真空镀膜机常见故障及维修方法_钳工_
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二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢 复真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有很多粉尘（应清冼） 2、扩散泵很久未换油（应清冼换油） 3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油） 4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈） 5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈） 6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈） 7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧） 8、高低预阀是否密封可靠（注油） 注：以上仅供参考具体问题具体分析解决
真空镀膜机常见故障及维修方法(钳工) 真空部份
当镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象，之后要亲 自开机观察故障的现象，这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。
排除故障应先检测低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、 蒸发室），低真空正常后再开主泵，主泵工作正常后检测下室真空中是 否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至达到工作 真空，极限真空、保真空、恢复真空，如极限真空和保真空正常，而 恢复真空和工作真空不正常则可能主泵有问题。
以下列举常见故障及维修方法： 一、当正在镀膜时真空度突然下降 1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈） 2、坩埚被打穿（更换坩埚） 3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈） 4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈） 5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀） 6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀） 7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常） 8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈） 9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈） 10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）
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二、长期工作的镀膜机抽真空的时间很长且达不到工作真空、恢 复真空、极限真空、保真空：
1、蒸发室有很多粉尘（应清冼） 2、扩散泵很久未换油（应清冼换油） 3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低（应清冼换油） 4、各动密封胶圈损坏（更换胶圈） 5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化（更换胶圈） 6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏（更换胶圈） 7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象（重新压紧） 8、高低预阀是否密封可靠（注油） 注：以上仅供参考具体问题具体分析解决
真空镀膜机常见故障及维修方法(钳工) 真空部份
当镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象，之后要亲 自开机观察故障的现象，这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。
排除故障应先检测低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、 蒸发室），低真空正常后再开主泵，主泵工作正常后检测下室真空中是 否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，直至达到工作 真空，极限真空、保真空、恢复真空，如极限真空和保真空正常，而 恢复真空和工作真空不正常则可能主泵有问题。
以下列举常见故障及维修方法： 一、当正在镀膜时真空度突然下降 1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈） 2、坩埚被打穿（更换坩埚） 3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈） 4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈） 5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀） 6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀） 7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常） 8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈） 9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈） 10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）
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