集成电路制造工艺教案-75页精选文档
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2
理论课
13
5
氧化技术—Si02及掩蔽作用；
2
理论课
14
5
氧化技术—热氧化及热氧化生长动力学；
2
理论课
15
5
氧化技术——氧化速率及杂质再分布
2
理论课
16
6
扩散机构及杂质浓度分布；
2
理论课
17
6
常用杂质的扩散方法
2
理论课
18
6
扩散层参数测量和质量分析
2
习题课
19
7
半期考试
理论课
20
7
光刻技术—光刻工艺要求及光刻胶
课程性质：必修课
总学时/学分：64/4
授课专业：微电子技术
授课教师：王志强
使用学期：2019—2019学年第1学期
教研室审批意见及时间：
课程基本信息
课程标准名称、批准单位及时间
微电子技术专业11级《集成电路制造工艺》课程标准；
考核方式：形成性考核30%0+终结性考核70%（开卷）。
电子工程系，2019年8月
我国古代的读书人,从上学之日起,就日诵不辍,一般在几年内就能识记几千个汉字,熟记几百篇文章,写出的诗文也是字斟句酌,琅琅上口,成为满腹经纶的文人。为什么在现代化教学的今天,我们念了十几年书的高中毕业生甚至大学生,竟提起作文就头疼,写不出像样的文章呢?吕叔湘先生早在1978年就尖锐地提出:“中小学语文教学效果差,中学语文毕业生语文水平低,……十几年上课总时数是9160课时,语文是2749课时,恰好是30%,十年的时间,二千七百多课时,用来学本国语文,却是大多数不过关,岂非咄咄怪事!”寻根究底,其主要原因就是腹中无物。特别是写议论文,初中水平以上的学生都知道议论文的“三要素”是论点、论据、论证,也通晓议论文的基本结构:提出问题――分析问题――解决问题,但真正动起笔来就犯难了。知道“是这样”,就是讲不出“为什么”。根本原因还是无“米”下“锅”。于是便翻开作文集锦之类的书大段抄起来,抄人家的名言警句,抄人家的事例,不参考作文书就很难写出像样的文章。所以,词汇贫乏、内容空洞、千篇一律便成了中学生作文的通病。要解决这个问题,不能单在布局谋篇等写作技方面下功夫,必须认识到“死记硬背”的重要性,让学生积累足够的“米”。课程编码：0231124
班
编号
本学期总学时
其中
讲授时数
实训或实验课时数
习题(讨论)课时数
机动学时
微电11-1
1
64
56
8
0
备注
章节小结算入讲授学时，半期考试、复习算入习题课时。
课程授课学时安排表
编号
班号/周次
单元或项目名称
计划
学时
备注
1
2
1
1
绪论Ⅰ
2
理论课
2
1
绪论Ⅱ
2
理论课
3
1
硅晶圆片制造技术—硅及材料；单晶硅材料；
2
理论课
空的获得与设备
采用教材名称、作者、出版社及版本
《集成电路制造工艺》，林明祥，机械工业出版社，2019.1
教学参考资料
《微电子产业及单晶硅材料》，李可为，电子高专2019.6
《集成电路芯片制造原理与技术》，李可为，电子高专2019.6
教法、学法建议
教法：讲授法、引导法、观摩法等
学法：自学法、笔记法、讨论法。
班级
名称
4
2
硅晶圆片制造技术—晶圆加工成形
2
理论课
5
2
硅外延生长
2
理论课
6
2
物质形态及材料属性工艺用化学品
2
理论课
7
3
玷污的类型及玷污与控制
2
理论课
8
3
硅片湿法清洗2Leabharlann 理论课93
集成电路测量学及质量测量
2
理论课
10
4
硅片的质量分析设备
2
理论课
11
4
集成电路芯片制造工艺概述Ⅰ
2
理论课
12
4
集成电路芯片制造工艺概述Ⅱ
2
理论课
21
7
光刻技术—光刻工艺Ⅰ
2
理论课
22
12
光刻技术—光刻工艺Ⅱ及质量分析
2
理论课
23
12
刻蚀—湿法刻蚀
2
理论课
24
12
刻蚀—干法刻蚀
2
理论课
25
13
刻蚀—砷化镓刻蚀
2
理论课
26
13
离子注入—工艺特点及原理
2
理论课
27
13
离子注入—注入设备
2
理论课
28
14
离子注入—注入工艺
2
理论课
29
14
CVD—化学过程及薄膜分类及生长动力学；
与当今“教师”一称最接近的“老师”概念，最早也要追溯至宋元时期。金代元好问《示侄孙伯安》诗云：“伯安入小学，颖悟非凡貌，属句有夙性，说字惊老师。”于是看，宋元时期小学教师被称为“老师”有案可稽。清代称主考官也为“老师”，而一般学堂里的先生则称为“教师”或“教习”。可见，“教师”一说是比较晚的事了。如今体会，“教师”的含义比之“老师”一说，具有资历和学识程度上较低一些的差别。辛亥革命后，教师与其他官员一样依法令任命，故又称“教师”为“教员”。课程名称：集成电路制造工艺
四川信息职业技术学院
