理邦fts-3原理

理邦fts-3原理
FTS-3是以理邦公司推出的一款精密光学测量仪器，它主要用于测量光学组件的表面形状、曲率和粗糙度等参数。

它采用了Fizeau干涉原理，通过光的干涉现象来获取样品表面的信息。

FTS-3主要由光源、分束器、参考镜、测试镜、干涉棱镜、CCD相机和计算机等部分组成。

光源发出的平行光经过分束器分成两束，一束射向参考镜，经反射后进入干涉棱镜；另一束射向测试镜，经反射后也进入干涉棱镜。

两束光在干涉棱镜内发生干涉现象，形成一幅干涉图像，这个图像被CCD相机捕捉并传输给计算机进行处理和分析。

在干涉棱镜内，参考光和测试光的光程差通过微调镜片来调节，使得两束光的相位差保持在一定范围内，以保证干涉图像的质量。

当干涉棱镜的角度发生微小变化时，干涉图像会发生位移，通过测量位移的大小，我们可以得到被测样品表面的形状和粗糙度等参数。

FTS-3具有高分辨率、高精度和高稳定性的特点。

它的分辨率可以达到亚微米级别，可以满足对于高精度测量的需求。

同时，它的测量精度也非常高，可以达到纳米级别。

在测量过程中，FTS-3还具有自动补偿和自动校准的功能，可以消除环境因素对测量结果的影响，提高测量的准确性和稳定性。

除了表面形状和粗糙度，FTS-3还可以测量光学组件的透过率、反
射率和透射率等光学性能参数。

通过测量这些参数，我们可以评估光学组件的质量和性能，为后续的光学设计和加工提供参考。

在实际应用中，FTS-3被广泛应用于光学元件的制造、检测和质量控制等领域。

它可以用于制造过程中的质量检查，保证产品的质量稳定；同时也可以用于研发过程中的表面形状和粗糙度分析，帮助工程师优化设计方案。

总结起来，FTS-3是一款基于Fizeau干涉原理的精密光学测量仪器，具有高分辨率、高精度和高稳定性的特点。

它可以用于测量光学组件的表面形状、曲率和粗糙度等参数，以及光学性能参数。

在光学元件的制造、检测和质量控制等领域具有广泛的应用前景。