电阻真空计

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真空测量常用真空计

真空测量常用真空计真空测是是真空技术中的一个重要组成部分用于测量真空度的仪器叫真空计。

真空计的种类很多，根据真空计的刻度方法，可分为绝对真空计和相对真空计。

(一)绝对真空计:通过对气体压强进行测量，经过计算后，能反映真空度的真空计，叫绝对真空计，如:U 型管真空计、压缩式真空计等。

(1)U型管真空计:利用U型管两端的液面差，来测量压强的典空计叫U型管真空计。

(2)压缩式真空计:又称麦克劳真空计。

利用波意耳定律，将定量待测的气体，用水银或油压缩到极小体积，然后比较它的开管与闭管之间的液柱差，通过计算求得压强的一种绝对真空计。

(二)相对真空计:通过对与压强有关的物理盆进行侧量，但不能通过计算来进行刻度，只能与绝对真空计进行比较才能刻度的真空计，叫相对真空计，如:弹性式真空表、薄膜式真空计、电阻真空计、热偶真空计和电离真空计等。

:(1)弹性式真空表:利用弹性元件随压强变化所产生的变形，测量真空度的真空计。

(2)电阻真空计和热偶真空计:利用气体分子的热传导作用，测量真空度的真空计。

(3)电离真空计:利用气体分子在低压强下的电离现象，测量真空度的真空计。

常用真空计的分类和测量范围见下图：(三)绝对真空计与相对真空计的比较(1)绝对真空计的优点，是结构简单福、造价低、测量精度高，其测量值与被测气体种类无关(可凝性蒸气除外)。

其缺点是操作不便，不能连续测量，用水银作介质时，水银蒸气对环境有污染。

(2)相对真空计的优点，是能连续测量真空度，并便于自动记录和用于自动控制。

其缺点，是测量精度受气体种类和环境温度的影响较大，测量精度不如绝对真空计高。

真空热处理炉常用的真空计有弹性式真空表、热偶真空计、电阻真空计、电离真空计等相对真空计。

现将常用的真空计工作原理简介如下:(一)弹性式真空表:真空表内，有一由铍青钢或不锈钢等弹性材料制成的扁平截面弹簧弯管，管的一端与被测真空系统相连，另一端封死，并通过连杆齿轮与指针相连。

ZDZ T电阻真空计说明书

产品名称: 电阻真空计产品型号： ZDZ-52T使用说明书Operation Panel目录1.简介--------------------------------------------------11.1 仪器简介----------------------------------------11.2 包装内容----------------------------------------12. 主要技术参数-----------------------------------------13. 仪器安装---------------------------------------------23.1仪器安装尺寸-------------------------------------------23.2仪器后面板图示及接线说明-----------------------------24. 仪器操作指南------------------------------------------------25. 故障诊断---------------------------------------------36. 注意事项 -------------------------------------- --41.1仪器简介ZDZ-52T型电阻真空计,可测量1路规管信号，控制2路继电器触点输出及0～5V模拟量输出。

在测量范围内,可自由设定点控或区域控制。

适合用于粗、低真空的测控。

ZDZ-52T型电阻真空计采用高档微处理器作主机,压缩外围部件,以提高可靠性。

本机电源采用高档模块电源，硬件采用模块化结构设计及EMI抑制、WATCHDOG电路,软件采用冗余、陷阱、数字滤波等抗干扰技术,进一步提高了仪器的抗干扰能力及整机性能,使仪器具有很高的可靠性,可在恶劣的工业环境下使用。

1.2 包装内容◆ZDZ-52电阻真空计一台◆ZDZ-52使用手册一本◆ZJ-52T电阻规管一支◆5芯电缆线(5M) 一根◆电源线(1.5M) 一根2.主要技术参数1测量路数 1路2 测量范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa)4 配接规管 ZJ-52T/KF165 测量精度 ±30%6 零点漂移 ±1%7 控制范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa)8 控制方式 2路点控或区域控制（本机无）9 控制精度 ±1%10 控制时间 < 1S11 输出容量 3A/220VAC无感负载12 模拟输出 0～５V13 使用电源 AC 220V/50Hz ±10%14 环境温度 -10℃--45℃15 环境湿度 < 85%(25℃)16 额定功耗 10W17 仪器净重约1.5Kg3．仪器安装3.1仪器安装尺寸:单位(mm)A．外形尺寸：96X96X190(宽X高X深)B．面板尺寸：96X96C．开孔尺寸: 92X923.2 后面板接线说明：A:电源插座:接3芯电源线B:电阻规插座(5PIN):电缆线说明:仪器端←--------→规管端后面板接线端口 (1,2,3,4) 对应 (1,2,3,4)选配扩展功能：C: 模拟输出接口(DB-9)，可输出0-5/10V/10mV 或 0/4-10/20mA等的真空度模拟输出量。

