用于人工视网膜的光电式微电极阵列及其制作方法[发明专利]

专利名称：用于人工视网膜的光电式微电极阵列及其制作方法专利类型：发明专利

发明人：张新义,李志宏

申请号：CN201010163107.X

申请日：20100429

公开号：CN101853862A

公开日：

20101006

专利内容由知识产权出版社提供

摘要：本发明公开了一种用于人工视网膜的光电式微电极阵列，其包括透明衬底(1)、由下至上依次生长于所述透明衬底(1)上的第一重掺杂非晶硅层(2)、非掺杂非晶硅层(3)、第二重掺杂非晶硅层(2)和金属电极(4)，以及覆盖于所述透明衬底(1)、第一重掺杂非晶硅层(2)、非掺杂非晶硅层(3)以及第二重掺杂非晶硅层(2)表面的绝缘介质材料(5)。本发明结构和工艺相对简单，同时功能完备，可提供足够驱动电流的微阵列，具有重要的实用价值和产业化前景。

申请人：北京大学

地址：100871 北京市海淀区颐和园路5号

国籍：CN

代理机构：北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：王莹

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