电阻真空计

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皮拉尼真空计原理详解

皮拉尼真空计原理

的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来

利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而

皮拉尼真空计,也称电阻式真空规。其工作原理是：真空度不同，

是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空

低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。

原理

Pirani皮拉尼真空计构造如图所示。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发

热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金

线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立

Ｑ = Ｉ2Ｒ = Ｑg + Ｑr + Ｑs (1)

Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。

气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为

Ｑg = αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0)ｐ (2)

如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。剩下的Qs和Qr可以分别表示如下

Ｑs = Ｓκ(Ｔ－Ｔ0)/Ｌ (3)

Ｑr = πｄａσε(Ｔ4－Ｔ04) (4)

(3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,Ｌ是电极的长度。

(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为

ZDZ T电阻真空计说明书

产品名称: 电阻真空计

产品型号： ZDZ-52T

使用说明书

Operation Panel

1.简介--------------------------------------------------1

1.1 仪器简介----------------------------------------1

1.2 包装内容----------------------------------------1

2. 主要技术参数-----------------------------------------1

3. 仪器安装---------------------------------------------2

3.1仪器安装尺寸-------------------------------------------2

3.2仪器后面板图示及接线说明-----------------------------2

4. 仪器操作指南------------------------------------------------2

5. 故障诊断---------------------------------------------3

6. 注意事项 -------------------------------------- --4

1.1仪器简介

ZDZ-52T型电阻真空计,可测量1路规管信号，控制2路继电器触点输出及0～5V模拟量输出。在测量范围内,可自由设定点控或区域控制。适合用于粗、低真空的测控。

ZDZ-52T型电阻真空计采用高档微处理器作主机,压缩外围部件,以提高可靠性。本机电源采用高档模块电源，硬件采用模块化结构设计及EMI抑制、WATCHDOG电路,软件采用冗余、陷阱、数字滤波等抗干扰技术,进一步提高了仪器的抗干扰能力及整机性能,使仪器具有很高的可靠性,可在恶劣的工业环境下使用。

热电阻真空计工作原理

热电阻真空计由一个金属棒和一个测量电路组成。金属棒作为感温元件，一端暴露在被测介质中，另一端通过引线连接到测量电路。当金属棒受到加热时，热能会通过导热传递到被测介质。而介质的真空度越高，热能传递越慢。

热电阻真空计通过测量金属棒两端之间的电阻来间接测量被测介质的真空度。当金属棒加热时，其中的热电阻会产生一个电阻值，该电阻值与金属棒温度成正比。同时，测量电路也可以提供稳定的电流供给。当金属棒与介质之间没有热传导时，金属棒的温度会上升到一个稳定值。此时，测量电路测得的电阻值达到峰值。

根据该原理，热电阻真空计可以计算出被测介质的真空度。因为在真空度越高的介质中，热能传递越慢，对应的金属棒温度上升速度较慢，电阻值越大。通过测量金属棒两端的电阻值，可以推断出介质的真空度。

在具体测量过程中，还需要注意一些影响因素。例如，金属棒的材料和尺寸、金属棒两端的电极接触质量以及测量电路的精度等。这些因素都可能引入误差，需要在实际应用中进行校准和调整。

总结起来，热电阻真空计的工作原理是基于热传导性质与真空度之间的关系。通过测量金属棒两端的电阻来间接测量被测介质的真空度。该原理简单直观，适用于许多真空度测量场景。然而，在实际应用中，还需要考虑其他因素对测量结果的影响，以获得更准确的真空度测量值。

