蔡司场发射扫描电镜操作培训
Zeiss Supra55扫描电镜操作使用
Zeiss Supra55扫描电镜操作使用zeisssupra55扫描电镜操作使用zeisssupra55(vp)扫描电子显微镜简明操作指南一、开机表明冷启动步骤1、启动ups关上墙上空气控制器，证实ups后面电池控制器关上，按前面面板上on键至两个绿灯暗。
2、启动循环水冷机。
按on键，确认水泵1和制冷指示灯亮。
检查出水口压力在2～3bar。
出水口压力可以由压力表下方阀门调节。
若存有报警，检查水位，按res键。
3、启动空气压缩机。
确认空气压缩机上启动阀门上开关为“i”状态。
检查输出气压为5～6bar。
4、确认主机后两个电源开关状态为on。
此时，主机前面板上红灯暗。
5、按下黄键。
说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。
6、按下绿键。
按下绿键后，电脑可以自动启动，输出计算机密码：7、启动smartsem软件。
用户名：system密码：8、检查真空值，等待真空就绪。
特别注意：当systemvacuum<2×10mbar时，可以自动关上civ阀门(columnisolationvalve)，并启动离子泵。
当gunvacuum=<5×10mbar时，可以启动灯丝。
若长期停机，aes蒸煮。
9、打开灯丝。
10、开tv，检查样品台。
11、装样品(见第二部分)。
12、加高压(eht)。
13、观察样品。
-9-5待机状态1、停用高压(eht)。
2、停用smartsem软件。
注意：分两步，先关用户界面userinterface，后关后台程序emserver。
3、关windows。
4、必要时，第一关能谱、ebsd。
5、按下黄键此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。
电镜真空系统和灯丝继续工作。
待机状态启动1、按下绿键。
按下绿键后，电脑可以自动启动，输出计算机密码：2、启动smartsem软件。
用户名：system密码：3、检查真空值。
4、换样或加高压观察样品。
蔡司场发射扫描电镜操作培训课件
工作原理简介
电子枪发射电子，经 过加速和聚焦形成电 子束。
信号被探测器接收并 转换为电信号，经过 处理后形成图像。
电子束在磁场作用下 扫描样品表面，与样 品相互作用产生各种 信号。
设备的主要组件和功能
聚光镜
将电子束聚焦并调 整光束大小。
探测器
接收样品产生的信 号，并将其转换为 电信号。
电子枪
发射电子，是电镜 的照明源。
蔡司场发射扫描电镜操作培训课件
目录
• 设备介绍 • 操作流程 • 高级操作与优化 • 应用与案例展示 • 安全注意事项
01 设备介绍
设备概述
01
蔡司场发射扫描电镜是一种高分 辨率、高放大倍率的电子显微镜 ，用于观察和分析材料表面的微 观结构和形貌。
02
它采用电子作为照明源，通过电 子束扫描样品表面，将产生的信 号收集并处理成图像。
紧急情况处理
如遇电镜异常或故障，应立即切断电 源，保持现场，并及时联系专业维修 人员。
若发生触电或火灾等紧急情况，应迅 速切断电源，使用灭火器扑灭火灾， 同时拨打紧急电话求救。
安全培训与教育
操作人员应接受专业培训，熟悉电镜的基本原理、操作流程 及安全注意事项。
定期对操作人员进行安全教育培训，提高安全意识，确保操 作过程的安全性。
陶瓷与玻璃材料探索
研究陶瓷和玻璃材料的微观结构，如气孔率、晶相组成和显微组织 。
表面科学探索
01
ห้องสมุดไป่ตู้
02
03
表面形貌分析
利用场发射扫描电镜观察 材料表面的形貌和粗糙度 ，分析表面的物理和化学 性质。
表面元素组成分析
结合能谱仪等附件，对材 料表面元素进行定性和定 量分析，了解表面化学组 成。
扫描电镜操作规程
ZEISS/ SUPRA 55场发射扫描电镜操作规程
一、开机
1、烘烤：超过一个星期完全关机，再开机时要进行烘烤；
2、开总电源；
3、开UPS电源，按UPS机箱后开关至ON，等3秒后至绿灯亮；
4、开冷却水箱，按ON/OFF开关至ON；
5、开空压机，将空压机开关顺时针搬至“1”；
6、按扫描电镜主机箱面板黄灯按钮至“STANDBY”，等2分钟后，
按绿灯“ON”；
7、输入开机密码；
