EDX能量散射X射线荧光光谱仪培训教材

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第四章能量色散X光谱EDS培训讲学

（二）获取EDS谱
（1）首先，应尽量利用Ka谱线，因为L和M谱线中重叠谱峰太多，除非是Ka谱线对Si(Li)探头来说能量太高，比如原子序数比较高的元素。
（2）在样品不发生漂移或者污染的情况下，获取尽可能高的特征X射线计数率。
（3）使样品的倾转为零，并且样品的刃边对着EDS探头。
（4）如果样品处于动力学衍射的双束条件，应稍微倾转样品，使得样品偏离双束条件。
（三）扣除背底
所谓背底是指EDS谱中特征峰下面由韧致辐射造成的连续强度分布。背底的强度随X射线能量的增加而减小。双窗口法
在特征X射线峰的两侧取等宽的两个窗口，两窗口积分值的平均值作为背底强度。适用与能量大于2keV的特征X射线峰，并且样品很薄韧致辐射不被吸收的情况
（四）K因子的确定
K因子不是常数，它随电镜、EDS探测器（包括窗口、固体收集角、取出角等）、样品厚度和成份、获取EDS 谱的收集条件、EDS谱的分析和处理条件等有密切关系。只有在以上条件都相同的条件下K因子才是常数。如果条件改变，则K因子也随之改变。
（3）产生电离空位的壳层用K,L,M等表示，产生电子跃迁的壳层用α,β等表示。例如：Kα表示从电子从L层跃迁到K层；Kβ表示电子从M层跃迁到K层；Lα表示电子从 M层跃迁到L层。
（4）L壳层分为三个亚壳层，最外面的亚层的电子跃迁到K层产生的特征X射线称为Kα1,次外层产生的特征X射线称为Kα2。依此类推。虽然EDS可以记录所以特征X射线，但一般只表征K,L,M和α,β。
第四章能量色散X光谱EDS
§4.1 绪论
EDS 70年代初问世以来，发展速度很快：
（1）分辨率已达到130eV左右，理论分辨率约 100eV
（2）以前Be窗口元素分析范围为11Na－92U，现在一般都用有机膜超薄窗口，分析元素可从5B－92U。

能量色散型X射线荧光光谱仪EDX-720操作指导书

操作流程 E 关机
1 结束
显示界面
图 16 2 5
3 4
操作说明
43、如果需要测试其它样品，重复步骤 18~42。
44、所有测试完毕后，关闭除了 “EDX-主程序”外的所有窗口。点击“EDX-主程序”窗口上的“维护”，出现如图 4 窗口。点击“仪器设置…”按钮，出现如图 2 窗口。点击“启动/关闭”按钮，关闭 X 光管。
B 保存测试图
选择测试曲线
开始测试测试完毕制定标准
C
图8
图9 图 10 图 11
试规范》。
22、摆放好测试样品后，点击工具列上的“ ”符号，出现 “Still Image Display”窗口。此步骤是为了把现在的测试样品的摆放情况用图片的形式保存下来。
23、点击“Save As…”，为图片命名，把图片保存在合适的地方。
15、点击“开始”进行校正。校正过程大约需要 10 分钟。
16、校正完毕后，关闭“仪器校正”窗口，关闭“Maintenance （维护）”窗口。
17、此时回到“EDX-主程序”窗口。
18、把需要测试的样品摆放在测试孔上。可以放进专用测试容器里的就放进测试容器里。不可以放进去的尽量以与正面成垂直的方式摆放。样品的具体要求请参考《EDX-720 型荧光光谱仪测试规范》。
35、点击“分析情报…”按钮，出现如图 35 所示窗口。
36、点击“Layer1”，再点击“元素信息…”按钮，出现如图 36 所示窗口。
图 33
E 图 34
操作流程 E
设置 FP 定量工作组参数
F
显示界面图 35 图 36 图 37
操作说明
37、按照下表中的要求设置好各项参数，设置好后点击“应用” 按钮。

