万级净化车间

万级净化车间

万级净化车间是将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将十万级净化车间内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。净化车间亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化车间最主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度日温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为净化车间（洁净室）。

万级净化主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现洁净效果。室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，拌有回流或涡流，不同等级的净化车间，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现。

十万级、万级和百级洁净车间的净化级别标准：

万级净化车间空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净厂房空气洁净度的测试，应符合如下表规定：

万级净化车间标准包括哪些内容？

1.尘粒最大允许数（每立方米）；

2.大或等于0.5微米的粒子数不得超过350000个，大或等于5微米的粒子数不得超过2000个；

3.微生物最大允许数；

4.浮游菌数不得超过100个每立方米；

5.沉隆菌数不得超过3个每培养皿。

压差：相同洁净度等级的净化车间压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻净化车间之间压差要≥5Pa，净化车间与非净化车间之间要≥10Pa。

万级净化车间对温度、湿度无特殊要求时，以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜，温度一般控制在冬季20~22℃；夏季24~26℃；波动±2℃。冬季净化车间湿度控制在30－50％，夏季净化车间湿

度控制在50－70％。

配电：净化车间（区）的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx；辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。

噪声控制

1、动态测试时，万级净化车间内的噪声级不应超过70分贝A。

2、静态测试时，万级乱流净化车间的噪声级不宜大于60分贝A。

万级净化车间参数要求：

换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次；100≥500次.压差：

主车间对相邻房间≥5Pa

平均风速：10级、100级0.3－0.5m/s；温度冬季＞16℃；夏季＜26℃；波动±2℃。

温度45－65％；GMP粉剂车间湿度在50％左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。

噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10％－30％；照度300LX。千级净化车间和万级净化车间的区分标准：

(一)净化车间之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，净化车间等级以｀M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。美国联邦标准FS209D 都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class1，Class2，Class3……Class8表示，最好的等级为Class1，最差则为Class8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取

其指数而得。(二)净化车间控管之项目 1.能除去空气中飘游之微尘粒子。 2.能防止微尘粒子之产生。 3.温度和湿度之控制。 4.压力之调节。5.有害气体之排除。6.结构物与隔间之气密性。7.静电之防制。8.电磁干扰预防。9.安全因素之考虑。10.节能之考量。

万级净化车间分类

1、工业净化车间——以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。

2、生物净化车间，主要控制有生命微粒（细菌）与无生命微粒（尘埃）对工作对象的污染。又可分为；A、一般生物净化车间，主要控制微生物（细菌）对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀，内部一般保证正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业净化车间。例：制药工业、医院（手术室、无菌病房）食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、理化检验室、血站等。

B、生物学安全净化车间：主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。例：细菌学、生物学、洁净实验室、物物工程（重组基因、疫苗制备）

万级净化车间所需检测项目

1.气流速度及其均匀度检测，这项检测是净化车间效果的其他各项检测的前提，这

项检测的目的是为了明确单向流净化车间工作区的平均气流通度及其均匀性。

2.系统或房间的风量检测。

3.室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。

4.自净时间的检测。通过确定自净时间，查明净化车间内部发生污染

时恢复其原有洁净度的能力。

5.气流流型检测。

6.噪声的检测。

7.照度的检测。照度检测的目的是为了判明净化车间的照度水平和照度的均匀性。

8.振动的检测。振动检测的目的是为了判明净化车间各表明的振动幅度。

9.温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测净化车间的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测净化车间中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。

10.总风量和新风量的检测。

万级净化主要靠洁净的气流不断稀释室内的空气，将室内的污染逐渐排出，来实现洁净效果。室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动，拌有回流或涡流，不同等级的净化车间，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现.。目前有十万级和三十万级两种标准。

万级净化车间的作用

净化车间最主要作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「净化车间」。世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，净化车间等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。

美国联邦标准FS209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本