半导体物理 第一章
半导体物理
半导体物理思考题第一章半导体中的电子状态1、为什么内壳层电子能带窄,外层电子能带宽?答:内层电子处于低能态,外层电子处于高能态,所以外层电子的共有化运动能力强,因此能带宽。
(原子的内层电子受到原子核的束缚较大,与外层电子相比,它们的势垒强度较大。
)2、为什么点阵间隔越小,能带越宽?答:点阵间隔越小,电子共有化运动能力越强,能带也就越宽。
3、简述半导体的导电机构答:导带中的电子和价带中的空穴都参与导电。
4、什么是本征半导体、n 型半导体、p 型半导体?答:纯净晶体结构的半导体称为本征半导体;自由电子浓度远大于空穴浓度的杂质半导体称为n 型半导体;空穴浓度远大于自由电子浓度的杂质半导体称为p 型半导体。
5、什么是空穴?电子和空穴的异同之处是什么?答:(1)在电子脱离价键的束缚而成为自由电子后,价键中所留下的空位叫空穴。
(2)相同点:在真实空间的位置不确定;运动速度一样;数量一致(成对出现)。
不同点:有效质量互为相反数;能量符号相反;电子带负电,空穴带正电。
6、为什么发光器件多半采用直接带隙半导体来制作?答:直接带隙半导体中载流子的寿命很短,同时,电子和空穴只要一相遇就会发生复合,这种直接复合可以把能量几乎全部以光的形式放出,因此发光效率高。
7、半导体的五大基本特性答:(1)负电阻温度效应:温度升高,电阻减小。
(2)光电导效应:由辐射引起的被照射材料的电导率改变的现象。
(3) 整流效应:加正向电压时,导通;加反向电压时,不导通。
(4) 光生伏特效应:半导体和金属接触时,在光照射下产生电动势。
(5) 霍尔效应:通有电流的导体在磁场中受力的作用,在垂直于电流和磁场的方向产生电动势的现象。
第二章半导体中杂质和缺陷能级1、简述实际半导体中杂质与缺陷来源。
答:①原材料纯度不够;②制造过程中引入;③人为控制掺杂。
2、什么是点缺陷、线缺陷、面缺陷?答:( 1)点缺陷:三维尺寸都很小,不超过几个原子直径的缺陷; (2)线缺陷:三维空间中在二维方向上尺寸较小,在另一维方向上尺寸较大的缺陷;(3)面缺陷:二维尺寸很大而第三维尺寸很小的缺陷。
第一章 半导体物理基础解析
– 在能带中,能量E附近单位能量间隔内的量子 态数
g(E) dZ/dE
在量子力学中,微观粒子的运动状态称为量子态
费米-狄拉克统计分布规律
• 温度为T(绝对温度)的热平衡态下,半导体中电子占据能量为E
的量子态的几率是
f (E)
1
exp( E EF ) 1
kT
– k是玻尔兹曼常数,EF是一个与掺杂有关的常数,称为费米能级。 – 当E-EF>>kT时,f(E)=0,说明高于EF几个kT以上的能级都是空的;而当E-EF<<kT
• 平均自由时间愈长,或者说单位时间内遭受散射的次数愈少, 载流子的迁 移率愈高;电子和空穴的迁移率是不同的,因为它们的平均自由时间和有 效质量不同。
Hall效应
• 当有一方向与电流垂直的磁场作用于一有限半导体时, 则在半导体的两侧产生一横向电势差,其方向同时垂直 于电流和磁场,这种现象称为半导体的Hall效应。
简化能带图
1.3 半导体中的载流子
• 导带中的电子和价带中的空穴统称为载流子, 是在电场作用下能作定向运动的带电粒子。
满带
E
当电子从原来状态转移 到另一状态时,另一电子 必作相反的转移。没有额 外的定向运动。满带中电 子不能形成电流。
半(不)满带
E
半满带的电子可在外 场作用下跃迁到高一 级的能级形成电流。
能带结构:
(“施主能级”)
空带 施主能级 施主能级与上
空带下能级的
Eg
能级间隔称“
ED 施主杂质电离
满带
能”( ED )
导电机制:
空带
Eg
满带
施主能级
这种杂质可提 供导电电子故
ED 称为施主杂质
半导体物理(第一章)概要
§1.1半导体中的电子状态和能带
§1.1.2电子在周期场中的运动——能带论
与自由电子相比,晶体中的电子在周期性的势场中 运动的波函数与自由电子波函数形式相似,不过这 个波的振幅uk(x)随x作周期性的变化,且变化周期 与晶格周期相同。——被调幅的平面波
对于自由电子在空间各点找到电子的几率相同;而 晶体中各点找到电子的几率具有周期性的变化规 律。——电子不再完全局限在某个原子上,而是进 行共有化运动。外层电子共有化运动强,称为准自 由电子。
§1.1半导体中的电子状态和能带
§1.1.1晶体中的电子状态
下面的能带填满了电子,它们相应于共价键上的电 子,这个带通常称为满带(或价带);上面一个能 带是空的没有电子(或含少量电子)称为导带。 注意:通常能带图的画法。
