电池片工艺流程

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光伏电池片的工艺流程

1.硅材料准备：光伏电池片一般选用高纯度的多晶硅或单晶硅作为基材。硅材料需要进行干燥处理，以去除杂质和水分。

2.硅片生长：硅片生长是将高纯度硅材料通过熔化再结晶的方式制备

硅单晶或多晶片。单晶硅片生长主要通过克里斯托夫棱镜法或气相转化法。多晶硅片生长主要通过一直拉长法或静液旋转法。

3.硅片切割：在硅片生长完毕后，需要将硅锭切割成薄片，称为硅片。硅片切割可以使用线切割机或切割切割机进行。

4.磨边清洗：硅片在切割后会产生边角和切割液，需要进行磨边处理

和清洗。首先使用化学溶液清洗硅片表面的污染物，然后使用机械磨边设

备对边角进行修整。

5.渗铁等离子体增塑：硅片在增塑过程中会通过磁控溅射等技术在表

面形成一层铁硅合金薄膜，这层薄膜能够提高硅片的光电转换效率。

6.瓦斯碳化：硅片在瓦斯碳化过程中会通过化学反应在表面形成一层

非晶硅薄膜，从而提高硅片的导电性和光吸收能力。

7.电极成型：电极成型是将导电金属沉积到硅片的两侧，用于收集并

导出电子。一般使用金属铜或铝作为电极材料，通过真空沉积、压制和烧

结等工艺将电极材料与硅片结合。

8.清洗和检验：在制造过程中，需要对硅片进行清洗和检验。清洗可

以去除硅片表面的污染物，而检验则可以检测硅片的质量和性能。

9.包装和组装：最后，经过测试和质量控制的光伏电池片会被包装和

组装成太阳能光伏电池模组或组件，以供应到市场上使用。

综上所述，光伏电池片的工艺流程包括硅材料准备、硅片生长、硅片切割、磨边清洗、渗铁等离子体增塑、瓦斯碳化和电极成型等步骤。这些工艺步骤的完整和精细是保证光伏电池片高效率和高质量的关键。

太阳能电池片工艺流程及原理

一、简介

太阳能电池片，作为太阳能光伏发电系统的核心组成部分，能够将太阳能转换为直流电能。其工艺流程涉及多个复杂步骤，每个步骤都对最终的性能和效率有着重要影响。了解太阳能电池片的工艺流程及工作原理，有助于更好地优化生产过程，提高光电转换效率。

二、太阳能电池片工艺流程

1.硅片准备：首先，通过切割硅锭得到硅片，并进行清洗，去除表面的杂质和尘埃。硅片的品质和厚度对电池片的性能有着至关重要的影响。

2.磷掺杂：在硅片上施加磷元素，通过扩散技术将磷元素掺入硅片中，形成n型半导体。磷的掺杂浓度决定了电池片的导电性能。

3.镀膜：在硅片表面镀上一层减反射膜，以减少表面反射，提高光吸收效率。常用的减反射膜材料包括二氧化硅和氮化硅。

4.印刷电极：使用丝网印刷技术在硅片背面印刷电极，并烘干。电极的形状和尺寸影响电池片的电流收集能力。

5.烧结：通过高温烧结使电极材料与硅片紧密结合，提高电极的导电性能。

6.测试和分选：对电池片进行电性能测试，并根据测试结果进行分选。合格的电池片进入下一道工序，不合格的则进行回收处理。

7.包装：将合格的电池片进行包装，以保护其在运输和存储过程中的性能。包装材料一般选用防潮、防震的材料。

三、工作原理

太阳能电池片的工作原理基于光伏效应，即光子照射到半导体材料上时，光子能量使电子从束缚状态进入自由状态，从而产生电流。具体来说，当太阳光照射到硅片上时，光子能量激发硅中的电子，使电子从价带跃迁到导带，从

而在价带和导带之间产生电子-空穴对。在电场的作用下，电子和空穴分别向电池片的负极和正极移动，形成光生电流。此时，如果将电池片的正负极短路，则会有电流流过电路，从而实现光电转换。