X射线荧光光谱仪(EDX-LE能量色散)操作规程

X射线荧光光谱仪（EDX-LE）操作规程1.接通电源，启动筛选分析条件:双击桌面上的PCEDX Navi 软件，启动软件。

2.初始化仪器,单击初始化。

3.打开X射线管电源,单击[Xray ON]。

3.1.显示面板的X-RAYS ON灯和X射线显示灯点亮。

3.2.仪器稳定大约需要花费15分钟。

3.3.显示[管理分析]页面后，完成启动。

4.仪器校正4.1.按开盖按钮，将校正样品放置测试窗。

关上样品室盖。

4.2.进行能量检查:放入A750标准样品，单击能量检查下的[测试]按钮，进行能量检查，读取能量数值（单位：cps/uA）4.3.进行管理分析:放入7元素标准样品，单击管理分析下的[测试]按钮，进行管理分析，读取7元素标样数值（单位：ppm）。

4.4.取出校正样品：取出校正样品后，单击[正常分析]，完成分析准备。

5.测试5.1.放置样品，关上样品室盖：按开盖按钮，将样品放置在测试窗上。

确认画面上显示样品图像。

5.2.输入样品信息：选择分析条件后输入样品名称、注释、操作者等信息。

5.3.开始分析：单击[开始]，开始分析。

分析结束后，发出结束音，显示分析结果。

5.4.进行预测试：预测试的目的是仪器自动选定分析条件。

大约需15s。

5.5.测试并显示测试结果：测试并出结果，依照材料不同，大约需3~15分钟。

6.关机6.1.退出仪器，关闭X射线管：从[维护]菜单选择[关闭X-ray]；单击[OK]。

6.2.退出程序：筛选分析结束。

选[关机]，退出程序。

6.3.切断各电源：按照图中的号码顺序切断电源。

关闭X射线后，需要冷却X射线管。

等待5～10分后，关闭仪器的电源。

岛津EDX能量色散型荧光X射线分析仪操作步骤指南

岛津EDX能量色散型荧光X射线分析仪操作步骤指南使用前，应首先检查EDX内的液态氮容量，（装满后总容量为3 L ,正常使用状态下每天消耗量约为1L , 平时应经常检查，及时补充，第一次加注液氮或是液氮耗尽后补加，均需要等待30分钟，以便机器充分冷却.）第1步：开机1、开启EDX电源开关2、启动电脑主机开关3、启动显示器开关4、OS运行后，点击“EDX-Software”启动分析软件，关闭“分析”窗口。

第2步：初始化单击“维护”图标，单击“初始化仪器”（对仪器进行初始化），等待数分钟，图示2中所有项目显示OK，进行下一步操作。

第3步：开启X射线单击“仪器设置”，单击右下角“执行设置”图标，查看EDX面板上“X-RAY”灯已亮，等待30分钟进行下一步操作。

第4步：能量校正在样品室中放置A750标样，单击“仪器校正”，在“能量/半峰宽FWHM 校正”框中点击“是”，单击“开始”，进行能量校正。

待能量校正后关闭校正窗口。

第5步：仪器检查单击“分析”窗口，单击分析组“分析组别”，选择点击“定性-定量”项目，选择“easy”，单击“确认”，输入样品名称（A750），单击“确认”，单击“开始”。

测试完成后，结果如果在下列范围内：A750：Al〉85%；Sn、Si、Cu有数值。

Si如果没有数据，可能是环境影响，可以继续进行。

否则必须重新进行步骤四。

第6步：漂移检查漂移检查:漂移检查做法：取标准样品用PE-PVC测试，当测试值中Cd，Pb，Br，Hg，Cr测试值超过标识值的15*％，需要进行漂移校正，做法见仪器说明书。

第7步：样品分析放置好样品后，单击“分析”窗口，单击“分析组别”，选择“定量”或“定性半定量”项目，选择“某某”组别，单击“确认”，输入样品名称，单击“确认”，单击“开始”。

测试完成后，放置好下一个样品，方法同上。

第8步：数据查找：单击“数据”在“数据”栏目中选择相对应的“定量”或“定性半定量”，查找已测量样品的数据第9步：关机顺序：首先关闭X光管。

X射线荧光光谱仪培训课件..