§1.1半导体中的电子状态和能带
§1.1.2电子在周期场中的运动——能带论
⒈电子的运动状态 (1)孤立原子中的电子是在其原子核和其它电子的势场
⒋在考虑能带结构时,只需考虑简约布里渊区,在该 区域,能量是波矢的多值函数,必须用En(k)标明是 第几个能带。
⒌ 对于有边界的晶体,需考虑边界条件,根据周期性 边界条件,波矢只能取分立的数值,每一个能带中的 能级数(简约波矢数)与固体物理学原胞数N相等。 每一个能级可容纳2个电子。
⒍能量越高的能带,其能级间距越大。
§1.1半导体中的电子状态和能带
§1.1.1晶体中的电子状态
共有化状态数---每一个能带包含的能级数。与 孤立原子的简并度有关。 s能级分裂为N个能级(N个共有化状态); p能级本身是三度简并,分裂为3N 能级(3N 个共有化状态)。 但并不是所有的能带都一一对应着原子中的电 子轨道,我们来观察一下金刚石型结构的价电 子能带示意图。
半导体物理-第1章-半导体中的电子态
金刚石结构的(111) 面层包含了套构的原 子,形成了双原子层 的A层。以双原子层的 形式按ABCABC层排 列
金刚石结构的[100]面的投 影。0和1/2表示面心立方 晶格上的原子,1/4,3/4 表示沿晶体对角线位移1/4 的另一个面心立方晶格上的 原子。
2.每个原子最外层价电子为一个s态电子和三个p态电 子。在与相邻四个原子结合时,四个共用的电子对完全 等价,难以区分出s与p态电子,因而人们提出了“杂 化轨道”的概念:一个s和三个p轨道形成了能量相同 的sp3杂化轨道。之间的夹角均为109°28 ’。
3. 结晶学元胞为立方对 称的晶胞,可看作是两 个面心立方晶胞沿立方 体的空间对角线互相位 移了1/4对角线长度套 构而成。
Ψ(r,t) = Aexp[i2π(k ·r – v t)]
(3)
其中k 为波矢,大小等于波长倒数1/λ ,方
向与波面法线平行,即波的传播方向。得
能量:E = hν
动量:p = hk
(4) (5)
对自由电子,势能为零,故薛定谔方程为:
2
2m0
d 2 (x)
dx2
E (x)
(6)
由于无边界条件限制,故k取值可连续变化。即:与经 典物理(粒子性)得出相同结论。
能带形成的另一种情况
硅、锗外壳层有4个价电子,形成晶体时,产生SP杂化 轨道。原子间可能先进行轨道杂化(形成成键态和反键 态),再分裂成能带。
原子能级
反成键态
成键态
半导体(硅、锗)能带的特点
存在轨道杂化,失去能带与孤立原子能级的对应关系。 杂化后能带重新分开为上能带和下能带,上能带称为导 带,下能带称为价带。
半导体物理第1章 半导体中的电子状态
能带成因
当N个原子彼此靠近时,根据不相容原理 ,原来分属于N个原子的相同的价电子能 级必然分裂成属于整个晶体的N个能量稍 有差别的能带。
S i1 4 :1 s 2 2 s 2 2 p 6 3 s 2 3 p 2
能带特点
分裂的每一个能带称为允带,允带间的能量范 围称为禁带
一.能带论的定性叙述 1.孤立原子中的电子状态
主量子数n:1,2,3,…… 角量子数 l:0,1,2,…(n-1)
s, p, d, ... 磁量子数 ml:0,±1,±2,…±l 自旋量子数ms:±1/2
n1
主量子数n确定后:n= 2(2l 1) 2n2 0
能带模型:
孤立原子、电子有确定的能级结构。 在固体中则不同,由于原子之间距离很近,相互
Ⅲ-Ⅴ族化合物,如 G a A S , I n P 等 部分Ⅱ-Ⅵ族化合物,如硒化汞,碲化汞
等半金属材料。
1.1.3 纤锌矿型结构
与闪锌矿型结构相比 相同点 以正四面体结构为基础构成 区别 具有六方对称性,而非立方对称性 共价键的离子性更强
1.2半导体中的电子状态和能带
1.2.1原子的能级和晶体的能带
1.3半导体中电子的运动——有效质量
1.3.1半导体中的E(k)与k的关系 设能带底位于波数k,将E(k)在k=0处按
泰勒级数展开,取至k2项,可得
E (k)E (0 )(d d E k)k 0k1 2(d d k 2E 2)k 0k2
由于k=0时能量极小,所以一阶导数为0,有
E(k)E(0)1 2(d d2E 2k)k0k2
1.1.2 闪锌矿型结构和混合键
Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料 结晶学原胞结构特点 两类原子各自组成的面心立方晶格,沿
第1章 半导体物理基础
EC EF 令:n N C exp kT
则:
EF EV p NV exp kT