8、启动软件“SmartSEM”；
9、输入用户名；
11、输入用户口令；
12、等系统真空优于5×10-5mbar，枪真空优于5×10-9mbar；
13、加电子枪高压；
14、加灯丝高压；
15、调节亮度、对比度、像散、合轴，使图像最佳。
二、关机
（一）日常关机
1、放气，取样品；
2、关灯丝高压；
3、退出软件“SmartSEM”；
4、退出软件“EMServer”；
5、关电脑；
6、按黄灯，使扫描电镜进入待机状态；
（二）完全关机
1、按红灯；
2、关空压机，搬空压机开关至“0”；
3、关冷却水箱，按开关至OFF，红灯亮后等15分钟；
4、关UPS电源，按ON/OFF开关至OFF，等3秒，关机箱后开关至OFF；
5、关总电源。
2014-1-10。
蔡司SEM(SIGMA)操作规范
蔡司——SEM（SIGMA）操作规范一、仪器结构光学系统：电子枪、电磁透镜、扫描线圈、光阑组件机械系统：支撑部分、样品室真空系统样品所产生的信号收集、处理、显示系统二、三种主要信号背散射电子（BSD）：入射电子在样品中经散射后再从上表面射出来的电子。
反映样品表面不同取向、不同平均原子量的区域差别。
二次电子(SE2)：由样品中原子外壳层释放出来，在扫描电子显微术中反映样品上表面的形貌特征。
X射线(EDS)：入射电子在样品原子激发内层电子后外层电子跃迁至内层时发出的光子。
三、工作原理：扫描电镜的工作原理可以简单地归纳为“光栅扫描，逐点成像”。
从电子枪阴极发出的直径20um～30um的电子束，受到阴阳极之间加速电压的作用，射向镜筒，经过聚光镜及物镜的会聚作用，缩小成直径约几毫微米的电子探针。
在物镜上部的扫描线圈的作用下，电子探针在样品表面作光栅状扫描并且激发出多种电子信号。
这些电子信号被相应的检测器检测，经过放大、转换，变成电压信号，最后被送到显像管的栅极上并且调制显像管的亮度。
显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描，并且这种扫描运动与样品表面的电子束的扫描运动严格同步，这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电子像，这种图像反映了样品表面的形貌特征。
四、操作步骤(一)启动系统1、开机将仪器主机上绿色按钮“On”打开，双击软件图标，输入用户名及密码。
2、加高压左击图标，单击，待高压上升到设定值，状态栏中显示为，系统状态就绪。
(二)更换样品1、放真空左击→→→，放真空。
2、换样品排气完成后，缓慢地将样品室拉开，轻轻将原样品取下，装入新样品，旋紧固定，缓慢关闭样品室。
3、抽真空单击→抽真空，待显示为时，抽真空完毕，可进行正常测试。
注：样品室不开打开太久，制样及更换样品时需戴手套，以免污染样品及样品室。
(三)测试样品1、选择观察区点击，将视野切换到TV模式下，前后移动Z方向杆将样品台调整到合适的高度，点击，将视野切换到Normal模式下，点击，状态栏中显示为鼠标左键调整图像亮度，右键调整对比度，使图像视野清晰；点击，状态栏显示为将鼠标功能切换为调整倍数、聚焦，鼠标左键将放大倍数调到最小，右键聚焦，选择较快的扫描速度（=1-3），使用操纵杆移动样品台位置，找到要观察的样品，并将观察区移动到视野中心。
扫描电镜要点总结(蔡司Gemini450电镜各模式和探头使用参数介绍)
扫描电镜要点总结（蔡司Gemini450电镜各模式和探头使用参数介绍）扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope, SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面的电子束来获取高清晰度的图像。
蔡司Gemini 450是一种常见的扫描电子显微镜，拥有多种模式和探头，下面将对其各模式和探头的使用参数进行介绍。
1.高真空模式：-工作距离：3-20毫米之间可调。
-放大倍率：高达1,000,000倍。
-检测器：二次电子检测器、能量分散X射线（EDX）探测器等。
高真空模式适用于大多数样品，特别是金属、半导体等导电材料。
该模式下的电子束会扫描样品表面，从而产生二次电子图像。
EDX探测器可用于进行元素成分分析。
2.低真空模式：-气压范围：从10到130帕斯卡（Pa）。