观察内容的选择，我本着先静后动，由近及远的原则，有目的、有计划的先安排与幼儿生活接近的，能理解的观察内容。随机观察也是不可少的，是相当有趣的，如蜻蜓、蚯蚓、毛毛虫等，孩子一边观察，一边提问，兴趣很浓。我提供的观察对象，注意形象逼真，色彩鲜明，大小适中，引导幼儿多角度多层面地进行观察，保证每个幼儿看得到，看得清。看得清才能说得正确。在观察过程中指导。我注意帮助幼儿学习正确的观察方法，即按顺序观察和抓住事物的不同特征重点观察，观察与说话相结合，在观察中积累词汇，理解词汇，如一次我抓住时机，引导幼儿观察雷雨，雷雨前天空急剧变化，乌云密布，我问幼儿乌云是什么样子的，有的孩子说：乌云像大海的波浪。有的孩子说“乌云跑得飞快。”我加以肯定说“这是乌云滚滚。”当幼儿看到闪电时，我告诉他“这叫电光闪闪。”接着幼儿听到雷声惊叫起来，我抓住时机说：“这就是雷声隆隆。”一会儿下起了大雨，我问：“雨下得怎样?”幼儿说大极了，我就舀一盆水往下一倒，作比较观察，让幼儿掌握“倾盆大雨”这个词。雨后，我又带幼儿观察晴朗的天空，朗诵自编的一首儿歌：“蓝天高，白云飘，鸟儿飞，树儿摇，太阳公公咪咪笑。”这样抓住特征见景生情，幼儿不仅印象深刻，对雷雨前后气象变化的词语学得快，记得牢，而且会应用。我还在观察的基础上，引导幼儿联想，让他们与以往学的词语、生活经验联系起来，在发展想象力中发展语言。如啄木鸟的嘴是长长的，尖尖的，硬硬的，像医生用的手术刀―样，给大树开刀治病。通过联想，幼儿能够生动形象地描述观察对象。教案
2
理论课
30
14
CVD淀积系统
2
理论课
31
15
金属化
2
理论课
32
15
表面钝化—概述及SI-SI02系统
2
理论课
33
15
表面钝化—钝化方法及、钝化膜结构。
2
理论课
34
16
电学隔离技术Ⅰ
2
理论课
35
16
电学隔离技术Ⅱ
2
理论课
36
16
典型双极性集成电路工艺
2
理论课
37
17
CMOS集成电路工艺
2
理论课
38
17
理论课
13
5
氧化技术—Si02及掩蔽作用；
2
理论课
14
5
氧化技术—热氧化及热氧化生长动力学；
2
理论课
15
5
氧化技术——氧化速率及杂质再分布
2
理论课
16
6
扩散机构及杂质浓度分布；
2
理论课
17
6
常用杂质的扩散方法
2
理论课
18
6
扩散层参数测量和质量分析
2
习题课
19
7
半期考试
理论课
20
7
光刻技术—光刻工艺要求及光刻胶
课程性质：必修课
总学时/学分：64/4
授课专业：微电子技术
授课教师：王志强
使用学期：2019—2019学年第1学期
教研室审批意见及时间：
课程基本信息
课程标准名称、批准单位及时间
微电子技术专业11级《集成电路制造工艺》课程标准；
考核方式：形成性考核30%0+终结性考核70%（开卷）。
电子工程系，2019年8月
我国古代的读书人,从上学之日起,就日诵不辍,一般在几年内就能识记几千个汉字,熟记几百篇文章,写出的诗文也是字斟句酌,琅琅上口,成为满腹经纶的文人。为什么在现代化教学的今天,我们念了十几年书的高中毕业生甚至大学生,竟提起作文就头疼,写不出像样的文章呢?吕叔湘先生早在1978年就尖锐地提出:“中小学语文教学效果差,中学语文毕业生语文水平低,……十几年上课总时数是9160课时,语文是2749课时,恰好是30%,十年的时间,二千七百多课时,用来学本国语文,却是大多数不过关,岂非咄咄怪事!”寻根究底,其主要原因就是腹中无物。特别是写议论文,初中水平以上的学生都知道议论文的“三要素”是论点、论据、论证,也通晓议论文的基本结构:提出问题――分析问题――解决问题,但真正动起笔来就犯难了。知道“是这样”,就是讲不出“为什么”。根本原因还是无“米”下“锅”。于是便翻开作文集锦之类的书大段抄起来,抄人家的名言警句,抄人家的事例,不参考作文书就很难写出像样的文章。所以,词汇贫乏、内容空洞、千篇一律便成了中学生作文的通病。要解决这个问题,不能单在布局谋篇等写作技方面下功夫,必须认识到“死记硬背”的重要性,让学生积累足够的“米”。课程编码：0231124
班
编号
本学期总学时
其中
讲授时数
实训或实验课时数
习题(讨论)课时数
机动学时
微电11-1
1
64
56
8
0
备注
章节小结算入讲授学时，半期考试、复习算入习题课时。
课程授课学时安排表
编号
班号/周次
单元或项目名称
计划
学时
备注
1
2
1
1
绪论Ⅰ
2
理论课
2
1
绪论Ⅱ
2
理论课
3
1
硅晶圆片制造技术—硅及材料；单晶硅材料；
2
理论课
空的获得与设备
采用教材名称、作者、出版社及版本
《集成电路制造工艺》，林明祥，机械工业出版社，2019.1
教学参考资料
《微电子产业及单晶硅材料》，李可为，电子高专2019.6
《集成电路芯片制造原理与技术》，李可为，电子高专2019.6
教法、学法建议
教法：讲授法、引导法、观摩法等
学法：自学法、笔记法、讨论法。
班级
名称
4
2
硅晶圆片制造技术—晶圆加工成形
2
理论课
5
2
硅外延生长
2
理论课
6
2
物质形态及材料属性工艺用化学品
2
理论课
7
3
玷污的类型及玷污与控制
2
理论课
8
3
硅片湿法清洗2Leabharlann 理论课93
集成电路测量学及质量测量
2
理论课
10
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硅片的质量分析设备
2
理论课
11
4