EC EV kT NV EF Ei ln( ) 2 2 NC
在室温下,第二项比禁带宽度小得多。因此,本征半导体的 本征费米能级Ei相当靠近禁带的中央。
图1.4.2 费密能级与 杂质浓度、导电类型 和环境温度的关系
平衡载流子浓度的计算
对非简并半导体
N型半导体: n0 多子:电子
完全电离:
P型半导体: p0 多子:空穴 > n0
> p0
少子:空穴
少子:电子
一般情况 ND≈1015 - 1020cm-3
一般情况 NA≈1015 - 1020cm-3
n0 N D ? ni n0 ? p0 2 n0 p0 ni
施主。由于带负电载流子增加,硅变成n型。
1.3.2
P型半导体
受主和受主能级
受主杂质:在半导体中提供空穴的杂质
• 对于Si而言掺入的受主杂质一般为III族元素,如 B、Ga • NA ≡ 受主杂质浓度 [cm-3] • 一般情况下
NA >> ni
(NA: 1015 - 1020
cm-3 )
• 常温下 受主杂质完全电离
空导带
Eg = 9 eV
填满的价带
半导体:
半导体材料的电导率介于导体和绝缘体之间,且易受温 度、光照、磁场及微量杂质原子的影响,其禁带宽度较小(约 为1eV),如图所示。 在 T =0K时,所有电子都位于价 带,而导带中并无电子,因此半导 体在低温时是不良导体。在室温及 正常气压下,硅的 Eg 值为 1.12eV , 而砷化镓为 1.42eV 。因此在室温下 ,热能 kT 占 Eg 的一定比例,有些电 子可以从价带激发到导带。因为导 带中有许多未被占据的能态,故只 要小的外加能量,就可以轻易移动 这些电子,产生可观的电流。
半导体物理学第一章
SEMICONDUCTOR PHYSICS
1
半导体物理学
• 教材:
– 《半导体物理学》 (第七版),刘恩 科等编著,电子 工业出版社
半导体物理学(前九章)
一.半导体中的电子状态
二.半导体中杂质和缺陷能级
三.半导体中载流子的统计分布
四.半导体的导电性
五.非平衡载流子
六.pn结
七.金属和半导体的接触 八.半导体表面与MIS结构 九.半导体异质结构
半导体物理学固态电子学分支之一微电子学光电子学研究在固体主要是半导体材料上构成的微小型化器件电路及系统的电子学分支学科电子学电荷电子学微电子学亚微米尺度纳电子学纳米尺度微电子学研究领域?半导体器件物理?集成电路工艺?集成电路设计和测试微电子学发展的特点向高集成度低功耗高性能高可靠性电路方向发展与其它学科互相渗透形成新的学科领域
练习1答案
1。写出三种立方单胞的名称,并分别计算 单胞中所含的原子数。(1,2,4) 2. 计算金刚石型单胞中的原子数。(8)
第1章 半导体中的电子状态
• 1.1 半导体的晶格结构和结合性质 1.2 半导体中的电子状态和能带 1.3 半导体中电子的运动 有效质量 1.4 本征半导体的导电机构 空穴 1.5 回旋共振 1.6 硅和锗的能带结构 1.7 Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的能带结构 1.8 Ⅱ-Ⅵ族公合物半导体的能带结构 1.9 SI1-xGex合金的能带 1.10 宽禁带半导体材料
Ga
Ga As Ga As
Ga Ga
Si Si
Si Si Si Si Si
Ga
Ga As Ga Si Ga As Ga
Ga
Si
Ga
Ga
Silicon, a = 5.43 Å (diamond structure)
半导体物理第一章
2、闪锌矿结构和混合键
III-V族化合物半导体绝大 多数具有闪锌矿型结构。闪 锌矿结构由两类原子各自组 成的面心立方晶胞沿立方体 的空间对角线滑移了1/4空 间对角线长度套构成的。每 个原子被四个异族原子包围。 例: GaAs、GaP、ZnO
2、闪锌矿结构和混合键
两类原子间除了依靠共价键结合外,还有一定 的离子键成分,但共价键结合占优势。 以离子为结合单元,由正、负离子组成的、靠 库仑力而形成的晶体。此种结合力称为离子键。 由碱金属元素与卤族元素所组成的化合物晶体 是典型的离子晶体,如NaCl、CsCl等。II-VI族 化合物晶体也可以看成是离子晶体,如CdS、 ZnS等。
⑴ 每一个BZ 内包含了所有能带中的全部电子状态。或者说,每一个区 域所包含的波矢数(即 k 的取值个数)等于晶体所包含的原胞数( N)。 因此,电子的运动状态可以在一个 BZ内进行讨论,注意,在同一个BZ内, 电子的能量是准连续的。
布里渊区有如下若干主要特点:
布里渊区与能带:
