三氯氢硅安全技术说明书
07三氯氢硅安全技术说明书(2011版)
Q/CQTY重庆天原化工有限公司企业标准Q/CQTYT008-003-06-2011三氯氢硅安全技术说明书2011–05–31发布 2011–06–01实施前言为满足建立技术标准体系的要求,根据GB/T15497-2003《企业标准体系技术标准体系》的要求，结合我公司实际情况，制定本技术标准。
本标准是一份关于危险化学品燃爆、毒性和环境危害以及安全使用、泄漏应急处置、主要理化参数、法律法规等方面信息的综合性文件。
本标准由重庆天原化工有限公司提出。
本标准由重庆天原化工有限公司质量控制管理部归口。
本标准主要起草单位：重庆天原化工有限公司生产技术部、安全环保部。
本标准为第二版。
本标准由重庆天原化工有限公司生产技术部、安全环保部负责解释。
目录第一部分化学品名称及企业标识 - 1 -第二部份成份/组成信息 - 2 -第三部份危险性慨述 - 1 -第四部份急救措施 - 2 -第五部份消防措施 - 3 -第六部份泄漏应急处理 - 3 -第七部份操作处置与储存 - 3 -第八部份接触控制、个体防护 - 4 -第九部份理化特性 - 4 -第十部份稳定性和反应性 - 5 -第十一部份毒理学资料 - 5 -第十二部份生态学资料 - 6 -第十三部份废弃处置 - 6 -第十四部份运输信息 - 6 -第十五部份法规信息 - 6 -第十六部份其它信息 - 7 -Q/TYHGT008-003-01-2009三氯氢硅安全技术说明书第一部分化学品名称及企业标识化学品中文名称：三氯氢硅化学品英文名称：Trichlorosilane，Silicochloroform 化学品别名或商品名：三氯硅烷；硅仿；硅氯仿。
产品代码：023*******企业名称：重庆天原化工有限公司地址：重庆市涪陵区白涛镇油坊村邮编：408017电话号码：023-********应急电话：0532-********传真号码：023-********电子邮件地址：cqty1939@推荐用途：多晶硅、单晶硅原料、有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成。
三氯氢硅安全知识
三氯氢硅安全知识理化特性及生产原理三氯氢硅又名三氯硅烷、硅氯仿，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料。
随着有机硅烷偶联剂工业的发展，三氯氢硅的需求量越来越大。
三氯氢硅由硅粉与氯化氢气体在流化床反应器中生成。
它是无色液体，易挥发，易潮解，遇水分解，溶于苯、醚等有机溶剂。
三氯氢硅属一级遇湿易燃物品，易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体；能与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时会发生燃烧或爆炸。
火灾危险性分析生产三氯氢硅的原料都是不燃物质，但是其生产过程中的产物大都是易燃易爆物质，如氢气、氯气等。
生产三氯氢硅需要电解食盐水。
这个工序中的火灾危险性包括，电解时有强大的电流通过，如果电气绝缘不良极易产生电火花；电解车间经常有氢气泄漏，遇到电火花或其他明火会发生燃烧或爆炸；如氢气与氯气混合达到爆炸极限，遇光也会发生爆炸。
三氯氢硅的合成是在280摄氏度到300摄氏度的温度下进行的，已经超过了其自燃温度(175摄氏度)。
在合成过程中，如果三氯氢硅发生泄漏，或者空气进入反应器，极易引起燃烧、爆炸或中毒事故。
三氯氢硅贮罐如果泄漏，其危险性远远大于工艺管道泄漏的危险性，因为其贮量大，如果堵漏不及时，影响会不断扩大。
同时，泄漏的三氯氢硅遇水会发生反应，产生有毒的氯化氢气体向四周扩散，给抢险工作环保安全带来困难。
防火防爆对策在三氯氢硅生产的各个工序中，为防止火灾、中毒事故发生，要严格执行消防安全制度，严格控制工艺指标。
火源管理。
进行检修时使用的工具应该是不产生火花的工具，严禁用铁器敲打设备或管道，工作人员应穿棉质工作服。
生产和贮罐区禁止明火，生产中动火要严格执行有关安全管理制度。
防止跑、冒、滴、漏。
日常工作中要搞好安全检查，不留死角。
设备要定期检修，发现问题及时采取补救措施。
配备应急工具和消防设施。
生产三氯氢硅的企业应配备一定数量的防毒面具、自给式空气呼吸器、手套、堵漏工具、灭火器等应急工具和消防设施。
三氯氢硅资料
第三讲三氯氢硅资料第三讲三氯氢硅合成目录3．1，原料工业硅粉简介3．2，三氯氢硅的主要性质3．2．1，与水反应3．2．2，热分解3．2．3，与有机物反应3．3，三氯氢硅合成3．3．1，反应原理3．3．2，反应过程温度控制3．3．3，杂质发生反应3．3．4，三氯氢硅合成炉的发展与改进3．4，沸腾床（流化床）技术3．4．1，沸腾床的形成及流体力学原理3．4．2，沸腾床的传热3．4．3，沸腾床的结构及工艺技术要求3．4．4，沸腾床的设计3．5，影响三氯氢硅合成效率的几个重要因素3．5．1，反应温度3．5．2，氧与水份的影响3．5．3，游离氯的控制3．5．4，硅粉粒度3．5．5，硅粉料层高度与HCL流量3．6，三氯氢硅合成工艺简介3．6．1，硅粉加料系统3．6．2，三氯氢硅工艺控制3．7，干法除尘和湿法除尘工艺简介3．8，尾气回收工艺简介3．9，湿法除尘釜液回收工艺简介3．10，硅粉回收工艺简介附图3-1，三氯氢硅合成工艺流程图三氯氢硅合成系统包括：1，硅粉加料装置，2，三氯氢硅合成炉，3，旋风干法除尘，4，过滤装置，5，STC湿法除尘，6，合成气分离回收（CDI）等工序。
硅粉加料装置完成向合成炉连续定量地供应硅粉；三氯氢硅合成炉是生产三氯氢硅的关键设备；旋风干法除尘、过滤装置与STC湿法除尘是回收硅粉和除去合成气的硅尘，CDI是将合成气进行分离回收，它们都是不可或缺的设备。