微机型电阻真空计安全操作及保养规程

微机型电阻真空计安全操作及保养规程微机型电阻真空计是一种常用的真空度测量仪器，其使用广泛涉及到许多安全操作和保养规程。

本文将详细介绍微机型电阻真空计的安全操作和保养规程，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。

仪器的安全操作安装位置微机型电阻真空计应该放置在干燥通风的位置。

不要将其暴露于阳光下或者在潮湿的地方使用。

为了避免石膏地板的挥发物影响仪器测量精度，最好把仪器放置在一块托盘或者其他无毒、无味的物质上。

电源微机型电阻真空计应该连接正常并配备接地线的电源插座。

在电源接通前，必须确保插头和插座之间切实接触。

当使用结束后，应该切断电源并拔掉插头，以及时保护电路免受意外损坏，也可以保证人员的人身安全。

操作流程在操作仪器之前，必须要对仪器的操作流程和实验方法有一个全面的了解，不能擅自更改，以免导致实验数据出现误差。

同时，在使用期间，应该注意及时了解仪器的工作状态，确保仪器的运行状态正常。

氮气使用微机型电阻真空计时，需要使用氮气充填。

在更换气瓶或者吸入气体时，必须注意安全使用气瓶设备。

操作人员应该穿戴防护手套、防护眼镜等安全防护设施，以防吸入气体时发生意外。

仪器的保养规程清洗为了保持微机型电阻真空计的测量精度，必须定期清洗实验室和仪器表面，以避免灰尘、油脂等杂物对仪器的影响。

同时，在仪器的操作中，尽量避免污染仪器表面。

校准微机型电阻真空计的使用寿命和精确度与校准的频率密切相关。

建议在实验前先进行校准，确保仪器的测量精度符合规定标准。

维护在使用微机型电阻真空计的过程中，应该养成良好的维护习惯。

定期检查仪器是否有损坏、故障和松动等问题，并及时处理和更换故障部件，以确保仪器长时间的正常运行。

结论安全操作和保养规程对于微机型电阻真空计的正常运行和精确度至关重要。

为了延长仪器寿命和保证实验数据的准确性，我们必须要重视仪器的使用和保养。

籍用本文所提供的微机型电阻真空计的安全操作和保养规程，我们可以让仪器得到长时间的正常工作并保证实验数据的有效性。

常用真空计的测量范围

常用真空计的测量范围及其性能李苹平(合肥华瑞真空科技有限公司)介绍几种测量范围为10-8～105Pa的常用真空计，其应用十分广泛，性能较好，价格较低。

热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计（可测量超高、高真空）、电容薄膜真空计、热电偶真空计、电阻真空计及压缩式真空计、压敏（压力敏感元件）电阻真空计。

本文仅介绍应用广泛性能较好且价格较低的几种真空计，测量范围参见图1。

1 电离真空计电离真空计的离子流与压强关系为线性关系（直接测量参数与所需测量参数之间为线性关系，可作为直观仪表），规管（测量元件）测量上限由规管非线性不超过20％所对应的压强确定，测量下限由规管本底压强示值的10倍确定[2]。