求解一维条件下晶体中电子的薛定谔方程,可以得到如图所 示的晶体中电子的E(k)~k关系,虚线是自由电子 E(k)~k关 系。
1.自由电子的运动状态
(1)孤立原子中的电子是在该原子的核和其它电子的势场中 运动 (2)自由电子是在恒定势场中运动 (3)晶体中的电子是在严格周期性重复排列的原子间运动
单电子近似——晶体中的某一个电子是在周期性排列且固 定不动的原子核的势场以及其它大量电子的平均势场中运 动,这个势场也是周期性变化的,而且它的周期与晶格周 期相同。
原子间通过共价键结合。
共价键的特点:饱和性、方向性。
⑴ 饱和性:共价键的饱和性是指,一个原子只能形成一定数目的共价 键。由于共价键是两个原子通过共用各自未配对的电子而形成的,而原 子的电子结构是确定的,某一原子在与其它原子化合时,能够形成共价 键的数目就完全取决于原子外层电子中未配对的电子数。此乃饱和性的 实质。 ⑵ 方向性:共价键的方向性是指,原子只能在某些特定的方向上形成 共价键。按量子理论,共价键实际上是由于相邻原子的电子云交叠而形 成的,电子云交叠程度的大小决定了共价键的强弱。因此,原子形成共 价键时,总是取电子云密度最大的方向。这就是方向性的根源。
半导体物理 第1章 半导体中的电子态
常用参数
• 晶格常数:硅 0.543nm, 锗 0.566nm
• 密度: Si : 5.00*1022cm-3,
•
Ge: 4.42*1022cm-3
• 共价键半径: Si : 0.117nm,
•
Ge: 0.122nm.
2.闪锌矿型结构和混合键
在金刚石结构中,若由两 类原子组成,分别占据两 套面心立方,则称为闪锌 矿结构。
堆积方式:III、V族原子构成双原子层堆积,每 一个原子层都是一个[111]面, III、V族化合物具 有离子性,因而构成一个电偶极层。
IIIV:[111]方向,III族原子层为[111]面。
与金刚石结构一样,闪锌矿结构的III-V化合物都由 两个面心立方结构套构而成。称这种晶格为双原子 复式晶格。晶格的周期性原胞中含有两个原子:一 个是III原子,另一个是V族原子。
结果:
n个靠得很近的能级 “准连续”带, 即形成了能带.
允带:能级分裂形成的每一个能带。
禁带:能级间没有能带的区域。
能带的特点: 1、在原有的能级基础上发生 分裂(分裂后的能级数与原子数有关),不 会大幅度改变原有的能级结构
★半导体中的能级分裂情况
原子能级 能带
能级电子的“座位” 能带总的座位集合 电子只能在这些位置上 作“跳跃”运动,能量 是突变、非连续变化的。 实际是准连续变化。
a.晶体中电子的波函数与自由电子的波函数形
式相似。反映出了晶体中电子的波函数实 际上相当于一被调幅的自由电子波。
且uk(x)= uk(x+a)
b.在空间某点找到电子的概率与波函数的强 度成比例。在晶体中找到电子的概率是周期 性变化的。反映出电子共有化运动的特征。
|Ψ|2=ΨkΨk* =uk(x)uk* (x) c. 与自由电子中的波函数一样,波矢k描述晶体中电 子的共有化运动状态。注意: 晶体中电子波函数K 取值非连续. 只要晶体边界确定,电子波函数的k值 即可被确定,与其它参量无关。
半导体物理第1章半导体的晶体结构与价键模型
•成键的条件:成键原子得失电子的能力相当或是差别较小 •非极性共价键:元素半导电体子科的技大相学 邻刘诺原子吸引电子的能力一样,
共用电子对不会发生偏移
共价键的特征
方向性
原子只在特定方向形成共价键 键之间的夹角都是109°28´
饱和性
每个原子的价电子层都是满的
离子键:原子首先转变为正、负离子,然后正、负离
例:晶面指数?
晶面指数(1/2, 1/2, 1/1)-> (112)
电子科技大学 刘诺
弥勒(Miller)指数:晶向指数
晶向指数描述特定的晶向
电子科技大学 刘诺
第1章 半导体的晶体结构与价键模型
1.1 材料和晶体的分类 1.2 晶面、晶向和勒指数 1.3 原子价键 1.4三维晶体结构的定性描述 1.5π电子体系晶体结构简介 1.6小结
• 晶向指数:[hkl] • 等效晶向指数:<hkl> • 等效晶面指数:{hkl}
电子科技大学 刘诺
弥勒(Miller)指数:晶面指数
(110)面
电子科技大学 刘诺
晶面指数
确定方法
(110)面
晶面与坐标轴相交
确定晶面在三个坐标轴上的截距(1, 1, ∞ )的数值 取截距的倒数(1/x, 1/y, 1/z)= (110) (1/x, 1/y, 1/z)乘以电子最科技小大学公刘诺分母= (110)
[2] 黄昆,谢希德.半导体物理学。北京:科学出版社,1965.