微机型电阻真空计安全操作及保养规程

微机型电阻真空计是一种常用的真空度测量仪器，其使用广泛涉及

到许多安全操作和保养规程。本文将详细介绍微机型电阻真空计的安

全操作和保养规程，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。

仪器的安全操作

安装位置

微机型电阻真空计应该放置在干燥通风的位置。不要将其暴露于阳

光下或者在潮湿的地方使用。为了避免石膏地板的挥发物影响仪器测

量精度，最好把仪器放置在一块托盘或者其他无毒、无味的物质上。

电源

微机型电阻真空计应该连接正常并配备接地线的电源插座。在电源

接通前，必须确保插头和插座之间切实接触。当使用结束后，应该切

断电源并拔掉插头，以及时保护电路免受意外损坏，也可以保证人员

的人身安全。

操作流程

在操作仪器之前，必须要对仪器的操作流程和实验方法有一个全面

的了解，不能擅自更改，以免导致实验数据出现误差。同时，在使用

期间，应该注意及时了解仪器的工作状态，确保仪器的运行状态正常。

氮气

使用微机型电阻真空计时，需要使用氮气充填。在更换气瓶或者吸

入气体时，必须注意安全使用气瓶设备。操作人员应该穿戴防护手套、防护眼镜等安全防护设施，以防吸入气体时发生意外。

仪器的保养规程

清洗

为了保持微机型电阻真空计的测量精度，必须定期清洗实验室和仪

器表面，以避免灰尘、油脂等杂物对仪器的影响。同时，在仪器的操

作中，尽量避免污染仪器表面。

校准

微机型电阻真空计的使用寿命和精确度与校准的频率密切相关。建

议在实验前先进行校准，确保仪器的测量精度符合规定标准。

维护

在使用微机型电阻真空计的过程中，应该养成良好的维护习惯。定

常用真空计的测量范围

常用真空计的测量范围及其性能

李苹平

(合肥华瑞真空科技有限公司)

介绍几种测量范围为10-8～105Pa的常用真空计，其应用十分广泛，性能较好，价格较低。

热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计（可测量超高、高真空）、电容薄膜真空计、热电偶真空计、电阻真空计及压缩式真空计、压敏（压力敏感元件）电阻真空计。本文仅介绍应用广泛性能较好且价格较低的几种真空计，测量范围参见图1。

1 电离真空计

电离真空计的离子流与压强关系为线性关系（直接测量参数与所需测量参数之间为线性关系，可作为直观仪表），规管（测量元件）测量上限由规管非线性不超过20％所对应的压强确定，测量下限由规管本底压强示值的10倍确定[2]。（在非线性不超过20%时，可近似为线性测量）

电离计总的测量范围为10-8～102Pa，一般说来，每一种结构的规管只能覆盖一部分。（每一种结构的规管产生的离子流与压强在一定范围内成线性相关）BA计收集极做成针状，它的X光本底电流小，因而下限可达10-8Pa，是一种超高真空计。它的上限为10-1Pa，灯丝是钨丝。

DL-2型真空规管在上世纪50年代在我国生产，它是高真空规管，测量范围是lO-5～10-1Pa，钨灯丝。钨灯丝在高压强易氧化而烧断，规管在10-1Pa工作寿命约1个星期。因而上限不能超过10-1Pa。70年代研制了DL-5型中真空规管[3]。它的测量范围是10-4～10 Pa。该规管在国内首先用敷氧化钇铱丝作灯丝，可以在高压强工作。高压强规管的几何尺寸要小，以减小电子在行程中与气体分子碰撞。后来有人做出_DL-8型规管，它的几何尺寸比DL-5更小，上限可达100 Pa。热阴极电离计在压强大于10 Pa时使用不太合适（测量元件在高压强下易氧化而烧断）。在高压强时发射电流应减小。

电阻真空计使用说明书

4、继电器输出设定
（1）工作界面下按“Set”键进入主菜单，通过“▲”和“▼”键选择“2 outs”子菜单，按“OK”键进入继电器输出设定菜单。此时界面显示如下：
（2）在当前工作界面下通过“▲”和“▼”键对继电器上限(“up”)进行开（“on”）或关（“OFF”）切换。若在设置为“on”时按下“OK”键，则进入继电器上限点设置，否则将进入继电器下限设置菜单。界面如下图所示：
用户需利用MODBUS-ASCII方式设置继电器1的上限点为3.0X102Pa，真空计站号为01H，数据格式为高字节在前，低字节在后，则：
主机发送:010600281E0297\CR\LF
即：3AH 30H 31H 30H 36H 30H 30H 32H 38H 31 45H 30H 32H 39H 37H 0DH 0AH
3、满调、零调
（1）满调功能要求在一个标准大气压（1.0x105Pa）下进行，按下“Full”后松开，仪器显示“SCALE up”，通过“▲”和“▼”键选择通道1或通道2。
（2）长按“Full”按钮保持4秒直至所选通道显示为“1.0E 5”即完成该通道满调，按相同的方法可完成另一通道的满调。
（3）零调应保证真空度在10-1Pa或以下时进行，按下“Zero”后松开，仪器显示“SCALE lo”，通过“▲”和“▼”键选择通道1或通道2。
★注:
1、本仪器以真空度的高低来表示继电器的上下限，故上限点的压力值应小于下限点的压力值。（真空度越高，压力越小。）

智能型电阻真空计安全操作及保养规程

智能型电阻真空计是一种用于测量真空度的仪器，广泛应用于各种实验室、生产线等场合。在使用过程中，正确的操作和保养对实验和生产的正常进行十分重要。下文将从安全操作和保养指南两个方面，为大家介绍智能型电阻真空计的相关要点。

