掺杂和未掺杂氧化锌薄膜的拉曼光谱

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掺杂和未掺杂氧化锌薄膜的拉曼光谱
达文欣;吴世法;刘琨;陈文;潘石
【期刊名称】《光散射学报》
【年(卷),期】2006(18)1
【摘要】利用拉曼光谱分别对不同衬底上,未掺杂和掺杂以及掺杂浓度不同的ZnO 薄膜进行了系统的分析研究.其中ZnO薄膜均由溶胶-凝胶法制得,掺杂源为LiCl.测得的拉曼光谱显示,Pt/Ti/SiO2/Si衬底上生长的ZnO薄膜的拉曼特征峰(437cm-1)的强度明显高于SiO2/Si衬底上ZnO薄膜的拉曼特征峰的强度,说明
Pt/Ti/SiO2/Si衬底上ZnO的晶化程度比SiO2/Si上ZnO的晶化程度高;但ZnO 拉曼特征峰的位置和半高宽并没有发生变化,说明两种衬底上ZnO薄膜中应力大小没有发生变化.掺Li+后,580cm-1处的峰位向高频方向移动,且掺杂浓度越大频移量越大,说明掺杂已经在不同程度上引起了ZnO晶体中自由载流子浓度的变化.此外,还分析了掺Li+未在很大程度上引起ZnO晶格畸变的原因.
【总页数】5页(P43-47)
【作者】达文欣;吴世法;刘琨;陈文;潘石
【作者单位】大连理工大学物理系,大连,116024;大连理工大学物理系,大
连,116024;大连理工大学物理系,大连,116024;大连理工大学物理系,大连,116024;大连理工大学物理系,大连,116024
【正文语种】中文
【中图分类】O657.37
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