电池片工艺流程

电池片工艺流程是指太阳能电池的制造过程，主要包括硅片制备、铝化膜、铝电极、N型掺杂、P型掺杂、金属化和制品检验等环节。下面将详细介绍电池片工艺流程。

硅片制备是电池片制造的第一步。先将硅棒放入电炉进行高温熔化，然后从熔融的硅池中拉扯出硅棒，再用电锯将硅棒切割成薄片，形成硅片。

铝化膜是指在硅片表面形成一层氧化铝薄膜，用于提高光电转换效率。首先，将硅片放入酸性溶液中进行清洗；然后，将硅片在氟酸溶液中进行蚀刻，去除氧化层；最后，将硅片浸泡在氧化铝溶液中，在表面形成一层薄膜。

铝电极是电池片上的电极，用于将太阳能转化为电能。通过在硅片表面涂覆一层铝粉末，并进行高温烧结，将铝粉末固定在硅片上，形成铝电极。

N型掺杂和P型掺杂是为了改变硅片材料的电性质，使其在光照下产生电荷。通过在硅片表面喷射掺杂源，如硫酸或磷酸，然后进行高温退火处理，使掺杂源扩散到硅片内部，形成N 型和P型区域。

金属化是为了使电流能够从硅片中流出，通过在硅片上涂覆一层金属化膜，如银膏或铝膏，并进行高温烧结，将金属固定在硅片上，形成金属接触电极。

制品检验是在制程中和制程结束后对电池片进行检验和测试，以确保其质量和性能。主要包括外观检查、光感度测量、电流电压特性测试等。

总结起来，电池片工艺流程是一个复杂而精细的制造过程，涉及到多个步骤和工艺。这些工艺通过将硅片制备、铝化膜、铝电极、N型掺杂、P型掺杂、金属化和制品检验等环节结合在一起，最终形成高效的太阳能电池片，为太阳能发电提供了可靠的技术支持。

电池片工艺流程

《电池片工艺流程》

电池片是太阳能电池的核心部件，其制造工艺流程非常复杂，包括多个环节的加工和制造。下面将简要介绍电池片的工艺流程。

首先是硅片的准备。硅片是电池片的基础材料，需要经过多道工艺加工，包括去毛刺、清洗、切割和表面处理等步骤。准备好的硅片将被用于制造电池片的基板。

接下来是P-N接触。这一步骤是将硅片进行掺杂和扩散，形

成P型和N型半导体结构。这样就形成了P-N结构，为电池

片的光伏特性奠定了基础。

然后是电极的制备。电池片需要在表面涂覆金属电极，以便进行电流的输送。制备电极需要经过多次的真空镀膜、光刻、腐蚀和清洗等工艺步骤。

最后是包埋封装。电池片在制作完成后需要进行包埋封装，使其具有良好的外部保护性能。这一步骤包括将电池片封装在透明的玻璃或塑料基板上，并进行密封处理。

以上就是电池片的工艺流程简要介绍。整个流程需要多道工艺步骤协同进行，才能最终制造出高性能和高质量的电池片产品。电池片的工艺流程不仅需要高精度的设备和技术支持，还需要不断的创新和改进，以适应不断发展的太阳能产业需求。

光伏电池片工艺流程

《光伏电池片工艺流程》

光伏电池片是一种能够将太阳能直接转化为电能的设备，它的制造工艺流程非常复杂，需要经过多道工序才能完成。下面将详细介绍光伏电池片的工艺流程。

1. 切割硅片：首先是从硅锭中切割出薄片，这需要用到切片机。硅片的质量和厚度将直接影响光伏电池片的性能。

2. 清洗和去污：切割出的硅片需要经过清洗和去污工序，确保表面干净无杂质。

3. 扩散和磷化：在高温下，硅片表面会进行扩散过程，将磷等元素渗入硅片中，形成N型或P型结构。

4. 沉积反射层：通过化学气相沉积或物理气相沉积等方法，沉积一层反射层，提高硅片对光的吸收效率。

5. 光刻：利用光刻胶形成光刻胶膜后，透过掩膜在硅片上进行曝光和显影，形成期望的图形。

6. 微观雕刻：使用化学溶液对光刻后的硅片进行雕刻，形成电极和金属导线。

7. 输送和测试：将制造好的光伏电池片进行输送和测试，确保其性能符合要求。

总的来说，光伏电池片的制造工艺流程十分复杂，需要高精度的设备和严格的操作流程。随着技术的不断发展，光伏电池片的工艺流程也在不断改进，以提高光伏电池片的能量转化效率和降低制造成本。