-工作距离：5-25毫米之间可调。
-放大倍率：高达100,000倍。
低真空模式适用于非导电材料以及生物样品等需要避免高真空环境的样品。
低真空模式下，可以使用水冷样品冷凝器来减少样品的水膜蒸发。
3.非接触模式：-工作距离：约为30微米。
-放大倍率：高达100,000倍。
非接触模式使用非接触方式扫描样品表面，减少了对样品的损伤。
它适用于对样品表面要求严格的情况下，如软性材料或纳米材料等。
4.电子背散射模式：-工作距离：约为3毫米。
-放大倍率：高达300,000倍。
电子背散射模式用于观察样品的表面形态和材料本身的晶体结构。
通过背散射电子来获取高对比度的图像。
探头是扫描电镜中十分重要的组成部分，蔡司Gemini 450电镜提供了多种探头供选择，具有不同的特点和应用范围。
1.热阴极电子枪：-适用于常规高真空模式下的成像。
-具有较高的亮度和小的发射面积。
2.场发射电子枪：-适用于较低真空模式下的成像。
-具有更小的亮度和更小的发射面积。
3.高抛射场发射电子枪：-适用于非接触模式。
-具有更大的发射面积，可以提供更高的电子流，为非接触模式下的成像提供更好的性能。
蔡司sigma300扫描电镜操作步骤及实例
界面-操作软件简介
选择图像储存的 分辨率 扫描速度
图像的冻结是以 手动形式还是扫 描完整幅图片后 自动冻结
积分次数或平均 次数
SEM control: Scan界面
选择图像噪点去 除的六种方式： 帧平均、帧积分、 线平均、线积分、 像素平均、连续 平均
界面-操作软件简介
SEM control: Stage界面
线扫描元素质量分数变化曲线
功能-面扫描(EDS)
喷涂环氧富锌漆的金属表面
单种元素面分布色图
功能-电子背散射衍射（EBSD）
简介
EBSD技术主要应用 于晶体学取向、再结 晶形核与长大机制、 织构、相变及其位向 关系、界面结构特征、 晶体缺陷密度、绝热 剪切带内部的取向及 织构等。
02
基本流程与界面
基于Windows7SmartSEM操作系统
SIGMA300/VP扫描电子显微镜/实验楼4层
工作原理和特点
01
02
表（界）面形貌 分析；
分辨率高，可达 纳米级；
03
放大倍数可连续 调节放大，十几 倍到几十万倍；
04
三维立体效果 好，扫描电镜 图像景深大；
05
样品制备简单。 导电样品只要尺 寸大小合适，可 直接观察；
流程-控制台
样品台上下高度调整、
左右倾斜角度调整
X、Y方向像散
亮度、对比度
样品台前后 左右平移、 自转
放大倍数调节
聚焦
流程-图片保存方法
注意
调整好噪点参数， 使图像平滑清晰。 鼠标移动到图片上， 点击鼠标右键，选 择 “send to” ， 然后选择需要保存 的图片格式。
流程-图片保存方法
选中需要保存的图 片格式后，跳出左 边对话框 选择你要保存的目 录
蔡司场发射扫描电镜操作培训
后，屏幕上出现一个十字
座标。拖动十字座标到感
兴趣点，点击鼠标左键。
感兴趣点将自动移到屏幕
中心。
操作软件简介
样品台导航器: 显
示样品座的位置和
一些参数。请注意:
这只代表样品座的
位置。不是样品的
位置。
操作电镜的基本流程
• 将样品放入样品室, 抽真空（抽真空时手推紧一下仓门）
。真空度达到5.00e-005mbar以下时, 可打开设定的高压, 取
操作电镜的基本流程
样品台控制器:
当1号操纵杆上下移动，控制样品台上下移动。
当1号操纵杆左右移动，控制样品台左右倾斜。
当2号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左
右移动。
当旋拧2号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转
。
操作电镜的基本流程
图片保存: 当图片冻结后，鼠标移动到图片上，点击鼠标右键后， 选择Send
• SEM Control: Scan 面板
选择图像存储的
分辨率
扫描速度
图像的冻结是以手动
形式还是扫完整幅图
片后
积分次数或者是
平均次数
图像噪音去除的六种方
式选择: 帧平均，帧积
分，线平均，线积分，
像素平均，连续平均。
操作软件简介
• SEM Control: Stage界面
样品台目前所在的位
置
激活此处: 样品台泄真空时
循环机给机器降温散
热量很大, 所以隔间门