集成电路芯片制造工艺概述Ⅰ
2
理论课
12
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集成电路芯片制造工艺概述Ⅱ
2
理论课
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光刻技术—光刻工艺Ⅰ
2
理论课
22
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光刻技术—光刻工艺Ⅱ及质量分析
2
理论课
23
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刻蚀—湿法刻蚀
2
理论课
24
12
刻蚀—干法刻蚀
2
理论课
25
13
刻蚀—砷化镓刻蚀
2
理论课
26
13
离子注入—工艺特点及原理
2
理论课
27
13
离子注入—注入设备
2
理论课
28
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离子注入—注入工艺
2
理论课
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14
CVD—化学过程及薄膜分类及生长动力学；
与当今“教师”一称最接近的“老师”概念，最早也要追溯至宋元时期。金代元好问《示侄孙伯安》诗云：“伯安入小学，颖悟非凡貌，属句有夙性，说字惊老师。”于是看，宋元时期小学教师被称为“老师”有案可稽。清代称主考官也为“老师”，而一般学堂里的先生则称为“教师”或“教习”。可见，“教师”一说是比较晚的事了。如今体会，“教师”的含义比之“老师”一说，具有资历和学识程度上较低一些的差别。辛亥革命后，教师与其他官员一样依法令任命，故又称“教师”为“教员”。课程名称：集成电路制造工艺
四川信息职业技术学院
观察内容的选择，我本着先静后动，由近及远的原则，有目的、有计划的先安排与幼儿生活接近的，能理解的观察内容。随机观察也是不可少的，是相当有趣的，如蜻蜓、蚯蚓、毛毛虫等，孩子一边观察，一边提问，兴趣很浓。我提供的观察对象，注意形象逼真，色彩鲜明，大小适中，引导幼儿多角度多层面地进行观察，保证每个幼儿看得到，看得清。看得清才能说得正确。在观察过程中指导。我注意帮助幼儿学习正确的观察方法，即按顺序观察和抓住事物的不同特征重点观察，观察与说话相结合，在观察中积累词汇，理解词汇，如一次我抓住时机，引导幼儿观察雷雨，雷雨前天空急剧变化，乌云密布，我问幼儿乌云是什么样子的，有的孩子说：乌云像大海的波浪。有的孩子说“乌云跑得飞快。”我加以肯定说“这是乌云滚滚。”当幼儿看到闪电时，我告诉他“这叫电光闪闪。”接着幼儿听到雷声惊叫起来，我抓住时机说：“这就是雷声隆隆。”一会儿下起了大雨，我问：“雨下得怎样?”幼儿说大极了，我就舀一盆水往下一倒，作比较观察，让幼儿掌握“倾盆大雨”这个词。雨后，我又带幼儿观察晴朗的天空，朗诵自编的一首儿歌：“蓝天高，白云飘，鸟儿飞，树儿摇，太阳公公咪咪笑。”这样抓住特征见景生情，幼儿不仅印象深刻，对雷雨前后气象变化的词语学得快，记得牢，而且会应用。我还在观察的基础上，引导幼儿联想，让他们与以往学的词语、生活经验联系起来，在发展想象力中发展语言。如啄木鸟的嘴是长长的，尖尖的，硬硬的，像医生用的手术刀―样，给大树开刀治病。通过联想，幼儿能够生动形象地描述观察对象。教案
2
理论课
30
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CVD淀积系统
2
理论课
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金属化
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理论课
32
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表面钝化—概述及SI-SI02系统
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理论课
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表面钝化—钝化方法及、钝化膜结构。
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理论课
34
16
电学隔离技术Ⅰ
2
理论课
35
16
电学隔离技术Ⅱ
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理论课
36
16
典型双极性集成电路工艺
2
理论课
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17
CMOS集成电路工艺
2
理论课
38
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