CONCEPT 80 简单操作说明

一、宽带介电谱测量系统的组成
实验室选用的测量系统包括低频模块和高频模块两大部分。

其中低频模块为Alpha-A高性能频率分析仪（Alpha-A High Performance Frequency Analyzer）；高频模块为安捷伦E4991A射频阻抗/材料分析仪（Agilent E4991A RF Impedance/Material Analyzer）。

（一）测量系统的上电操作
下图为电源模块面板图
1、上推合上墙上电源开关，合上地面上接线盒电源。

2、合上电源控制面板上右下侧的主控制器电源MAINS（由0位打至1位），启动Alpha-A
高性能频率分析仪。

校准和测量都应当在系统启动30分钟后再进行，保证预热的效果。

3、真空泵电源V ACUUM在需要进行温度控制时打开，不需要进行温度控制时不打开。

4、在进行温度控制时合上电源面板左侧的温度控制系统（QUATRO）电源MAINS和
加热器电源LOAD，这两个电源开关在不需要进行温度控制时不打开。

MAINS（下）是总电源，内部有10A的熔丝，当发生短路时自动切断电源。

LOAD是杜瓦罐中加热器和气体加热器的电源。

面板保险座：当外部杜瓦罐蒸发器、气体加热器、或电缆发生短路时控制面板上的
20A断路器工作弹出，此时应该检查设备是否存在短路故障，进行修理。

故障处理
完后，推入断路熔丝开关，熔丝的电阻是2~3Ω。

下图为电源面板上20A断路器正常工作时和短路跳出时的位置图：
（二）低频测量模块 Novocntrol -Alpha-A高性能频率分析仪
低频模块的主主框架（Mainframe）分析仪为Alpha-A高性能频率分析仪（Alpha-A High performance Frequency Analyzer），配接的是ZGS接口试样单元。

分析仪主框架部分内含正弦波信号源和直流偏置电源、2个电压通道。

上电后，分析仪自动检测端口连接的试样单元，并调整相应的系统功能。

1 Alpha-A分析仪
Alpha-A主框架部分的界面图：
Gen ：为内置在测试接口的信号输出放大器提供一个交流输出信号，在进行增益相位测量时作为信号源。

输出阻抗50Ω，最大输出电压幅度1.36V。

Gen可同时
提供直流偏置电压，但是由于系统要求识别出正确的测试模块才能输出直流偏
置，所以要和ZGS结合才能提供直流偏置。

V1 ：是频率响应分析仪的电压输入端，当进行增益相位测量时作为输入端。

V2 ：是频率响应分析仪的电压输入端，当进行增益相位测量时作为输入端。

V1 和V2通道的输入阻抗为1MΩ，并联输入电容<100pF，最大输入电压可
选择0.03~3V之间取值范围变化的9个电压档，每个提到均可直流或交流耦
合。

输入端的电压限制：直流电压±40V，层叠的交流电压最大值有效值为4V。

2 ZGS试样单元
与Alpha-A分析仪配接的测试端口ZGS试样腔的接口如下图：
GEN ：是电压缓冲放大器的输入端，最大输入电压范围±3V
V1 ：将加在试样上的电压送入分析仪
V2 ：为内部电流至电压转换器输出端
PT100：接试样温度传感器
上电极：感应试样电流，电流限制在±200mA,在电流没有超过的情况下，电压可加至±50V
下电极：将信号源电压加在试样上，输出交流电压0~3V±40直流偏置，输出阻抗50欧姆，最大直流偏置电流70mA
3分析仪配接试样单元ZGS时的工作特性
频率：3 μHz ~20 MHz
阻抗： 0.01Ω~1014Ω
电容：1fF~1F，1fF=10-15F
损耗因数：tan(δ)：10-5~104
交流加压：100μV..3Vrms
直流偏置电压：-40~+40V,70mA
准确度：
阻抗、电容、tan(d)<3·10-5
绝对相位角度<2mº
分辨率：
tan(d) 、阻抗、电容<10-5
相位角度<0.6mº
4 分析仪屏幕显示的说明
主屏幕显示测量时实际设备的状态，合上主电源后，约10秒钟后显示如下信息：“Alpha Dielectric/impedance Analyzer”
“Novocontrol Technologies”
约显示3秒钟。

测量开始后，屏幕显示测量过程的各种状态分别解释如下：
表示连接好试样
表示开始测量
试样测量完成后，屏幕显示试样上的电压、电流到电压转换输出端的电压、两个电压之间的相位差、7和6 表示实际输入到通道1和通道2的电压范围。

