纳米压印技术的产业化问题分析

纳米压印技术的产业化问题分析
李芳;樊丽;陈晨;张静
【期刊名称】《集成电路应用》
【年(卷),期】2024(41)4
【摘要】阐述纳米压印技术是一种新型的微纳加工先进制造技术,具有分辨率高、产量高和成本低等优点,在光学、集成电路、数据存储、生命科学等领域有着广泛的应用前景。

介绍纳米压印工艺原理,分析纳米压印技术的产业化问题,并根据实际状况,给出中国纳米压印产业化发展的建议。

【总页数】5页(P13-17)
【作者】李芳;樊丽;陈晨;张静
【作者单位】上海市纳米科技与产业发展促进中心
【正文语种】中文
【中图分类】TN05
【相关文献】
1.纳米压印产业化项目落地雁栖开发区
2.复制纳米精密图案的纳米压印技术
3.纳米压印技术制备硅基有序一维、二维纳米结构
4.纳米压印产业化项目落户北京怀柔雁栖开发区
5.基于纳米压印技术的GaAs纳米柱阵列ICP刻蚀工艺及其光学特性研究
因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。