传感检测技术
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这种传感器大多用于测量电介质的厚度 图a 、位移 图b 、液位 图c ,还可根据极板间介质的介电常数随温度、湿度、容量改变 而改变来测量温度、湿度、容量 图d 等,
三、光栅位移传感器
3 2 1
4
1.标尺光栅 2.指示光栅 3.光电元件 4.光源
把指示光栅平行地放在标尺光栅上面,并且使它们的刻线相 互倾斜一个很小的角度,这时在指示光栅上就出现几条较粗 的明暗条纹,称为莫尔条纹,它们是沿着与光栅条纹几乎成垂 直的方向排列,
零阶环节 aa00yybb0x0x 零阶传感器 比例环节、
无惯性环节
一阶环节 a1add1dydtytaa00yybb0x0x
一阶传感器
二阶环节 a2add 2d2d2y2t2ytaa11dd ddytytaa 0y0yb0xb0x 二阶传感器
2. 传递函数
H (s)Y X ( (s s ) ) b a m n s sm n a b n m 1 1 s s n m 1 1 ....a .b .1 1 s .s . . .a b ..0 0
线式和圆盘式两类,
节距2τ 2mm
定尺 1/ 4W
滑尺
cos
sin
定尺
滑尺
定尺绕组
1
A
B
滑
2
尺
绕 组
3
位
置 4
A
B
A
B
A
B
5
1 eA
5
定 尺 感 应 电 势 变 化0 情2 况
4
3
仅 对A绕 组 激 磁
A
B
eB 1 0
4
3
5
2
仅 对B绕 组 激 磁
感应同步器的信号处理方式
按激励方式分:滑尺励磁和定尺励磁 按信号处理方式分:鉴相方式和鉴幅方式 1 鉴相方式
处理
传输、运算 放大
切换、存储
转换成 数字
驱动 电信号 电信号
光、声、 位移、 文字等
被测物理量
传感器
以计算机为中心的电信号处理系统 执行设备
非电量检测系统的结构形式
传感器的构成
传感器一般由敏感元件、转换元件和转 换电路三部分组成,
被 测 量敏 感 元 件
转 换 元 件
基 本 转 换 电 量 电 路
ya2x2a4x4...... ya1xa3x3a5x5....
3 静态特性
1 线性度,传感器的实际特性曲线与拟合直线之间的偏差 称为传感器的非线性误差 线性度 ,
y yFS
0
2
1
max
L
max yFS
100%
1—实 际 曲 线 2—理 想 曲 线
xFS
x
传感器的线性度示意图
2 灵敏度,传感器到达稳定工作状态时输出变化量与引起 此变化量的变量之比,用S0表示,即
二、动态特性指标
标准信号
阶跃函数 阶跃响应法 时域 正弦函数 频率响应法 频域 指数函数
冲击函数
阶跃响应
单位阶跃信号 一阶传感器系统
时间常数
二阶传感器系统
上升时间Tr 响应时间Ts 超调量a1 峰值时间Tp 延滞时间Td
稳态误差 eesss ssss11000% 0%
yycc
传感器的选用原则
二、电容式位移传感器
电容式传感器是将被测物理量的位移转换为电容量的变 化,再通过配套的测量电路,将电容的变化转换为电信号输 出,
C 0 s
式中: ε0——真空的介电常数; s ——极板的遮盖面积; ε——极板间相对介电系数; δ——两平行极板间的距离,
1、极距变化型电容式传感器
如果两极板相互覆盖面积及极间介质不变,当两极板在 被测参数作用下发生位移,引起电容量的变化为:
e e s e c K V m sin t
2 鉴幅方式
e e s e c K V m s in 1 s int
五、光电编码器
这种码盘有两个通道与B 即两组透光和不透光部分 ,其相位差 90°,相对于一定的转角得到一定的脉冲,将脉冲信号送入计数 器,则计数器的计数值就反映了码盘转过的角度,
3600/m
永磁式测速机的原理图
直流测速机的输出特性
光电式转速传感器
光源 1 23 4
1—透 镜 ; 2—带 缝 隙 圆 盘 ; 3—指 示 缝 隙 盘 ; 4—光 电 元 件
1 足够的容量 传感器的工作范围或量程足够的大,并具有 一定过载的能力,
2 与测量或控制系统的匹配性好,转换灵敏度高, 3 精度高,稳定性好 4 反应速度快,工作可靠性好, 5 适用性和适应性强 6 使用经济
位移传感器
一、电感式位移传感器
电感式传感器是基于电磁感应原理,将被测物理量转换 为电感量的变化, 1、自感型电感式传感器
非单值误差的消除 1 采用循环码 格雷码
0000
0001
1111
1110
1010
1011
1001
1000
0000
1110
1111
0100 0011 0010
1100
1101
0001
1101
0011
0010
1011 1010
0010
1100
0110
0100
1001
0111 0110
0101
0111
0101
描述传感器输入 – 输出关系的方法:
数学模型 基本特性指标
被测量
静态量 准静态量
静态数学模型 静态特性指标
动态量
动态数学模型 动态特性指标ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
一、传感器的静态模型
1. 代数方程
条件:不考虑传感器滞后、 蠕变情况下
yy a 0 a 0 a 1 a x1 xa 2 a x2 2x 2 . .. ..a . .n x .a .n n .x .n.