（在非线性不超过20%时，可近似为线性测量）电离计总的测量范围为10-8～102Pa，一般说来，每一种结构的规管只能覆盖一部分。

（每一种结构的规管产生的离子流与压强在一定范围内成线性相关）BA计收集极做成针状，它的X光本底电流小，因而下限可达10-8Pa，是一种超高真空计。

它的上限为10-1Pa，灯丝是钨丝。

DL-2型真空规管在上世纪50年代在我国生产，它是高真空规管，测量范围是lO-5～10-1Pa，钨灯丝。

钨灯丝在高压强易氧化而烧断，规管在10-1Pa工作寿命约1个星期。

因而上限不能超过10-1Pa。

70年代研制了DL-5型中真空规管[3]。

它的测量范围是10-4～10 Pa。

该规管在国内首先用敷氧化钇铱丝作灯丝，可以在高压强工作。

高压强规管的几何尺寸要小，以减小电子在行程中与气体分子碰撞。

后来有人做出_DL-8型规管，它的几何尺寸比DL-5更小，上限可达100 Pa。

热阴极电离计在压强大于10 Pa时使用不太合适（测量元件在高压强下易氧化而烧断）。

在高压强时发射电流应减小。

上世纪80年代，用敷氧化钇铱丝代替BA计中的钨丝做出DL-7型BA计规管[4]。

它的测量范围是5×lO-8～10-1 Pa，与钨丝的BA计相比，它更适合在较高压强下工作。

电阻真空计使用说明书

下点控制：
继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“on”即为下点控制模式，其动作类型如下图所示：
区域控制：
继电器的上限（up）设为“on”，下限（Lo）设为“on”即为区域控制模式，其动作类型如下图所示：
关闭模式：
继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“OFF”即为关闭模式，此时该路继电器将一直处于关闭状态。
（3）继电器上限点设置菜单下，通过“Set”键在整数、小数、幂之间调整设置位置，通过“▲”和“▼”键设置真空度。
（4）设置完成后按下“OK”键进入继电器下限设定,界面显示如下：
（5）反复按下“OK”键，菜单将会依次从继电器1向继电器4切换，若当前继电器的上限/下限为“OFF”，将直接进入下级菜单，而不会进入设定点菜单。
（1）、简述
DGR-52电阻真空计采用主/从结构的MODBUS协议进行数据通信，真空计为从机。用户可以根据实际需要选择使用MODBUS-ASCII或MODBUS-RTU方式与主机通信，亦可自由设定通信的数据格式和通信速度。
MODBUS-ASCII协议的数据帧格式为：
1 Byte
2 Bytes
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2Bytes
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2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
06
寄存器地址字节1
寄存器地址字节2
写入数据
字节1
写入数据字节2
校验码
CR LF
MODBUS-RTU格式
主机发送：
-
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
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真空计原理及测量范围

