EG2001 Mapping文件格式说明 _完整版
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EG2001 Mapping文件格式说明
Prepared by Phil Mao as of Jan 15, 2014
EG2001 Mapping用的是SECS格式——这个是解析了十几个不同的EG2001 Wafer Map推算出来的，花了不少时间。
以下字节(Byte)值都为16进制：
1、头文件部分——请留意重复的标记字节。
第1和第2个字节: 始终是01 02，代表EG2001 Map头文件开始标记。
第5和第6个字节: 第5个字节始终是41，代表Wafer ID开始标记。第6个字节是Wafer ID长度Wafer ID: 第7字节开始，长度已知。
ID Type: 第1个21 01接着的一个字节，始终为0。第1个21 01为ID Type开始标记
Flat (Degreee) : 紧跟的第1个A9 02的2个字节是平边角度。第1个A9 02为Flat/Notch开始标记COORDINATE QUAD: 第2个21 01后面的1个字节。第2个21 01为Coordinate Quadrant开始标记RefPoint1: X，第1个71 08后面的4个字节，FF代表负坐标，00代表正坐标。
RefPoint1: Y，第1个71 08后面的第5-8个字节，FF代表负坐标，00代表正坐标。
RefPoint2: X，第2个71 08后面的4个字节，FF代表负坐标，00代表正坐标。
RefPoint2: Y，第2个71 08后面的第5-8个字节，FF代表负坐标，00代表正坐标。
UNIT :10^-1*mil: 总是0.1mil，跟在41 09字后的31 30 5E 2D 31 2A 6D 69 6C。-->这个如果用公制，貌似会有差别，但十几个Wafer Map都没看到这个现象。
X die size: 第1个B1 04后面的4个字节，单位0.1mil。
Y die size: 第2个B1 04后面的4个字节，单位0.1mil。
Row Count: 第2个A9 02后面的2个字节。
Column Count: 第3个A9 02后面的2个字节。
Process die count: 第3个B1 04后面的4个字节。
PROBE QUADRANT: 第3个21 01后面的1个字节。
Prober走向：EG2001测Die只有4种走法。
象限1-->象限2：COORDINATE QUAD为1
象限2-->象限1：COORDINATE QUAD为2
象限3-->象限4：COORDINATE QUAD为3
象限4-->象限3：COORDINATE QUAD为4
2、Mapping分Bin部分
01 03代表Mapping分Bin部分开始标记。
紧跟着的41 xx。41代表Wafer ID开始标记，xx是Wafer ID长度。这个跟头文件部分是一样的。
(1) 01 02 69 06: 每行的开头标记。即有多少个01 02 69 06，EG2001的Mapping就有多少行。
(2) 紧跟着的4个字节：前2个代表X坐标，后2个代表Y坐标。FF代表负坐标，00代表正坐标。
(3) 再接着2个字节：代表该行Die 数。第1个字节00代表往右多少颗Die，FF代表往左多少颗Die。
(4) 再接着的一个字段，可能是A5 xx，也可能是A6 xx xx。
区别：
A5代表一行最多255颗Die，xx的最大值为FF，即1个Byte最大值为FF = 255。
A6代表一行最多65535颗Die，xx xx的最大值为FF FF，即2个Byte最大值为FF FF = 65535。
(5) 后面的所有字节：每颗Die的Bin值，直接转成十进制即可。比如FE代表Skip Die或Mark Die (EG Prober貌似两种Die无法区分，直接标记为X即可)。