如果选择参考测量模式，内部标准电容之一会连接到电流到电压转换器。

左上侧显示的是参考电容值。

等待一段时间后，*号表示开始进行参考测量。

参考测量结束后，第1行显示的是参考电容、参考电容上测得的电压（单位V，标注1）、电流到电压转换器输出端的电压（单位V，标注2）、两个电压之间的相位差。

7和6 表示实际输入到通道1和通道2的电压范围。

第2行显示的是测量结果：并联试样电容值、并联试样电阻、损失（无单位以Td标注）、最后一个测量点的频率。

（三）高频测量模块--安捷伦 E4991A射频阻抗/材料分析仪
面板图
测量连接图：
测量范围：
阻抗：0.1Ω~5·104Ω
tan(δ)的分辨率<2·10-3
频率：1MHz ~3GHz。

试样电容值在范围2pF~10pF (4pF左右最佳)，小的电容对应频率高端。

试样
腔的杂散电容已经通过试样腔开路校准记入考虑。

输出交流电压调节范围：4.47·10-3 ~0.502伏。

（四）Quatro温度控制系统
1 温度控制面板图：
四个传感器通道：
通道1杜瓦罐蒸发器温度传感器（PT 100），分辨率0.01˚C
通道2杜瓦罐压力传感器（电阻桥），分辨率1mbar
通道3气体加热器温度传感器（PT 100），分辨率0.1˚C
通道4试样温度传感器（PT 100），分辨率0.01˚C
A1-A8（只用了4个）的报警指示：
A1：表示杜瓦蒸发器的高温，杜瓦罐可能没装液氮
A3：表示杜瓦罐过压
A4：表明气体加热器由于杜瓦罐压力太低不能启动。

A5：表明温度超过安全起始温度（一般为气体加热器-10˚）。

阻止气体加热器在测试前启动。

如果气体加热器已经工作，A5灯会亮，但不影响测
量的进行。

两个灯同时闪烁，表明一个传感器线路断开
A1A2：杜瓦罐温度传感器故障
A3A4：杜瓦罐压力传感器故障
A5A6：气体加热器温度传感器故障
A7A8：试样腔的温度传感器故障
2 传感器屏幕的显示与说明
第1行显示的是几个通道：杜瓦罐温度、压力、气体加热气温度、试样温度
第2行显示的对应的过程中的实际值（Practical Valve）
第3行显示的是设置点（Set Point）的值：杜瓦罐压力、试样的温度
第4行末显示的是气体或试样的温度变化率
最后一行显示的符号的意义说明如下：
左边前端显示的时间为自上一个温度设定点改变到现在的时间
DE：杜瓦罐加热器在工作
CT：气体加热器将会启动，如果达到了安全线
CR：气体加热器在工作
S：检测到温度稳定
∆：激活温度斜坡函数
如果安全条件达不到，在最后一行会显示失败信息。

二、试样的准备与安装
对低频试样腔ZGS和射频试样腔BDS 2100，试样都不能直接放在测量腔的电极中，而应该和附加的外部电极一起组成类似三明治的结构如图：
对低频试样腔，可供选择的镀金的外部电极直径有10mm~40mm，随系统的附件中只有20、30、40mm直径的电极，Novocontrol有10mm直径电极的配件，但是因为平时用户通常用不到，因此不随系统赠送。

对高频试样腔（1MHz以上）可供选择的镀金的外部电极直径有
3mm~12mm。

随系统的附件中有6、8、12mm三种直径的电极。

对固体试样，电极间的距离由试样厚度决定。

对液体试样，电极间的距离由液体试样单元BDS1308内间隔环的高度决定，实验室选配的间隔环只有一种，环的高度为1mm，所以固定的电极间距也是1mm。

低频测量中样品的直径可以从约2厘米到约4厘米，根据样品的尺寸选择上下电极，使电极和样品的尺寸尽量一致。

电极直径可以小于、等于样品直径，也可以略大于。

区别在于当往软件中输入样品尺寸时，如果电极直径小于样品直径且样品表面没有导电层的时候，应当按照电极尺寸输入。

附加电极片表面镀金的目的是提高导电性，从而提高测量精度。

但是随着日常使用肯定会磨损。

通常不会对实验结果造成影响。

可以根据已知样品的测量结果判断是否对精度有影响。

如果影响较大，可以更换新的电极片。

最理想的试样电容：
为确保最佳测量效果，两个测量模块对应的电容测量范围如下：
低频系统（< 20 MHz）：
试样电容值在50pF~200pF（在100pF附近最佳）之间，对应的频率范围100kHz~10MHz时测试准确性最好。

