陷图片及成因 6.讨论
1. 干膜介绍及发展趋势
干膜(Dry Film)的用途: 干膜是一种感光材料,是PCB生产中的重要 物料,用于线路板图形的转移制作。近几 年也开始广泛应用于选择性化金、电镀金 工艺。
PCB知识培训教材.pptx
![PCB知识培训教材.pptx](https://img.taocdn.com/s3/m/22b5f0c10740be1e640e9a7d.png)
原来的光滑的表面侵蚀后形成有一定粗糙的表面来增加压板后与树脂布的粘合力。
其生产流程如下:
-
4 8 .5 "
typ 0 .1 "
20.1" x 2
4 0 .5 "
-
1 6 .1 " x 3
第 05节:压板
15/170
16/170
注意事项: 1)压板后板厚公差范围计算:
A:HASL板:成品板厚+公差-5mil(上限),成品板厚+公差-3mil(下限) B:沉金、沉银、Entek板:
5/170
相对于过去导线焊接方式,PCB最大的优点可分为三方面: 1)一旦PCB布置完成、就不必检查各零件的连接线路是否正确 这对精密复杂的线路(如电脑),可以省去不少检查功夫。 2)PCB的设计可使所有的信号路径开形成传送的线路,设计者 可以很合理的控制其特有的阻抗。 3)容易测试检修:信号线不会有短路碰线的危险,这对于逻辑电 路而言,只要有系统的布置,要找出其错误的地方就方便多了
1/170
PCB知识培训教材
目录
2/170
第一章 : PCB简介 第二章 : 生产流程简介
第01 节 :开料
第10 节 :线电
第02 节 :内层
第11 节 :蚀板
第03 节 :AOI
第12 节 :S/M &/碳油
第04 节 :棕化
第13 节 :印字
第05 节 :压板
第14 节 :G/F
第06 节 :钻孔
多张P片:A3:777—( )—777, 677—( )—776…...
A4:一般类型八层及以上板(包括阻抗板)
B1:内层铜厚为2 OZ,3 OZ的板
C1:Tg=170℃类型的板
PCB培训教材(三).ppt
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手工拍板:
± 2mil
自动对位曝光机:±1mil
图形电镀的目的
电镀
铜线路是用电镀光阻定义出线路区,以电镀方 式填入铜来形成线路。
图形电镀在图象转移后进行的,该铜镀层可作 为锡铅合金(或锡)的底层,也可作为低应力镍的 底层。
Load Panel 上板
电镀
Acid degreaging Sprinkle Rinsing
0.450
`
16.1 14.5 13.6 12.9 12.2
0.500
15.2 14.3 13.5
量产加工 小批量加工 2003年计划
钻孔加工 机械钻孔能力表
项目
量产加工能力 小批量加工能力
最小钻孔孔径 0.2mm
0.15mm
孔径公差
+0/-1mil
+0/-1mil
孔位置公差 ± 3mil
± 3mil
孔金属化
b. 微蚀 Microetch
1. Microetching旨在清除表面之Conditioner所形成 的Film 。 2. 此同时亦可清洗铜面残留的氧化物。
孔金属化 c. 预活化 Catalpretreatment
1. 为避免Microetch形成的铜离子带入Pd/Sn槽, 预浸以减少带入 。
孔径及位置公差与组装工艺有直接关系
钻孔质量缺陷
钻孔加工
钻孔缺陷:偏孔、多孔、漏孔、孔径错、断钻头、塞孔、未钻透
质
量
缺
陷
铜箔缺陷:分层、钉头:钻污、毛刺、碎屑、粗糙
孔内缺陷
基材缺陷:分层、空洞、碎屑堆、钻污、松散纤维、沟槽、来福线
激光钻孔
应用于孔径小于Φ 0.15mm盲孔的密度互连板。
PCB干膜制程工艺培训(ppt 77页)