[3] 黄昆,韩汝琦.半导体物理基础。北京:科学出版社,1979.
[4] 刘恩科,朱秉升,罗晋生. 半导体物理学。北京:电子工业出版社,2005.
[5] 萨支唐. 固态电子学基础。上海:复旦大学出版社,2002.
半导体物理第一章
半导体物理第一章
20
1.2.2 半导体中电子的状态和能带
波函数:描述微观粒子的状态 薛定谔方程:决定粒子变化的方程
8h N22 m o0d d22rV(r)(r)E(r)
一、孤立原子的能级
半导体物理第一章
15
二、电子共有化运动
➢ 当孤立原子相互接近形成晶体时,不同原子的内外各电子 壳层之间就有一定程度的交叠,相邻原子最外壳层交叠较 多(共有化运动也显著),内壳层交叠较少;
➢ 原子组成晶体后,由于电子壳层的交叠,电子不再完全局 限在某一个原子上,可以由一个原子转移到相邻的原子上 去,因而电子将可以在整个晶体中运动,即电子的共有化 运动;
半导体物理第一章
11
1.1.3 纤锌矿型结构
材料:Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体。 如:CdS、ZnSe、ZnS
➢ 化学键:共价键+离子键
➢ 纤锌矿型结构特点: 与闪锌矿型结构相接近,也是以正四面体结构为基础
构成的,但是它具有六方对称性,而不是立方对称性,如 下图所示。
半导体物理第一章
12
它是由两类原子各自组成的六方排列的双原子层堆积 而成,但它只有两种类型的六方原子层,它的(001)面规则 地按ABABAB…顺序堆积。
半导体物理第一章
2
1.1 半导体的晶体结构和结合性质
晶胞(补充)
一、基本概念
➢晶格:晶体中原子的周期性排列称为晶格。 ➢晶胞:晶体中的原子周期性排列的最小单元称为晶胞,用
来代表整个晶格,将此晶胞向晶体的四面八方连续 延伸,即可产生整个晶格。
半导体物理第一章
I I 则可得到半径r处电场为: E (r ) j / R 2 rx j 2 r
相应的电势函数为:
RI V (r ) ln r const. 2
四探针情况下,设探针间距离 相等,均为S。则:
如果忽略迁移率随着杂质浓度的变化,则 1 R xj q N ( x)dx
0
显而易见,方块电阻与杂质总量成反比。因此,在扩散工 艺中,常用R 标志扩散杂质的总量。
看书自学:
方块电阻的测量与结深测量相结合,可以 估算表面杂质浓度。 根据方块电阻表示扩散薄层中杂质总量这 一物理概念,通过测量方块电阻可以求出扩 散薄层中的杂质分布。
半导体物理
主讲教师:刘金平
半导体物理是凝聚态物理领域中的一个活跃分支,也 是半导体科学技术发展的重要物理基础。半个多世纪以来, 半导体物理自身不仅在晶态半导体、非晶态半导体、半导 体表面、半导体超晶格、纳米半导体和有机半导体等领域 中都获得了令世人瞩目的重大进展,而且它还是一系列新 材料、新结构、新效应、新器件和新工艺产生的源泉。因 此,此课程的学习对日后从事半导体领域研究及其他新兴 交叉学科如纳米科学的研究尤为重要。
1.5 四探针法
电阻率是半导体单晶材料的主要技术指标。四探针法是 目前检测硅单晶电阻率的主要方法。
减除接触电阻的问题 1、4探针间电流I;2、 3探针间的电势差V
c是与样品几何参数和探针间 距有关的系数。
V c I
半球上电流密度是均匀分布的:
j
I
2 r 2
则半球上电场强度: j I I E ; 2 2 2 r 2 r 1 q 点电荷场强公式:E 4 0 r 2
(1)施主掺杂
纯Si
V主族元素掺杂(P,As,Sb,Bi)
半导体物理学刘恩科第一章p
2p
2p
2p
2s
2s
2s
• 电子受到另一原子的作用 能级分裂 • 两个原子越靠近,能级分裂越厉害!