安全操作指南

1.在使用前，请仔细阅读说明书，并按照说明书上的内容进

行操作。

2.严格按照使用规范操作，特别是与电源、电缆、容器和被

测试样品有关的安全操作规章。

3.仪器只能由熟练操作人员操作，禁止非专业人员操作。

4.在进行电气连接之前，请先断开电源，确保充分安全。

5.在运输、装卸、存储和使用时，必须避免仪器接触潮湿、

湿度大、严寒或过高的气温等恶劣环境。

6.在操作仪器时，切勿离开仪器，并保持警觉，以防止意外

发生。

7.在仪器出现故障或维护，应由专业人员进行处理。

8.在不使用仪器时，应将其断电，并妥善保管。

保养指南

1.使用前，请仔细阅读说明书，并按照说明书上的内容进行

操作。

2.仪器每日使用结束后，应对其进行清洁并进行维护，以保

证其正常运行。

3.避免阳光直射、长时间放置在潮湿环境或者高温环境下。

4.定期更换电阻丝和电子管，以保证测试精度及仪器使用寿

命。

5.避免触摸和摸索仪器内部元件，以避免对其电路结构和线

路产生破坏。

6.避免仪器受力过大或者长时间的震动，以避免对其造成不

必要的磨损。

7.在进行仪器的任何操作时，必须将手洗干净，并佩戴塑料

手套或橡胶手套，保证操作的灵活性和安全性。

8.对仪器做出任何修改或升级前，请先分析其安全性、和质

量。

结论

智能型电阻真空计操作简单，但机器保养十分重要。我们强烈建议在仪器操作和保养过程中坚持以上规范，以确保实验和生产的安全、顺利进行。

电阻真空规

电阻真空规是一种用于测量真空度的仪器。它利用电阻的变化来测量真空度。在真空室内，电极之间的电阻会随着气体分子的减少而增加。通过测量电阻的变化，可以确定真空度的大小。

电阻真空规的工作原理是利用真空室内的金属电阻片的电阻值随真空度的变化而变化，将电阻值转化为电压信号，经过放大、处理、显示等过程，最终得到真空度的数值。

电阻真空规具有灵敏度高、可靠性好、测量范围广等优点。它广泛应用于真空技术、半导体制造、物理实验等领域。

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电阻真空计使用说明书

2Bytes
-
3.5字符时间
从机地址
03H
寄存器地址
字节1
寄存器地址字节2
00H
01H
校验码
3.5字符时间
真空计应答：
-
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
2Bytes
-
3.5字符时间
从机地址
03H
00H
02H
寄存器数据
字节1
寄存器数据
字节2
校验码
3.5字符时间
例如：用户需利用MODBUS-ASCII方式读取通道1的当前真空度，当前真空度为3.0X102Pa，真空计站号为01H，数据格式为高字节在前，低字节在后，则：
MODBUS-RTU协议的数据帧格式为：
-
1 Byte
1Byte
1Byte
1Byte
……
1Byte
2Bytes
-
起始
从机地址
功能码
数据1
数据2
……
数据n
校验码
结束
其中：
起始—— 3.5个字符的静止时间，即保持3.5个字符时间无信号
从机地址—— 真空计站号，初始值为01H
功能码—— 数据帧的功能
校验码—— CRC16校验
面板尺寸

真空计说明书

ZDR—II—LED

微机型数显电阻真空计

使用说明书

OPERATION.INSTRUCTION

一、简介

ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计，是目前国内的新型真空计测量仪器。它采用微机控制、数字显示，具有测量精度高，控制准确方便，显示直观等特点。

本仪器采用当今世界流行的薄膜面板及能触摸按钮，造型美观大方。

二、适用范围

ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计配ZJ-52T电阻规管，其测量范围为1*105～1*10-1Pa，适用于要求测量范围宽，反映灵敏的粗、低真空的双路测量，并带有双路定值控制功能。

三、技术指标

1、ZJ-52T规管电阻值：85Ω

2、真空度测量范围：1*105～1*10-1Pa

3、定值控制设定范围：1*105～1*10-1Pa

4、定值控制负数：AC220V/3A（或DC28V/10A）

5、放大器满度误差：≤4％±1个字

6、工作电源：220V±10% 50HZ±5%

7、功耗：约30W

8、使用环境温度：0～45℃

9、空气相对湿度：＜85%

10、仪器外型规格：480*88*280或240*88*320mm

11、重量：3KG

四、工作原理

电阻计的工作原理是基于在低压强时，利用气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化。电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，鉴次本机采用微机对此非线性进行误差修正，从而提高了测量精度。