![PCB干膜制程工艺培训(ppt 77页)](https://img.taocdn.com/s3/m/c440faddcf84b9d528ea7aeb.png)
第二类干膜
> 阻焊干膜 ---- Conformask 2515
第三类:先进的感光绝缘材
> LDI干膜 ---- UitraDirect 630 UltraDirect 730/740
> 运用于HDI及封装制造的干膜 ---- NIT200 (25, 30 um), NIT1025
PLUSCO COMPANY
Shipley 干膜产品的应用
产品
801Y30 801Y40 102J30 102J40 FL08/FL13 1420/1430 KE 7738 5038 7338 UltraDirect 730 UltraDirect 740
NIT200 Series
应用
适用于一般 PCB/FPCB I/L 酸性蚀刻制程,L/S=2-3 mils Limited 适用于一般 PCB O/L 掩孔/酸性蚀刻制程,L/S=2-3 mils Limited 适用于细线 PCB/FPCB I/L 酸性蚀刻制程,L/S=1-2 mils Limited 适用于细线 PCB O/L 电镀/掩孔/酸性蚀刻制程,L/S=1-2 mils Limited 适用于一般 PCB/FPCB I/L 碱性蚀刻制程,L/S=2 mils Limited 适用于细线 PCB/FPCB I/L 碱性蚀刻制程,L/S=1-2 mils Limited 适用于一般 PCB O/L 电镀Cu/Sn/Sn&Pb制程,L/S=3 mils Limited
第二类:如阻焊干膜 - 此类干膜在制造中将成为最终成品的一部 分而永久性粘附在板面上。
第三类:先进的感光绝缘材 - 用于镭射直接成像 (LDI) 的运用 - 或作为绝缘材用于HDI及封装方面的运用
PLUSCO COMPANY
> 阻焊干膜 ---- Conformask 2515
第三类:先进的感光绝缘材
> LDI干膜 ---- UitraDirect 630 UltraDirect 730/740
> 运用于HDI及封装制造的干膜 ---- NIT200 (25, 30 um), NIT1025
PLUSCO COMPANY
Shipley 干膜产品的应用
产品
801Y30 801Y40 102J30 102J40 FL08/FL13 1420/1430 KE 7738 5038 7338 UltraDirect 730 UltraDirect 740
NIT200 Series
应用
适用于一般 PCB/FPCB I/L 酸性蚀刻制程,L/S=2-3 mils Limited 适用于一般 PCB O/L 掩孔/酸性蚀刻制程,L/S=2-3 mils Limited 适用于细线 PCB/FPCB I/L 酸性蚀刻制程,L/S=1-2 mils Limited 适用于细线 PCB O/L 电镀/掩孔/酸性蚀刻制程,L/S=1-2 mils Limited 适用于一般 PCB/FPCB I/L 碱性蚀刻制程,L/S=2 mils Limited 适用于细线 PCB/FPCB I/L 碱性蚀刻制程,L/S=1-2 mils Limited 适用于一般 PCB O/L 电镀Cu/Sn/Sn&Pb制程,L/S=3 mils Limited
第二类:如阻焊干膜 - 此类干膜在制造中将成为最终成品的一部 分而永久性粘附在板面上。
第三类:先进的感光绝缘材 - 用于镭射直接成像 (LDI) 的运用 - 或作为绝缘材用于HDI及封装方面的运用
PLUSCO COMPANY
PCB工艺流程培训教材ppt课件
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粗化板面,增强二次镀铜的结合力。 微蚀/双水洗