真空计原理及测量范围
真空计是一种用于测量真空度的仪器，根据不同的原理可以分为多种类型，包括气体扩散法真空计、热导法真空计、冷阴极离子化真空计等。

下面将分别介绍这几种常见的真空计的原理及测量范围。

1.气体扩散法真空计
气体扩散法真空计是通过测量气体扩散速率来间接得到真空度的。

工作原理是将样品或测量环境中的气体进入真空计中，利用气体在真空中自由扩散的特性，通过测量扩散流量来计算真空度。

该方法适用于较高真空度的测量范围，通常在10^-1至10^-7帕之间。

2.热导法真空计
热导法真空计主要基于热导率与气体密度之间的关系来测量真空度。

它包含一个加热丝和一个测量电阻，当加热丝加热时，传热受到气体分子碰撞的影响，从而导致电阻的变化，根据电阻的变化可以计算出气体的密度。

热导法真空计适用于1至10^5帕的测量范围。

3.冷阴极离子化真空计
冷阴极离子化真空计主要通过测量空间中的电离电流来间接测量真空度。

该方法通过在真空计中放置一个冷阴极，当真空中的气体与冷阴极发生碰撞时，会产生电子，然后利用电子与气体分子碰撞产生离子，通过测量电离电流的大小来计算真空度。

冷阴极离子化真空计适用于10^-4至10^-2帕的测量范围。

以上所述的是一些常见的真空计的原理及测量范围，不同的真空计适用于不同的测量条件和要求。

在实际应用中，还需要根据具体的测量需求选择合适的真空计，以获得准确可靠的测量结果。

电阻真空计的故障诊断及检修方法

电阻真空计的故障诊断及检修方法电阻真空计是一种常用的真空度测量仪器。

它利用电流通过真空中的电阻，根据欧姆定律计算出真空计的阻值，从而推断出真空度。

然而，由于使用环境和使用方法等原因，电阻真空计也会出现故障。

本文将介绍电阻真空计常见的故障及其诊断和检修方法。

首先，需要了解电阻真空计的基本结构。

电阻真空计一般由电阻丝、电源、电流表和压强表等部分组成。

电阻丝是电阻真空计的核心部分，它的电阻值与真空度成正比。

当真空度变化时，电流经过电阻丝的变化程度直接反映了真空度的变化。

接下来，我们将介绍电阻真空计可能出现的故障症状以及对应的故障诊断和检修方法。

1.电阻丝破裂：电阻丝是电阻真空计中最易损坏的部分，常见故障是电阻丝破裂。

这种情况下，电流表无法读数，并且压强表显示为最大值。

电阻丝破裂通常是由于长时间高电流通过或负载过重引起的。

解决方法是更换电阻丝。

2.电压异常：当电源电压异常时，电阻真空计无法正常工作。

可以用电压表检查电源电压是否正常，如果不正常则应调整或更换电源。

3.电流异常：当电流表的读数异常时，可能是电流表损坏或接触不良引起的。

可以用万用表进行测量，如果电流表的读数与万用表测量的值相差较大，则需要更换电流表。

4.压强异常：当压强表的读数异常时，是因为电阻真空计的输出信号异常引起的。

需要检查电阻真空计的输出信号是否正常，如果不正常则可能是电源、电流表或压强表等部分引起的。

可以逐个检查这些部分的工作状态，发现问题后进行修理或更换。

5.清洁不彻底：在使用过程中，电阻真空计表面可能会积累灰尘或杂质，导致其读数不准确。

因此，定期清洗电阻真空计，保持其表面的清洁非常重要。

可以使用无粉尘布擦拭电阻真空计的外表面，并注意避免使用有擦拭剂或腐蚀性液体。

总结起来，电阻真空计的故障诊断和检修方法包括更换破损的电阻丝、调整或更换电源、电流表和压强表，以及定期清洗仪器表面。

应该注意的是，对于更加复杂的故障，最好由专业维修人员来进行检查和修理。

真空计说明书

ZDR—II—LED微机型数显电阻真空计使用说明书OPERATION.INSTRUCTION一、简介ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计，是目前国内的新型真空计测量仪器。

它采用微机控制、数字显示，具有测量精度高，控制准确方便，显示直观等特点。

本仪器采用当今世界流行的薄膜面板及能触摸按钮，造型美观大方。

二、适用范围ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计配ZJ-52T电阻规管，其测量范围为1*105～1*10-1Pa，适用于要求测量范围宽，反映灵敏的粗、低真空的双路测量，并带有双路定值控制功能。

三、技术指标1、ZJ-52T规管电阻值：85Ω2、真空度测量范围：1*105～1*10-1Pa3、定值控制设定范围：1*105～1*10-1Pa4、定值控制负数：AC220V/3A（或DC28V/10A）5、放大器满度误差：≤4％±1个字6、工作电源：220V±10% 50HZ±5%7、功耗：约30W8、使用环境温度：0～45℃9、空气相对湿度：＜85%10、仪器外型规格：480*88*280或240*88*320mm11、重量：3KG四、工作原理电阻计的工作原理是基于在低压强时，利用气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化。

电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，鉴次本机采用微机对此非线性进行误差修正，从而提高了测量精度。