1s 原子间距
➢ 晶体中原子周期性紧密排列 电子共有化运动:
• 电子只能在相似壳层中转移
• 只有最外层电子的共有化运动才显著!(交叠程度)
电子只能在相似壳层中转移 能级分裂成N个:一般N 很大
3. 具有波粒二象性的微观粒子,其运动不能再 用经典力学来描述,粒子状态用波函数表示, 而决定其状态变化的方程是薛定谔方程,而 不再是牛顿运动方程
➢自由电子的波函数和能量
自由电子:在恒定势场中运动,即处处不受力 U (r) U0
先看最简单情形:一维,质量 m0,且取 U0 0
故自由电子的波函数为:
化学键: 共价键+离子键 (离子键占优势)
(001)面是两类原子各自 组成的六方排列的双原子 层按ABABA…顺序堆积
➢纤锌矿型结构和混合键
– Ⅱ-Ⅵ族二元化合物半导体也可为纤锌矿型结构:
➢基础结构仍为
正四面体结构
➢具有六方对称性
晶格常数 a、c
➢复式晶格
c
a
• 纤锌矿型结构和混合键
– 注意几点:
2. 三维情形: 沿 k方向传播的平面波
(r,
t
)
(r)
f
(t)
Aexp[i(k
r t )]
3. 自由电子波函数的强度| (r, t) |2 A2,说明任意时刻
在空间中任意一点找到自由电子的几率相等,这符合
其“自由”之意
➢自由电子的波函数和能量
– 注意几点:
4. 自由电子能量、动量、速度与波矢之间的关系为:
《半导体物理第一章》课件
3
1.3.3 pn结的I-V特性
详细解释pn结的I-V特性曲线,包括正向和反向电流的变化。
1.4 光电应及其在太 阳能电池中的应用。
2 1.4.2 光电二极管
阐述光电二极管的原理 及其在通信和显示技术 中的应用。
3 1.4.3 光电池
讨论光电池的构造、工 作原理和应用领域。
1.5 半导体器件的制作技术
晶体生长
介绍半导体晶体生长方法和技 术,如Czochralski法和液相外 延。
晶体制备
讨论半导体晶体的切割、抛光 和清洗等制备工艺。
制作半导体器件
概述半导体器件制作的关键步 骤,包括光刻、扩散和金属沉 积等工艺。
1.6 总结与展望
1.6.1 半导体物理的应用前景
评估半导体物理在电子技术、通信和能源领域 的未来发展。
1.1 半导体材料的基本性质
半导体的定义
介绍半导体的定义,以及其与导体和绝缘体的区别。
半导体的基本性质
探讨半导体的导电性、禁带宽度、载流子等基本特性。
半导体的能带结构
解释能带理论,讨论导带与禁带之间的能量差异对电子行为的影响。
1.2 掺杂半导体
1.2.1 掺杂的概念
介绍半导体掺杂的概念,包 括n型和p 型半导体的区别。
《半导体物理第一章》 PPT课件
An engaging and comprehensive introduction to the fundamental properties of semiconductor materials and their applications in electronic devices.
1.2.2 正、负离子掺 杂
说明正、负离子掺杂对半导 体电子结构的影响。
半导体物理学(第一章)
n=1 2个电子
15
Si 半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
原子的能级的分裂 4个原子能级的分裂 个原子能级的分裂
孤立原子的能级
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半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
大量原子的能级分裂为能带
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半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
Si的能带(价带、导带和带隙) 的能带(价带、导带和带隙)
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k = kx + k y + kz
2 2 2
2
半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
具有确定能量E的全部 点 具有确定能量 的全部k点 的全部
r r r r k = kx + k y + kz
构成一个封闭的曲面, 构成一个封闭的曲面,称为等能面 理想的等能面为k空间的一个球面 理想的等能面为 空间的一个球面
4、无论是自由电子还是晶体材料中的电子,他们 、无论是自由电子还是晶体材料中的电子, 在某处出现的几率是恒定不变的。 在某处出现的几率是恒定不变的。 ( ) 5、分别叙述半导体与金属和绝缘体在导电过程中 、 的差别。 的差别。
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半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
与波矢k的关系 三、半导体中能量E与波矢 的关系 半导体中能量 与波矢
gap gap
3
半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
硼 铝 锌 镓 镉 铟
碳 硅 锗 锡
氮 氧 磷 硫 砷 硒 锑 碲
4
半导体物理学 黄整
第一章 半导体中的电子状态