电池片工艺过程介绍

首先，硅片加工是电池片制造的第一步。硅片是制造太阳能电池的基

础材料，需要经过切割、打磨和抛光等工艺，使其表面平整化。

接下来，清洗是为了去除硅片表面的杂质、尘埃和油污等。清洗工艺

采用一系列化学溶液和超声波清洗设备，确保硅片表面的纯净和平滑。

然后，氧化是将硅片表面形成氧化硅膜。氧化工艺可以提高硅片的密度，增加电池片的光吸收能力，并防止多余的反射光。

扩散是使硅片表面湿化并注入杂质，以控制电池片的电性能。在扩散

过程中，硅片被加热至高温，使掺杂源中的材料扩散到硅片中，形成p-n 结。

接下来是沉积层工艺，通过将金属或透明导电材料沉积到硅片上，形

成电池片的正负电极。沉积工艺可采用物理气相沉积或化学气相沉积等方法。

光刻是将电池片上的主结构进行设计，并使用光刻胶进行掩膜，接着

用紫外线照射使其硬化。再使用腐蚀剂进行腐蚀，逐渐将光刻胶上的图形

形成。

接下来是腐蚀工艺，通过蚀刻将光刻胶保护的部分硅片或沉积层材料

去除，以形成电池片的结构或孔洞。

最后，进行金属化工艺，即为电池片制造铝和银的印刷电极。金属化

工艺可以提高电池片的导电性能，从而提高太阳能电池的效率。

以上就是电池片工艺的主要环节。当然，还有其他一些辅助工艺过程，如清洗和测试等。整个工艺过程需要非常精确的操作和严格的控制，以确

保电池片的质量和性能。此外，随着技术的不断进步，电池片工艺也在不断创新和发展，以提高太阳能电池的效率和降低成本。

电池片烧结工艺

电池片烧结工艺是一种重要的电池制备工艺，通过高温烧结技术，将电池片的各个组件牢固地连接在一起，从而形成完整的电池结构。本文将从工艺流程、烧结参数、影响因素以及未来发展方向等方面进行详细介绍。

一、工艺流程

电池片烧结工艺主要包括以下几个步骤：电池片清洗、电池片排布、涂覆电池片浆料、烘干、烧结和冷却。首先，对电池片进行清洗，去除表面的杂质，确保电池片的纯净度。然后，将电池片按照设计要求进行排布，保证电池片的正确位置。接下来，涂覆电池片浆料，浆料中含有活性物质，可以提高电池片的能量密度。然后，将电池片放入烘干设备中进行烘干，使浆料中的溶剂挥发掉。之后，将电池片放入高温烧结炉中，进行高温烧结处理，使电池片的各个组件牢固连接在一起。最后，将烧结完的电池片取出，进行冷却处理，使其达到室温。

二、烧结参数

在电池片烧结过程中，烧结参数的选择对于电池片的性能有着重要的影响。其中，烧结温度是最为关键的参数之一。过高的烧结温度可能导致电池片结构的破坏，而过低的烧结温度则无法实现电池片组件的有效连接。此外，烧结时间也是一个需要注意的参数，过长的烧结时间会增加生产成本，而过短的烧结时间则会降低电池片的

性能。

三、影响因素

电池片烧结工艺的质量和性能受多种因素的影响。首先，电池片的组成材料对烧结效果有着重要影响。不同的材料对于烧结温度和时间的要求不同，需要根据具体的材料特性进行调整。其次，浆料的涂覆均匀度也是影响烧结效果的重要因素。如果浆料涂覆不均匀，可能导致烧结后的电池片出现结构不稳定的问题。此外，烧结过程中的气氛对于电池片的烧结效果也有很大影响。