更低频率时，电容高于2nF（2000pF）也会得
到较好的测试效果。

注意:系统还可以根据频率要求测量一个大的电容范围0.001pF~1F电容。

但测量精
度会下降。

如果需要测量小电容（<50pF），则要考虑试样腔的约1pF的杂散电容。

该杂散电
容由电极连接线的非理想屏蔽造成。

要从测量数据中减去。

为此，在试样特性的对
话框中应该填入1pF如图：
选择measurement--Sample Specification--Cell Stray + Spacer Capacity
高频系统（1 MHz~ 3 GHz ）
试样电容值在范围2pF~10pF （4pF 左右最佳）测试准确性最好，小的电容对应频率高端。

试样腔的杂散电容已经通过试样腔开路校准记入考虑。

故在上图中的measurement --Sample Specification --Cell Stray+Spacer Capacity 中应该填入0。

如果试样的介电常数ε’已知，则试样电容的估算公式如下：
)()
(()/('95.64'2
2
pF m d mm D d D C o μεπεε==
D ：电极的直径 d ：电极间距
电极杂散电容
从试样电容的计算公式不难看出，试样的直径越大，厚度越小则其电容越大，那么对杂散电容的影响就越不敏感，即D/d 的比值越大越好。

为了降低在试样电容边缘由于边缘效应造成的误差，D/d 的比值应该尽可能大。

选择大直径小厚度的试样结构较好。

如果在Measurement --Sample Specification 选中Use Edge Compensation 进行边缘补偿的话，则要求在测量时选用的两个附加电极的直径要和试样的直径一样，并且要填入附加电极的厚度。

试样的表面与接触
固体试样的表面应该尽可能平以便和外电极可靠接触。

为了保证可靠接触，最好在试样表面的接触面上进行金属化处理，例如可以采用喷金的办法在试样表面形成金属膜，也可以在试样表面用凡士林粘贴铝箔。

另一个简单便宜的办法是在试样表面刷银粉漆，但是一定要保证试样表面不会被银粉漆溶剂损坏。

（一）试样在低频试样腔ZGS 中的安装
在测量时必须将类似三明治结构的试样电容（或液体试样单元）固定在试样腔的上下电极之间，放置样品时要固定牢，位于上下电极的中间位置，尽量不要偏，安装试样如图：
重要：-旋转试样固定旋钮（the Sample Mounting Screw）将试样腔电极、附加电极、试样三者紧密接触固定。

-千万不要用绝缘屏蔽旋钮（Insulation Housing Screw）固定试样，这可能会造成
接触不好，还可能损坏试样腔上电极的绝缘。

-开始测量前检查关键的电气连接点的连接是否可靠。

（二）试样在射频试样腔BDS 2100中的安装
与在低频腔中的试样结构相类似，在射频试样腔中，试样和附加外电极组成类三明治结构，然后如图所示安装于射频试样腔中。

射频试样腔包括：与PC7连接器相连的射频试样腔体、可以向下移动向上移出的试样支撑轴、固定试样支撑轴的轴固定旋钮、封闭腔体的封闭窗，固定窗口和腔体的腔体封闭环。

各部分指示如下图。

BDS2200 RF电极适用于频度范围：1MHz – 3GHz，内部直径为14mm。

注意：当电极对的直径超过5mm时具有不同结构的上下电极。

上电极有附加边环，下电极则没有。

三、测量前的总体条件设置
在开始测量前要对将要进行的测量进行总体设置。

在WinDETA软件中，系统默认的设置文件为DEFAULT.PRE。

如果想使用自己的设置文件，可以在文件File菜单中选择装载预置Load Preset来装载自己的设置文件。

如果想对测量重新进行设置，可按下列步骤进行：
1、从分析（Analyzer）菜单中的若干测量设备中选中低频和高频测量模块中的一个并进行相关设置
ALPHA Dielectric Analyzer（高性能频率分析仪）
…
HP 4991
2、选择下列温度控制系统中的一个
在Temp. Controller菜单中被选中的温度控制器是激活的。

每个温度控制器都可以在菜单Temp. Controller找到相应的选项进行初始化和配置。

我们选择Quatro Version >= 4.0。

Quatro Version <= 3.5
Quatro Version >= 4.0
、、、
3、试样说明
从Measurement 菜单中选择Sample Specification对测量试样进行说明
4. 取平均值
若想在一个给定的频率间隔上取几个数据点的平均值，选择Measurement--Averaging 。