0.10
0.05 2
Cd
Ag
0.02 9
0.01 8
初级光束滤片
改善峰背比 • 750 mm Al filter, Soil sample
角色散
• 角色散 (dQ/dl) • nl = 2d.sinQ (Bragg公式)微分后得到:
dQ n dl 2d cos Q
• 角色散随衍射级数(n)和衍射角(Q)的增加而增加 • 角色散随晶体面间距(d)的减小而增加
EDXRF 和WDXRF光谱仪的优缺点
EDXRF 元素范围检测限 Na－U（钠－铀）分析轻元素不理想分析重元素较好 WDXRF Be－U（铍－铀）对铍和所有较重元素都较好
灵敏度
分辨率仪器费用功率消耗测量方式转动部件
轻元素不理想，重元素较好
轻元素不理想，重元素较好相对价廉 5－1000W 同时无
轻元素尚可，重元素较好
轻元素较好，重元素不是很理想相对昂贵 200-4000W 顺序/同时晶体，测角仪
波长色散
• 使用单晶或多晶来衍射所分析的波长
波长色散谱仪组成
• X光管
• 分光系统 • 探测系统
X光管
• 端窗
• 阳极材料 • 窗口材料
• 激发 kV, mA
• 冷却 • 滤片
超尖锐端窗 X-ray Tube
12 11 30 0.403
B
C N Be Te-K U-In
探测器
• 探测器将 X射线光子转化成测量电压脉冲
• 各种探测器需要测量一定的波长范围
0.04 - 12nm (0.1 - 30 keV).
U La - I La & Te Ka - Be Ka

EDX-720培训教材..

PBB、PBDE、HBCD。其中PBB、PBDE为RoHS禁用，
TBBPA、HBCD为RoHS 不禁用的Br系阻燃剂。
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SHEN ZHEN SPEEDY-TECH ELECTRONICS CO.,LTD
3）据松下公司的经验，当总Br含量在30000PPM以下时，
是无法起到阻燃作用的。Br在PBB、PBDE中含量一般为30~100K之间，在TBBPA、HBCD中含量大概为
1.3）RoHS元素的检测：
Pb、Hg、Cd三种元素的测试：
1）Pb、Hg、Cd一般使用ICP、XRF进行检测； 2）ICP、XRF检测仪共同点是：a.都是发射光谱仪；b.都是用来检测元素的； 3） ICP、XRF检测仪不同点如下：
仪器精度操作要求样品检测速度检测（限）范围
ICP
XRF
镉、铅及其化合物
1）XRF： X-ray fluorescence X射线荧光 2）AAS：Atomic Absorption 塑料、橡胶、颜料、 Spectroscopy 原子吸收光谱；墨水（汁） 3）ICP-AES：Inductively Coupled Plasma 感应耦合等离子体金属 1）XRF 2）ICP-AES
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2.4）EDX-720光谱仪的主要特点及相关技术参数： ◆ 配置新型滤光片，Pb、Cd等的灵敏度比以往机型提高 2倍； ◆ 无需前处理，非破坏性，快速分析（1~5分钟）； ◆ 准确的定性分析，元素测定范围宽：11Na~92U；
ISO 3613：2000
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EDX(X射线能量分析光谱仪)

2012.11.1
一个内层电子而出现一个空穴，使整个原子体系处于不稳定的激发态，激发态原子寿命约为 (10)-12-(10)-14s，然后自发地由能量高的状态跃迁到能量低的状态。这个过程称为驰豫过程。驰豫过程既可以是非辐射跃迁，也可以是辐射跃迁。当较外层的电子跃迁到空穴时，所释放的能量随即在原子内部被吸收而逐出较外层的另一个次级光电子，此称为俄歇效应，亦称次级光ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ效应或无辐射效应，所逐出的次级光电子称为俄歇电子。它的能量是特征的，与入射辐射的能量无关。当较外层的电子跃入内层空穴所释放的能量不在原子内被吸收，而是以辐射形式放出，便产生X 射线荧光，其能量等于两能级之间的能量差。因此，X射线荧光的能量或波长是特征性的，与元素有一一对应的关系。 K层电子被逐出后,其空穴可以被外层中任一电子所填充，从而可产生一系列的谱线，称为K系谱线：由L层跃迁到K 层辐射的X射线叫Kα射线,由M层跃迁到K层辐射的X射线叫Kβ射线……。
2012.11.1
同样,L层电子被逐出可以产生L系辐射。如果入射的X 射线使某元素的K层电子激发成光电子后L层电子跃迁到K层，此时就有能量ΔE释放出来，且ΔE=EK-EL，这个能量是以X射线形式释放，产生的就是Kα 射线，同样还可以产生Kβ射线，L系射线等。莫斯莱(H.G.Moseley) 发现，荧光X射线的波长λ与元素的原子序数Z有关，其数学关系如下： λ=K(Z-s)-2 这就是莫斯莱定律，式中K和S是常数，因此,只要测出荧光X射线的波长,就可以知道元素的种类,这就是荧光X射线定性分析的基础。此外,荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此，可以进行元素定量分析。
NBS-GSC法也称作理论Alpha系数法。它是基于荧光X射线激发的基本原理，从理论上使用基本物理参数计算出样品中每个元素的一次和二次特征X射线荧光强度的。基于此再计算Lachance综合校正系数，然后使用这些理论α系数去校正元素间的吸收增强效应。它与经验系数法不同，这些校正系数是从“理论”上取得的，而非建立在“经验”上。因而它也不需要那么多的标样，只要少数标样来校准仪器因子。

