基于像差修正的同轴度测量方法

合集下载

相关主题

1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。

摘要：了实现在同轴度测量中平行偏差（偏）倾斜偏差（偏）个量的同时测量，立＿于激光准直性的光斑接为平和角两建『基
收系统。该系统由接收物镜、分光棱镜和ＣＤ构成。以物镜光轴、Ｃ准直光束几何中心线和两个ＣＤ接收面构成的三角Ｃ关系进行两个偏差量的计算；通过对系统像差的分析，出了显著降低物镜像差对测量结果影响的算法。理论和实验并提数据表明，于平偏测量范围为 ± １对０ｍｍ、角偏测量范围为 ± ２、收物镜焦距为５。接０ｍｍ、Ｃ尺寸为１６ｃ的系统，ＣＤ．ｍ平
文章编号
１０ — ２Ｘ（０７１－７２００４９４２０）１１１－９
基于像差修正的同轴度测量方法
吴国俊，闫亚东，仓玉萍，吴玲玲，陈良益
（．１中国科学院西安光学精密机械研究所，陕西西安７０１；．１１９２中国科学院研究生院，北京１０３）００９
ｔｏｓｓｍｕｔｎｏｌａａｅｅｍ— ｐｒｃｉｅｓｓｅｉｎｉｌａｅｕｓｙ，ｌｓｒｂａｓｏｔｅｅｖｒｙｔｍｃｎｓｓｉｅｅｖｒｌｎｓ，ｂａｏｉｔｎｇｏｆａｒｃｉｅｅｅｍｓｉｔｒｐｌｅｔｐｒｓｓ，ａｉｍｎｄＣＣＤｓｄｏａｅｏｌｍａｉｎｗａｓａｉｈｄ．Ｔｈｅｔｉｎｂａｅｎｌｓｒｃｌｉｔｏｓｅｔｂｌｅｓｒａｇｕｌｒｒｌｔｏｎｈｉｍｏｔａｅａｉｓｐａｎｇｈｅｌｎｓｏｔｃｌａｉｌｓｒｂｅｍｘｉｅｐｉａｘｓ，ａｅａａｓ，ａｎｄＣＣＤｓｕｓｄｔａｃｌｔｈｏｅｔｏｄｖａｉｎｓＩｄｔｏｗａｅｏｃｌｕａｅｔｓｗｅｉｔｏ．ｎａｄｉｉｎ，ａｃｃａｉｎｍｅｈｄｆｒｏｂｉｕｓｙｒｄｕｉｈｆｅｔｏｆｌｎａｌｕｌｔｏｔｏｏｖｏｌｅｃｎｇｔｅｅｆｃｅｓ’ｅｒｐｔｃｌｂｅｒｔｏａｒｓｎｔｄｒｏｒｏｎｏｉａａｒａｉｎｗｓｐｅｅｅ．Ｔｈｈｅｒｔｃｌａｘｒｍｅａａａｉｄｃｔｈｔｆｒａｓｓｅｉｈｐｓｔｏｅｓｅｅａｇｆｅｔｏｅｉａｎｄｅｐｅｉｎｔｌｄｔｎｉａｅｔａ，ｏｙｔｍｗｔｏｉｉｎｍａｕｒｍｎｔｒｎｅｏ
维普资讯
第１卷５
第１期１
光学精密工程
ＯｐｉｓａｄＰｒｃｓｏｎＥｎｇｎｅｉｇｔｃｎｅｉｉｉｅｒｎ
Ｖｏ１５ＮＯ．１．１１
ＮＯＶ２７．００
２００７年１１月
偏测量精度可达００．２ｍｍ，角偏测量精度可达９５。因此，系统可以满足较大范围内的旋转机械同轴度测量的需要。．” 该
关键词：光准直；收物镜；激接光线追迹；平行偏差（平偏）倾斜偏差（；角偏分类号：ＴＨ７１ＴＮ２７４；４
Ｃｏｘａｉｙｍｅｓｒｍｅｔｍｅｈｄｂｓｄｏｅｉｉｇａｅｒｔｏａｉｌｔａｕｅｎｔｏａｅｎｒｖｓｎｂｒａｉｎ
ＷＵｏｊｎ～，ＹＡＮＹａｄｎ，ＣＧｕ —ｕ ’ — ｏｇ～ＡＮＧ — ｉｇ～，ＷＵｉｇｌｇ一，ＣＨＥＮＬａｇｙＹｕｐｎＬｎ —ｉｎｉｎ — ｉ
Ａｂｔａｔｎｏｄｒｔｅｌｅｓｎｔｅｉｏｘａｉｙｍｅｓｒｍｅｏｒｐｏｉｉｎｄｖａｉｎｓａｄａｇｌｅｉ— ｓｒｃ：Ｉｒｅｏｒａｉｙｈｔｃｃａｉｌａｕｅｎｔｆｓｔｏｅｉｔｏｎｎｅｄｖａｚｔ
（． ’ ｎＩｓｉｕｅｏｉＳａｄＰｒｃｓｏｃａｉｓ１ＸｉａｎｔｔｔｆＯｐｔｃｎｅｉｉｎＭｅｈｎｃ， ’ ＣｈｎｓｉｅｅＡｃｄｅｆＳｉｎｅ，Ｘｉａ１１９ｈｎａｍｙｏｃｅｃｓ ’ ｎ７０１，Ｃｉａ；２ＧｒｄｕｔＳｈｏｆｔｅＣｈｎｓａｅｆＳｉｎｅ，Ｂｅｊｎ００９ｈｎ．ａａｅｃｏｌｏｈｉｅｅＡｃｄｍｙｏｃｅｃｓｉｉｇ１０３，Ｃｉａ）