合成三氯氢硅的原料是硅粉与HCL气体。
3.1. 原料工业硅简介工业硅的外观为深灰色与生铁颜色接近，也称硅铁。
工业硅的块密度约2.0×103kg/m3，硬度为7，纯度一般为95%～99%，其中的主要杂质为Fe、Al、Ca。
工业硅的制备一般采用冶炼法，在冶炼炉中用还原剂将SiO2还原成单质硅（冶金硅）。
通常用的还原剂有碳、镁、铝等。
用镁或铝还原SiO2，如果还原剂的纯度较高得到的单质硅纯度可达3～4个“9”。
不过，由于纯度较高的镁、铝价格高，会增加工业硅的生产成本，因此，目前国内的生产厂家都采用在电炉中用焦炭还原SiO2来制取单质硅（冶金硅），即把碳电极插入由焦炭（或木炭）和石英石组成的炉料中，温度控制在1600℃～1800℃还原出硅，反应式如下：石英砂（硅石）与炭在电弧炉里还原成硅 (MG-Si)反应是在电弧炉（见图二）里的相邻电极之间发生的，该处温度超过2000℃，释放出来的SiO 和 CO流到上部较冷区域（小于1500℃），形成所必要的SiC。
三氯氢硅1
三氯氢硅目录（1）产品名称，物化性质，技术标准及作用；（2）原料名称及质量标准；（3）生产基本原理及反应式；（4）生产工艺流程叙述；（5）岗位操作法及控制：a.岗位操作范围；b.开车前准备；c.开停车操作；d.各岗位控制要点；（6）某些不正常现象及消除方法；（7）安全生产要点；（8 ）生产过程中的三废排放和处理；（一）产品名称，物化性质，技术标准及作用（1）产品名称：三氯氢硅SiHCl3(2) 物理性质：常温下纯净的三氯氢硅是无色、透明、挥发性、可燃液体，有较四氯化硅更强的刺鼻气味。
分子式：SiHCl3，分子量：135.4 ，液体密度：1.318kg/l （常温状态），气体密度：6.5g/l（标准状态），1atm下沸点：31.5℃，1atm下熔点：-128℃（3）化学性质：易水解、潮解、在空气中强烈发烟，生成HCl 和H2，HCl遇水立即转化为盐酸，盐酸具有很强的腐蚀性；H2易燃易爆。
更易挥发、更易气化、更沸点低；易着火、易爆炸、着火点28℃、着火温度220℃，燃烧时产生氯化氢和氢气；其蒸汽具有弱毒性，与无水醋酸和二氯乙烯毒性程度相同。
（二）原料名称及质量标准1.氯化氢（Hcl）：氯化氢含量92%∽94%,氯气不过量；2.硅粉:冶晶级多晶硅（95%∽99%），块密度约2.0×103kg/m3，硬度为7，其颗粒大小为80∽120目。
（三）生产基本原理及反应式1. 基本原理：80∽120目的硅粉与干燥的92%∽94%的氯化氢在催化剂（催化剂用量si:cucl2=100(0.4∽1)）作用下，在280∽320℃、小于0.05Mpa条件下生成三氯氢硅。
合成SiHCl3必须先将硅粉预热到250℃以上。
不过，该反应是放热反应，只要启动后就不再需要补充热能，而是带走热量。
2. 主要反应Si+3HCl→SiHCl3+H2+Q当温度不再上述制控制范围内，怎发生下列副反应：A.温度大于350℃时：Si + 4HCl → SiCl4 + 2H2+ QB.温度小于280℃时：Si + 4HCl → SiH2Cl2+ 2H2+ QC.硅粉与HCl反应过程中，硅粉中的少量杂质Ca、Fe、Al、Zn、Ti、P、B等主要生成CaCl2、FeCl3、AlCl3、ZnCl2、TiCl4、PCl3、BCl3化合物，这些物质大部分以固相在除尘时分离出去，仅少量随SiHCl3的混合气（液滴）进入冷凝器被溶解在料液中，这部分ppm级含量的杂质需通过精馏分离（四）生产工艺流程叙述三氯氢硅合成工艺简图硅粉加料系统是由三个串联的料仓〔一个干燥仓一个硅粉料仓一个计量仓组成〕和一台硅粉自动加料机组成。
三氯硅烷安全技术说明书
·构筑围堤或挖沟槽收容泄漏物．防止进入水体、下水道、地下室或限制性空间
·小量泄漏，用砂土或其他不燃材料吸收泄漏物
·若发生大量泄漏，在专家指导下清除
火灾扑救
灭火剂：干粉、苏打灰、石灰、干砂
·不得用水或泡沫
储罐，公路／铁路槽车火灾
·尽可能远距离灭火或使用遥控水枪或水炮扑救
环境影响
·对水生生物有害
·易挥发，是有害的空气污染物
理
化
特
性
理化特性
·无色液体，有刺激性臭味
·沸点：31.8oC
·相对密度：1.34
及
用
途
用途
·是合成有机氯硅烷的原料，也可用作硅外延片生产过程中的硅源
个
体
防
护
·佩戴全防型滤毒罐
·穿封闭式防化服
应
急
行
动
隔离与公共安全
泄漏：污染范围不明的情况下，初始隔离至少300m，下风向疏散至少1000m。然后进行气体浓度检测，根据有害蒸气或烟雾的实际浓度，调整隔离、疏散距离
·用大量水冷却容器，直至火灾扑灭
·禁止将水注入容器
·容器突然发出异常声音或发生异常现象，立即撤离
·切勿在储罐两端停留
急救
·皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗20-30min。就医
·眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10-15min。就医
·吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处：保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。就医
三氯硅烷
别名：硅仿；硅氯仿；三氯甲硅烷
特
别
警
示
★有腐蚀及强烈刺激作用
三氯硅烷-安全技术说明书MSDS
第一部分化学品及企业标识化学品中文名：三氯硅烷化学品英文名：trichlorosilane；silicochloroform化学品别名：硅仿；硅氯仿；三氯氢硅CAS No.：10025-78-2EC No.：233-042-5分子式：Cl3HSi产品推荐及限制用途：用于制造硅酮化合物、偶联剂和表面处理剂，用作生产高纯度多晶硅的原料、硅烷助剂中间体。