由压强变化所引起的电阻规电阻的变化，由测量桥路输出电压信号，由放大器放大，经A/D转换换入微机进行非线性处理过算，最后送显示器显示。

其工作原理框图如下五、使用方法：1、将玻璃电阻规或金属电阻规开封与系统妥善密封连接，将仪器电缆线与规管连接。

2、接通仪器电源，数秒后显示“规1”测量值（左边），“规2”真空测量值（右边）。

真空度显示前两位为系数，第三位是底数10，用数字符号E来表示，最后位为指数。

如显示2.8E2时，其真空度P=2.8*102Pa=280Pa3、零点、满度校准由于电阻规制造时材料、工艺、装配等方面的因素，不同电阻规的性能有差异。

真空测量常用真空计

真空测量常用真空计真空测是是真空技术中的一个重要组成部分用于测量真空度的仪器叫真空计。

真空计的种类很多，根据真空计的刻度方法，可分为绝对真空计和相对真空计。

(一)绝对真空计:通过对气体压强进行测量，经过计算后，能反映真空度的真空计，叫绝对真空计，如:U 型管真空计、压缩式真空计等。

(1)U型管真空计:利用U型管两端的液面差，来测量压强的典空计叫U型管真空计。

(2)压缩式真空计:又称麦克劳真空计。

利用波意耳定律，将定量待测的气体，用水银或油压缩到极小体积，然后比较它的开管与闭管之间的液柱差，通过计算求得压强的一种绝对真空计。

:(1)弹性式真空表:利用弹性元件随压强变化所产生的变形，测量真空度的真空计。

(2)电阻真空计和热偶真空计:利用气体分子的热传导作用，测量真空度的真空计。

(3)电离真空计:利用气体分子在低压强下的电离现象，测量真空度的真空计。

其缺点是操作不便，不能连续测量，用水银作介质时，水银蒸气对环境有污染。

(2)相对真空计的优点，是能连续测量真空度，并便于自动记录和用于自动控制。

其缺点，是测量精度受气体种类和环境温度的影响较大，测量精度不如绝对真空计高。

真空热处理炉常用的真空计有弹性式真空表、热偶真空计、电阻真空计、电离真空计等相对真空计。

电阻真空计的故障诊断及检修方法

电阻真空计的故障诊断及检修方法断路器可能出现的故障有很多，原因也很多，我总结了集中经常会碰见的原因，你先看一下：1、常见的真空断路器不正常运行状态断路器拒合、拒分表现为在断路器得到合闸(分闸)命令后，合闸(分闸)电磁铁动作，铁心顶杆将合闸(分闸)掣子顶开，合闸(分闸)弹簧释放能量，带动断路器合闸(分闸)，但断路器灭弧室不能合闸(分闸)。

断路器误分表现为断路器在正常运行状态，在不明原因情况下动作跳闸。

断路器机构储能后，储能电机不停表现为断路器在合闸后，操动机构储能电机开始工作，但弹簧能量储满后，电机仍在不停运转。

断路器直流电阻增大表现为断路器在运行一定时间后，灭弧室触头的接触电阻不断增大。

断路器合闸弹跳时间增大表现为断路器在运行一定时间后，合闸弹跳时间不断增大。

断路器中间箱CT表面对支架放电表现为断路器在运行过程中，电流互感器表面对中间箱支架放电。

断路器灭弧室不能断开表现为断路器在进行分闸操作后，断路器不能断开或非全相断开。

2、故障原因分析断路器拒分、拒合操动机构发生拒动现象时，一般先分析拒动原因，是二次回路故障还是机械部分故障，然后进行处理。

在检查二次回路正常后，发现操动机构主拐臂连接的万向轴头间隙过大，虽然操动机构正常动作，但不能带动断路器分合闸联杆动作，导致断路器不能正常分合闸。

断路器误分断路器在正常运行状态下，在没有外施操作电源及机械分闸动作时，断路器不能分闸。

在确认没有进行误操作的情况下，检查二次回路及操动机构。

发现操动机构箱内辅助开关接点有短路现象，分闸电源通过短路点与分闸线圈接通，造成误分闸。

原因是断路器机构箱顶部漏雨，雨水沿着输出拐臂向下流，正好落在机构辅助开关上，造成接点短路。

断路器机构储能后，储能电机不停断路器在合闸后，操动机构储能电机开始工作，弹簧能量储满后，发出弹簧已储能信号。

储能回路中串有断路器一对常开辅助接点和一对行程开关常闭接点，断路器合闸后，辅助开关的常开接点接通，储能电机开始工作，弹簧储满能量后，机构摇臂将行程开关常闭接点打开，储能回路断电，储能电机停止工作。