Bab bc W
sin()
莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例,光栅每移动过一 个栅距W,莫尔条纹就移动过一个条纹间距B 莫尔条纹具有位移放大作用,莫尔条纹的间距B与两光 栅条纹夹角之间关系为
Bab bc W
sin()
例如:W=0.02mm, =0.1°, 则B=11.4592mm,其K值
约为573,
零点漂移 传感器无时,每隔一段时间进行读数,其输出 偏离零值的程度,
温漂 温漂表示温度变化时,传感器输出值的偏离程度, 一般以温度变化1℃输出最大偏差与满量程的百分比表 示,
传感器的动态数学模型及动态特性指标
一、动态模型 1. 微分方程
微分方程 传递函数
条件:线性定常系统
an ddntnyan1ddntn11y....a.1.ddyta0y bmddmtmxbm1ddmtm 1x1 ....b.1.ddxtb0x
dC 02s d
传感器的灵敏度为:
KddC 02sC
2、面积变化型电容式传感器
动板与定板之间相互覆盖的面积引起电容量变化,当覆盖面积对 应的中心角为a、极板半径为r时,覆盖面积为:
C 0ar2 2
面积为:
S ar2 2
其灵敏度为:
KdC0r2 常数 da 2
3、介质变化型电容式传感器的变换原理
可变磁阻式电感传感器、电涡流式传感器 2、互感型电感传感器
1、自感型电感式传感器
1 可变磁阻式电感传感器
自感L可表示为:
灵敏度:
差动型磁阻式传感器,它由两个相同的线圈、铁心及活 动衔铁组成,当活动衔铁接于中间位置 位移为零 时,两 线圈的自感L相等,输出为零,当衔铁有位移Δδ时,两个线 圈的间隙为δ0+Δδ, δ0-Δδ,这表明一个线圈的自感增加, 而另一个线圈的自感减小,
其 b 0 0 ,中 b 1 b 2 . .b m . 0
a a nn d d d d n n n y n y t t a a nn 11 d d d d n n n 1 n 1 y 1 t1 y t ....a .a 1 ..1 d d .d d .. .y t.a y ta 0y 0y b b 0 x 0 x
2 电涡流式电感传感器
高频反射式涡流传感器:高频 >1MHz 激励电流,产生的高频磁场作用 于金属板的表面,在金属板表面将形成涡电流,
若只改变距离δ而保持其他系数不变,则可将位移的变化转换为线圈自 感的变化,
低频透射式涡流传感器:发射线圈ω1和接收线圈ω2分别置于被测金属 板材料G的上、下方,当低频 音频范围 电压e1加到线圈ω1的两端后,所产 生磁力线的一部分透过金属板材料G,使线圈ω2产生感应电动势e2,且e2 随材料厚度h的增加按负指数规律减少,
4 传感检测技术
1.检测系统的组成
1 把各种非电量信息转换为电信号,这就是传感器的功能, 传感器又称为一次仪表, 2 对转换后的电信号进行测量,并进行放大、运算、转换、 记录、指示、显示等处理,这叫作电信号处理系统,通常被 称为二次仪表,
光、声、 位移、
非电量
转换成
模拟
压力、 磁等
信号
电信号 电信号
x ——量 ; y ——输出量 ; a0 ——零位输出 ; a1 ——传感器的灵敏度:K、S ; a2 ……an ——非线性项待定常数,
y a1x ya2x2a4x4......
ya1xa3x3a5x5......