第二部分危险性概述紧急情况概述液体。
在空气中容易自身燃烧,有引发火灾的危险。
会引起皮肤烧伤，有严重损害眼睛的危险。
有严重损害眼睛的危险。
对呼吸道有刺激作用。
GHS危险性类别根据GB30000-2013化学品分类和标签规范系列标准（参阅第十六部分），该产品分类如下：发火液体，类别1；皮肤腐蚀/刺激，类别1A；眼损伤/眼刺激，类别1；特定目标器官毒性-单次接触：呼吸道刺激，类别3。
标签要素象形图警示词：危险危险信息：暴露在空气中会自燃，造成严重皮肤灼伤和眼损伤，造成严重眼损伤，可能造成呼吸道刺激。
预防措施：远离热源、热表面、火花、明火以及其它点火源。
禁止吸烟。
不得与空气接触。
防潮。
保持容器密闭。
不要吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
作业后彻底清洗。
只能在室外或通风良好之处使用。
戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
事故响应：如感觉不适，呼叫中毒急救中心/医生。
沾染的衣服清洗后方可重新使用。
如误吸入：将受人转移到空气新鲜处，保持呼吸舒适的体位。
如误吞咽：漱口。
不要诱导呕吐。
如皮肤(或头发)沾染：立即去除/脱掉所有沾染的衣服。
用水清洗皮肤或淋浴。
如进入眼睛：用水小心冲洗几分钟。
如戴隐形眼镜并可方便地取出，取出隐形眼镜。
继续冲洗。
安全储存：存放处须加锁。
存放在通风良好的地方。
保持容器密闭。
废弃处置：按照地方/区域/国家/国际规章处置内装物/容器。
物理化学危险：即使数量很少，在与空气接触五分钟内即可自燃。
健康危害：吸入蒸气(尤其是长期接触)可能引起呼吸道刺激，偶尔出现呼吸窘迫。
三氯氢硅标准
三氯氢硅标准一、范围本标准规定了三氯氢硅产品的分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、质量证明书内容、订货单内容、供货要求、供货周期和交货地点、供货数量和交货期限、质量保证期、质量问题的处理、合同履行保证及争议解决方式。
二、规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
三、术语和定义下列术语和定义适用于本标准。
1.三氯氢硅：由硅与氯元素直接化合生成的化合物，化学式为SiHCl3。
2.技术指标：经双方协商同意，三氯氢硅产品的技术要求。
四、产品分类根据三氯氢硅产品的性能指标，将三氯氢硅产品分为以下类别：1.优等品：符合技术要求且满足特定应用标准的产品。
2.一等品：符合技术要求的产品。
3.合格品：符合基本技术要求的产品。
五、技术要求三氯氢硅产品的技术要求包括以下方面：1.外观：无色透明液体。
2.纯度：符合表1规定。
3.沸点：符合表2规定。
4.水含量：符合表3规定。
5.酸度：符合表4规定。
6.铁含量：符合表5规定。
7.砷含量：符合表6规定。
8.包装：应使用密封良好的金属桶包装，桶身表面应清洁干燥，无锈蚀痕迹。
包装上应标明产品名称、生产厂家名称、地址、生产日期及批号等。
桶盖应密封良好，无泄漏现象。
9.运输和贮存：三氯氢硅产品应贮存在干燥、阴凉、通风良好的地方，避免阳光直射和高温。
运输过程中应防止碰撞和日晒雨淋。
三氯氢硅生产的火灾危险及对策
三氯氢硅生产的火灾危险及对策三氯氢硅是一种具有挥发性的无机化合物，其具有很高的火灾危险性。
在生产和储存过程中，如果不采取适当的措施，很容易引发火灾事故。
本文将介绍三氯氢硅火灾危险及对策。
1.三氯氢硅火灾危险性：三氯氢硅是一种易燃的化合物，接触空气时会迅速分解生成氢氯化物气体和硅酸盐。
这种气体在空气中易燃，形成火焰，引发火灾。
另外，三氯氢硅还具有强烈的腐蚀性，可能引起爆炸。
2.对策：2.1储存和运输安全：在储存和运输三氯氢硅时，需要采取以下措施来降低火灾风险：-使用密封容器储存，并确保容器无损坏或泄漏。
-定期进行容器的安全检查和维护，及时更换老化或损坏的容器。
-尽量避免接触空气，以减少分解产物的形成。
-采用适当的储存温度，通常为恒温储存。
-在运输过程中，使用符合安全标准的专用运输车辆，并遵守相关运输规定。
2.2操作安全：在生产和使用三氯氢硅过程中，需要采取以下操作安全措施：-建立完善的安全操作规程，明确操作流程和注意事项。
-保证操作人员接受充分的培训和安全意识教育，了解三氯氢硅的特性和风险。
-严格执行个人防护措施，包括佩戴防护眼镜、防护手套、防护服等。
-建立紧急应急预案，包括应对火灾事故的紧急措施和逃生计划。
-定期进行设备和仪器的维护和检测，确保正常运行。
2.3灭火设备和防火设施：在工厂或储存场所中，应设置合适的灭火设备和防火设施-安装火灾报警系统，能够对火灾进行及时发现和报警。
-配备适量的灭火器材，包括干粉灭火器、二氧化碳灭火器等。
-设置消防水源和消防栓，并确保正常供水。
-定期检查和保养灭火设备，确保其可靠性和有效性。
-定期进行消防演练，提高员工应对火灾的应急能力。
总之，三氯氢硅是一种具有很高火灾危险性的化合物，需要在生产、储存和使用过程中采取一系列的安全措施来降低火灾风险。
这些措施包括储存和运输安全、操作安全以及灭火设备和防火设施的设置。
通过科学的管理和全面的预防措施，可以降低三氯氢硅火灾事故的发生概率，保障人员和财产的安全。
三氯氢硅
三氯氢硅
三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，英文名称：trichlorosilane 或silicochloroform ，分子式为SiHCl3，用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料，随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，生产量越来越大。