电阻真空计

总结
1 . 在电阻真空计的设计中. 如果把灵敏度与量程、强度与寿命作为主妥指标, 用钨铼丝将甚感满意。 2. 如果设计时主要希望仪表指示稳定, 能耐受复杂条件（工作气氛) 的考验，并有足够好的强度, 而把高灵敏度和宽量程放在次要地位, 那么, 铂铱丝是比较合适的材料。 3. 钨铑丝、铂铑丝的性能也是不错的, 如果有条件就可考虑。 4. 基本的单金属丝是钨、铂、镍、金这几种。其中钨丝最便宜, 铂丝最稳定, 目前仍然是电阻真空计广泛使用的材料。不过, 发展趋势是以合金丝取代单金属丝。
电阻式规管
管壳的材料金属外壳具有耐用、拆卸热丝方便等优点；缺点是密封性能差，价格高。
玻璃外壳具有密封性能好、价格低等优点；缺点是易损坏。
电阻式规管
灯丝的选取灯丝材料的选取主要是从灵敏度、强度、稳定性三个方面选取。
金属材料钨
4.8 2 5.1
铂
3.9 9.2～ 9.6
镍
铬
铱
钼
铁
铜
银
6.0 2.5 4.1
电阻真空计
汪浩装备1002 20102330
目
录
1 2 3
电阻真空计的简介
电阻真空计的测量原理
电阻式规管电阻真空计测量线路参考文献
4 5
电阻真空计简介
电阻真空计是指用金属丝作敏感元件的测量低真空气体压强的仪器。它是德国人M.S.Pirani (1880～1965)提出来的,故又称“皮拉尼真空计”或“ 皮氏计”。1906年,Pirani发表了关于电阻真空计的第一篇文章。他是用惠斯通电桥、定温原理，就是说:使丝的电阻(亦即其温度)固定下来后,测定了在该温度下的气体热传导。目前，这种真空计主要由规管和测量线路两部分组成，其测量范围为 104 ~10−1 Pa。

电阻真空计的原理介绍

电阻真空计的原理介绍电阻真空计即采用电阻技术的真空计，一般先校准零点，再进行满度校准。

原理金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。

通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。

单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立Q=I2R=Qg+Qr+Qs(1)Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。

气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为Qg=αΛπda(T-T0)p(2)T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。

剩下的Qs和Qr可以分别表示如下Qs=Sκ(T-T0)/L(3)Qr=πdaσε(T4-T04)(4)(3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,L是电极的长度。

(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。

如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。

如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为I2R=Ap+I02R(5)A=αΛπda(T-T0)(6)I0是压力为0的时候细线的电流,是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。

A式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。

校准一般先校准零点，再进行满度校准。

(1)校准零点。

校准零点需对被测真空系统抽真空，一旦电离规测得真空度高于 1.01Pa(如9.9X102Pa)，按校零按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正零点，当显示1.01Pa时，表示规管零点已校准。

对于无自动零点校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。

(2)满度校正。

校准完零点后，需对其满度校正。

按满度校正过程要求，对被测炉腔放人大气，确保被校电阻规所测位置为大气状态，在大气压下工作约10分钟。

ZDJ-1型电阻真空计说明书

ZDJ-1型电阻真空计前言首先真诚感谢您选购我公司的产品!我们将尽最大的努力消除您的后顾之忧!当您在使用之前,首先必须详细阅读本说明书中各项条款；本仪器是替代老式的指针式和数显式电阻真空计的最新产品,在外型上也是最小型化的产品。

本仪器是采用电阻规中的电阻丝在真空系统中的热传导原理与真空系统压力值的变化的有关的转换原理进行测量，其采用高速数据采集系统及高稳定微处理机的新型监控线路，适用于从大气压值1.0E5Pa-1.0E-1Pa范围内的真空度测量和控制。

采用ZJ-52金属电阻规管，在对真空泵、真空冶炼、真空浸渍、空调冰箱生产线等工业和科研部门均有广泛的应用。

特别注意：非专业人士请勿打开机箱带电触摸。

1、工作原理：该真空计采用热导电阻式真空规。

故名电阻真空计（又名皮拉尼真空计）。

1.1电阻式真空规（又名皮拉尼真空计）是基于这种规通以电流的热丝温度是随真空（压力）而变化的。

由于温度的改变导致热丝电阻的变化。

因此用测量电阻的变化来测量真空度。

1.2 电阻真空计由电阻规和电子学电路组成，电路完成电阻规热丝定温功率调节，以及随真空变化的测量桥路电压信号的采样，放大调理，经A/D转换，微处理器非线性处理、运算，最后送显示器显示。

