电源：大型UPS在半导体制造厂的应用

电源：大型UPS在半导体制造厂的应用
标签：半导体UPS 电源
一.引言
半导体制造业是全球十大重点产业之一,是技术资金密集,技术进步和投资风
险高的产业.中纬公司是浙江省至今唯一的6 英夹酒制造项目,该项目于2003 年
7 月投产以来,当前的产量已达10000 片/月.半导体制造厂对电力网的稳定运行
有较高的要求.晶园代工企业的精密设备不能忍受这种短暂的电压闪变、跌落、
瞬时供电中断,每次电压闪变都可能导致生产出废品，甚至使得某些机器出现重
新启动的现象。

公司装有Powerware 9315 UPS 2*200KVA,3*625KVA 共计5 台.共容量: 2275KVA,位于PUB3F, 2*200KVA 主要为FAC 系统的UPW,PCW,PCT,PV 及FAB 的部分照明提供可靠电力, 3*6250KVA 主要为FAB 的TOOLS(注入、扩散、光刻)等机台提供稳定的供电之用.
二. Powerware 9315 系列UPS 工作方式与性能特点
1.UPS 本公司的工作示意图如下:
a. 2*200KVA 并联单线图
b. 3*625KVA (2+1)热同步并机单线图
2. Powerware 9315 系列UPS 特点：
a、独特且可靠的并机技术
Powerware 9315 采用独特的热同步直接并机技术，在各UPS 单机之间无需通讯电缆连接来传递实时信号，就可实现并机的均流控制。

对于并机系统中的各
台UPS，它们都处于完全平等的调控状态之中。

采用独特的小步长，高频率同
步相位调制法。

每台UPS 能智能地将位于并机系统中的各台UPS 的同步跟踪
调到最佳状态(彼此之间的相位差几乎为零)和实时动态地调节所带的负载百分
比。

实现高精度的负载均分，并在逆变器万一发生故障时，将有故障的UPS 迅速、可靠地从并机系统中脱机，从而确保并机系统继续向用户提供高质量的逆
变器电源。

并机系统的负载电流均流不均衡度小于2%
b、智能化电池管理系统DC Expert
为确保电池的有效使用寿命，配置具有完善的智能化电池管理系统，独特的
电池测试维护软件。

利用DC Expert 的自诊断定时监控功能使您对电池的维护
进行预先策划，从而避免在发生市电停电时，因电池损坏而引起负载供电中断
的重大事故，提高整机供电系统的可靠性。

c、独特的控制板通讯技术
采用高性能微处理器数字信号控制技术+软件可编程调控技术+控制板间的网
络通讯技术，大大减少控制板数量和控制板之间的传输连接线，确保UPS 具有
高可靠性和高一致性。

d、极强的抗过载能力
具有极强的抗输出过载能力(300%,300 毫秒)+优良的抗输出短路限流能力，
可确保逆变器安全可靠地运行。

e、大屏幕液晶显示功能
f、远程监控功能及电源监察院控管理软件
Powerware 9315 系列UPS 同时向用户提供RS232 和RS485 接口，一组继电器干接点输出接口和一组用户自定义报警信号输入接口等四种通讯接口，再配
置上POWERWARE 公司所提供的电源监管软件，就可组成具有网络管理功能
的智能化UPS 供电系统，从而可实现远程集中监控。

PowerVision 软件提供了
预先报警的功能，而ForeSeer 软件通过SNMP 为您提供全方位的企业管理。

tips:感谢大家的阅读，本文由我司收集整编。

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