无色液体，易挥发，易潮解，在空气中发生反应产生白烟，遇水分解，溶于苯、醚等有机溶剂。
属一级遇湿易燃物品，易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体；它与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸。
【CAS号】10025-78-2
【分子式】CL3-H-SI
【分子量】135.44
【比重】1.35 (0℃)
【熔点】-134 ℃
【沸点】31.8 ℃
【蒸汽压】400 毫米汞柱
【蒸汽密度】4.7
【急性毒性】口服-大鼠LD50:1030毫克/公斤;吸入-小鼠LC50:1500毫克/立方米/2小时
【毒性分级】中毒
【闪点】-13.89 ℃
【可燃性危险特性】
遇明火、高温、氧化剂易燃;遇水或高温产生有毒氯化物烟雾
【储运事项】库房通风低温干燥;与氧化剂、酸类分开存放
【灭火剂】干粉、干砂、二氧化碳、泡沫
其物理特性如下：
比重：1.35 ；
相对气体密度：4.7 ；
沸点：31.8 ℃；
饱和蒸气压（14. 5 ℃）53 ．33Kpa ；
闪点：-13.9 ℃（开杯）；
自燃温度：175 ℃；
爆炸下限：6. 9 ％；
爆炸上限：70 ％；
溶解性：溶于苯、醚等有机溶剂；
具有急性毒性。
三氯氢硅安全技术说明书
三氯氢硅安全技术说明书第1部分化学品及企业标识化学品中文名：三氯氢硅；三氯硅烷；硅仿；硅氯仿化学品英文名：trichlorosilane；silicochloroform产品推荐及限制用途：用于生产有机硅的中间体。
第2部分危险性概述紧急情况概述：遇明火强烈燃烧。
受高热分解产生有毒的氯化物气体。
与氧化剂发生反应，有燃烧危险。
吞咽有害，吸入有害，造成严重的皮肤灼伤和眼损伤，造成严重眼损伤。
GHS危险性类别：根据化学品分类、警示标签和警示性说明规范系列标准，该产品属于易燃液体，类别1；发火液体/自燃液体，类别1；遇水放出易燃气体的物质和混合物，类别1；急性毒性-经口，类别4；急性毒性-吸入，类别4；皮肤腐蚀/刺激，类别1A；严重眼损伤/眼刺激，类别1。
标签要素：象形图：警示词：危险危险性说明：极易燃液体和蒸气，暴露在空气中会自燃，遇水放出可自燃的易燃气体，吞咽有害，吸入有害，造成严重的皮肤灼伤和眼损伤，造成严重眼损伤。
防范说明：预防措施：远离热源/火花/明火/热表面。
禁止吸烟。
不得与空气接触。
因会发生剧烈反应和可能发生闪燃，需避免任何与水接触的可能。
惰性气体中操作。
防潮。
保持容器密闭。
只能使用不产生火花的工具。
采取防静电措施。
处理后要彻底清洗所有外部暴露的身体部位。
避免吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
只能在室外和通风良好处使用。
戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
事故响应：发生火灾时，用干粉、干砂灭火。
食入：饮水，禁止催吐。
如有不适感，就医。
皮肤（或头发）接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗20～30分钟。
如有不适感，就医。
如吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。
就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10～15分钟。
如有不适感，就医。
安全储存：储存于阴凉、通风良好的专用库房内，上锁保管。
应与酸类、强碱、强氧化剂、水、醇类、胺类等分开存放，切忌混储。
三氯氢硅
三氯氢硅一、三氯氢硅的基本性质三氯氢硅在常温常压下为具有刺激性恶臭、易流动、易挥发的无色透明液体。
分子量:135.43，熔点(101.325kPa)：-134℃；沸点(101.325kPa)：31.8℃；液体密度(0℃)：1350kg/m3；相对密度(气体，空气=1)：4.7；蒸气压(-16.4℃)：13.3kPa；(14.5℃)：53.3kPa；燃点：-27.8℃；自燃点：104.4℃；闪点：-14℃；爆炸极限：6.9～70%；在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，三氯氢硅燃烧时发出红色火焰和白色烟；三氯氢硅的蒸气能与空气形成浓度范围很宽的爆炸性混合气，受热时引起猛烈的爆炸。
它的热稳定性比二氯硅烷好，三氯氢硅在900℃时分解产生氯化物有毒烟雾；遇潮气时发烟，与水激烈反应；在碱液中分解放出氢气；三氯氢硅与氧化性物质接触时产生爆炸性反应。
与乙炔、烃等碳氢化合物反应产生有机氯硅烷；在氢化铝锂、氢化硼锂存在条件下，三氯氢硅可被还原为硅烷。
容器中的液态三氯氢硅当容器受到强烈撞击时会着火。
可溶解于苯、醚等。
无水状态下三氯硅烷对铁和不锈钢不腐蚀，但是在有水分存在时腐蚀大部分金属。
二、三氯氢硅的用途用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅偶联剂中最基本的单体，同时也是制备多晶硅的主要原料。
将三氯硅烷与氯乙烯或氯丙烯进行合成反应，再经精馏提纯，得到乙烯基或丙烯基系列硅烷偶联剂产品。
硅烷偶联剂几乎可以与任何一种材料交联，包括热固性材料、热塑性材料、密封剂、橡胶、亲水性聚合物以及无机材料等，在太阳能电池、玻璃纤维、增强树脂、精密陶瓷纤维和光纤保护膜等方面扮演着重要的角色，并在这些行业中发挥着不可或缺的重要作用。