2、技术参数■ZJ-52T电阻规传感丝冷态电阻值（86.5Ω±1.7Ω）■普通电阻规仅适用于真空系统。

■特别设计的电阻规可承受一定压力的正压。

■真空度测量范围（对干燥空气或氮气）■可测范围：1.0×105～1.0×10-1Pa■在6.5×103～5.0×10-1Pa不大于测量值的±30%。

如果有一台较经济型的U型真空计或标志真空计作参照,那么它的误差可控制在±20%以内。

对局限小的范围可控制在±10%以内。

■有效控制范围5.9×103～5.1×1.0-1Pa控制输出模式：继电器触点通、断输出。

电阻真空计的工作原理

电阻真空计的工作原理
电阻真空计是一种利用环电压测量真空度的方法。

其主要原理是利用电流经过一组放置在电极之间的加热丝（或膜）时，在真空环境中的电阻值与真空度之间的关系。

当加热丝升温到一定程度时，丝的电阻值具有一定的温度系数，其随着温度升高而显著降低。

同时，在真空环境中，丝的电阻值受到气体分子的碰撞而产生影响，丝温度与环境中气体分子数的影响，使得丝的电阻值发生变化。

因此，通过对加热丝的环电压进行测量，即可获得真空环境下的电阻值。

结合预先建立的电阻值与真空度之间的关系式，便可计算出真空度的大小。

电阻真空计检定规程

电阻真空计检定规程嘿，朋友们！今天咱来聊聊电阻真空计检定规程这档子事儿。

电阻真空计啊，就像是一个特别会“看”压力的小机灵鬼。

它能告诉我们真空环境到底是啥情况。

那这检定规程呢，就好比是给这个小机灵鬼立的规矩，告诉它该怎么好好表现，怎么准确地给我们汇报情况。

你想啊，要是没有这些规矩，那它还不得乱了套呀！它要是随随便便给出个不准确的数值，那我们可就抓瞎啦！就好比你要去一个地方，没有地图给你指引方向，那你不得晕头转向呀！这检定规程可细致啦！从怎么安装电阻真空计，到怎么去检测它，每一步都规定得明明白白。

这就像是我们做饭，得先准备好食材，再按照步骤一步一步来，最后才能做出美味的菜肴。

比如说，它会要求我们用特定的标准器具去校准电阻真空计，这就好像是给它找了个好老师，教它怎么变得更厉害。

而且还规定了检测的环境条件呢，温度啊、湿度啊都得合适，不然它也会闹脾气，给出不准确的结果哦。

我们在实际操作的时候可得认真对待这些规程呀！不能马马虎虎的。

就像你对待自己最喜欢的宝贝一样，小心翼翼地呵护着。

要是不按照规程来，那可不行哦，就好像你不遵守交通规则，那肯定得出乱子呀！每次进行检定的时候，我都感觉自己像是个侦探，在仔细寻找每一个可能影响结果的小细节。

这可不是开玩笑的，一个小小的疏忽都可能让整个检定结果变得不准确。

咱再想想，如果没有严格的电阻真空计检定规程，那会怎么样呢？工厂里生产的产品质量可能就没法保证啦，科研实验的数据也可能不准确呀！那可真是不得了啦！所以呀，大家可别小瞧了这电阻真空计检定规程哦！它虽然看起来不起眼，但作用可大着呢！我们一定要好好遵守它，让我们的真空测量工作顺顺利利的，为我们的生产和科研提供准确可靠的数据。