2. 特性曲线
ya 0 a 1 x a 2x2 .. .a .n x .n.
ya1x
S0 输 输入 出量 量的 的变 变化 化 量 量 yx
3 最小检测量 最小检测量是指传感器能确切反映被测量的最低极
限量,
4 精确度 精度
精密度δ 对某一稳定的对象 被测量 由同一测量者 用同一传感器和测量仪表在相当短的时间内连续重复 测量多次,其测量结果的分散程度, 对应随机误差
正确度ε 测量结果偏离真值大小的程度,即示值有 规则偏离真值的程度, 对应系统误差
x
0
0
可变磁阻差动式传感器
L
3
1
2
x
4
0 5
1— 线 圈 ; 2— 铁 心 ; 3— 活 动 衔 铁 ; 4— 测 杆 ; 5— 被 测 杆
可变磁阻面积型电感传感器
2、互感型电感传感器
差动变压器式电感传感器:传感器由线圈、铁芯和活动衔铁三部分组成, 当初级线圈交流激励电压时,次级线圈将产生感应电动势e1和e2,传感器 的输出电压为两者之差,即ey=e1-e2,的大小随活动衔铁的位置而变,当活 动衔铁位置居中时,e1=e2, ev =0;当活动衔铁向上移时,即e1>e2,ey>0; 当活动衔铁向下移时,e1<e2,ey<0,活动衔铁的位置往复变化,其输出电 压也随之变化,
n 360 n
m
光电编码器
黑色不透光区和白色透光区分别代表二进制的0和1一
个四电位的光电码盘上,有四圈数字码道,每一个码道表
示二进制的一位, 里侧是高位,外侧是低
0000
0001
1111
1110
位,
0100 0011 0010
1100
1101
1011 1010
1001
0111 0110
0101
1000
y FS
H m
0 迟滞特性
xFS x
6 重复特性, 传感器在同一条件下,被测量按同一方向作全
量程连续多次重复测量时,所得的输出/曲线不一致的程
度,称为重复特性, 重复特性误差用最大重复性误差与满
量程输出的百分数表示,即
y y FS
R
Rm
yFS
10% 0
R m2
R m1
0 重复特性
x FS x
7 漂移
精确度τ 包含精密度和正确度两者之和的意思,即 测量的综合优良程度,
A A 100% YFS
5 迟滞,传感器在正 量增大 、反 量减小 行程中输出/特性曲线的 不重合程度称为迟滞,迟滞误差一般以最大偏差或最大偏差的
一半与满量程输出yFS的百分数表示:
Hy H Fm S 10 % 或 0H1 2y H Fm S10 % 0 y
2、测量系统
通过光电元件,可将莫尔条纹移动时光强的变化转换 为近似正弦变化的电信号,经放大、整形变换为方波, 经微分转换为脉冲信号,再经辨向电路和可逆计数器 计数,则可用数字形式显示出位移量,位移量等于脉冲 与栅距乘积,测量分辨率等于栅距,
四、感应同步器
感应同步器是一种应用电磁感应原理来测量位移的高精度检测元件,有直
1000
2 带判位光电装置的循环码盘
1001
1000
0000
1011
0001
1010
1110 1111
0011 0010 0110
0111
1101
1010
1100
0100
速度传感器
直流测速机速度检测
I0
M
U
R
0
L
U /V
理 想值 实 测值
R L
=
∞
R L1 R L2
R L> R L1> R L2 n
按被测物理量分为:位移传感器、速度传感器、加速度传 感、力传感器、温度传感器等,
温度传感器
压力传感器
角位移传感器
扭矩传感器
位移传感器
按传感器工作的物理原理分为:电阻式、电感式、电容式、 光电式等等,
电感式位移传感器
压电式加速度传感器 光纤式位移传感器
激光位移传感器
超声波位移传感器传感器
传感器的数学模型及特性指标
传感器的组成框图
1 敏感元件: 是一种能够将被测量转换成易于测 量的物理量的预变换装置,其、输出间具有确定 的数学关系 最好为线性 ,如弹性敏感元件将力 转换为位移或应变输出,
2 转换元件:将敏感元件输出的非电物理量转换 成电信号 如电阻、电感、电容等 形式,
3 基本转换电路:将电信号量转换成便于测量的 电量,如电压、电流、频率等,
三、光栅位移传感器
3 2 1
4
1.标尺光栅 2.指示光栅 3.光电元件 4.光源
把指示光栅平行地放在标尺光栅上面,并且使它们的刻线相 互倾斜一个很小的角度,这时在指示光栅上就出现几条较粗 的明暗条纹,称为莫尔条纹,它们是沿着与光栅条纹几乎成垂 直的方向排列,
零阶环节 aa00yybb0x0x 零阶传感器 比例环节、
无惯性环节
一阶环节 a1add1dydtytaa00yybb0x0x
一阶传感器