三、三氯氢硅生产工艺1、主要化学反应方程式为：Si + 3HCl = SiHCl3 + H2Si + 4HCl = SiHCl4 + 2H22、生产装置主要由氯化氢干燥、三氯氢硅合成、三氯氢硅提纯和分离工序组成。
三氯氢硅化学品安全技术说明-2
三氯氢硅的安全注意事项一危险性概述危险性类别：第4.3类遇湿易燃物品侵入途径：吸入、食入、经皮肤吸收健康危害：遇水生成盐酸烟雾，刺激眼及上呼吸道。
高浓度时，可引起角膜损伤，呼吸道炎症，甚至肺水肿。
常伴有头昏、头痛、乏力、恶心、呕吐、心慌等症状，溅在脸上，可引起坏死，溃疡长期不愈。
动物慢性中毒见慢性卡他性气管炎、支气管炎及早期肺硬化。
环境危害：对环境有危害。
燃爆危险：极度易燃，其蒸气可与空气形成爆炸性混合物，遇明火或高热有燃烧爆炸危险。
二急救措施皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤。
如果有灼伤，就医治疗。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。
就医。
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
如呼吸停止，立即进行人工呼吸。
呼吸心跳停止时，立即进行人工呼吸和胸外心脏按压术。
就医。
食入：用水漱口，给饮牛奶或蛋清，禁止催吐，就医。
三部消防措施危险特性：其蒸气可与空气形成爆炸性混合物，遇明火或高热有燃烧爆炸危险。
它与氧化剂发生强烈反应。
气体比空气重，在室内使用和储存时，漏气上升滞留屋顶不易排出，遇火源会引起爆炸。
若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
流速过快，容易产生和积聚静电。
有害燃烧产物：SiO2、HCl和Cl2灭火方法及灭火剂：消防人员须戴好自给正压式呼吸器，穿好消防防护服，在有防爆掩蔽处操作。
在上风头进行灭后，遇大火切勿轻易接近。
可用干粉灭火器、大量的干砂土压盖方法进行灭火。
禁止用水灭火。
四泄漏应急处理应急处理：根据风向，向上风头撤离，迅速撤离泄漏污染区，人员至安全区，切断火源。
应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒保护服。
尽可能切断泄漏源。
防止流入下水道、排洪沟等限制性空间。
大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。
用泡沫覆盖，降低蒸气灾害。
用泵移至槽车或专用手机器内，回收或运至废物处理场所处置。
五接触控制/个体防护呼吸系统防护：空气中浓度超标时，必须佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）。
三氯硅烷安全技术说明书
·构筑围堤或挖沟槽收容泄漏物．防止进入水体、下水道、地下室或限制性空间
·小量泄漏，用砂土或其他不燃材料吸收泄漏物
·若发生大量泄漏，在专家指导下清除
火灾扑救
灭火剂：干粉、苏打灰、石灰、干砂
·不得用水或泡沫
储罐，公路／铁路槽车火灾
·尽可能远距离灭火或使用遥控水枪或水炮扑救
三氯硅烷
别名：硅仿；硅氯仿；三氯甲硅烷
特
别
警
示
★有腐蚀及强烈刺激作用
★遇湿易燃
★禁止喷水处理泄漏物或将水喷入容器
化
学
式
分子式HSiCl3
危险性类别
4.3类 遇湿易燃液体
危
险
性
燃烧爆炸危险性
·易燃，蒸气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火、高热极易燃烧爆炸
·蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇火源会着火回燃
·食入：饮水，给饮牛奶或蛋清。就医
·遇水反应易放出易燃气体，导致燃烧爆炸
·在火场中，受热的容器有爆炸危险
健康危害
·职业接触限值：MAC 3mg／m3
·怠崎性：大鼠经口LD501030mg／kg；小鼠吸人LC501500mg/m3(2h)
·对眼和呼吸道黏膜有强烈刺激作用,急性中毒时出现流泪、咳嗽、气急、胸闷等，重者发生肺水肿
·眼和皮肤接触其液体可引起灼伤
环境影响
·对水生生物有害
·易挥发，是有害的空气污染物
理
化
特
性
理化特性
·无色液体，有刺激性臭味
·沸点：31.8oC
·相对密度：1.34
及
用
途
用途
·是合成有机氯硅烷的原料，也可用作硅外延片生产过程中的硅源
三氯氢硅铁路运输技术说明书
三氯氢硅铁路运输技术说明书三氯氢硅（SiHCl3）是一种常用的无机化合物，它在铁路运输技术中具有重要的应用价值。
本文将详细介绍三氯氢硅在铁路运输中的技术要点和操作规范。
一、三氯氢硅的基本性质三氯氢硅是一种无色、具有刺激性气味的液体。
其相对分子质量为135.4，密度为1.28 g/cm³。
三氯氢硅在常温下不稳定，容易分解为二氯化硅和氢氯酸。
因此，在铁路运输中，需要特别注意其储存和操作条件，以确保安全运输。
二、三氯氢硅的铁路运输要求1. 包装要求：三氯氢硅的铁路运输一般采用专用的密封容器进行，确保在运输过程中不会泄漏。
包装容器要具备耐腐蚀性和耐压性能，以防止溢漏和破损。
2. 装卸要求：在装卸过程中，应采取防护措施，操作人员应配戴防护手套、防护眼镜等个人防护装备，避免接触到三氯氢硅。
装卸过程中应尽量避免碰撞和摩擦，防止包装容器破损。
3. 运输要求：三氯氢硅应单独运输，与其他易燃、易爆、腐蚀性物质隔离。
在运输过程中，要确保包装容器的密封性，防止泄漏。
运输车辆应配备泄漏应急处理设备，以应对突发泄漏情况。
4. 温度控制：由于三氯氢硅在常温下不稳定，容易分解，因此在铁路运输中需要控制运输温度。
一般要求在-10℃至30℃的温度范围内运输，避免过高或过低的温度对其稳定性产生影响。