要打开, 不得关闭, 尤
其在夏天, 否则水循环
机负荷太大会损坏。
操作软件简介说明
• Smart软件的启动
• 双击桌面上的快捷键 或者在开始菜单中
扫描电镜培训
扫描电镜培训简介扫描电镜是一种使用电子束而非光线的显微镜，能够提供更高的分辨率和更详细的样品表面信息。
扫描电镜在材料科学、生物学、医学和工程等领域都有广泛的应用。
为了确保正确有效地操作扫描电镜，进行培训是必要的。
本文档将介绍扫描电镜的基本原理、操作步骤以及常见问题解答，以帮助您快速上手和使用扫描电镜。
内容1. 基本原理扫描电镜通过以极小的电子束来照射样品，并检测电子束与样品之间的相互作用来获取样品表面的信息。
与光学显微镜不同，扫描电镜可以提供更高的分辨率和更详细的样品表面特征。
2. 操作步骤在使用扫描电镜之前，务必了解并遵循以下操作步骤：2.1 准备工作•确保扫描电镜处于正常工作状态，并接通电源。
•根据样品类型和要求选择合适的样品支架。
•将样品放置在样品支架上，并确保样品表面平整且干净。
2.2 调整扫描电镜参数•选择合适的放大倍数和扫描模式。
•调整电子束的亮度和对比度。
•设置扫描区域和扫描速度。
2.3 开始扫描•点击开始扫描按钮，启动电子束照射。
•观察样品表面的图像，并根据需要进行调整和优化。
•可以进行局部放大和缩小来观察不同细节。
2.4 结束使用•扫描结束后，关闭电子束照射。
•将样品从样品支架上取下并妥善保存。
•关闭扫描电镜并断开电源。
3. 常见问题解答以下是一些常见问题的解答，可供参考：3.1 为什么我的样品表面特征不清晰？•可能是样品表面不干净，请去除表面的杂质和污渍。
•检查电子束的亮度和对比度，如果需要请进行适当调整。
3.2 如何缩小扫描区域？•在调整扫描参数时，可以选择较小的扫描区域来获取更高的分辨率。
3.3 如何保存扫描图像？•扫描电镜通常具有保存图像的功能，在扫描结束后，您可以选择保存图像到计算机或其他存储设备。
结论通过本文档的阅读，您应该对扫描电镜的基本原理和操作流程有了基本的了解。
使用扫描电镜时，请确保遵循正确的操作步骤，以确保安全和获得高质量的扫描结果。
如遇到问题，请参考常见问题解答或咨询相关专业人员。
场发射新扫描电镜操作说明及注意事项
场发射新扫描电镜基本操作规程1检查仪器状态,放入样品,必须戴手套操作,将制备好的样品放入样品座中。
调节样品高度，样品不得高于样品座上边沿。
2 预抽室放气，按下“Vent”键，打开预抽室仓门，将样品座平边推入样品座卡槽，关上仓门并扣紧，按下“EVAC”键，抽真空。
3观察样品，待真空抽至“4.4×10-4”后，点加电压“ON”，待电流上升至10uA的发射电流后，按下“GUN”。
4 加速电压逐步从低到高升到5kv，工作距离一般选用10mm。
5 控制图像移动可用鼠标右键单击实现，可将点击目标移至屏幕中央。
6 Low Mag（快速移动到要观察的样品上），ACB（自动黑白对比）--调焦—改变放大倍数--配合Alignment，和像散调节—得到一幅满意的图像；7 图像存储，在保存一幅图像之前，直接在Quick View时按Photo键，在操作下一步之前点Freeze解除。
8 取出样品，先关闭“Gun”灯亮，关闭高压，按下“Exchange P osition”键。
确认“EXCH POSN”灯亮；9 将样品杆放下置水平位置，向前轻推样品杆至无法再推动为止。
10 按下“Vent”键，待Vent指示灯停止闪烁，松开预抽室锁扣，打开预抽室，取出样品，将预抽室抽好真空（按“EVAC”键）。
场发射新扫描电镜注意事项（1）在接触到样品座的所有操作，必须戴手套；（2）在拧样品座上的螺丝时，要轻拧，不得使大力，防止固定螺丝损坏；（3）换样品时样品杆只能在水平方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等，样品杆操作要在水平方向上轻推轻拉；（4）样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；（5）关闭高压系统前必须先关闭“Gun”--灯亮。