二阶环节 a2add 2d2d2y2t2ytaa11dd ddytytaa 0y0yb0xb0x 二阶传感器
2. 传递函数
H (s)Y X ( (s s ) ) b a m n s sm n a b n m 1 1 s s n m 1 1 ....a .b .1 1 s .s . . .a b ..0 0
线式和圆盘式两类,
节距2τ 2mm
定尺 1/ 4W
滑尺
cos
sin
定尺
滑尺
定尺绕组
1
A
B
滑
2
尺
绕 组
3
位
置 4
A
B
A
B
A
B
5
1 eA
5
定 尺 感 应 电 势 变 化0 情2 况
4
3
仅 对A绕 组 激 磁
A
B
eB 1 0
4
3
5
2
仅 对B绕 组 激 磁
感应同步器的信号处理方式
按激励方式分:滑尺励磁和定尺励磁 按信号处理方式分:鉴相方式和鉴幅方式 1 鉴相方式
处理
传输、运算 放大
切换、存储
转换成 数字
驱动 电信号 电信号
光、声、 位移、 文字等
被测物理量
传感器
以计算机为中心的电信号处理系统 执行设备
非电量检测系统的结构形式
传感器的构成
传感器一般由敏感元件、转换元件和转 换电路三部分组成,
被 测 量敏 感 元 件
转 换 元 件
基 本 转 换 电 量 电 路
ya2x2a4x4...... ya1xa3x3a5x5....
3 静态特性
1 线性度,传感器的实际特性曲线与拟合直线之间的偏差 称为传感器的非线性误差 线性度 ,
y yFS
0
2
1
max
L
max yFS
100%
1—实 际 曲 线 2—理 想 曲 线
xFS
x
传感器的线性度示意图
2 灵敏度,传感器到达稳定工作状态时输出变化量与引起 此变化量的变量之比,用S0表示,即
二、动态特性指标
标准信号
阶跃函数 阶跃响应法 时域 正弦函数 频率响应法 频域 指数函数
冲击函数
阶跃响应
单位阶跃信号 一阶传感器系统
时间常数
二阶传感器系统
上升时间Tr 响应时间Ts 超调量a1 峰值时间Tp 延滞时间Td
稳态误差 eesss ssss11000% 0%
yycc
传感器的选用原则
二、电容式位移传感器
电容式传感器是将被测物理量的位移转换为电容量的变 化,再通过配套的测量电路,将电容的变化转换为电信号输 出,
C 0 s
式中: ε0——真空的介电常数; s ——极板的遮盖面积; ε——极板间相对介电系数; δ——两平行极板间的距离,
1、极距变化型电容式传感器
如果两极板相互覆盖面积及极间介质不变,当两极板在 被测参数作用下发生位移,引起电容量的变化为:
e e s e c K V m sin t
2 鉴幅方式
e e s e c K V m s in 1 s int
五、光电编码器
这种码盘有两个通道与B 即两组透光和不透光部分 ,其相位差 90°,相对于一定的转角得到一定的脉冲,将脉冲信号送入计数 器,则计数器的计数值就反映了码盘转过的角度,
3600/m
永磁式测速机的原理图
直流测速机的输出特性
光电式转速传感器
光源 1 23 4
1—透 镜 ; 2—带 缝 隙 圆 盘 ; 3—指 示 缝 隙 盘 ; 4—光 电 元 件
1 足够的容量 传感器的工作范围或量程足够的大,并具有 一定过载的能力,
2 与测量或控制系统的匹配性好,转换灵敏度高, 3 精度高,稳定性好 4 反应速度快,工作可靠性好, 5 适用性和适应性强 6 使用经济
位移传感器
一、电感式位移传感器
电感式传感器是基于电磁感应原理,将被测物理量转换 为电感量的变化, 1、自感型电感式传感器
非单值误差的消除 1 采用循环码 格雷码
0000
0001
1111
1110
1010
1011
1001
1000
0000
1110
1111
0100 0011 0010
1100
1101
0001
1101
0011
0010
1011 1010
0010
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0110
0100
1001
0111 0110
0101
0111
0101
描述传感器输入 – 输出关系的方法:
数学模型 基本特性指标
被测量
静态量 准静态量
静态数学模型 静态特性指标
动态量
动态数学模型 动态特性指标ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
一、传感器的静态模型
1. 代数方程
条件:不考虑传感器滞后、 蠕变情况下
yy a 0 a 0 a 1 a x1 xa 2 a x2 2x 2 . .. ..a . .n x .a .n n .x .n.