WinDETA 允许在一个给定的频率间隔内，对指定的若干个数据点取平均。

Average over n points定义在一个给定的频率间隔内取平均值的数据点数。

测量结果
是这些数据点的测量值的数学平均值，数据点范围1~1000。

Average between Min Hz and Max Hz定义频率间隔，在此间隔内取平均。

可定义的
频率上下限范围3·10-6~107 Hz。

5. 起始条件
从 Measurement选择 Start Conditions ，输入测量中独立变量的起动值。

温度 Temperature ：若选中则设置温度控制器的起始点、初始化控制器。

否则不设置
起始温度，温度控制器的状态不变。

取值范围（-280˚C ~2000˚C）频率 Frequency：若选中则设置阻抗测量系统信号发生器的频率。

起始频率还可
以用来进行没有频率列表的固定频率测量设置。

比如在一个固定
交流频率下测量温谱。

交流电压AC Voltage：若选中则设置阻抗测量系统中信号发生器的交流信号电压幅度，
范围为10-5~3伏。

若不选，在测量中的交流电压采用在
Analyzer--Configuration的默认设置值。

直流偏置电压 Bias：给试样提供一个叠加在交流电压之上的附加的直流电压，范围
（-40~40伏）。

不加直流电压时填入0值。

时间Time ：设置一个延迟时间间隔，范围（0~106分钟）。

在选择Measurement，
Start或 Restart后延迟一段时间开始测量。

当延迟时间到并且设
定的起始温度达到稳定后测量任务才开始进行。

以上设置的起始值会被测量任务中的值列表、结束条件、测量任务终止而改变，但起始条件不会被值列表改变。

注意：如果选择Measurement--Start Single Sweep ，则只考虑起始条件中的交流电压。

6. 选择变量
从 Measurement选择 List Order（列表序），选择测量中用到的变量(frequency，temperature，ac voltage，bias，time)和执行顺序。

左边排在最上端的变量代表列表中的最低序，排在最下端的变量代表列表中的最高序。

将要添加的变量先在右侧选中，然后按←Add将其添加到左边的变量排序。

去掉变量在左侧先选择，然后按Remove→将其移回到右边的变量列表。

若用o表示变量在序列表中的位置，用o=1表示最上端的变量，o=2 表示下一个...)，该变量被称为列表序，WinDETA 将按此列表定步调如下：
测量从具有最高序的变量开始。

对每一个具有序号o的值列表中的每个点，具有列表序o-1所有的点要执行。

这个过程定义了一个n维变量的正交离散测量空间，n 是序列表中变量的数目。

全部的测量点数由变量数的乘积得到。

其中，具体的每个变量的取值点，要从菜单Measurement的Value Lists选择自由变量子菜单对Frequency, Temperature, AC V olt, DC-Bias和 Time进行设置。

下图是在子菜单中选择Frequency时的操作界面。

举例
Order list : Value lists :
Free variable Order o Frequency Temperature Bias
1000 -10 1
Frequency 1 2000 -20 2 Temperature 2 3000 3
Bias 3 4
上述选择决定了要测试的点数为24 （3 * 2 * 4）并且按以下顺序执行：
简单地说，排在最上面最先选择的的变量最开始变化，变化频次最快。

默认情况下频率由高向低变化，温度由低向高变化。

7. 结束条件
从 Measurement中选择End Conditions（结束条件），输入测量中独立变量在关电源时的值。

温度Temperature、频率 Frequency 、交流电压AC V oltage、直流偏置电压Bias 的物理意义与开始条件相同，只是作用时间变为结束时刻。

其中的时间Time是指在所有测量点的数据测量结束后的一段延迟时间。

当时间延时结束并且温度稳定时测量任务才会终止。

如果测量终止了，所有的设备复位，阻抗测量设备的信号源关断。

如果使用了温度控制，在结束条件中选中了关断加热源（Heating off），如果该次测量没有选择从单变量扫描启动、不是由测量菜单中的停止结束，则在测量任务结束后加热器自动关断。

注意：如果测量从单扫描启动，则不考虑结束条件。

8. 跳过的设置
如果在测量的过程中想跳过低频率下的测试参数值满足一定值的数据点，则从Measurement中选择Auto Skip Conditions 填入所跳过的频率点的eps', eps'' and tan(d)= tan(δ)的限制条件。

eps' > val1
eps'' > val2
tan(D) > val3
可选中其中的一项或多项，WinDETA在每个测量点的测量结束后进行检查，只要有一个条件满足就执行跳过的动作。