生产电池的工艺流程

电池是一种能够将化学能转化为电能的设备，广泛应用于各个领域。下面将介绍一种常见的电池生产工艺流程。

1. 材料准备：电池的主要材料包括正极材料、负极材料、电解液和隔膜等。正极材料一般是金属氧化物如锌、锰等，负极材料一般是碳或金属如锌、锰等，电解液一般是酸碱溶液，隔膜则用于隔离正负极之间的直接接触。

2. 搅拌和混合：将正极材料和负极材料分别与电解液进行搅拌和混合，以确保各种材料均匀分布并形成稳定的电化学反应。

3. 配制浆料：将搅拌和混合后的材料加入搅拌机中，加入适量的溶剂进行细致的混合，形成浆料。

4. 过滤和脱泡：将浆料通过过滤器进行过滤，去除其中的杂质和颗粒，以保证电池的纯度和稳定性。之后，用震动器将浆料中的气泡排除掉。

5. 涂布和干燥：将过滤后的浆料涂布在导电膜上，导电膜一般是用金属网或碳纤维制成的。然后将涂布后的导电膜经过烘干机进行干燥，以去除浆料中的溶剂。

6. 压制和成型：将经过干燥的导电膜通过冲压机进行压制和成型，以确保电池片的形状和尺寸符合要求。

7. 组装和封装：将正极片和负极片通过机械臂进行组装，并加入隔膜和电解液。然后将组装好的电池放入密封容器中，通过封口机进行封装，以确保电池内部不受外界环境的影响。

8. 充电和检测：将封装好的电池连接到充电设备，进行充电。在充电过程中，通过电压和电流传感器对电池进行检测和监控，以确保电池的正常运行。

9. 包装和质检：充电完成后，将电池进行清洁和包装。在包装过程中，对电池进行质量检查，包括外观、电性能和容量等方面的检测。

电池片生产工艺流程

电池片是电池的核心部件，是将太阳能光能转化为电能的关键元件。电池片的生产工艺流程通常包括硅片制备、P-N结制备、金属化和封装等环节。

首先是硅片制备。硅片是电池片的基础材料，通常采用单晶硅或多晶硅制备。制备单晶硅的方法有Czochralski法和浮区法，制备多晶硅的方法有溶液法和气相法。在硅片制备过程中，需要对硅片进行切割、抛光和清洗等处理，以获得光亮平整的硅片。

接下来是P-N结制备。P-N结是电池片的关键部分，通过连接P型硅和N型硅形成，形成正负极电场。制备P-N结的方法通常是通过扩散法或离子注入法。扩散法是将掺杂剂溶解在化学溶液中，然后将硅片浸泡在溶液中，使掺杂剂扩散到硅片中形成P-N结。离子注入法则是将掺杂剂离子注入硅片中，形成P-N结。

然后是金属化。金属化是为了提高电池片的导电性能，通常采用金属导电层覆盖在P-N结上。金属导电层通常采用铝或银等材料制备，通过蒸镀、喷涂或印刷等方法将金属导电层附着在P-N结上。金属导电层的厚度和形状可以根据需要进行调整。

最后是封装。封装是保护电池片并提高电池的稳定性和可靠性的关键步骤。封装通常采用玻璃或聚合物材料制备封装层，将电池片封装在其中。封装层可以提供保护、绝缘和防水等功能，同时也可以

提高电池片的光吸收能力。

总结来说，电池片的生产工艺流程包括硅片制备、P-N结制备、金属化和封装等环节。通过这些工艺步骤，可以制备出高效、稳定的电池片，实现太阳能光能向电能的转化。随着技术的不断发展，电池片的生产工艺也在不断改进，以提高电池片的转化效率和使用寿命。

