真空镀膜机常见故障及维修方法_钳工_
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
Page:1/1
二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢 复真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有很多粉尘（应清冼） 2、扩散泵很久未换油（应清冼换油） 3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油） 4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈） 5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈） 6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈） 7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧） 8、高低预阀是否密封可靠（注油） 注：以上仅供参考具体问题具体分析解决
真空镀膜机常见故障及维修方法(钳工) 真空部份
当镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象，之后要亲 自开机观察故障的现象，这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。
排除故障应先检测低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、 蒸发室），低真空正常后再开主泵，主泵工作正常后检测下室真空中是 否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至达到工作 真空，极限真空、保真空、恢复真空，如极限真空和保真空正常，而 恢复真空和工作真空不正常则可能主泵有问题。
以下列举常见故障及维修方法： 一、当正在镀膜时真空度突然下降 1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈） 2、坩埚被打穿（更换坩埚） 3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈） 4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈） 5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀） 6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀） 7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常） 8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈） 9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈） 10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）
Page:1/1
ห้องสมุดไป่ตู้
二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢 复真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有很多粉尘（应清冼） 2、扩散泵很久未换油（应清冼换油） 3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油） 4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈） 5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈） 6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈） 7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧） 8、高低预阀是否密封可靠（注油） 注：以上仅供参考具体问题具体分析解决
真空镀膜机常见故障及维修方法(钳工) 真空部份
当镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象，之后要亲 自开机观察故障的现象，这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。
排除故障应先检测低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、 蒸发室），低真空正常后再开主泵，主泵工作正常后检测下室真空中是 否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至达到工作 真空，极限真空、保真空、恢复真空，如极限真空和保真空正常，而 恢复真空和工作真空不正常则可能主泵有问题。
以下列举常见故障及维修方法： 一、当正在镀膜时真空度突然下降 1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈） 2、坩埚被打穿（更换坩埚） 3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈） 4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈） 5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀） 6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀） 7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常） 8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈） 9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈） 10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）
Page:1/1
ห้องสมุดไป่ตู้