操作顺序不得反转；（6）在打开“Gun”--灯灭时，样品室真空度必须达到4.4×10-4Pa；（7）严禁测试磁性材料样品；（8）样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，防止悬浮颗粒进入电镜；（9）禁止操作样品杆、样品升降台、轨迹球外旋钮、背散射按钮（否则出现问题，后果自负，仪器损坏，负责赔偿）.预约扫描电镜须知1.样品必须清洗干净，特别是腐蚀样品，需用乙醇彻底清洗，之后在测试之前烘箱烘干2-5小时；2.禁止送磁性材料样品测试，请提前确认样品有无磁性；3.禁止使用U盘或外带光盘拷贝数据，以免电脑软件中毒；4.块体样品大小8mm*8mm*8mm以内，超出的请提前切割处理；5.测试时禁止在实验室打闹，禁止学生触摸实验设备，设备有高压电，以免发生危险；6.预约请提前1天以上，周末和晚上请勿打扰；7.未经培训的人员，禁止操作仪器设备；8.仪器设备贵重，请来测试人员注意，如有损坏照价赔偿；9.测试完请填写实验记录，打扫实验室。
场发射扫描电子显微镜使用方法说明书
场发射扫描电子显微镜使用方法说明书一、引言场发射扫描电子显微镜（以下简称场发显微镜）是一种高分辨率的显微镜，利用电子束与样品相互作用产生的信号来获取样品表面的形貌和结构信息。
本说明书将详细介绍场发显微镜的使用方法，帮助用户正确操作和利用该仪器。
二、仪器准备在使用场发显微镜之前，需进行以下准备工作：1. 保证实验室环境在恒定的温度和湿度下，避免影响仪器性能。
2. 检查仪器电源和相关线缆的连接是否牢固，并确保电源供应稳定。
3. 准备待观察的样品，并确保样品表面干净、光滑。
三、开机及基本操作1. 打开仪器电源，待仪器完成自检后，进入操作界面。
2. 鼠标操作：使用鼠标控制光标移动至所需功能区域，并点击打开相应功能菜单。
3. 设置扫描参数：选择扫描模式、像素大小等参数，以适应不同样品的观察需求。
4. 样品安装：将待观察的样品安装到样品台上，并使用调节螺丝微调样品的位置，保证与电子束的最佳对准。
5. 自动对焦：使用自动对焦功能，校准焦距，确保样品图像清晰可见。
四、图像观察与分析1. 扫描图像获取：点击“扫描”按钮，开始获取样品表面的扫描图像。
图像会逐行扫描，根据设定参数生成图片。
2. 放大与缩小：使用鼠标左键点击图像区域，可进行图像的放大和缩小操作。
右键点击可还原图像原始大小。
3. 焦点平移：使用光标控制器或滚轮移动焦点位置，观察样品各个区域的细节。
4. 图像调节：根据需要调整图像的亮度、对比度等参数，以获得更清晰的图像。
5. 图像保存：观测到满意的图像后，点击“保存”按钮，将图像保存到指定路径，便于后续分析与报告撰写。
五、仪器维护与操作注意事项1. 仪器维护：固定时间段内对仪器进行清洁和维护，清除积尘，以保证仪器正常运行。
2. 样品处理：在安装样品之前，确保样品表面干净，避免影响观察效果。
避免使用尖锐物体接触样品，防止刮伤样品表面。
3. 仪器操作：在操作中避免突然断电，以免损坏仪器设备。
操作完毕后，及时关闭仪器电源。
场发射扫描电子显微镜实验操作
场发射扫描电子显微镜实验操作扫描电子显微镜（SEM）是一种能够获得高分辨率表面形貌信息的重要工具。
在实验室中，我们经常会使用场发射扫描电子显微镜来观察样品的微观结构和形貌。
本文将介绍场发射扫描电子显微镜的实验操作步骤。
实验准备在进行场发射扫描电子显微镜实验之前，我们需要进行一些准备工作。
首先，确保实验室环境干净整洁，以避免样品受到污染。
其次，检查扫描电子显微镜设备，确保设备正常工作。
最后，准备好待观察的样品，并确保样品表面平整干净。
样品处理与加载处理样品是进行场发射扫描电子显微镜实验的关键步骤。
首先，将待观察的样品切割成适当大小，并利用相关方法处理表面以去除可能的杂质。
然后，将样品加载到扫描电子显微镜样品台上，并使用夹具固定样品。
参数设置在进行扫描电子显微镜实验前，需要设置合适的参数以获得清晰的显微结构图像。
首先，调整加速电压和工作距离，以适应待观察样品的性质和尺寸。
其次，设置扫描速度和倍率，以获得所需的图像分辨率。
最后，根据需要选择不同的检测模式和滤波器。
图像获取与分析当参数设置完成后，可以开始进行样品的图像获取。
通过扫描电子束对样品进行成像，获得样品表面的细微结构信息。
在获取图像后，可以利用相应软件对图像进行分析，包括测量尺寸、分析形貌等。
同时，可以记录图像和相应数据以备后续分析。
结束实验与维护实验结束后，及时关闭扫描电子显微镜设备，并对设备进行清洁和维护。