光伏电池片生产工艺流程

1.原材料准备：光伏电池片的主要原材料是硅。硅可从硅矿石中提取，经过氯化和还原处理得到纯净的硅棒。此外，还需要准备用于制作电池片

的其他材料，如金属背电极、金属粉末等。

2.制备硅片：将纯净的硅块通过切割成薄片，然后对薄片进行抛光，

使其表面更加平整。抛光后的硅片称为硅片衬底。

3.光刻工艺：将硅片衬底涂覆一层光阻剂，然后使用光罩将待制作的

电池片图案投影到光阻层上。经过暴光和显影处理后，剩余的光阻将会形

成保护层和导电图案。

4.沉积金属：使用蒸镀或电镀技术，在硅片表面沉积一层导电金属，

通常为铝或铝合金。这一步是为了制作电池片的前电极。

5.打开电池片：使用激光刻蚀技术或化学腐蚀技术，将未被金属覆盖

的硅片区域刻蚀掉，使得前电极与硅片相连。

6.形成PN结：在硅片上涂覆一层掺杂材料，如磷或硼。然后在强热

条件下进行回火处理，使掺杂材料与硅片发生扩散反应，形成PN结。

7.施加背电极：在硅片背面分别施加一层导电背电极和抗反射层。背

电极通常采用银浆，并通过高温加热或压力熔合等方法与硅片表面连接。

8.导线连接：使用导线将电池片与其他电池片或电池组连接。这一步

可以通过焊接、印刷或喷射等方式进行。

9.检测和测试：对制作好的光伏电池片进行检测和测试，包括电学性

能测试、视觉检查和外观检验等。

10.封装保护：将电池片装入玻璃、塑料或金属等包装材料中，形成完整的光伏电池组件。这一步是为了保护电池片，同时也方便光伏组件的安装和使用。

以上就是光伏电池片生产工艺流程的详细介绍。该工艺流程涉及到多个环节和技术，每个环节的精度和质量都会直接影响到最终产品的性能和寿命。因此，在生产过程中需要严格控制各个环节的操作和参数，并进行良好的质量控制，以确保光伏电池片的质量和性能。

电池片perc生产工艺流程

电池片PERC生产工艺流程是由多个步骤组成的。以下是其中的一些步骤：

1. 切片：从硅锭上切下薄片，通常是厚度为200微米或更小。

2. 清洗：将硅片置于酸和碱溶液中进行清洗，去除表面的杂质和污垢。

3. 磨削：使用机器对硅片进行磨削，确保它们具有均匀的厚度和光滑的表面。

4. 拓扑处理：使用化学处理技术，使硅表面的拓扑结构具有更优秀的反射性能，并增强光捕获效率。

5. 扩散：将空气氧化铝中的掺杂物扩散到硅片的表面，形成PN结构。

6. 涂覆：使用化学方法在硅片表面均匀涂覆一层硅氧化物。

7. 集电线印刷：在硅片上印刷出导电铝线，并利用光刻技术形成图案。

8. 退火：通过加热硅片，来消除任何应力和加速铝线与硅片结合的过程。

10. 贴膜：在硅片表面添加一层聚合物贴膜，以保护其表面免受损害。

11. 修整：将硅片切成最终的形状和大小。

12. 模组化：将电池片放入电池片模组中，并封装成太阳能电池板，以便在太阳能电池系统中使用。

电池片工艺流程

电池片是太阳能电池的核心组件，其制作工艺流程对电池的性能和成本有着重要影响。下面将详细介绍电池片的工艺流程。

首先，电池片的制作从硅原料开始。硅原料经过精炼和晶体生长等工艺，制成硅片。然后，硅片经过切割、打磨和清洗等工序，形成薄片。接着，对薄片进行扩散和涂覆工艺，形成P-N结构。随后，进行光刻和腐蚀工艺，形成电极。最后，进行测试和包装，生产成为成品电池片。

在整个工艺流程中，有几个关键环节需要特别注意。首先是硅片的制备工艺，其质量直接影响到后续工艺的稳定性和成品电池片的性能。其次是P-N结构的形成工艺，这一步需要严格控制温度和时间，以确保P-N结构的均匀和稳定。再次是光刻和腐蚀工艺，这一步需要精密设备和精准操作，以确保电极的形成和质量。最后是测试和包装工艺，这一步需要严格的检测标准和流程，以确保成品电池片的质量和性能。