5. 安全防护：铁路运输中的三氯氢硅应采取防护措施，以确保人员和环境的安全。
运输车辆应配备泄漏报警装置，及时发现泄漏情况并采取相应措施。
运输人员应接受相关培训，了解三氯氢硅的特性和应急处理方法。
三、三氯氢硅的应急处理方法1. 泄漏处理：一旦发生三氯氢硅的泄漏，应立即采取措施进行处理。
首先要迅速撤离人员，确保人员的安全。
然后应使用吸收剂或稀释剂将泄漏物迅速稀释或吸收，避免扩散。
最后将泄漏物收集至专用容器中，妥善处理。
2. 事故处置：如果发生事故，造成三氯氢硅泄漏或火灾等情况，应立即启动事故应急预案，迅速报警并采取相应措施，确保周围人员的安全。
三氯氢硅生产的火灾危险及对策(新编版)
( 安全技术 )单位：_________________________姓名：_________________________日期：_________________________精品文档 / Word文档 / 文字可改三氯氢硅生产的火灾危险及对策(新编版)Technical safety means that the pursuit of technology should also include ensuring that peoplemake mistakes三氯氢硅生产的火灾危险及对策(新编版)三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，英文名称：trichlorosilane 或silicochloroform，分子式为SiHCl3，用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料，随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，生产量越来越大。
一、三氯氢硅的理化特性及生产原理三氯氢硅是采用硅粉与氯化氢气体在流化床反应器中生成。
它是无色液体，易挥发，易潮解，在空气中发生反应产生白烟，遇水分解，溶于苯、醚等有机溶剂。
属一级遇湿易燃物品，易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体；它与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸。
其物理特性如下：比重：1．35；相对气体密度：4．7；沸点：31．8℃；饱和蒸气压（14．5℃）53．33Kpa；闪点：－13．9℃（开杯）；自燃温度：175℃；爆炸下限：6．9％；爆炸上限：70％；溶解性：溶于苯、醚等有机溶剂；具有急性毒性。
二、三氯氢硅生产的火灾危险性分析三氯氢硅生产的原料都是不燃物质，但是其生产过程中的产物大都是易燃易爆物质，如氢气、三氯氢硅、氯气等。
1、电解食盐水的火灾危险性（1）电解时有强大的电流通过，如果电气的绝缘不良极易产生电火花，电解车间经常有氢气泄漏，遇到电火花或其它明火会发生燃烧或爆炸。
三氯氢硅火灾危险及灭火对策
三氯氢硅火灾危险及灭火对策三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，英文名称：trichlorosilane或silicochloroform，分子式为SiHCl3，用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体多晶硅的原料，随着半导体多晶硅和有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，生产量越来越大。
一、三氯氢硅的理化特性及生产原理三氯氢硅是采用硅粉与氯化氢气体在流化床反应器中生成。
它是无色液体，易挥发，易潮解，在空气中发生反应产生白烟，遇水分解，溶于苯、醚等有机溶剂。
属一级遇湿易燃物品，易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体；它与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸。
其物理特性如下：比重：1．35；相对气体密度：4．7；沸点：31．8℃；饱和蒸气压（14．5℃）53．33Kpa；闪点：－13．9℃（开杯）；自燃温度：175℃；爆炸下限：6．9％；爆炸上限：70％；溶解性：溶于苯、醚等有机溶剂；具有急性毒性。
二、三氯氢硅生产的火灾危险性分析三氯氢硅生产的原料都是不燃物质，但是其生产过程中的产物大都是易燃易爆物质，如氢气、三氯氢硅、氯气等。
1、电解食盐水的火灾危险性（1）电解时有强大的电流通过，如果电气的绝缘不良极易产生电火花，电解车间经常有氢气泄漏，遇到电火花或其它明火会发生燃烧或爆炸。
（2）如氢气与氯气相混，达到爆炸极限范围，遇光也会发生爆炸。
2、三氯氢硅合成的火灾危险性SiHCl3的合成是在280℃～300℃的温度下进行的，已经超过了SiHCl3的自燃温度175℃，在合成过程中如果SiHCl3发生泄漏，或者空气进入反应器，极易引起燃烧、爆炸或中毒事故。
并且SiHCl3有毒、遇水燃烧，给火灾扑救带来一定的困难。
3、三氯氢硅贮罐的火灾危险性SiHCl3的贮罐如果发生泄漏，其危险性远远大于工艺管道泄漏的危险性，因为其贮量大，一旦发生泄漏，如果不及时堵漏，影响会不断扩大。
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三氯氢硅安全技术说明书 -标准化文件发布号：（9456-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII三氯氢硅安全技术说明书第1部分化学品及企业标识化学品中文名：三氯氢硅；三氯硅烷；硅仿；硅氯仿化学品英文名：trichlorosilane；silicochloroform产品推荐及限制用途：用于生产有机硅的中间体。