运动的描述
Minkowski空间:
x,y,z,ict px,py,pz,iE/c
半导体物理学-第1章
2015-5-7
Prof.LEI
2015-5-7
Prof.LEI
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§1.2 半导体中的电子状态与能带
零势场与周期势场中的电子状态
一、零势场中自由电子的能量状态
自由电子的能量 E 和动量 P 与描述其波动性的平面波 频率 和波矢 k 之间的关系分别为 E h p hk or p k
k E 2m0
§1.1 半导体中的晶体结构
2、闪锌矿结构和混合键 III-V族化合物半导体绝大多数具有闪锌矿结构。 闪锌矿结构由两类原子各自组成的面心立方晶胞 沿立方体的空间对角线滑移了1/4空间对角线长度套 构成的。每个原子被四个异族原子包围。 双原子层堆积
原子键合:共价键 + 离子键,共价键合占优。
2015-5-7 Prof.LEI 6
杂化轨道理论(hybrid orbital theory)是1931年 由Pauling 等人在价键理论基础上提出,在成键能力、 分子的空间构型等方面丰富和发展了价键理论。 1、杂化轨道理论的要点:
1)在成键过程中,因原子间的相互影响,同一原 子中几个能量相近的不同类型的原子轨道(波函数)可 以进行线性组合,重新分配能量和确定空间方向,组成 数目相等的新的原子轨道。这种轨道重新组合的过程称 为杂化(hybridization),杂化后形成的新轨道称为 杂化轨道(hybrid orbital)。
图1-10 一维周期势场中电子的E(k)函数及其与自由电子E(k)函数(虚线)的比较
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半导体的晶体结构 半导体中的电子状态和能带 半导体中电子运Байду номын сангаас 半导体中的导电机制 回旋共振 硅锗能带
1 半导体的晶体结构
金刚石结构
第 IV 族元素半导体材料硅、锗原子最外层都具有四个
价电子。大量的硅、锗原予组合成晶体靠的是共价键 结合,它们的晶格结构和金刚石一样都属于金刚石型 结构。这种结构的特点是:每个原子周围都有四个最 近邻的原子,组成一个正四面体结构。金刚石型结构 的结晶学原胞是立方对称的晶胞。这种晶胞是两个面 心立方晶胞沿立方体的空间对角线互相位移了四分之 一的空间对角线套构而成。原胞含2个原子。
2m0 x 2
波函数的形式(布洛赫波):
( x) u k ( x)e 2ikx , u k ( x) u k ( x na ), E (k ) E (k )
ki
ni , i x, y, z, n为整数 L
n a
周期性边界条件得出波矢只能取分立的数值,描述晶体中 电子共有化运动的量子状态 每一能带共有N个能级,N为晶体的固体物理学原胞数, 每一个k值对应一个能量状态(能级)
n E (k ) E (k ) a
导体、半导体、绝缘体 电子填充能带的情况来看,固体能够导电,是固体中的电子在 外电场作用下作定向运动的结果。 从能带论来看,电子的能量变化,就是电子从一个能级跃迁到 另—个能级上去。满带中的电子并不形成电流,对导电没有贡 献如内层电子对导电没有贡献。对于被电子部分占满的能带, 在外电场作用下,电子可从外电场中吸收能量跃迁到未被电子 占据的能级去,形成了电流,起导电作用,常称这种能带为导 带。如金属是良好导体。 半导体的能带下面是巳被价电子占满的满带(其下面还有为内层 电子占满的若干满带),亦称价带,中间为禁带.上面是空带。 绝对零度时,在外电场作用下并不导电。但当外界条件改变, 满带中有少量电子会被激发到上面的空带下去,空能带底部则 有少量电子,在外电场作用下,这些电子将参与导电;同时、 满带中少了一些电子,在满带顶部附近出现一些空的量子态变 成了部分占满的能带,在外电场的作用下,仍留在满带中的电 子也能够起导电作用。满带电子的这种导电作用等效于把这些 空的量子状态看作带正电荷的准粒子的导电作用,常称之为空 穴。半导体中导带的电子和价带的空穴均参与导电,这是与金 属导体差别。 绝缘体的禁带宽度很大,激发电子需要很大能量,在通常温度 下.能激发到导带的电子很少
纤锌矿结构 纤锌矿型结构和闪锌矿型结构相接近,它也是以正四 面体结构为基础构成的,但是它具有六方对称性。它 是由两类原子各组成六方排列的双原子层堆积而成, 但它只有两种类型的六方原子层,它的(001)面规则地 按ABAB…顺序堆积,从而构成纤锌矿型结构。 氮化物和硫化物半导体材料等。
2 固体中电子状态和能带
本征半导体导带机制
导带上电子和价带上空穴共同参与导电.这就是本征
半导体的导电机构
电流密度=电子总电流 无外场条件下 dp dk f 0 dt dt 1 dE k dk m
J q 0
dp i dk 0 有外场条件下 f dt dt J q 0
dE dE dk dk
f
dk dt
电子的加速度:
d 1 1 dE 1 d 2 E dk f d 2E f a ( ) 2 * dt h dt dk h dk 2 dt h dk 2 mn
有效质量的意义
半导体中的电子在外力作用下.描述电子运动规律的方
