MEMS技术及其应用整理版

在汽车上的应用
MEMS 传感器及其组成的微型惯性测量组合在汽车 自动驾驶、汽车防撞气囊、汽车防抱死系统 （ABS）、减震系统、防盗系统等。 GPS定位系统. *在汽车里作为加速表来控制碰撞时安全气囊防护 系统的施用 * 在汽车里作为陀螺来测定汽车倾斜，控制动态 稳定控制系统 * 在轮胎里作为压力传感器，
? 1959年就有科学家提出微型机械的设想，但直到1962年 才出现属于微机械范畴的产品—硅微型压力传感器。其 后尺寸为50～500微米的齿轮、齿轮泵、气动蜗轮及联接 件等微型机构相继问世。而1987年由华裔留美学生冯龙 生等人研制出转子直径为60微米和100微米的硅微型静电 电机，显示出利用硅微加工工艺制作微小可动结构并与 集成电路兼容制造微小系统的潜力，在国际上引起轰动， 科幻小说中描述把自己变成小昆虫钻到别人的居室或心 脏中去的场景将要成为现实展现在人们面前。同时，也 标志着微电子机械系统(MEMS)的诞生。
These systems merge computation with sensing and actuation to perceive the physical world at a miniaturized level.
MEMS定义
早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人 员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件， 如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块
MEMS技术及其应用
主要内容
? MEMS技术简介 ? MEMS技术应用 ? 微机械制造技术 ? MEMS器件
MEMS简介
What is MEMS Technology?
MEMS (microelectromechanical systems) are devices that involve integrated microdevices or systems, usually comprised of electrical and mechanical components, produced using microelectronics-compatible batch-processing techniques.
MEMS的应用
Application Fields of MEMS
由于 MEMS 器件和系统具有体积小、重量轻、 功耗小、成本低、可靠性高、性能优异、功能强 大、可以批量生产等传统传感器无法比拟的优点， 因此在航空、航天、汽车、生物医学、环境监测、 军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十 分广阔的应用前景。
国外MEMS 技术在引信中的应用
? MEMS 技术在精确打击弹药引信中的应用
美国FMU2159/ B 硬目标侵彻灵巧引信及加速度计
MEMS 技术在灵巧弹药引信中的应用
ห้องสมุดไป่ตู้
采用MEMS 技术的弹道修正引信
装有弹道修正引信的MK64 制导炮弹
MEMS 技术在轻武器面杀伤弹药引信中的应用
单兵20 mm 高爆 榴弹微机电引信
世界上第一个微静电马达
What is the peculiarity of MEMS technology?
? MEMS是受到集成电路工艺的启发而发展起来的，它不仅具有集成 电路系统的许多优点，同时集约了多种学科发展的尖端成果。
1、微型化特点 2、多样化特点 3、稳定性特点
4、集成化特点 5、批量化特点 6、广义化特点
航空航天的应用
在 1995年的国际会议上已有人正式提出研制全硅卫星的概念 。 即整个卫星由硅太阳能电池板、硅导航模块、硅通信模块等组 合而成 ,这样 ,可使整个卫星的质量缩小到以 kg计算 ,从而使卫 星的成本大幅度降低 。
美国提出的硅固态 卫星的概念图，这 个卫星除了蓄电池 外，全由硅片构成 ，直径仅15cm。
硅片上，就是微机电系统——MEMS: Micro electro mechanical System 。
由于MEMS是微电子同微机械的结合，如果把微电子电路比作人 的大脑，微机械比作人的五官（传感器）和手脚（执行器），两者的 紧密结合，就是一个功能齐全而强大的微系统。
微电子机械系统是以微电子、微机械及材料科学为基础，研究、设计 和制造具有特定功能的微型装置（包括微结构器件、微传感器、微执行器 和微系统等方面）的一门科学。
在军事上的应用
MEMS已在空间超微型卫星上得到应用 ,该卫星外形尺寸为 2. 54 cm ×7. 62 cm ×10. 6 cm, 重量仅为 250 g 。2000年 1月 ,发射的两颗试验小卫星是证明空基防 御能力增强的一个范例。对小卫星试验来说幸运的是 ,因其飞行寿命短 ,所以 ,暴 露在宇宙辐射之下并不是关键问题。小卫星上基于硅的 RF开关在太空应用中表 现出优异的性能 ,这得益于它的超微小尺寸。作为一个在海上应用的实例 ,MEMS 引信 /保险和引爆半导体,微电子,集成电路,IC,工艺,设计,器件,封装,测试, F/SA 装 置已成功地用于潜艇鱼雷对抗武器上。引信 /保险和引爆装置的工作包括 3个独 立步骤:发射鱼雷后 ,解除炸药保险、引爆 引信 和防止在不正确时间爆炸 保险 。 使用镀有金属层的硅结合巧妙的封装技术 ,MEMS F/SA器件要比传统的装置小 1 个数量级 ,可安装在 15. 88 cm 的鱼雷上 ,这是其他方法做不到的 .
生物医疗和医学上的应用
微机械技术在生物医疗中的应用尤其令人惊叹。例如 :将微型传感器用口服或皮 下注射法送入人体 ,就可对体内的五脏六腑进行直接有效的监测 。 将特制的微型机器人送入人体 ,可刮去导致心脏病的油脂沉积物 ,除去体内的胆固醇 , 可探测和清除人体内的癌细胞 ,进行视网膜开刀时 ,大夫可将遥控机器人放入眼球内 , 在细胞操作、细胞融合、精细外科、血管、肠道内自动送药等方面应用甚广。 MEMS的微小 可进入很小的器官和组织 和智能 能自动地进行细微精确的操作 的特 点 ,可大大提高介入治疗的精度 ,直接进入相应病变地进行工作 ,降低手术风险。 同微电子,集成电路,IC,工艺,设计,器件,封装,测试,MEMS时 ,可进行基因分析和遗传诊 断 ,利用微加工技术制造各种微泵、微阀、微摄子、微沟槽、微器皿和微流量计的器 件适合于操作生物细胞和生物大分子。所以 ,微机械在现代医疗技术中的应用潜力巨 大 ,为人类最后征服各种绝症延长寿命带来了希望。