由压强变化所引起的电阻规电阻的变化，由测量桥路输出电压信号，由放大器放大，经A/D转换换入微机进行非线性处理过算，最后送显示器显示。

电阻真空计的故障诊断及检修方法

电阻真空计是一种常用的真空度测量仪器。它利用电流通过真空中的电阻，根据欧姆定律计算出真空计的阻值，从而推断出真空度。然而，由于使用环境和使用方法等原因，电阻真空计也会出现故障。本文将介绍电阻真空计常见的故障及其诊断和检修方法。

首先，需要了解电阻真空计的基本结构。电阻真空计一般由电阻丝、电源、电流表和压强表等部分组成。电阻丝是电阻真空计的核心部分，它的电阻值与真空度成正比。当真空度变化时，电流经过电阻丝的变化程度直接反映了真空度的变化。

接下来，我们将介绍电阻真空计可能出现的故障症状以及对应的故障诊断和检修方法。

1.电阻丝破裂：电阻丝是电阻真空计中最易损坏的部分，常见故障是电阻丝破裂。这种情况下，电流表无法读数，并且压强表显示为最大值。电阻丝破裂通常是由于长时间高电流通过或负载过重引起的。解决方法是更换电阻丝。

2.电压异常：当电源电压异常时，电阻真空计无法正常工作。可以用电压表检查电源电压是否正常，如果不正常则应调整或更换电源。

3.电流异常：当电流表的读数异常时，可能是电流表损坏或接触不良引起的。可以用万用表进行测量，如果电流表的读数与万用表测量的值相差较大，则需要更换电流表。

4.压强异常：当压强表的读数异常时，是因为电阻真空计的输出信号异常引起的。需要检查电阻真空计的输出信号是否正常，如果不正常则可

能是电源、电流表或压强表等部分引起的。可以逐个检查这些部分的工作

状态，发现问题后进行修理或更换。

5.清洁不彻底：在使用过程中，电阻真空计表面可能会积累灰尘或杂质，导致其读数不准确。因此，定期清洗电阻真空计，保持其表面的清洁

智能型电阻真空计已经走进平常生活紧密相关的领域

智能型电阻真空计已经走进平常生活紧密相关

的领域

介绍低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。

大大提高了产品稳定性。稳定性的提高使得皮拉尼真空计获得更为广泛的应用。随着真空技术的普及，大量应用于单晶炉设备，满足光伏行业基础单晶硅生产。应用于节能灯毛管排气台，解决了以往由于火花检漏仪打火和高温造成的真空计死机问题。如果大家仔细观察很多现代真空技术生产线设备，会发现这种Tamagawa真空计小部件，应用广泛。真空已经随着商业工业进步，走进平常生活紧密相关的领域。

原理Pirani皮拉尼真空计构造如图所示。金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立

Q = I2R = Qg + Qr + Qs (1)

Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。

气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为Qg = αΛπda(T-T0)p (2)

如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。剩下的Qs和Qr可以分别表示如下

Qs = Sκ(T-T0)/L (3)

真空计如何分类真空计的分类方式详解真空计技术指标

真空计如何分类真空计的分类方式详解真空

计技术指标

真空计是一种常用的测量仪器，一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量，产品被广泛用于多个领域中。真空计的产品种类浩繁，用户应当如何分类呢？下面我就来实在介绍一下真空计的分类方法，希望可以帮忙到大家。

按真空度刻度方法分类

（1）真空计：直接读取气体压力，其压力响应（刻度）可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。真空计对全部气体都是精准的且与气体种类无关，属于真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。

（2）相对真空计：由一些气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单的计算进刻度，必需进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管（或规头）和用于掌控、指示的测量器构成。读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。

按真空计测量原理分类

直接测量真空计

这种真空计直接测量单位面积上的力，有：

（1）静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力。

（2）弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的

作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。

间接测量真空计

压力为10—1Pa时，作用在1cm2表面上力只有10—5N，明显测量这样小的力是困难的。但可依据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。属于这类的真空计有：

（1）压缩式真空计：其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律，即将肯定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力加添，以便用U型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。

真空计工作原理

真空计是一种测量气体压强的仪器，它的工作原理是基于气体分子在真空中碰撞壁面产生压力的原理。真空计的结构主要包括真空室、压力传感器和读数装置。

真空室是真空计的主体部分，它通常由金属材料制成，具有良好的密封性能。在真空室中存在着非常低的气体压强，因此分子之间的碰撞频率相对较小。当被测气体进入真空室时，气体分子将与真空室壁面相碰撞，并产生一个称为气体压强的物理量。