3.酸洗:剥除板面氧化层,清除粗化后残留于
板面的铜粉,使镀层牢固均匀,同时保 酸洗/双水洗 护铜缸硫酸液浓度不被水稀释。
4.镀铜:通过高酸低铜,同时通过电解,使镀层具
镀铜/双水洗
有半光泽性、延展性、抗拉性,增加沉 铜后镀铜厚度,最终使线路的导通能力
更好。
烘干/出货
烘干,确保板面及孔内保持干燥,以利 后制程作业及储存。
厚铜电镀线 镀铜槽 烘干机
线路(干膜)制程讲解:
作业流程
流程概述
设备图
外层前处理 1.磨刷:通过 尼龙轮的高速旋转,粗化基板表 面去除氧化脏物,从而增强干膜附着力
压膜 曝光 显影 检验
2.压膜:利用机器机械运作将磨刷后的板面上压 上一种光聚合物的干膜;
检验
5.显影:无曝光之板在经过有一定温度压力浓度 的显液喷洒,使未感光油墨区域均匀冲 洗掉露出铜面之过程。
数量移转
线路烘箱 线路曝光机 线路显影机
二次铜制程讲解:
作业流程
流程概述
设备图
线路来料上挂 1.除油:去除铜表面之轻度油脂及氧化物,以使表
面活化及清洁,以提升镀铜层的结合力; 除油/双水洗
2.微蚀:利用H2SO4、SPS、CU相互发生反应,
粗化板面,使镀层牢固均匀,同时保护
酸洗
铜缸硫酸液浓度不被水稀释。
3.镀铜:通过高酸低铜,同时通过电解,使镀层
镀铜/双水洗,最终使线路的导通
能力更好。
下挂 4.硝挂:利用硝酸与挂架上的铜发生反因,将挂夹
具上的残铜全部进行清除,
硝挂/双水洗
5.烘干:以自来水清洗板面,另经吸干、吹干、
3.曝光:通过5kw紫外线光的照射,透过菲林透 明区散射到感光干膜区使其发生质变 之过程;
3.酸洗:剥除板面氧化层,清除粗化后残留于
板面的铜粉,使镀层牢固均匀,同时保 酸洗/双水洗 护铜缸硫酸液浓度不被水稀释。
4.镀铜:通过高酸低铜,同时通过电解,使镀层具
镀铜/双水洗
有半光泽性、延展性、抗拉性,增加沉 铜后镀铜厚度,最终使线路的导通能力
更好。
烘干/出货
烘干,确保板面及孔内保持干燥,以利 后制程作业及储存。
厚铜电镀线 镀铜槽 烘干机
线路(干膜)制程讲解:
作业流程
流程概述
设备图
外层前处理 1.磨刷:通过 尼龙轮的高速旋转,粗化基板表 面去除氧化脏物,从而增强干膜附着力
压膜 曝光 显影 检验
2.压膜:利用机器机械运作将磨刷后的板面上压 上一种光聚合物的干膜;
检验
5.显影:无曝光之板在经过有一定温度压力浓度 的显液喷洒,使未感光油墨区域均匀冲 洗掉露出铜面之过程。
数量移转
线路烘箱 线路曝光机 线路显影机
二次铜制程讲解:
作业流程
流程概述
设备图
线路来料上挂 1.除油:去除铜表面之轻度油脂及氧化物,以使表
面活化及清洁,以提升镀铜层的结合力; 除油/双水洗
2.微蚀:利用H2SO4、SPS、CU相互发生反应,
粗化板面,使镀层牢固均匀,同时保护
酸洗
铜缸硫酸液浓度不被水稀释。
3.镀铜:通过高酸低铜,同时通过电解,使镀层
镀铜/双水洗,最终使线路的导通
能力更好。
下挂 4.硝挂:利用硝酸与挂架上的铜发生反因,将挂夹
具上的残铜全部进行清除,
硝挂/双水洗
5.烘干:以自来水清洗板面,另经吸干、吹干、
3.曝光:通过5kw紫外线光的照射,透过菲林透 明区散射到感光干膜区使其发生质变 之过程;
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培训概要
❖ 1.简单叙述干膜的特性、种类及结构 ❖ 2.详细介绍干膜工艺流程:
A操作规范
B工艺控制参数
C生产控制(注意)事项 D品质要求 E机器保养 ❖ 3.干膜工序常见问题的讲解
什么是图像转移