这不就是我们一直追求的嘛！怎么样，现在知道它的重要性了吧！原创不易，请尊重原创，谢谢!。

ZDZ-52T电阻真空计说明书

在测量范围内,可自由设定点控或区域控制。

适合用于粗、低真空的测控。

ZDZ-52T型电阻真空计采用高档微处理器作主机,压缩外围部件,以提高可靠性。

电阻真空计校准

电阻真空计校准
电阻真空计是一种广泛应用于真空技术领域的仪器，主要用于测量低压下的气体压力。

由于其高精度和稳定性，被广泛应用于真空设备的制造和维护中。

然而，在使用电阻真空计时，其精度和正确性需要得到保证，因此需要进行定期的校准。

下面将对电阻真空计校准进行详细介绍。

需要了解电阻真空计的工作原理。

电阻真空计是基于电阻的变化原理进行测量的。

当电阻器中的气体分子数量变化时，其电阻值也会相应地发生变化，从而实现对气体压力的测量。

因此，电阻真空计的校准需要考虑气体的种类和压力范围。

电阻真空计的校准需要使用专业的校准仪器。

一般来说，校准仪器会在一定的气体压力范围内提供标准的电阻值，从而可以对电阻真空计进行校准。

在校准过程中，需要保证校准仪器和电阻真空计的接口紧密连接，并且需要保证气体的流通畅通，以保证校准结果的准确性。

电阻真空计的校准还需要考虑其他因素的影响。

例如，校准环境的温度和湿度会影响校准结果，因此需要进行恰当的调整。

此外，校准前需要对电阻真空计进行清洁和维护，以保证其正常工作。

电阻真空计的校准需要定期进行。

一般来说，校准的频率取决于使用频率和环境条件等因素。

在实际应用中，需要根据具体情况进行
调整。

另外，需要记录每次校准的结果和时间，并及时处理校准结果异常的情况。

电阻真空计的校准是保证其正常工作和准确测量的重要步骤。

在进行校准时，需要使用专业的校准仪器，并且需要考虑多种因素的影响。

通过定期的校准，可以保证电阻真空计的精度和稳定性，从而为真空技术领域的研究和应用提供可靠的支持。

常用真空计的测量范围及其性能

常用真空计的测量范围及其性能王逊(北京大学电子学系，北京100871)摘要：介绍几种测量范围为10-8～105Pa的常用真空计，其应用十分广泛，性能较好，价格较低。

关键词：真空计；测量范围；性能中图分类号：TB771；TNl07 文献标识码：B 文章编号：1002-0322(2004)04-0047-021 概述上世纪80年代有关文件将常用真空计概括为六大类[1]，即热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、电容薄膜真空计、热电偶真空计、电阻真空计及压缩式真空计。

同一年代又出现压敏电阻真空计，现在共有七大类。

本文仅介绍应用广泛性能较好且价格较低的几种真空计，测量范围参见图1。

2 电离真空计电离真空计的离子流与压强关系为线性关系，规管测量上限由规管非线性不超过20％所对应的压强确定，测量下限由规管本底压强示值的10倍确定[2]。

电离计总的测量范围为10-8～102Pa，一般说来，每一种结构的规管只能覆盖一部分。

BA计收集极做成针状，它的X光本底电流小，因而下限可达10-8Pa，是一种超高真空计。

它的上限为10-1Pa，灯丝是钨丝。

DL-2型真空规管在上世纪50年代在我国生产，它是高真空规管，测量范围是lO-5～10-1Pa，钨灯丝。

钨灯丝在高压强易氧化而烧断，规管在10-1Pa工作寿命约1个星期。

因而上限不能超过10-1Pa。

70年代研制了DL-5型中真空规管[3]。

它的测量范围是10-4～10 Pa。

该规管在国内首先用敷氧化钇铱丝作灯丝，可以在高压强工作。

高压强规管的几何尺寸要小，以减小电子在行程中与气体分子碰撞。

后来有人做出_DL-8型规管，它的几何尺寸比DL-5更小，上限可达100 Pa。

热阴极电离计在压强大于10 Pa时使用不太合适。

在高压强时发射电流应减小。

上世纪80年代，用敷氧化钇铱丝代替BA计中的钨丝做出DL-7型BA计规管[4]。

它的测量范围是5×lO-8～10-1 Pa，与钨丝的BA计相比，它更适合在较高压强下工作。

真空计满调零调方法

真空计满调零调方法-CAL-FENGHAI.-(YICAI)-Company One1
《电阻真空计校准规范》
合肥华瑞真空科技有限公司
电阻真空计作为工作用计量器具，越来越广泛地应用到航空航天、高能物理、材料科学、生命科学、医疗卫生等行业。

由于真空技术蓬勃发展，对真空计量的需求和要求也越来越高。

但是电阻真空计的检测，直至目前仍然没有相应的国家计量校准依据.
为能够合理有效地填补我国在电阻真空计校准工作技术依据的空白，使电阻真空计校准工作有据可依，保证我国电阻真空计计量器具的量值准确可靠，云南省计量院决定制定《电阻真空计校准规范》。

近日该项目已获得国家批准立项.
真空计又称真空表，是测量真空度或气压的仪器。

一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。

在科研和工业生产中广泛使用.
电阻真空计的校准一般为先校准零点，再进行满度校准.
(校准零点需对被测真空系统抽真空，一旦电离规测得真空度高于^-1Pa(如^-2Pa)，按“校零”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正零点，当显示^-1Pa时，表示规管零点已校准。

对于无自动零点校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整.
校准完零点后，需对其满度校正。

按满度校正过程要求，对被测炉腔放人大气，确保被校电阻规所测位置为大气状态，在大气压下工作约10分钟。

按“满度”按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正满度，当显示^5Pa 时，表示规管满度已校准。

对于无自动满度校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整.
接受电阻真空计外形定制。