压力传感器用于测量气体压强，其常用的原理包括热导法、压阻式、电容式和热敏电阻式等。其中，热导法是比较常见的一种原理。它利用电加热线产生的热量被气体带走的特性进行测量。当气体压强增大时，气体分子与热导线碰撞的频率增加，从而使导线的温度升高，通过测量导线温度变化的方式得到气体压强的值。

读数装置用于显示和记录测得的气体压强数值。常见的读数装置包括指针式压力表、数字式压力计和计算机等。它们能够将压力传感器测得的电信号转化为相应的压强数值，并通过显示屏或其他方式呈现出来。

总的来说，真空计的工作原理是基于气体分子在真空中与壁面碰撞产生压力，通过压力传感器测量气体压强，并通过读数装置将压强数值显示出来。这种测量方式广泛应用于科研、工业生产和实验室等领域。

电阻真空计企业标准

Q/HRG

合肥华瑞真空科技有限公司企业标准

Q/HRG 0001S-2014

电阻真空计技术条件Specifications of resistance vacuum gauge

2014-05-10发布 2014-09-01实施合肥华瑞真空科技有限公司发布

前言

根据JB/T

10074—2004《中华人民共和国机械行业标准》制定本标准，以及国内主要电阻真空计生产厂家提出的技术要求而制定。

本标准严格按照GB/T1.1《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写规则》的要求进行编写。

本标准由合肥华瑞真空科技有限公司提出并起草。

本标准主要起草人：郭毓、黄友领、李苹平。

本标准自发布之日起有效期限3年，到期复审。

生产单位：名称：合肥华瑞真空科技有限公司。

地址：安徽省合肥市蜀山区黄山路602号。

电阻真空计技术条件

1 范围

本标准规定了电阻真空计（以下简称真空计）的技术要求、试验方法、检验规则等内容。该真空计由电阻真空计规管和电阻真空计电路组成。

本标准适用于压强测量范围：105~10-2的真空计。

2 规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T 191 包装储运图示标志（GB/T 191—2000，eqv ISO 780:1997）

GB/T 4982 夹紧型真空快卸法兰（GB/T 4982—1985，idt ISO 2861-1: 1974）

GB/T 6587.2 电子测量仪器温度试验

真空计

热偶真空计结构原理图 1-热丝；2-热电偶；3-管壳；4-毫伏表； 5-限流电阻；6-毫安表；7-恒压电源
热偶式规管： DL-3型热丝：工作温度100-200℃，材料要求在工作温度和较高压力下具有稳定的物理和化学性质及较小的电阻温度系数，一般钨、铂、镍，其中铂最好，丝径 φ0.05-0.1mm。
热偶：工作温度内有足够的灵敏度和物理、化学稳定性，常用康铜-镍铬合金；铂铑-铂；铜-康铜等。热偶与热丝间过渡金属丝，直径和长度不易控制，存在零散性，每只规管都应校准。
Biblioteka Baidu
DL-3型热偶规管的结构图 1-管壳；2-热丝；3-边杆；4-热电偶； 5-引线；6-芯柱；7-管基
热偶真空计结构原理图 1-热丝；2-热电偶；3-管壳；4-毫伏表； 5-限流电阻；6-毫安表；7-恒压电源
热偶真空计测量时规管热丝通以一定的加热电流，热丝的温度变化决定于低压气体的热传导，压力降低气体分子热传导带走的热量减少，热丝温度升高，热偶电动势E增大，反之，E减小。加热电流变化对测量灵敏度和测量范围有影响，大时规管灵敏度提高，能测量较高压力，测量范围窄；小时规管灵敏度低，只能测量较低压力，测量范围较宽。
真空计电阻式：
电阻真空计规管的结构 1-电阻丝；2-管壳；3-引线
电阻真空计测量电路：定温度法：压力变化时通过改变电桥电压保持电桥处于平衡状态，观察电桥电压与压力的关系。热丝电阻及温度基本为定值，热辐射及边杆导热均为定值。

电阻真空计

皮拉尼真空计原理详解

ZDZ T电阻真空计说明书

热电阻真空计工作原理

微机型电阻真空计安全操作及保养规程

常用真空计的测量范围

电阻真空计使用说明书

智能型电阻真空计安全操作及保养规程

电阻真空规

电阻真空计使用说明书

真空计说明书

电阻真空计的故障诊断及检修方法

智能型电阻真空计已经走进平常生活紧密相关的领域

真空计如何分类真空计的分类方式详解 真空计技术指标

真空计工作原理

电阻真空计企业标准

真空计

真空计如何分类真空计的分类方式详解真空计技术指标