❖ 制造印制板过程中的一道工序就是将照相底版上的电路 图像转移到覆铜箔层压板上,形成一种抗蚀或抗电镀的 掩膜图像。抗蚀图像用于“印制蚀刻工艺”,即用保护 性的抗蚀材料在覆铜箔层压板上形成正相图像,那些未 被抗蚀剂保护的不需要的铜箔,在随后的化学蚀刻工序 中被去掉,蚀刻后去除抗蚀层,便得到所需的裸铜电路 图像。而抗电镀图像用于“图形电镀工艺”,即用保护 性的抗蚀材料在覆铜层压板上形成负相图像,使所需要 的图像是铜表面,经过清洁、粗化等处理后,在其上电 镀铜或电镀金属保护层(锡铅、锡镍、锡、金等),然后去 掉抗蚀层进行蚀刻,电镀的金属保护层在蚀刻工序中起 抗蚀作用。
磨痕试验
❖ 取一片未作图形的厚度与生产板相同的废板作测试板,打开 输送→放板入上刷(下刷)位置→关闭输送→打开上刷(下 刷)→调整手柄调压到电流设定值磨板8-10秒→关闭磨刷→ 打开输送→取出测试板、测量磨痕宽度在工艺条件内(宽度 均匀一致、磨痕均匀),不合要求,调整磨刷,重新试磨痕; (生产前.每班一次)
干膜的特点
1.有较高的分辨率,一般线宽可做4mil; 2.干膜应用在图形电镀工艺中,电镀加厚在高 而垂直的夹壁间进行,在镀层厚度小于抗蚀剂 厚度时,可以防止产生镀层突延和防止去膜时 抗蚀剂嵌入镀层下面,保证线条精度; 3.干膜的厚度和组成一致,避免成像时的不连 续性,可靠性高; 4.应用干膜,大大简化了印制板制造工序,有 利于实现机械化、自动化。
压膜出板温度: 55±5℃
生产控制(注意)事项
❖ 1.根据不同板的尺寸,装上相适应尺寸干膜; ❖ 2.装上干膜,调整上/下干膜对整齐,过热辘后检查是
否OK且干膜两端热辘是否粘有干膜碎: ❖ 3.贴膜之前每块板必须经过辘尘,减少尘埃 ❖ 4.放板贴膜时,板与板之间距必须保持3-5mm以上以
免叠板 ❖ 5.把刚贴膜板趁热割膜,垂直插架冷却,不可热板叠
干膜的类型
❖ ❖ 1.溶剂型干膜
使用有机溶剂作显影剂和去膜剂,例如用 1.1.1三氯乙烷显影,二氯甲烷去膜,这两种溶 剂 遇火不燃烧。醋酸丁酯等有机溶剂也可用作显影和去 膜,但易燃烧,很不安全。 溶剂型干膜是美国最早研 制并投入大量生产的一种干膜,我国早期也研制过。 它的优点是 技术成熟,工艺稳定,耐酸耐碱,应用范 围广。但是,使用这种干膜需要消耗大量的有机溶剂, 需 要价格昂贵的显影和去膜设备及辅助装置,生产成 本高,溶剂有毒,污染环境,所以日趋以水溶 性干膜 所取代,仅在特殊要求时才使用。
品质要求
❖ 6.1板面无氧化、无油污、无水迹、无胶迹 ❖ 6.2磨痕均匀,无擦花、刮痕 ❖ 6.3板面清洁,孔内及板面干燥
机器保养
❖ 1.取出吸水棉泡入清水中 ❖ 2.水洗、酸洗缸的清洗:水洗缸、酸缸各加入NaOH,浓度
为5-10%,开循环喷洗2hr,排净废液加入清水于标准液位,开 循环喷洗30分,排除废水加入清水至标准液位,往水洗缸.酸 缸各加入5L H2SO4,开循环喷洗2hr,排净废液; ❖ 7.6.加入清水于标准液位,开循环喷洗30分,排除废水; ❖ 7.7.加入清水于标准液位,开循环喷洗15分,检查传送.喷嘴. 压力表运行是否正常;排除废水
3.速度: 2.0-3.0m/min
4.水洗压力:1.0-2.0kg/cm2
5.烘干温度:85-95 ℃
生产控制(注意)事项
❖ 1.检查各喷嘴是否堵塞、破损、缺少; ❖ 2.检查各过滤网是否干净、破损; ❖ 3每次生产前根据不同板厚做磨痕试验,确认
OK后方可进行生产。 ❖ 4定时的进行机器保养(保养详见操作指示)
操作规范
❖ 1.贴膜人员戴手指套、双手持板边进行操作 ❖ 2.生产时手不要接触到热压辊 ❖ 3.生产不同尺寸的板时选择最合适的干膜尺
寸 ❖ 4.割膜人员割膜时检查板边的平整度
工艺参数控制
❖
贴膜压力:3.0-5.0kg/cm2
贴膜速度:1.0-1.8m/min
贴膜温度:110±5℃
压膜进板温度: 50±5℃
二、贴 膜