ED-XRF培训资料

无线电波微波红外线可见光伽马射线紫外线X射线Detector X-Source% T R A N S M I T T E DX-Ray TubeComparison of optimized direct-filtered excitation with secondarytarget excitation for minor elements in Ni-200TubeIntroduction to XRFFocusing OpticsBecause simple collimation blocks unwanted x-rays it is a highly inefficient method. Focusing optics like polycapillary devices and other Kumakhov lens devices were developed so that the beam could be redirected and focused on a small spot. Less than 75 um spot sizes are regularly achieved.Bragg reflection inside a CapillarySourceDetectorIntroduction to XRFDetectors• Si(Li) • PIN Diode • Silicon Drift Detectors • Proportional Counters • Scintillation DetectorsIntroduction to XRFDetector PrinciplesA detector is composed of a non-conducting or semi-conducting material between two charged electrodes. X-ray radiation ionizes the detector material causing it to become conductive, momentarily. The newly freed electrons are accelerated toward the detector anode to produce an output pulse. In ionized semiconductor produces electron-hole pairs, the number of pairs produced is proportional to the X-ray photon energyn = E ew h e re :n E e= n u m b e r o f e le c tro n -h o le p a irs p ro d u c e d = X -ra y p h o to n e n e rg y = 3 .8 e v fo r S i a t L N 2 te m p e r a tu re sIntroduction to XRFSi(Li) DetectorWindow FETSuper-Cooled CryostatSi(Li) crystalPre-AmplifierDewar filled with LN2Cooling: LN2 or Peltier Window: Beryllium or Polymer Counts Rates: 3,000 – 50,000 cps Resolution: 120-170 eV at Mn K-alphaIntroduction to XRFSi(Li) Cross SectionIntroduction to XRFPIN Diode DetectorCooling: Thermoelectrically cooled (Peltier) Window: Beryllium Count Rates: 3,000 – 20,000 cps Resolution: 170-240 eV at Mn k-alphaIntroduction to XRFSilicon Drift Detector- SDDPackaging: Similar to PIN Detector Cooling: Peltier Count Rates; 10,000 – 300,000 cps Resolution: 140-180 eV at Mn K-alphaIntroduction to XRFProportional CounterWindowAnode FilamentFill Gases: Neon, Argon, Xenon, Krypton Pressure: 0.5- 2 ATM Windows: Be or Polymer Sealed or Gas Flow Versions Count Rates EDX: 10,000-40,000 cps WDX: 1,000,000+ Resolution: 500-1000+ eVIntroduction to XRFScintillation DetectorPMT (Photo-multiplier tube) Sodium Iodide Disk ElectronicsWindow: Be or Al Count Rates: 10,000 to 1,000,000+ cps Resolution: >1000 eVConnectorIntroduction to XRFSpectral Comparison - AuSi(Li) Detector 10 vs. 14 KaratSi PIN Diode Detector 10 vs. 14 KaratDetector X-Source% T R A N S M I T T E DUnfiltered Tube target, Cl, and Ar Interference PeakDetector X-RaySourcen = integerd = crystal lattice orθλAtomsTypical PIN Detector InstrumentDETECTORL-linesK-Lines。

X射线荧光光谱仪（EDX-LE能量色散）操作规程

X射线荧光光谱仪（EDX-LE能量色散）操作规程X射线荧光光谱仪（EDX-LE）操作规程1.接通电源，启动筛选分析条件:双击桌面上的PCEDX Navi 软件，启动软件。