将样品从样品台取下，妥善保存或处理。
同时，整理实验记录和数据，保留有关信息以备后续参考。
通过以上步骤，我们可以完成一次成功的场发射扫描电子显微镜实验操作。
这不仅可以帮助我们深入了解材料的微观结构和形貌，还可以为科学研究和工程应用提供重要参考。
希望本文对您进行场发射扫描电子显微镜实验操作有所帮助。
zeiss sigma 500热场发射扫描电镜操作技巧及日常维护
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缩小和聚 焦,在 样 品 表 面 形 成 一 个 具 有 一 定 能 量、
强度、斑点 直 径 的 电 子 束;在 扫 描 线 圈 的 磁 场 作 用
下,入射电子束在样 品 表 面 上 按 照 一 定 的 空 间 和 时
间顺序做光栅式逐 点 扫 描;高 能 电 子 束 与 样 品 之 间
相互作用,从样品中 激 发 出 多 种 信 号 (二 次 电 子、背
２０２０ 年第 １ 期
分析仪器 AnalyticalInstrumentation
１０１
No．
１J
an．２０２０
图 １ 扫描电子显微镜外观及平面构造
(
a)
ZEI
SSS
i
b)
ZEI
SSS
i
gma５００ 的外部图片;(
gma５００ 的构造示意图
速电 压 (
０
０２~３０kV)的 作 用 下,经 会 聚 透 镜、物 镜
蔡司场发射扫描电镜Merlin培训
真空状态：
Gun Vacuum和System Vacuum
确认仪器状态正常后才可以开始装试样进行测试。
第七页，共30页。
装样品
（1）按下图中Vent按钮，系统充气，直到Vent绿灯不再闪烁，然后右手拉开
Airlock的仓门。
第八页，共30页。
（2）将样品座装入图中样品架上，右手旋紧样品推杆（切记旋紧）。 （3）关上仓门，并按图中store按钮，系统开始对Airlock抽真空，直到Store绿灯
样品要求及制备
试样性状要求：
（1）试样可以是块状或粉未状。 （2）试样在真空中稳定，不含水分或其它易挥发物。
（3）对磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束受到磁场影响。
（4）电子束照射下释放出气体的样品严禁测试。 （5）表面污染的试样，要在不破坏试样表面结构前提下进行清洗，并烘干。 （6）进行表面侵蚀的试样在侵蚀后应将表面或断口清洗干净，并烘干。
或将粉未制备成悬浮液滴在载玻片、硅片等基底上（尺寸5mm左右），待溶液挥发后将基底试
样贴附到样品座上。不导电试样需进行镀膜处理。
粉末试样
片/块状试样
截面试样
。
第四页，共30页。
开机
（1）仪器在standby状态下，按下仪器面板上ON按钮。
（2）开启仪器控制电脑（密码sem），双击桌面SmartSEM图标，启动操作软件，系统自动对设备硬件进
像散调节钮
第十七页，共30页。
光阑对中的调节
在较高倍数下，按wobble钮，调节Aperture X和Y，使图像呈心脏般起伏，而不出现左右摇摆。调节 好后，再按一下wobble钮，回到正常模式。
像散和光阑对中调节完成后，需要再对试样进行聚焦。
第十八页，共30页。
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- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
安全规则
• 不允许放入：液体、有机、生物、不耐热 、熔融蒸发、松动粉末或碎屑等有挥发物 样品！（电镜镜筒最怕污染，无VP模式） • 凡是不导电样品必须镀导电膜。
安全规则
• 样品台一定要卡紧在样品室基座上，左右 不得晃动！
样品台背面：卡槽 样品台的安装：请注意图片上箭头方向
安全规则
• 样品观测结束后，一律将高压关掉（EHT OFF），否则会影响灯丝寿命。
图像的冻结是以手动 形式还是扫完整幅图 片后
积分次数或者是 平均次数
操作软件简介
• SEM Control：Stage界面
样品台目前所在的位 置 双击数据区，输入你 想要去的位置。输入 后，样品台移动到你 输入的位置。 点击功能块，输入 你要移动的距离。 例如：现在样品台 X，Y的位置在 64.125，64.485 你想让X和Y方向 各移动2mm，你可 在XY 激活后输入 2，2后点击OK即 可。