Bab bc W
sin()
莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例,光栅每移动过一 个栅距W,莫尔条纹就移动过一个条纹间距B 莫尔条纹具有位移放大作用,莫尔条纹的间距B与两光 栅条纹夹角之间关系为
Bab bc W
sin()
例如:W=0.02mm, =0.1°, 则B=11.4592mm,其K值
约为573,
零点漂移 传感器无时,每隔一段时间进行读数,其输出 偏离零值的程度,
温漂 温漂表示温度变化时,传感器输出值的偏离程度, 一般以温度变化1℃输出最大偏差与满量程的百分比表 示,
传感器的动态数学模型及动态特性指标
一、动态模型 1. 微分方程
微分方程 传递函数
条件:线性定常系统
an ddntnyan1ddntn11y....a.1.ddyta0y bmddmtmxbm1ddmtm 1x1 ....b.1.ddxtb0x
dC 02s d
传感器的灵敏度为:
KddC 02sC
2、面积变化型电容式传感器
动板与定板之间相互覆盖的面积引起电容量变化,当覆盖面积对 应的中心角为a、极板半径为r时,覆盖面积为:
C 0ar2 2
面积为:
S ar2 2
其灵敏度为:
KdC0r2 常数 da 2
3、介质变化型电容式传感器的变换原理
可变磁阻式电感传感器、电涡流式传感器 2、互感型电感传感器
1、自感型电感式传感器
1 可变磁阻式电感传感器
自感L可表示为:
灵敏度:
差动型磁阻式传感器,它由两个相同的线圈、铁心及活 动衔铁组成,当活动衔铁接于中间位置 位移为零 时,两 线圈的自感L相等,输出为零,当衔铁有位移Δδ时,两个线 圈的间隙为δ0+Δδ, δ0-Δδ,这表明一个线圈的自感增加, 而另一个线圈的自感减小,
其 b 0 0 ,中 b 1 b 2 . .b m . 0
a a nn d d d d n n n y n y t t a a nn 11 d d d d n n n 1 n 1 y 1 t1 y t ....a .a 1 ..1 d d .d d .. .y t.a y ta 0y 0y b b 0 x 0 x
2 电涡流式电感传感器
高频反射式涡流传感器:高频 >1MHz 激励电流,产生的高频磁场作用 于金属板的表面,在金属板表面将形成涡电流,
若只改变距离δ而保持其他系数不变,则可将位移的变化转换为线圈自 感的变化,
低频透射式涡流传感器:发射线圈ω1和接收线圈ω2分别置于被测金属 板材料G的上、下方,当低频 音频范围 电压e1加到线圈ω1的两端后,所产 生磁力线的一部分透过金属板材料G,使线圈ω2产生感应电动势e2,且e2 随材料厚度h的增加按负指数规律减少,
4 传感检测技术
1.检测系统的组成
1 把各种非电量信息转换为电信号,这就是传感器的功能, 传感器又称为一次仪表, 2 对转换后的电信号进行测量,并进行放大、运算、转换、 记录、指示、显示等处理,这叫作电信号处理系统,通常被 称为二次仪表,
光、声、 位移、
非电量
转换成
模拟
压力、 磁等
信号
电信号 电信号
x ——量 ; y ——输出量 ; a0 ——零位输出 ; a1 ——传感器的灵敏度:K、S ; a2 ……an ——非线性项待定常数,
y a1x ya2x2a4x4......
ya1xa3x3a5x5......