第2部分危险性概述紧急情况概述：遇明火强烈燃烧。
受高热分解产生有毒的氯化物气体。
与氧化剂发生反应，有燃烧危险。
吞咽有害，吸入有害，造成严重的皮肤灼伤和眼损伤，造成严重眼损伤。
GHS危险性类别：根据化学品分类、警示标签和警示性说明规范系列标准，该产品属于易燃液体，类别1；发火液体/自燃液体，类别1；遇水放出易燃气体的物质和混合物，类别1；急性毒性-经口，类别4；急性毒性-吸入，类别4；皮肤腐蚀/刺激，类别1A；严重眼损伤/眼刺激，类别1。
标签要素：象形图：警示词：危险危险性说明：极易燃液体和蒸气，暴露在空气中会自燃，遇水放出可自燃的易燃气体，吞咽有害，吸入有害，造成严重的皮肤灼伤和眼损伤，造成严重眼损伤。
防范说明：预防措施：远离热源/火花/明火/热表面。
禁止吸烟。
不得与空气接触。
因会发生剧烈反应和可能发生闪燃，需避免任何与水接触的可能。
惰性气体中操作。
防潮。
保持容器密闭。
只能使用不产生火花的工具。
采取防静电措施。
处理后要彻底清洗所有外部暴露的身体部位。
避免吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
只能在室外和通风良好处使用。
戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
事故响应：发生火灾时，用干粉、干砂灭火。
食入：饮水，禁止催吐。
如有不适感，就医。
皮肤（或头发）接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗20～30分钟。
如有不适感，就医。
如吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。
就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10～15分钟。
如有不适感，就医。
安全储存：储存于阴凉、通风良好的专用库房内，上锁保管。
应与酸类、强碱、强氧化剂、水、醇类、胺类等分开存放，切忌混储。
废弃处置：采用高温焚烧法处置或容器进行化学填埋。
物理和化学危险：遇明火强烈燃烧。
受高热分解产生有毒的氯化物气体。
与氧化剂发生反应，有燃烧危险。
极易挥发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。
健康危害：对眼和呼吸道粘膜有强烈刺激作用。
高浓度下，引起角膜混浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿。
并可伴有头昏、头痛、乏力、恶心、呕吐、心慌等症状。
溅在皮肤上，可引起坏死，溃疡长期不愈。
动物慢性中毒见慢性卡他性气管炎、支气管炎及早期肺硬化。
环境危害：对环境有害。
第3部分成分/组成信息组分浓度或浓度范围 CAS No.三氯氢硅 - 10025-78-2第4部分急救措施急救：吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。
就医。
皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗20～30分钟。
如有不适感，就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10～15分钟。
如有不适感，就医。
食入：饮水，禁止催吐。
如有不适感，就医。
对保护施救者的忠告：进入事故现场应佩戴携气式呼吸防护器。
对医生的特别提示：对症治疗。
第5部分消防措施灭火剂：用干粉、干砂灭火。
特别危险性：遇明火强烈燃烧。
受高热分解产生有毒的氯化物气体。
与氧化剂发生反应，有燃烧危险。
极易挥发，在空气中发烟，遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。
灭火注意事项及防护措施：消防人员必须佩戴空气呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风向灭火。
尽可能将容器从火场移至空旷处。
喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。
切忌使用水、泡沫、二氧化碳、酸碱灭火剂灭火。
第6部分泄漏应急处理作业人员防护措施、防护装备和应急处置程序：消除所有点火源。
根据液体流动和蒸气扩散的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。
建议应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿防静电、防腐、防毒服。
禁止接触或跨越泄漏物。
尽可能切断泄漏源。
环境保护措施：防止泄漏物进入水体、下水道、地下室或密闭性空间。
勿使水进入包装容器内。
泄漏化学品的收容、清除方法及所使用的处置材料：严禁用水处理。
小量泄漏：用干燥的砂土或其它不燃材料覆盖泄漏物。
大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。
用碎石灰石(CaCO3)、苏打灰(Na2CO3)或石灰(CaO)中和。
在专家指导下清除。
第7部分操作处置与储存操作注意事项：密闭操作，局部排风。
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。
建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿胶布防毒衣，戴橡胶手套。