除了上述关键环节外，整个工艺流程中的每一个细节都需要精益求精。比如，在硅片的切割工艺中，需要确保切割的平整和尺寸

的准确；在涂覆工艺中，需要确保涂覆的均匀和厚度的控制；在光

刻和腐蚀工艺中，需要确保光刻图形的清晰和腐蚀的均匀。只有每

一个环节都做到精益求精，才能保证最终成品电池片的质量和性能。

总的来说，电池片的工艺流程是一个复杂而严谨的过程，需要

精密设备和精准操作，需要严格的质量控制和流程管理。只有在每

一个细节都做到精益求精的情况下，才能生产出高质量、高性能的

电池片，从而推动太阳能产业的发展。希望本文的介绍能够对电池

片的工艺流程有所帮助，谢谢阅读！

光伏电池片生产工艺流程

1. 导言

光伏电池片是一种能够将太阳能转化为电能的设备。在光伏电池片的生产过程中，需要经历一系列的工艺流程。本文将介绍光伏电池片的生产工艺流程，从原材料准备到电池片制造，详细解析每个环节的工艺流程。

2. 原材料准备

在光伏电池片的生产过程中，原材料是非常重要的。主要的原材料包括硅片、背电极、漆料等。

2.1 硅片

硅片是光伏电池片的核心材料，它是通过将硅熔炼成大块后切割成薄片。硅片的制备过程包括熔炼、拉丝、切割等多个步骤。

1.熔炼：将硅原料投入高温熔炉中，通过高温熔融硅原料，形成硅块。

2.拉丝：将熔融的硅块通过拉丝机械拉伸，形成硅棒。

3.切割：利用切割机将硅棒切割成薄片，形成硅片。

2.2 背电极

背电极是光伏电池片上的一个重要组成部分，用于传导电流。背电极的制备包括以下步骤：

1.制备导电胶：将导电粉末与粘合剂混合，形成导电胶。

2.印刷：将导电胶印刷在特定尺寸的基材上，形成背电极。

2.3 漆料

漆料在光伏电池片的制造过程中用于形成光伏材料的前表面。漆料的制备过程包括以下步骤：

1.制备漆料溶液：将漆料固体与溶剂混合，形成漆料溶液。

2.涂覆：利用刮板或滚轮将漆料溶液涂覆在硅片表面。

3.干燥：将涂覆的硅片放置在干燥室中，使漆料溶液干燥成薄膜。

3. 电池片制造

电池片制造是将经过准备的原材料组装成最终的光伏电池片的过程。电池片制造的主要步骤包括光伏材料连接、前电极制备、电池片切割等。

3.1 光伏材料连接

连接材料的作用是将硅片、背电极和漆料薄膜连接在一起，形成光伏电池片的基本结构。光伏材料连接的步骤如下：

光伏电池片生产工艺流程简介

引言：

光伏电池片作为太阳能光伏发电的核心元件，在可再生能源领域具有

重要的地位。它的生产工艺流程包括了一系列的步骤和技术，旨在将

太阳能转化为可用的电能。本文将对光伏电池片的生产工艺流程进行

简介，并分享我的观点和理解。

一、硅片制备

在光伏电池片的生产过程中，硅片制备是第一步关键的工艺环节。它

通常采用多晶硅或单晶硅材料，并通过切割、抛光和清洗等工艺，获

得具有一定厚度的硅片。

对于多晶硅材料，一般采用Czochralski法或Bridgman法进行生长，然后通过切割成合适尺寸的硅片。而对于单晶硅材料，主要采用单晶

硅生长炉生长出具有完美晶格结构的硅单晶棒，再通过切割和修整得

到硅片。

我的观点和理解：

硅片制备是光伏电池片生产中至关重要的一步，对硅片的质量和性能

直接影响到电池片的效率和寿命。因此，制备过程中的工艺控制和材料选择非常重要。同时，随着科技的不断进步，新的硅片制备技术也在不断涌现，如多晶硅的改进、单晶硅的提纯等，这些新技术有助于提高光伏电池片的效率和降低成本。