2.初始化仪器,单击初始化。

3.打开X射线管电源,单击[Xray ON]。

3.1.显示面板的X-RAYS ON灯和X射线显示灯点亮。

3.2.仪器稳定大约需要花费15分钟。

3.3.显示[管理分析]页面后，完成启动。

4.仪器校正4.1.按开盖按钮，将校正样品放置测试窗。

关上样品室盖。

4.4.取出校正样品：取出校正样品后，单击[正常分析]，完成分析准备。

5.测试5.1.放置样品，关上样品室盖：按开盖按钮，将样品放置在测试窗上。

确认画面上显示样品图像。

5.2.输入样品信息：选择分析条件后输入样品名称、注释、操作者等信息。

5.3.开始分析：单击[开始]，开始分析。

分析结束后，发出结束音，显示分析结果。

5.4.进行预测试：预测试的目的是仪器自动选定分析条件。

大约需15s。

5.5.测试并显示测试结果：测试并出结果，依照材料不同，大约需3~15分钟。

6.关机6.1.退出仪器，关闭X射线管：从[维护]菜单选择[关闭X-ray]；单击[OK]。

6.2.退出程序：筛选分析结束。

选[关机]，退出程序。

6.3.切断各电源：按照图中的号码顺序切断电源。

关闭X射线后，需要冷却X射线管。

等待5～10分后，关闭仪器的电源。

能量色散X荧光光谱仪操作指导书

能量色散X荧光光谱仪操作规范1.0目的使能量色散X荧光光谱仪操作标准化2.0使用范围所有能量色散X荧光光谱仪仪器操作人员3.0责任3.1品保部负责公司所有仪器的管理；3.2 使谈情部门负责申请、借用、领用、维护和保管。

4.0参考文件无5.0定义XRF测试员: ROHS测试行业一年以上工作经验，高中以上学历经，仪器原厂培训考试合格，并获得相应证书，对仪器操作熟练。

XRF测试仪代理人：必须经过仪器原厂培训，并获得原厂发的证书，对仪器操作熟练。

6.0内容6.一般数据：6.1所需设备及工具﹕6.1.1能量色散X荧光光谱仪6.1.2主机及打印机6.2作业程序：6.2.1首先,按照《能量色散X荧光光谱点检表》中项目依次进行点检，点检完毕填写《能量色散X荧光光谱点检表》。

其次，检查电源，计算器，仪器之间的联机，确定正确无误。

将ROHS 测试插入电脑USB（如图一）接口处。

6.2.2打开电源—打开X荧光分析仪主机的电源—打印机的电源—打开计算器主机电源。

在电脑桌面上找到相应测试软件名为：ROHS3（如图二）,点击进行测试页面。

6.2.3仪器预热6.2.3.1开机，放入纯银片(如图三)，测试页面左上角：点击参数设置—测量时间，输入1800 ，点击确定即可（如图四）。

点击确定后，系统会自动跳出对话框，点击OK（如图五）。

在测试过程中进行预热。

（如图六）预热线束后，系统会自动跳出一个对话框，点击OK（如图七）6.2.4.初始化6.2.4.1选择菜单“参数设置”中的“初始化”或点击快捷键。

6.2.4.2放入银样正片，点击OK,系统会再次弹出对话框（同图五），点击OK,即可进行初始化,这时页面上会出现“正在初始化仪器”字样。

（如图八）6.2.4.3初始化结束后状态区峰信道将显示为1105道,同时弹出对话框，点击OK.(否则重新进行初始化)(如图九)6.2.5校正6.2.5.1.设置测量时间：选择菜单“参数设置”下的“测量时间”项，输入预设时间（200秒），按下OK即可。

EDX-LE 能量色散X荧光光谱仪操作规范

能量色散 X-ray荧光光谱仪操作规范
修订记录修订日期变更编号变更内容
文件编号: 版本/次: 页次: 日期:
版本/次
总页数 7
会签记录会签单位 ■体系办 □营业部 □物流部 □工程部 □制造部 ■品控部 □生技部 □财务部 □人力资源部会签姓名会签意见
核准
审核
制定
泓淋科技集团 HONG LIN
能量色散 X-ray荧光光谱仪操作规范
文件编号: HLCL3-T00001 版本/次: 页次: 日期: A/0 3 OF 7 0
7.9EDX导轨加润滑油时间：理论半年/1次.（具体加油时间以操作员听到有噪音为基准）. 7.10《ED-XRF判定标准》为参照《各客户环境管理物质管控标准》制作，并以此作为ED-XRF筛选测试的判定标准. 7.11针对EDX测试验证项目内容的修订，在变更前需进行评估，待评估通过并修订文件后方可进行更改，现场需依文件执行操作。
七、注意事项及故障排除： 7.1每天早上8点,须用A750标样对仪器进行校正,并将检查结果记录于《ED-XRF作业前检查记录表》. 7.2开机/每周/维修/异常确认时，需用7元素标样对仪器校正，并将记录登记在《ED-XRF标样点检表》. 7.3每周一需对有卤/无卤拆解工具进行点检，并将记录登记在《拆解工具检测记录表》. 7.4当放置样品测试时,确认样品位置是否放置正确： ①微小物品需要放置在专用容器中 ②物品放置方法尽可能与十字线的竖线平行 ③物品居中.必要时用桌面“CCD”帮助观察. 7.5测量液体前先放置10分钟,确认液体对有机薄膜不破坏且薄膜没有老化再放入仪器内. 7.6校正机器拿取标样时,拇指与食指触摸标样的侧面,如标样有脏或有异物附着需用酒精清洗后再使用.

