efem标准

EFEM是英文缩写，全称为Electro Fatigue Monitoring，意为电疲劳监测。

EFEM系统是一种用于监测材料或构件在长期使用过程中由于电疲劳效应而产生的裂纹、损伤等问题的系统。

EFEM系统通常由传感器、数据采集单元、数据处理单元、显示单元等组成，可以实时监测构件或材料的电疲劳状态，并通过数据处理单元对监测数据进行分析和处理，以确定材料或构件是否存在电疲劳损伤或裂纹等问题。

EFEM系统广泛应用于航空航天、汽车、轨道交通、电力、石油化工等领域，可以用于监测金属构件、复合材料、电子器件等的电疲劳状态，以保证产品的质量和安全性能。

EFEM系统的标准主要有SEMI S2标准和ASME标准。

其中，SEMI S2标准是由SEMI行业的领导者制定的，主要针对半导体制造设备；ASME标准是由美国机械工程师学会（ASME）制定的，主要针对压力容器、管道等设备。