举例：假如定义了频率-温度（frequency – temperature）测量，先选频率，后选温度。

假如选择tan(δ) > 1000，WinDETA 将进行各个温度点下的频率扫描。

如果测到了一个tan(δ) > 1000的值点。

WinDETA 就会跳过从现有频率（较高频率）到频率列表的终止频率点（最低频率），继续进行下一个温度点的频率由高到低扫描测量。

下一个频率列表的测量会继续进行下去到结束或直到遇到下一个跳变条件满足点时再执行跳过的动作。

跳过条件可用来节省测量时间。

因为如果试样要在低频下测量直流电导率，eps'' 和tan(δ)会随频率降低而线性增大。

在大部分情况下，eps'也会因电极极化而剧烈增大，所以当eps''高于一定值后继续测量下去没有必要，得不到新的信息。

故当电导率测量值达到某一上限值时可停止测量选择跳过。

9. 温度控制系统的设置
如果在第5步或第7步中定义了起始和关断温度，在第6步中定义了温度列，则在测量中需要进行具体的温度控制。

从菜单 Temp. Controller选择全部的选项对温度控制系统进行详细设置。

10. 选择要保存的测量结果文件
File --Set File Names
如果选中，则将结果、数据记录、信息和温度记录文件以默认文件名及路径自动保存，或按下Set，则重新为这些文件选择保存的名称和路径。

如果不选中则不保存。

其中信息、数据记录和温度记录文件相当大可不选中。

这些文件依惯例命名如下：
数据记录文件data log "*.LOG"
信息文件message "*.MSG"
温度记录文件temperature log "*.TEM"
注意：如果文件DEFAULT N.EPS其中N = 0, 1, 2, ..., 9 被作为测量结果文件，测量结果文件 "*.EPS"文件始终存在，WinDETA 将会自动逐渐增大N，保存末尾的10个测量结果文件，名字分别为DEFAULT0.EPS ... DEFAULT9.EPS 。

例如：如果DEFAULT9.EPS 被选作为测量结果的名字，但文件DEFAULT9.EPS 已经存在，WinDETA 会在下次测量前将名字改为DEFAULT0.EPS 。

11. 保存设置内容
若想将第1到第9步的设置进行保存，则从 File中选择 Save Preset可将前面的设置保存为预置文件。

保存文件名为DEFAULT.PRE，也可以起个新名字保存。

以便下次的设置与此次相同时直接装载设置文件。

12. 开始测量
如果使用了温度控制，在Measurement--Start启动运行后，屏幕会跳出一个提示界面如图：
提示：加热器要被激活。

系统将要控制试样温度。

确信完成以下检查：
-抽真空的真空泵通电工作。

-放好试样的试样腔已经放入低温保持器中。

-温度控制系统通电工作。

继续进行吗？
条件确认后按YES键，测量正式开始。

四低频模块Alpha-A高性能频率分析仪在测量前的校准
为了使设备运行良好，测试系统在进行测量前要进行校准。

低频和高频模块要分别进行校准。

校准在系统启动30分钟以后进行，保证预热的时间。

校准的连续过程是全校准、设置参数、参考校准，然后立即测量100欧姆电阻。

根据结果判断校准的效果。

下面对各种校准的适用场合及具体操作进行详细介绍。

1 校准前的设置：
对没有进行参考测量的电流范围校准的设置，Options--Options All Calibration选择全校准的校准范围。

对没有选择附加参考测量的测量，针对4个分析器电流范围中的每一个(2nA，200pA，20pA 和2pA)，选择不同的校准设置，这些选择在随后的全校准（All Calibration）过程中使用。

因为在Calibrate all的过程中，系统会针对不同的电流范围反复进行测量，并利用测量结果进行校准，不同的设置指的是在某个电流范围中，校准时对应每个频率点测量的次数。