2. 特性曲线
ya 0 a 1 x a 2x2 .. .a .n x .n.
ya1x
S0 输 输入 出量 量的 的变 变化 化 量 量 yx
3 最小检测量 最小检测量是指传感器能确切反映被测量的最低极
限量,
4 精确度 精度
精密度δ 对某一稳定的对象 被测量 由同一测量者 用同一传感器和测量仪表在相当短的时间内连续重复 测量多次,其测量结果的分散程度, 对应随机误差
正确度ε 测量结果偏离真值大小的程度,即示值有 规则偏离真值的程度, 对应系统误差
x
0
0
可变磁阻差动式传感器
L
3
1
2
x
4
0 5
1— 线 圈 ; 2— 铁 心 ; 3— 活 动 衔 铁 ; 4— 测 杆 ; 5— 被 测 杆
可变磁阻面积型电感传感器
2、互感型电感传感器
差动变压器式电感传感器:传感器由线圈、铁芯和活动衔铁三部分组成, 当初级线圈交流激励电压时,次级线圈将产生感应电动势e1和e2,传感器 的输出电压为两者之差,即ey=e1-e2,的大小随活动衔铁的位置而变,当活 动衔铁位置居中时,e1=e2, ev =0;当活动衔铁向上移时,即e1>e2,ey>0; 当活动衔铁向下移时,e1<e2,ey<0,活动衔铁的位置往复变化,其输出电 压也随之变化,
n 360 n
m
光电编码器
黑色不透光区和白色透光区分别代表二进制的0和1一
个四电位的光电码盘上,有四圈数字码道,每一个码道表
示二进制的一位, 里侧是高位,外侧是低
0000
0001
1111
1110
位,
0100 0011 0010
1100
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1011 1010
1001
0111 0110
0101
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y FS
H m
0 迟滞特性
xFS x
6 重复特性, 传感器在同一条件下,被测量按同一方向作全
量程连续多次重复测量时,所得的输出/曲线不一致的程
度,称为重复特性, 重复特性误差用最大重复性误差与满
量程输出的百分数表示,即
y y FS
R
Rm
yFS
10% 0
R m2
R m1
0 重复特性
x FS x
7 漂移
精确度τ 包含精密度和正确度两者之和的意思,即 测量的综合优良程度,
A A 100% YFS
5 迟滞,传感器在正 量增大 、反 量减小 行程中输出/特性曲线的 不重合程度称为迟滞,迟滞误差一般以最大偏差或最大偏差的
一半与满量程输出yFS的百分数表示:
Hy H Fm S 10 % 或 0H1 2y H Fm S10 % 0 y
2、测量系统
通过光电元件,可将莫尔条纹移动时光强的变化转换 为近似正弦变化的电信号,经放大、整形变换为方波, 经微分转换为脉冲信号,再经辨向电路和可逆计数器 计数,则可用数字形式显示出位移量,位移量等于脉冲 与栅距乘积,测量分辨率等于栅距,
四、感应同步器
感应同步器是一种应用电磁感应原理来测量位移的高精度检测元件,有直
1000
2 带判位光电装置的循环码盘
1001
1000
0000
1011
0001
1010
1110 1111
0011 0010 0110
0111
1101
1010
1100
0100
速度传感器
直流测速机速度检测
I0
M
U
R
0
L
U /V
理 想值 实 测值
R L
=
∞
R L1 R L2
R L> R L1> R L2 n
按被测物理量分为:位移传感器、速度传感器、加速度传 感、力传感器、温度传感器等,
温度传感器
压力传感器
角位移传感器
扭矩传感器
位移传感器
按传感器工作的物理原理分为:电阻式、电感式、电容式、 光电式等等,
电感式位移传感器
压电式加速度传感器 光纤式位移传感器
激光位移传感器
超声波位移传感器传感器
传感器的数学模型及特性指标
传感器的组成框图
1 敏感元件: 是一种能够将被测量转换成易于测 量的物理量的预变换装置,其、输出间具有确定 的数学关系 最好为线性 ,如弹性敏感元件将力 转换为位移或应变输出,
2 转换元件:将敏感元件输出的非电物理量转换 成电信号 如电阻、电感、电容等 形式,
3 基本转换电路:将电信号量转换成便于测量的 电量,如电压、电流、频率等,