EDX系列能量色散光谱仪操作规范

品放置测试漏桶里（表面平整且测试面积足够大的可以直接放置测试区域），切记样品需覆盖整个测试区域，并且测试界面的探头的十字部必须在被测样品上，确认无误后按“开始键”进行测试。
5.2.6测试报告保存：测试结束后，测试界面系统会自动弹出对话框，点击“确定”打开报告，将报告编号
和生成批号信息补充完整。报告编号原则为：HS-四位测试日期+两位流水号，如：HS-2020052801,
Cl）元素测量后如果是粘附性物质必须更换载物膜后再测量无卤元素），重新初始化点检
标准样，测试时放置足够多的样品等。
6.保养及注意事项
6.1要保持测试仪器箱内的清洁，在每次试验完毕后及时取出样品，对箱内外进行清洁。
6.2定期检查个插头是否插好，开关是否完好，仪器软件与硬件是否正常运行。
6.3本仪器必须经过专业的培训并持有相关仪器上岗证后才能操作使用。
《拨款申请<AR>》
《采购申请单》
9.采购按交期要求下单于第三方检测；
10.项目跟进试验相关进度；
11.是否按送检要求做测试？
12.内部测试方法确认；
《测试记录》
实验室
采购
研发ห้องสมุดไป่ตู้
《测试记录》
13.发现异常及时反馈送检单位及相关单位；
14.必要时重新确认样品信息、设备、测试方法及标准是否正确？
《草版报告》
6.4打开和关闭测试仪器盖时应轻开轻关，否则容易损坏仪器箱内的精密零部件。
6.5载物膜需定期更换，不可直接用裸手触摸以防汗液粘附在载物膜上。
6.6载物膜应使用食品级的保鲜膜并每周更换一次，否则会影响测量结果。
6.7测试样品的高度不得超出仪器测试箱内的高度，如果超出则需裁切部分使得保护盖能盖紧，样品必须平面贴

EDX1800B培训操作指导

纵
定性分析可通过“定性分析”菜
轴代表
单栏点手动分析来选择关注的元素，看谱图上有无该元素的特征
谱
信号，或者点自动分析将自动标示
信
出特征明显的几种元素
号
高
度
横轴代表元素坐标
对比谱
通过“工作谱”菜单栏下“对比谱 ”功能，可添加一个或几个已测试过的谱图，来对比观察它们的光谱区别
工具栏按钮
第五项将连续测试，生成一份报告，此时卤素按钮变为 “RoHS”，点击“RoHS”将还原。连测历史记录：点击“卤素”按钮测试的记录。
历史记录
历史记录：记录测试过的样品结果，可设置相应条件点“查询”显示，可逐一打勾点“按模板导出”导出完整报告，可清空删除
数据的备份还原
此操作需要登陆Admin用户，在菜单栏“选项 ”中
❖ 以下是RoHS中对六种有害物规定的上限浓度：
❖ 镉：小于100ppm
❖ 铅：小于1000ppm
（钢合金中小于3500ppm 铝合金中小于4000pp铜合金中小于40000ppm)
❖ 汞：小于1000ppm
❖ 六价铬：小于1000ppm
❖ 多溴联苯PBB/多溴联笨醚PBDE：各小于1000ppm
பைடு நூலகம்
二.ROHS认证适用范围
字光标，然后用鼠标点击工作区栏选择对应的测试项目。
❖
2. 点击工具栏“开始”按钮，在弹出的对话框中输
入样品相应信息。点击确定开始测试。
❖
3. 分析报告保存：
❖
测量时间走完后，软件下面同时显示结果，点击工具
栏“保存”按钮，进行保存数据。（若忘记保存结果，只需
在历史记录勾选相应记录，然后点击按模板导出）。