❖ 贴膜时,先从干膜上剥下聚乙烯保护膜,然 后在加热加压的条件下将干膜抗蚀剂粘贴在 铜面上。干膜中的抗蚀剂层受热后变软,流 动性增加,使抗蚀剂流入板面的微观结构内, 借助于热压辊的压力和抗蚀剂中粘结剂的作 用完成贴膜
二、贴 膜
贴膜的作用:是将干膜贴在粗化的铜面上。
保护膜
干菲林
贴膜机将干膜通过压轳与铜面附着,同时 撕掉一面的保护膜。
操作规范
❖ 1.放板和接板人员都必须带手套操作 ❖ 2.两手持板边,不要裸手接触到拼板单元内 ❖ 3.轻拿轻放,小心擦花板面,取板一块一块
插架 ❖ 4.放板时,先后板间距不能小于2cm,以免叠
板 5.放板人员检查板面是否有异常情况,如擦 花、压伤等
工艺参数控制
❖
1.H2SO4浓度3-5%
2. 磨痕:10-16MM
干膜工艺流程详细介绍
磨板 贴膜 曝光
显影
蚀刻或电镀
褪膜
干菲林 Cu
基材 底片
一、磨 板
磨板的作用:基板前处理主要是解决表面清洁度和表 面粗糙度的问题。粗化铜面,便于菲林附着在铜面上。 磨板的种类:化学磨板、机械磨板。 机械磨板工艺:
酸洗 水洗 磨板 水洗 水洗 吸干 热风干
以上关键步骤为酸洗和磨板段。
干膜的类型
❖ ❖ 2. 水溶型干膜 它包括半水溶性和全水溶性两种。半水溶性 干膜显影剂和去膜剂以水为主,并加有2-15 %的有机溶剂。全水溶性的干膜显影剂和去 膜剂是碱的水溶液。半水溶性干膜成本较低, 而 全水溶性干膜的成本最低,毒性亦小。
干膜的类型
❖ ❖ 3.干显影或剥离型干膜 这种干膜不需用任何显影溶剂,而是利用干 膜的感光部分与未感光部分对聚酯薄膜表面 和加工工件表面附着力的差别,在从曝光板 上撕下聚酷薄膜时,未曝光的不需要的干膜 随聚酯 薄膜剥离下来,在加工工件表面留下 已曝光的干膜;由此得到所需要的干膜图像。
❖ 1.简单叙述干膜的特性、种类及结构 ❖ 2.详细介绍干膜工艺流程:
A操作规范
B工艺控制参数
C生产控制(注意)事项 D品质要求 E机器保养 ❖ 3.干膜工序常见问题的讲解
什么是图像转移
❖ 制造印制板过程中的一道工序就是将照相底版上的电路 图像转移到覆铜箔层压板上,形成一种抗蚀或抗电镀的 掩膜图像。抗蚀图像用于“印制蚀刻工艺”,即用保护 性的抗蚀材料在覆铜箔层压板上形成正相图像,那些未 被抗蚀剂保护的不需要的铜箔,在随后的化学蚀刻工序 中被去掉,蚀刻后去除抗蚀层,便得到所需的裸铜电路 图像。而抗电镀图像用于“图形电镀工艺”,即用保护 性的抗蚀材料在覆铜层压板上形成负相图像,使所需要 的图像是铜表面,经过清洁、粗化等处理后,在其上电 镀铜或电镀金属保护层(锡铅、锡镍、锡、金等),然后去 掉抗蚀层进行蚀刻,电镀的金属保护层在蚀刻工序中起 抗蚀作用。
磨痕试验
❖ 取一片未作图形的厚度与生产板相同的废板作测试板,打开 输送→放板入上刷(下刷)位置→关闭输送→打开上刷(下 刷)→调整手柄调压到电流设定值磨板8-10秒→关闭磨刷→ 打开输送→取出测试板、测量磨痕宽度在工艺条件内(宽度 均匀一致、磨痕均匀),不合要求,调整磨刷,重新试磨痕; (生产前.每班一次)
干膜的特点
1.有较高的分辨率,一般线宽可做4mil; 2.干膜应用在图形电镀工艺中,电镀加厚在高 而垂直的夹壁间进行,在镀层厚度小于抗蚀剂 厚度时,可以防止产生镀层突延和防止去膜时 抗蚀剂嵌入镀层下面,保证线条精度; 3.干膜的厚度和组成一致,避免成像时的不连 续性,可靠性高; 4.应用干膜,大大简化了印制板制造工序,有 利于实现机械化、自动化。
压膜出板温度: 55±5℃
生产控制(注意)事项
❖ 1.根据不同板的尺寸,装上相适应尺寸干膜; ❖ 2.装上干膜,调整上/下干膜对整齐,过热辘后检查是
否OK且干膜两端热辘是否粘有干膜碎: ❖ 3.贴膜之前每块板必须经过辘尘,减少尘埃 ❖ 4.放板贴膜时,板与板之间距必须保持3-5mm以上以
免叠板 ❖ 5.把刚贴膜板趁热割膜,垂直插架冷却,不可热板叠
干膜的类型
❖ ❖ 1.溶剂型干膜