程中质量是有效质量而不是电子的惯性质量m。这是因 为方程中电子所受到的外力并不是电子受力的总和,没 有考虑它也要受到半导体内部原子及其它电子的势场作 用。 电子在外力作用下运动时,电子的加速度应该是半导体 内部势场和外电场作用的综合效果。因内部势场的具体 数学形式及加速度求解十分困难,引进有效质量后可使 问题变得简单,内部势场的作用则由有效质量加以概括。 因此,有效质量的意义在于它概括了半导体内部势场的 作用,使得在解决半导体中电子在外力作用下的运动规 律时,可以不涉及到半导体内部势场的作用。 有效质量可以直接由实验测定,方便解决电子的运动规 律。
4 本征半导体的导电机制
导电现象
如果一个能带中所有的状态都被电子占满,那么,即
使有外加电场,晶体中也没有电流,即满带电子不导 电 绝对温度为零时,纯净半导体的价带被价电子填满, 导带是空的,也不导电。 在一定温度下,并末填满的能带才有一定的导电性, 即不满的能带中的电子才可以导电。
在球坐标系中,电子受到势场 V (r ) 4 r 0 Sch.eq:
2 2 [ V (r )] (r , , ) E (r , , ) 2m0
q2
分离变量: 电子的能量 波函数
(r, , ) Rnl (r )Ylm ( , )
能带的概念 单原子中的电子:电子在原子核的势场和其它电子的 作用下,它们处于不同的能级,即所谓电子壳层。同 一能级中的电因角动量不同,处于不同支壳层的电子 分别用s、p、d等对应于确定的能量。 出现几率:
• 相互靠近的双原子:电子云产生交叠,能级分裂
电子由一个原子转移到相邻的原 子去,因而,电子将可以在整个晶 体中运动。
2 2 ( x) E ( x) 2 2m0 x
( x, t ) Ae
2i ( kxvt )
( x)e
2ivt
, ( x) Ae
2ikx
波函数的振幅及其物理意义: A2
h2k 2 E , p hk m0 2m0
单电子的原子中电子运动
主量子n
1 2
轨道量子l
0 0 1
磁量子m
0 0 -1,0,1 0 -1,0,1 -2,-1,0,1,2
总轨道量子数 1s 2s 2p 3s 3p 3d 1 1 3 1 3 5 n2
自旋s
±l
容纳电子数 2 8
3
0 1 2
18
n
n-1,…, 1,0
±l,
2n2
晶体中的电子运动
单电子近似:晶体中的电子是在周期性排列且固定不动的 原子核的势场以及其它大量电子的平均势场中运动,这个 势场也是周期性变化的,而且它的周期与晶格周期相同。 一维晶格中任一处x的势场: ( x) V ( x na) V 2 2 Sch. Eq. ( x) V ( x) ( x) E ( x)
第二布里渊区: 。。。。。。
1 1 k 2a 2a
1 1 1 1 k , k a 2a 2a a
能量也是晶格的 周期性函数,k和 k+n/a 表 示 相 同 的态。考虑能量 状态只要考虑第 一区即可。常称 这—区域为简约 的 布 里渊区 , 这 一区域内的波矢 为简约波矢。E为 k的多值函数。
•原子相互接近形成晶体时,原子组成晶体产生壳层交叠.电子 可以在整个晶体中运动-共有化运动。因为原子相似壳层上的电 子才有相同的能量,电子只能在相同壳层中转移。 •从能量角度来看,每个原子上的电子除受到本身原子的势场作 用外,还要受到周围原子势场的作用,N个原子组成的晶体结果 是一度简并的能级都分裂成N个彼此相距很近的能级,这N个能 级组成一个能带。分裂的每一个能带都称为允带,允带之间因没 有能级称为禁带
自由电子运动
动量: p m0 E p 2 / 2m0 能量: 德波(De Broglie): (r , t ) Ae2i ( kr vt ) ν是波频,,k是波矢 一维情况下,沿x方向运动的电子: 根据Sch. Eq.
p hk , E hv
硅和锗的晶格常数分别为0.543089和0.565754nm, 从而求得硅每立方厘米体积内有5.00×1022个原子, 锗有4.42×1022个原子,两原于间最短距离硅0.235nm, 锗为0.245nm,因而它们的共价半径分别为0.117和0.122nm。
闪锌矿型结构
由化学元素周期表中的III-V族化合物族元素由Al ,Ga和In和N, P等合成的,都是半导体材料,它们 绝大多数具有闪锌矿型结构。 与金刚石型结构类似,所区别的由不同原子构成 ,两种原子各自组成的面心立方晶格,沿空间对角 线彼此位移四分之一空间对角线长度套构而成。与 IV族元素半导体的情况类似,这类共价性的化合物 半导体中,共价键也是以sp3杂化轨道为基础的。 与IV族元素半导体相比有一个重要区别,这就是 在共价性化合晶体中,结合的性质具有不同程度的 离子性,常称这类半导体为极性半导体。
半导体中电子的平均速度 和加速度
p k
2 k 2 E * 2mn dE dk
根据量子力学概念,电子的 运动可以看作波包的运动, 波包的群速就是电子运动的 平均速度
k * mn
* 2 k / mn ,
1 dE dk
电子加速度:在外电场中,电子受力而做加速运动 电子在外场受到的作用力:f f dE dE dt dt 时间内电子能量变化:dE=fdS=fυdt, h dk
2k 2 E (k ) E (0) * 2mn
1 d 2E E (k ) E (0) ( 2 ) k 0 k 2 2 dk
在能带顶部做相似处理 :
1 d 2E 1 ( 2 ) k 0 * 2 dk mn
2 k 2 E (k ) E (0) * 2mn
1 d 2E 1 ( 2 ) k 0 * 2 dk mn
导带
半满带
导带
禁带
价带
禁带
价带 满带
绝缘体、半导体和导体的能带示意图
禁带宽度