能量色散型X射线荧光分析仪EDX设备操作说明书

設備名稱能量色散型X射线荧光分析仪設備功能金屬/塑料元素分析文件編號設備型號EDX-720 廠商島津版本A0一﹑功能鍵說明主機﹕用于放置待測物計算機﹕用于控制周邊設備。

打印機﹕用于列印相關數據二﹑操作說明1.機器連接﹕將主機電源線插入穩壓器110V輸出端﹔將穩壓器輸出線插入UPS輸入端充電﹔將計算機電源線插入UPS輸出端﹔將打印機電源線插入主機輸出110V端﹔列印機﹑主機﹑鍵盤﹑鼠標與主機相連既可。

UPS﹕斷電后提供穩定的電源給計算機﹐避免計算機資料丟失。

穩壓器﹕用于提供110V電源給主機并提供給UPS充電。

核准審核製作日期設備名稱能量色散型X射线荧光分析仪設備功能金屬/塑料元素分析文件編號設備型號EDX-720 廠商島津版本A02.開機﹕2.1確認連線無誤后﹐將穩壓器電源開關撥向“ON”狀況﹐且穩壓器指針指在110V時﹐既可按下圖步驟開啟設備。

2.3.按下計算機桌面上的“EDX Sofrware”圖標﹐計算機即出現下圖對話框。

2.4.按下上圖中的“維護”圖標﹐計算機彈出如下畫面。

點擊下圖“儀器初始化”圖標﹐可以聽到快門和瀘光片動作聲音。

校正正常“儀器狀態欄”均顯示OK﹐表示校正成功。

核准審核製作日期設備名稱能量色散型X射线荧光分析仪設備功能金屬/塑料元素分析文件編號設備型號EDX-720 廠商島津版本A02.5.按下上圖中的“儀器設置”圖標﹐計算機顯示儀器設置對話框如下畫面﹕按下下圖儀器設置對話框中的“執行啟動”圖標。

即對X光管進行預熱﹐此時需等待30分鐘。

以確保儀器工作于穩定狀態﹐否則測量值誤差大。

2.6.X光管預熱30分鐘后將樣品“A750”放入主機X光管窗口處﹐如下圖﹕2.7.點擊下圖“儀器校正”圖標﹐計算機顯示“儀器校正”對話框。

按下儀器校正對話框的“開始”圖標﹐儀器進行能量校正并顯示校正中﹐請稍等……核准審核製作日期設備名稱能量色散型X射线荧光分析仪設備功能金屬/塑料元素分析文件編號設備型號EDX-720 廠商島津版本A02.8. 校正完成后﹐在“分析組別”內選擇定性/定量easy組別測試A750﹐以判定校正是否成功。

EDX培训教材讲课文档

≥700PPM
OK
进一步测试
NG
11
第11页，共30页。
三. EDX光谱仪在RoHS测试中的应用
≤500PPM
Cr(6+) EDX
TCr=Cr(0)+Cr(3+)+Cr(6+)
假设控制标准为 ≤1000PPM
＞500PPM
OK
进一步测试
UV测试
12
第12页，共30页。
四. EDX光谱仪的测试原理
◆阴极射线管、电子部件和发光管的玻璃内的铅含量； ◆高温融化的焊料中的铅（即：锡铅焊料合金中铅含量超
过85%）； ◆用于服务器、存储器和存储系统的焊料中的铅（豁免准
予至2010年）； ◆用于交换、信号和传输，以及电信网络管理的网络基
础设施设备中焊料中的铅； ◆电子陶瓷产品中的铅（例如：高压电子装置）；
发射光谱仪；
➢ UV / VIS：UV紫外可见光分光光度计； ➢ GC / MS：气相-质谱联用仪； ➢ 红光谱仪。 ………
3
第3页，共30页。
1.3）RoHS元素的检测：
Pb、Hg、Cd三种元素的测试：
1）Pb、Hg、Cd一般使用ICP、XRF进行检测； 2）ICP、XRF检测仪共同点是：a.都是发射光谱仪；b.都是
每种元素的能量差范围
测试时间
24
停滞时间
26
第26页，共30页。
第三部分：定量分析结果（Quantitative Result ）
Analyte PbLb 被分析对象
Result 194.543ppm
测试结果
Std.Dev. 27.434 标准偏差
Proc.-Cacl.