放在红外灯下烘干
银纳米结构材料制样
用导电胶把样品固定在样品台上
放入SEM腔室观测
不同放大倍数下Ag微球表面形貌
5KV, 10k×,Inlens探测器
5KV, 25k×,Inlens探测器
不同放大倍数下Ag微球表面形貌
5KV, 40k×,Inlens探测器
5KV, 100k×,Inlens探测器
• 测试时须换鞋，不得携带任何食物入内， 测试完后打扫卫生，保持扫描电镜室干净 整洁。 • 测试完后必须进行登记！
电镜室隔间
隔间放有高纯氮气钢 瓶、水循环机、UPS 电源、干泵、空气压 缩机。 由于隔间内无空调， 水循环机给机器降温 散热量很大，所以隔 间门要打开，不得关 闭，尤其在夏天，否 则水循环机负荷太大 会损坏。
操作软件简介
快捷键： 详细说明 见下。
操作软件简介
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操作软件简介
数据区：显 示电镜当前 的一些参数
控制真空，灯 丝开关，EHT 的开关。当 Gun或者EHT 出现绿勾时， 代表正在工作。 Vac出现绿勾时， 代表真空已经 达到工作要求
操作软件
• 用去除噪音的模式，取得高质量的图片保存到指定的硬盘 目录中。 • 关闭高压，泄真空，取出样品。
操作电镜的基本流程
样品台控制器： 当1号操纵杆上下移动，控制样品台上下移动。 当1号操纵杆左右移动，控制样品台左右倾斜。 当2号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左 右移动。
当旋拧2号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转。
蔡司场发射扫描电镜 操作培训
微纳科学技术研究院
Zeiss Ultra 55场发射扫描电镜（SEM）
SEM的特点
• 表（界）面形貌分析； • 分辨率高，可达纳米级；
• 放大倍数连续调节范围大：十几倍－几十 万倍，连续可调，使用非常方便; • 三维立体效果好，扫描电镜图像景深大；
• 样品制备简单。导电样品只要尺寸大小适 于样品台安装，可以直接观察，非导电样 品通过表面镀导电膜层处理即可。
操作软件简介
• 自检完毕后，在EM server log on 对话框中 输入用户名和密码，进入SmartSem软件。
操作软件简介
• 软件简介：SEM Control 面板（启动快捷键 Ctrl＋g)
操作软件简介
SEM Control: Gun 界面
点击此处，可以 选择灯丝的开关 和高压的开关
操作电镜的基本流程
点击Import TIFF后， 跳出以下对话框
选择要调入图 片的文件夹
选择要调入的 图片
实验举例
观察银纳米结构材料的表面形貌 SEM的各项功能演示
银纳米结构材料制样
Ag微球水溶液
将Ag微球水溶液超声处理2分钟
银纳米结构材料制样
用移液枪取10 ul分散均匀的Ag微 球涂在清洁的硅片表面
注意事项
• 制样过程中，手不能直接接触小样品架及 样品台，防止手上的油脂等杂质污染真空 系统，要戴手套。 • 需要倾斜样品时，需经电镜管理老师同意 ，不得自行倾斜样品！
• 放置电镜的台子不能放置其它物体，不能 将身体靠在台子上！ • 电镜室温度范围：214C；湿度65％。
• 使用者不得更改计算机内之任何设定或私 自加载任何软件，不得将样品台、小样品 架等电镜室内的物品携出SEM实验室。 • 样品台须放在干净的培养皿中操作，不能 直接放在桌子上或其它不洁净物体上面。 用完后，样品台放入培养皿中盖好。
激活此处：样品台泄真空 时，Z方向自动下降到最低 点 激活此处：样品的上升 时，SEM的工作距离自 动进行更改。 激活此处：样品台控制 器失效
操作软件简介
• SEM Control：Vacuum界面
点击Pump，样 品室开始抽真空。 激活此处：当机 器在Standby状态 时，真空泵停止 工作。
点击Vent，泄掉样 品室内的真空。
Weight% 100.00 100.00
Atomic% 100.00
样品能谱分析： 线扫描
样品能谱分析：面分布图
谢谢！！
操作软件简介
激活对话框后调出用户工具栏
激活对话框后调出状态栏
操作软件简介
数据区控制
激活后，屏 幕上显示米 字准线
操作软件简介