使用有机溶剂作显影剂和去膜剂,例如用 1.1.1三氯乙烷显影,二氯甲烷去膜,这两种溶 剂 遇火不燃烧。醋酸丁酯等有机溶剂也可用作显影和去 膜,但易燃烧,很不安全。 溶剂型干膜是美国最早研 制并投入大量生产的一种干膜,我国早期也研制过。 它的优点是 技术成熟,工艺稳定,耐酸耐碱,应用范 围广。但是,使用这种干膜需要消耗大量的有机溶剂, 需 要价格昂贵的显影和去膜设备及辅助装置,生产成 本高,溶剂有毒,污染环境,所以日趋以水溶 性干膜 所取代,仅在特殊要求时才使用。
品质要求
❖ 6.1板面无氧化、无油污、无水迹、无胶迹 ❖ 6.2磨痕均匀,无擦花、刮痕 ❖ 6.3板面清洁,孔内及板面干燥
机器保养
❖ 1.取出吸水棉泡入清水中 ❖ 2.水洗、酸洗缸的清洗:水洗缸、酸缸各加入NaOH,浓度
为5-10%,开循环喷洗2hr,排净废液加入清水于标准液位,开 循环喷洗30分,排除废水加入清水至标准液位,往水洗缸.酸 缸各加入5L H2SO4,开循环喷洗2hr,排净废液; ❖ 7.6.加入清水于标准液位,开循环喷洗30分,排除废水; ❖ 7.7.加入清水于标准液位,开循环喷洗15分,检查传送.喷嘴. 压力表运行是否正常;排除废水
3.速度: 2.0-3.0m/min
4.水洗压力:1.0-2.0kg/cm2
5.烘干温度:85-95 ℃
生产控制(注意)事项
❖ 1.检查各喷嘴是否堵塞、破损、缺少; ❖ 2.检查各过滤网是否干净、破损; ❖ 3每次生产前根据不同板厚做磨痕试验,确认
OK后方可进行生产。 ❖ 4定时的进行机器保养(保养详见操作指示)
操作规范
❖ 1.贴膜人员戴手指套、双手持板边进行操作 ❖ 2.生产时手不要接触到热压辊 ❖ 3.生产不同尺寸的板时选择最合适的干膜尺
寸 ❖ 4.割膜人员割膜时检查板边的平整度
工艺参数控制
❖
贴膜压力:3.0-5.0kg/cm2
贴膜速度:1.0-1.8m/min
贴膜温度:110±5℃
压膜进板温度: 50±5℃
二、贴 膜
❖ 贴膜时,先从干膜上剥下聚乙烯保护膜,然 后在加热加压的条件下将干膜抗蚀剂粘贴在 铜面上。干膜中的抗蚀剂层受热后变软,流 动性增加,使抗蚀剂流入板面的微观结构内, 借助于热压辊的压力和抗蚀剂中粘结剂的作 用完成贴膜
二、贴 膜
贴膜的作用:是将干膜贴在粗化的铜面上。
保护膜
干菲林
贴膜机将干膜通过压轳与铜面附着,同时 撕掉一面的保护膜。
操作规范
❖ 1.放板和接板人员都必须带手套操作 ❖ 2.两手持板边,不要裸手接触到拼板单元内 ❖ 3.轻拿轻放,小心擦花板面,取板一块一块
插架 ❖ 4.放板时,先后板间距不能小于2cm,以免叠
板 5.放板人员检查板面是否有异常情况,如擦 花、压伤等
工艺参数控制
❖
1.H2SO4浓度3-5%
2. 磨痕:10-16MM
干膜工艺流程详细介绍
磨板 贴膜 曝光
显影
蚀刻或电镀
褪膜
干菲林 Cu
基材 底片
一、磨 板
磨板的作用:基板前处理主要是解决表面清洁度和表 面粗糙度的问题。粗化铜面,便于菲林附着在铜面上。 磨板的种类:化学磨板、机械磨板。 机械磨板工艺:
酸洗 水洗 磨板 水洗 水洗 吸干 热风干
以上关键步骤为酸洗和磨板段。
干膜的类型
❖ ❖ 2. 水溶型干膜 它包括半水溶性和全水溶性两种。半水溶性 干膜显影剂和去膜剂以水为主,并加有2-15 %的有机溶剂。全水溶性的干膜显影剂和去 膜剂是碱的水溶液。半水溶性干膜成本较低, 而 全水溶性干膜的成本最低,毒性亦小。
干膜的类型
❖ ❖ 3.干显影或剥离型干膜 这种干膜不需用任何显影溶剂,而是利用干 膜的感光部分与未感光部分对聚酯薄膜表面 和加工工件表面附着力的差别,在从曝光板 上撕下聚酷薄膜时,未曝光的不需要的干膜 随聚酯 薄膜剥离下来,在加工工件表面留下 已曝光的干膜;由此得到所需要的干膜图像。