硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响

硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响王传新;汪建华;满卫东;马志斌;王升高;傅朝坤;李克林;康志成
【期刊名称】《人工晶体学报》
【年(卷),期】2004(33)6
【摘要】以WC 6 %Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。

在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜。

研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响。

结果表明 ,在70 0℃左右的低温碳化 ,TiC结构致密 ,而在85 0℃左右的高温碳化 ,TiC呈疏松的多孔组织 ,在CH4 Ar等离子体中碳化则85 0℃左右仍能获得致密的TiC层。

【总页数】4页(P1048-1051)
【关键词】附着力;基体;碳化;制备;脱碳;装置;磁控溅射法;金刚石薄膜;氢等离子体;过渡层
【作者】王传新;汪建华;满卫东;马志斌;王升高;傅朝坤;李克林;康志成
【作者单位】武汉化工学院省微波等离子体化学与新材料重点实验室;自贡硬质合金有限公司;中国科学院等离子体物理研究所
【正文语种】中文
【中图分类】O484
【相关文献】
1.钛过渡层与硬质合金基体表面结合状况对金刚石薄膜附着力的影响 [J], 王传新;汪建华;满卫东;傅朝坤;李克林;马志斌;王升高;康志成
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5.W过渡层结合界面对金刚石薄膜在WC-6%Co上的附着力的影响 [J], 王传新;汪建华;满卫东;马志斌;王升高;康志成
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