常见问题：当使用AsB探 头时，如果看不见影像。 请先检查一下左图的设置 是否在“high”,然后检查 工作距离，EHT是否过低。 光阑尺寸是否过小。
操作软件简介
样品台进行初始化。 常见问题：当水冷 机出现不正常工作 后，重新启动水冷 机并使之正常工作。 有时会发生样品台 不能动，重新启动 电镜，EM Server 提示样品台没有初 始化。这时需要初 始化样品台
操作软件简介
• SEM Control: Aperture 面板
选择不同的尺寸的光阑 激活此处，可进行 光阑对中 观察六孔光阑 的位置和形状 光阑对中 灯丝对中 像散校准
电子束移动
高电流模式
操作软件简介
• SEM Control: Scan 面板
选择图像存储的 分辨率 扫描速度 图像噪音去除的六种方 式选择：帧平均，帧积 分，线平均，线积分， 像素平均，连续平均。
安全规则
• 平时观测时，注意不要碰到左边的操纵杆， 以免样品高度和倾斜度发生变化，损坏镜头 和探测器！
安全规则
• 开关仓门时必须轻拉轻推，避免撞击，震 动极易损坏探测器。
安全规则
• 样品一定要粘牢在样品台上，样品高度应 基本一致，样品表面平整，样品大小不得 超出大样品台边缘（3英寸硅片一次只能放 入一片），高度不得超过30mm,重量不得 超过500g。
双击或者拉动滑块 可以改变不同的 EHT
严禁擅自更改 Fil I和Extractor V处的数值。如 需更改，请先 取得服务工程 师的同意。
操作软件简介
• SEM control: Detector 面板
选择SE2 探头收集极电压 值 选择不同的探头 选择两种不同探头的信号 进行混合 混合信号时，两个 探头的信号比例 调节图像的亮度 调节图像对比度
操作电镜的基本流程
图片保存：当图片冻结后，鼠标移动到图片上，点击鼠标右键后， 选择 Send to，然后选择需要保存图片的格式
操作电镜的基本流程
选中需要保存 的图片格式后， 跳出左边的对 话框
选择你要保存 的目录 输入要保存 图片的名字
保存图片
操作电镜的基本流程
调出图片(请注意只有TIFF格式的图片才能SmartSem软件中调出）：鼠标移动 到屏幕中央。点击鼠标右键，点击Import Tiff
不同放大倍数下Ag微球表面形貌
5KV, 150k×,Inlens探测器
5KV, 200k×,Inlens探测器
用不同探测器观测样品的表面形貌
二次电子Inlens探测器
二次电子SE2探测器
用不同探测器观测样品的表面形貌
背散射ESB探测器
背散射CZBSD探测器
样品能谱分析: 点扫描
Element Ag L Totals
操作软件简介
基本 介绍
操作软件简介
导出保存设定 保存设定 预览或更改保存设定 保存设定管理 导入注解 保存注解
操作软件简介
点击Display LUT 跳出对话框
可以对图片的明亮对比度，三元色进 行修改
操作软件简介
双击或者Ctrl+A
跳出注解对话框
操作软件简介
选择注解对象 撤销上次更改 保存注解 导出区域选择 导出参数 注解区直线 圆型注解区 放大区域 固定长度标尺 角度测量 圆测量 上下宽测量 可移动上下宽测量 选择鼠标控制 导入注解 删除所有注解 加入文字注解 插入用户bmp格式图片 长方形注解区 粘帖面板 微标尺 点对点距离测量 正四边形测量 左右宽测量 可移动左右宽测量
操作软件简介说明
• Smart软件的启动 • 双击桌面上的快捷键 或者在开始菜单中 选择START PROGRAMS������ SMARTSEM ������ SMARTSEM USER INTERFACE
操作软件简介
• 软件启动后，自动对设备的硬件进行检测。 当设备出现硬件问题时，软件将自动出现 提示。
• 综合分析能力强。可安装多种附件，分别 检测不同的信号，可以分析成分、含量及 分布，如能谱仪（EDS）。 • 操作方便、快捷。
安全规则
• 设备的电源一定要确保持续和稳定。
• 当设备出现短路，起火等重大紧急故障时， 切断设备电源和UPS电源。电源开关见下图 红圈
安全规则
• 当样品台移动的时候，一定要在TV模式下， 确保其不会碰撞到探头。（尤其是在样品 台上升的过程中）要求WD>8mm
• 如需要回收样品，则取出样品后必须抽真 空，否则会增加抽真空的时间和难度。 • 关上氮气瓶阀门。 • 把重新设定的参数改回。