二、电池片制备

电池片制备是光伏电池片生产中的核心环节，主要包括光刻、扩散、沉积和金属化等工艺步骤。

1. 光刻：光刻工艺主要利用光刻胶和掩膜将所需的电极图案投影到硅片表面，并通过曝光和显影等过程形成图案。

2. 扩散：扩散工艺通过高温将掺杂物(如磷或硼)注入硅片中，形成PN 结构，从而使其具有正负电荷分离的能力。

3. 沉积：沉积工艺主要是在硅片表面进行氧化、硝化或硫化等处理，形成适当的电池片表面结构和保护层。

电池片工艺流程

一、电池片工艺流程：

制绒(intex)---扩散（diff）----后清洗（刻边/去psg）-----镀减反射膜（pecvd）------丝网、烧结（printer）-----测试、分选（tester+sorter）------包装（packing）

二、各工序工艺了解：

（一）前清洗

1.rena前冲洗工序的目的：

（1）去除硅片表面的机械损伤层（来自硅棒切割的物理损伤）

（2）去除表面油污（利用hf）和金属杂质（利用hcl）

（3）形成起伏不平的绒面，利用陷光原理，增加对太阳光的吸收，在某种程度上增

加了pn结面积，提高短路电流（isc），最终提高电池光电转换效率。

2、前冲洗工艺步骤：制绒→碱洗→酸洗→揉搓

etchbath：刻蚀槽，用于制绒。所用溶液为hf+hno3，作用：

（1）.除去硅片表面的机械受损层；

（2）.形成无规则绒面。

alkalinerinse：碱洗槽。所用溶液为koh，促进作用：

（1）.对形成的多孔硅表面进行清洗；

（2）.中和前道退火后残余在硅片表面的酸液。

acidicrinse：酸洗槽。所用溶液为hcl+hf，作用：

（1）.中和前道碱洗后残余在硅片表面的碱液；

（2）.hf可去除硅片表面氧化层（sio2），形成疏水表面，便于吹干；

（3）.hcl中的cl-存有随身携带金属离子的能力，可以用作除去硅片表面金属离子。

3.酸制绒工艺涉及的反应方程式:

hno3+si=sio2+nox↑+h2o

sio2+4hf=sif4+2h2o

sif4+2hf=h2[sif6]

s i+2koh+h2o→k2sio3+2h2

电池片工艺流程

一、电池片工艺流程:

制绒(INTEX)---扩散(DIFF)----后清洗(刻边/去PSG)-----镀减反射膜(PECVD)------丝网、烧结(PRINTER)-----测试、分选(TESTER+SORTER)------包装(PACKING)

二、各工序工艺介绍:

(一)前清洗

1.RENA前清洗工序的目的:

(1) 去除硅片表面的机械损伤层(来自硅棒切割的物理损伤)

(2) 清除表面油污(利用HF)和金属杂质(利用HCl)

(3)形成起伏不平的绒面，利用陷光原理，增加对太阳光的吸收，在某种程度上增加了PN结面积，提高短路电流(Isc)，最终提高电池光电转换效率。

2、前清洗工艺步骤: 制绒?碱洗?酸洗?吹干

Etch bath:刻蚀槽，用于制绒。所用溶液为HF+HNO3 ，作用:

(1).去除硅片表面的机械损伤层;

(2).形成无规则绒面。

Alkaline Rinse:碱洗槽。所用溶液为KOH，作用:

(1). 对形成的多孔硅表面进行清洗;

(2).中和前道刻蚀后残留在硅片表面的酸液。

Acidic Rinse:酸洗槽。所用溶液为HCl+HF，作用:

(1).中和前道碱洗后残留在硅片表面的碱液;

(2).HF可去除硅片表面氧化层(SiO2)，形成疏水表面，便于吹干;

(3).HCl中的Cl-有携带金属离子的能力，可以用于去除硅片

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表面金属离子。

3. 酸制绒工艺涉及的反应方程式:

HNO3+Si=SiO2+NOx?+H2O

SiO2+ 4HF=SiF4+2H2O

SiF4+2HF=H2[SiF6]