Default：选择默认的电流范围，该范围与校准无关。

这是速度快精度低的方法。

One Point：选择在一个单一频率上校准。

该值应用于范围内的全部频率。

比选择默认精度高些但是比选择多点精度低些。

Multi Point：选择对许多频率点进行校准，这是精度最高的方法但是校准时间最长。

Approx. Calibration Time：对实际选择的范围整体显示需要的校准时间。

注意：如果参考测量没有在设置(ALPHA, BETA, BDC)中人工去除。

选择 Set Defaults 按钮可以设置在校准时得到最高精度和最短的校准时间。

建议：通常情况下，四个最低电流范围的校准值在一个试样测量后（该测量跟随参考测量）马上得到。

这种情况下，在该对话框中的选择不影响精度。

只有没有在没有进行参考测量时，上述选择值用于取代参考测量。

不选择进行参考测量：
（1）为了节省时间通过人为调节
（2）由WinDETA自动调节，当试样阻抗比最低参考电容阻抗低得多时。

对最低3个电流范围一般不会发生。

（一）ALPHA整体校准（ALPHA ALL calibration）
整体校准过程如下：
选择Analyzers--Options Menu--Calibrate All
询问是否继续，选择YES继续后回车。

然后弹出对话框提示先将试样从测试腔取出，留下测试电极开路。

注意上下电极间
的距离不应该小于3mm，可以尽量使间距大一些。

间距大于1cm以上后，改变间
距对校准结果没有什么影响。

按OK继续进行直到完成整体校准。

如果必须要测量低于1kΩ的试样，在完成整体校准后还需要做Alpha负载短路校准批；如果必须要测量电容低于1pF的试样，在完成整体校准后还需要做Alpha低电容开路校准。

校准数据被自动保存于WinDETA工作目录的ALPHA.CAL 文件。

（二） A LPHA参考校准（The ALPHA Reference calibration）
参考校准过程如下：
选择Analyzers--Options Menu--Calibrate Reference
如图：
的距离不应该小于3mm。

按OK继续进行系统自动完成参考校准。

（三） A LPHA负载短路校准（ALPHA Load Short Calibration）
如果需要测量阻抗低于1KΩ的试样，在完成整体或相关校准后还需要做α负载短路校准（ALPHA Load Short Calibration）。

这将校准试样腔的接触电阻、连接线的电阻和当阻抗低于1KΩ时内部ALPHA范围。

此校准只对阻抗低于1KΩ的测量有效。

校准数据自动保存在WinDETA目录下的文件ALPHA.CAL中。

做此校准前应该在Analyzer--Options (BDC or ALPHA) --Configuration中选中负载短路校准有效，然后在随后的测量前才可以进行负
载短路校准。

选择如图：
选择Analyzer--Options-- Load Short calibration
选中后，WinDETA 接着提示：
移开试样腔中的试样，让试样腔的电极短路连接，见下图（1）：
（1） （2）
选择 OK 启动或Abort终止，短路校准结束后, WinDETA 提示连接标准100Ω电阻。

将100Ω标准校准负载接入电路如上图中（2）。

选择 OK 启动负载校准或选择Abort终止该校准。

α负载短路校准完成后可以直接开始测试试样的阻抗，此时不必填入试样的直径与厚度信息，直接选择开始就可以了。

如果在105Hz以下测量得到的试样阻抗为100Ω，则认为校准达到了预定的精度。

（四）ALPHA低电容开路校准
如果需要测量电容值低于1pF的试样，在完成整体或相关校准后还需要做α低电容开路校准。

这将校准约30fF (0.03pF)的内部杂散电容。

在频率范围1Hz ~100kHz情况下，该校准会改善可测量的低电容值的下限，由30fF 降至 1fF 以下。

注：1fF=10-15F
低电容开路校准应该在下列情况进行：
-在安装WinDETA后第一次使用α介电分析系统前
-在安装WinDETA后第一次测量电容低于1pF的试样
-几周闲置未用的情况下
-校准数据自动保存在WinDETA目录下的文件ALPHA.CAL中
-必须先在Analyzer--Options--Configuration选中低电容开路校准，然后在随后的测量前才可以进行低电容开路校准。

选择如图：
注意: WinDETA 通常在校准中使用频率列表中的频率(Measurement--Value Lists-- Frequency )和实际积分时间(Analyzers—Options-- Configuration)。

在校准前要确信把这些参数设置得合适。

当测量和校准时使用的频率一致时，测量精度会提高。

也可频率有差别，这时WinDETA 会添写校准数据，但是准确度会降低。

因为试样腔电极连线和电极产生的约1pF的杂散电容会对测量结果有影响，所以在试样电容小于1 fF的测量中校准所起的作用很小。

1pF =103fF。

校准前的检查
在校准之前须确保连接了分析系统，且合上设备的电源。

校准操作过程
选择Analyzer--Options-- Low Capacity Open Calibration
WinDETA会提示：拔去试样腔的上电极连接器：
操作如下图：
拔去试样腔的上电极连接器，选OK开始进行校准或Cancel终止校准。