远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。
使用防爆型的通风系统和设备。
避免产生烟雾。
防止烟雾和蒸气释放到工作场所空气中。
避免与氧化剂、酸类、碱类接触。
尤其要注意避免与水接触。
搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。
配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
倒空的容器可能残留有害物。
储存注意事项：储存于阴凉、干燥、通风良好的专用库房内，远离火种、热源。
库温不超过32℃，相对湿度不超过75％。
包装必须密封，切勿受潮。
应与酸类、强碱、强氧化剂、水、醇类、胺类等分开存放，切忌混储。
采用防爆型照明、通风设施。
禁止使用易产生火花的机械设备和工具。
储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
第8部分接触控制/个体防护职业接触限值：未制定标准。
生物限值：无资料。
监测方法：无资料。
工程控制：pH值: (1%溶液)临界温度(℃):无资料熔点(℃): 临界压力(MPa): 无资料沸点(℃): 自燃温度（℃）：185闪点(℃): -28分解温度（℃）：无资料爆炸上限[％(体积分数)]: 燃烧热(kJ/mol): 无资料爆炸下限[％(体积分数)]: 蒸发速率：无资料饱和蒸气压(kPa): (20℃)易燃性（固体、气体）：无资料相对密度(水=1): 黏度（）：无资料相对蒸气密度(空气=1): 气味阈值（mg/m3）：无资料辛醇/水分配系数（log P）: 无资料严加密闭，全面通风。
保持空气中的浓度低于职业接触限值。
提供安全淋浴和洗眼设备。
个体防护装备：呼吸系统防护：空气中浓度超标时，应该佩戴过滤式防毒面具(全面罩)。
紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴空气呼吸器。
手防护：戴橡胶手套。
眼睛防护：呼吸系统防护中已作防护。
皮肤和身体防护：穿密闭型防毒服。
其他防护：工作现场禁止吸烟、进食和饮水。
工作完毕，淋浴更衣。
保持良好的卫生习惯。
第9部分理化特性外观与性状：无色液体，极易挥发。
溶解性：溶于苯、醚、等多数有机溶剂。
第10部分稳定性和反应性稳定性：在正常条件下稳定。
危险反应：受高热分解产生有毒的氯化物气体。
与氧化剂发生反应，有燃烧危险。
遇水或水蒸气能产生热和有毒的腐蚀性烟雾。
避免接触的条件：潮湿空气、明火、高热。
禁配物：酸类、强碱、强氧化剂、水、醇类、胺类。
危险的分解产物：氯化氢、氧化硅。
第11部分毒理学信息急性毒性：对小鼠眼结膜和上呼吸道粘膜具有强烈刺激作用，出现躁动不安、呼吸困难、呼吸减慢，进而呼吸衰弱、痉挛和死亡。
大鼠经口LD50(mg/kg): 1030；小鼠吸入LC50(mg/m3): 1500mg/m3，2小时。
皮肤刺激或腐蚀：皮肤接触酸性腐蚀性物质可引起疼痛和烧伤。
这种烧伤比较深并有明显的边缘，往往愈合过程较慢，并会形成疤痕组织。
（chemwatch）眼睛刺激或腐蚀：标准家兔经眼试验，5mg/30s，严重损伤。
呼吸或皮肤过敏：无资料。
生殖细胞突变性：无资料。
致癌性：无资料。
生殖毒性：无资料。
特异性靶器官系统毒性一次接触：无资料。
特异性靶器官系统毒性反复接触：无资料。
吸入危害：无资料。
第12部分生态学信息生态毒性：无资料。
持久性和降解性：无资料。
生物富集或生物积累性：无资料。
土壤中的迁移性：无资料。
第13部分废弃处置废弃化学品:采用高温焚烧法处置或容器进行化学填埋。
污染包装物：将容器返还生产商或按照国家和地方法规处置。
废弃注意事项：废弃处置前应参阅国家和地方有关法规。
处置人员的安全防范措施参见第8部分。
第14部分运输信息联合国危险货物编号（UN号）：1295联合国运输名称：三氯硅烷联合国危险性分类：，次要危险性3和8。
包装类别：Ⅰ包装标志：遇湿易燃物质；腐蚀性物质；易燃物质包装方法：安瓿瓶外普通木箱；螺纹口玻璃瓶、铁盖压口玻璃瓶、塑料瓶或金属桶（罐）外普通木箱。
海洋污染物（是／否）：否运输注意事项：运输时运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
装运本品的车辆排气管须有阻火装置。
运输过程中要确保容器不泄漏、不倒塌、不坠落、不损坏。
严禁与酸类、强碱、强氧化剂、水、醇类、胺类、食用化学品等混装混运。
运输途中应防曝晒、雨淋，防高温。
中途停留时应远离火种、热源。
运输用车、船必须干燥，并有良好的防雨设施。
车辆运输完毕应进行彻底清扫。
铁路运输时要禁止溜放。
第15部分法规信息下列法律、法规、规章和标准，对该化学品的管理作了相应的规定：中华人民共和国职业病防治法：职业病危害因素分类目录：未列入。
职业病目录：未列入。
危险化学品安全管理条例：危险化学品目录：列入，将该物质划为第类遇湿易燃物品。
危险化学品重大危险源监督管理暂行规定GB 18218《危险化学品重大危险源辨识》：未列入。
国家安全监管总局关于公布首批重点监管的危险化学品名录的通知——附件：首批重点监管的危险化学品名录：未列入。
危险化学品环境管理登记办法（试行）。
使用有毒物品作业场所劳动保护条例：高毒物品目录：未列入。
第十六部分其他信息最新修订版日期： 2014年修改说明：本MSDS按照《化学品安全技术说明书内容和项目顺序》（GB/T16483-2008）标准编制；由于目前国家尚未颁布化学品GHS分类目录，本MSDS中化学品的GHS分类是企业根据化学品分类、警示标签和警示性说明规范系列标准（GB 20576-2006~GB20602-2006）自行进行的分类，待国家化学品GHS分类目录颁布后再进行相应调整。