SEM-EDX培训材料1

能量色散X射线光谱仪 • EDS: Energy Dispersive Spectrometer
能量色散光谱仪
3 精选课件
SEM/EDX基本原理
1. X射线产生原理： X射线的产生是由于入射电子和样品发生非弹性碰撞的结果。当高能电子与原子作用时, 它可能使原子内层电子被激发, 原子处于激发状态, 内层出现空位。此时, 可能有外层电子向内层跃迁,外层和内层电子的能量差就以光子的形式释放出来, 它就是元素的特征X射线。光谱仪接受此特征X射线的光子，进行元素含量分析。
4 精选课件
SEM/EDX基本原理
入射电子轰击样品原子,产生二次电子,X射线和背散射电子。入射电子从样品原子电子壳内层反射出来二次电子。入射电子从样品层跃迁,产生 X射线。
5 精选课件
SEM/EDX基本原理
入射电子与试样作用,产生二次电子,背散射电子，X射线。试样深层产生的二次电子被试样吸收,只有试样在表面产生的二次电子能被检测到。背散射电子和X射线发生在比二次电子深层的地方。二次电子在离试样表面10nm地方产生, 背散射电子在离表面300nm的地方产生,X射线在离试样1000nm的地方产生。
SEM/EDX 介绍
精选课件
GQA
SEM/EDX 介绍
• 一：SEM/EDX基本原理 • 二：样品制备 • 三：参数选择
2 精选课件
SEM/EDX 介绍
• 一：SEM/EDX/EDS 介绍 • SEM: Scanning Electron Microscope 扫描电镜 • EDX: Energy Dispersive X-Ray Spectrometer
SEM/EDX基本原理 : 二次电子和背散色电子
二次电子SE：二次电子SE检测器接受入射电子与试样产生二次电子，进行 SEM分析。

EDX1800能量色散光谱仪操作指导书

EDX1800能量色散光谱仪操作指导书1.总则正确使用监视测量设备是确保监视测量结果准确性的前提条件，为指导本仪器得到正确的操作使用，特作此书。

2.工作标准2.1欧盟R O H S指令检测标准2.2射频同轴连接器检验规范3.3检验作业指导书3.工作职责3.1严格执行工作标准，完成R O H S规定要求的检测、建立规范化质量记录；3.2认真做好测试前后标识，防止混淆，做到检测不合格的材料不生产、不使用，不合格的零部件不转序、不装配，不合格的成品不出厂；3.3随时监督仪器示值正确度，发现失效及时调校。

4.工作程序4.1R O H S检测开机操作顺序4.1.1首先检查电源，计算机，仪器之间的连线，确定正确无误。

4.1.2开机：打开总电源开关→打开X荧光分析仪主机的电源开关→打开打印机的电源开关→打开计算机主机电源开关→打开计算机显示屏完成以上步骤，使仪器处于工作状态。

4.2对仪器预热开机，放入纯银片，将测量时间设定为1500秒左右，在测试过程中进行预热。

4.3初始化用鼠标左键双击桌面上的R O H S软件的快捷图标，运行软件。

→选择菜单“参数设置”中的“初始化”。

→按照提示，并放入银校正片，点击“O K”即可。

根据仪器当时的状态，初始化过程要持续几秒到十几秒的时间。

初始化成功后，状态栏的峰通道将显示为1105道，否则重新进行初始化。

4.4设置测量时间选择菜单“参数设置”中的“测量时间”项，在出现的对话框中输入预设时间，一般情况下，R O H S测试的时间设置为200秒。

4.5选择测量曲线界面左边的程序栏中的六种程序，根据当前测量需要进行选择，单击相应的选项栏即可。

选择完后，被选中选项栏的颜色为蓝色，在曲线的状态栏里也将会出现默认的测量曲线名称。

4.6开始测量单击工具栏的开始按钮，会有一个窗口提示更换上合适的准直器，按照提示换上合适的准直器（检测塑料中的C r C l和测量焊锡中的C r C d P b H g要用1#准直器；而检测钢铁中的C r C d P b H g和测铜锌中的C r C d P b H g需要用3#准直器；检测塑料及其它要用2#准直器），按下“O K”即可。