纳米三坐标测量仪(轮廓仪、形貌仪)

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sensofar量测结果

sensofar量测结果
sensofar光学轮廓仪作为一台具有高性能的3D 测量设备，超越了现有的一切光学轮廓仪。

sensofar 光学轮廓仪结合了三大技术——共聚焦（适用于高斜率表面）、干涉（有高的垂直分辨率）和多焦面叠加（在短短几秒内测量形貌特征），将三大技术集于一体，且不用任何运动部件。

共聚焦
共聚焦轮廓仪能测量从较光滑到非常粗糙的表面，空间采样精细至0.10 μm，是关键尺寸测量的理想选择。

高数值孔径（0.95）和高放大倍率（150X）的物镜可用于测量局部斜率超过70°的光滑表面以及斜率高达86°的粗糙表面。

sensofar的共聚焦算法能实现纳米级的垂直方向重复性。

干涉
白光干涉（VSI）能测量从光滑到适度粗糙的表面，可在所有数值孔径下实现纳米级的垂直分辨率。

因此，S neox 能使用所有可用的放大倍率在不影响高度分辨率的情况下显示三维形貌特征。

相位差干涉（PSI）能测量非常光滑和连续的表面，可在所有数值孔径下实现纳米级的垂直分辨率。

用极小的放大倍率
（2.5X）能在不影响高度分辨度的情况下采集较大的视场范围。

多焦面叠加
多焦面叠加是设计用于测量大面积粗糙表面的光学技术。

sensofar 采用该方法专门用于补足放大倍率较低的共聚焦测量。

该技术的亮点包括高斜率表面（高达86°）、快的测量速度（mm/s）和较大的垂直扫描范围。

这些特性的结合十分适用于工具加工的应用。

光学轮廓分析实验报告

实验名称：光学轮廓分析实验日期：2023年X月X日实验地点：光学实验室实验目的：1. 了解光学轮廓分析的基本原理和实验方法。

2. 掌握使用光学轮廓仪进行表面形貌测量的操作步骤。

3. 分析测量结果，评估样品表面的几何特征。

实验仪器：1. SuperView W1光学3D表面轮廓仪2. 样品（半导体芯片、光学元件等）3. 计算机4. 数据处理软件实验原理：光学轮廓分析是利用光学干涉原理对样品表面进行非接触测量，从而获得样品表面的三维形貌信息。

SuperView W1光学3D表面轮廓仪采用白光干涉技术，以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。

实验步骤：1. 将样品放置在载物台镜头下方，确保样品表面与镜头平行。

2. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态。

3. 使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹。

4. 微调XY轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹。

5. 完成扫描设置和命名等操作。

6. 点击开始测量，进入3D视图窗口旋转调整观察。

7. 台阶样品分析：校平样品表面，选择基准区域，进行排除和包括操作。

8. 台阶高度测量：进入分析工具界面，点击台阶高度图标，获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据。

9. 手动检测：根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度。

实验结果：1. 通过实验，成功获取了样品表面的三维形貌信息。

2. 利用数据处理软件对测量结果进行分析，得到了样品表面的粗糙度、轮廓等几何特征。

3. 对比样品表面的实际几何特征，实验结果与预期相符。

实验讨论：1. 光学轮廓分析具有非接触、高精度、高分辨率等优点，在精密加工、材料分析等领域具有广泛的应用。

2. 实验过程中，样品表面干涉条纹的观察和调整是关键步骤，需要操作者具备一定的经验。

3. 在台阶样品分析中，基准区域的选取对测量结果有较大影响，需要根据实际情况进行选择。

美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪

美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪一、产品简介美国NANOVEA公司是一家全球公认的在微纳米尺度上的光学表面轮廓测量技术的领导者，生产的三维非接触式表面形貌仪是目前国际上用在科学研究和工业领域最先进表面轮廓测量设备，采用目前国际最前端的白光轴向色差原理（性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪）对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维表面形貌、关键尺寸测量、磨损面积、磨损体积、粗糙度等参数的测量。

二、产品分类该公司的三维非接触式表面形貌仪主要有4款：JR25、PS50、ST400与HS1000（区别见技术参数）：JR25便携式三维表面轮廓仪：野外操作或不可拆卸部件的理想选择·便携式表面形貌仪·结构紧凑，性价比高·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪·应用范围广·测量范围：25mm×25mmPS50表面轮廓仪：科研单位与资金不足企业的最佳选择·性价比高·结构紧凑·替代探针式轮廓仪和干涉式轮廓仪·应用范围广·测量范围：50mm×50mmST400表面轮廓仪：·应用范围广·适合大样品的测试·测量范围：150mm×150mm·360O旋转工作台·带彩色摄像机（测量前可自动识别特征区域）HS1000表面轮廓仪：·适用于高速超快自动测量场合·超高的扫描速度（可达1m/s，数据采集频率可达31KHz，最高可达324KHz）·能保证超高平整度和稳定性（花岗石平台）三、测量原理简介：Nanovea 公司的三维非接触式表面形貌测量仪采用的是国际最前端的白光轴向色差技术技术实现先进的高分辨率的三维图像扫描与表面形貌测量。

•利用白光点光源，光线经过透镜后产生色差，不同波长的光分开后入射到被测样品上。

• 位于白光光源的对称位置上的超灵敏探测器系统用来接收经被测样品漫反射后的光。

表面形貌测量利器——SuperView W1光学3D表面轮廓仪

表面形貌测量利器——SuperView W1光学3D表面轮廓仪Super View W1光学3d表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

它是以白光干涉技术为原理、结合精密z向扫描模块、3d建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3d图像，通过系统软件对器件表面3d图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2d、3d参数，从而实现器件表面形貌3d测量的光学检测仪器。

Super View W1光学3d表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3c电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、mems器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。

可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据iso/asme/eur/gbt四大国内外标准共计300余种2d、3d参数作为评价标准。

Super View W1光学3d表面轮廓仪显著特性：1.高精度、高重复性1）采用光学干涉技术、精密z向扫描模块和优异的3d重建算法组成测量系统，保证测量精度高；2）独特的隔振系统，能够有效隔离频率2hz以上绝大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，获得极高的测量重复性。

2.一体化操作的测量分析软件1）测量与分析同界面操作，无须切换，测量数据自动统计，实现了快速批量测量的功能；2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；3）结合自定义分析模板的自动化测量功能，可自动完成多区域的测量与分析过程；4）几何分析、粗糙度分析、结构分析、频率分析、功能分析五大功能模块齐全；5）一键分析、多文件分析，自由组合分析项保存为分析模板，批量样品一键分析，并提供数据分析与统计图表功能；6）可测依据iso/asme/eur/gbt等标准的多达300余种2d、3d参数。

美国zeta泽塔公司三维立体显微镜轮廓仪资料

3
数码相机耦合镜
20x 0.50 0.45 0.75 480x360 1257x943 50x 0.10 0.80 0.42 192x144 503x377 100x 0.07 0.90 0.40 96x72 251x189
Z 轴驱动核心光学组件
优于1.5% (1σ/平均值 )
XY 载物台
产品尺寸 (mm)
1 2 3
1/3英寸 CCD 相机，0.5x耦合镜 2/3英寸 CCD 相机，0.35x耦合镜静态重复性和精确度是基于对 VLSI 8 微米标准台阶高度的测量（使用100X/0.9NA 物镜）
系统选项和升级薄膜厚度测量
可见光反射频谱仪
‧ ‧ ‧ ‧ ‧ ‧ ‧ 可测 30nm 到 10μm 之间的薄膜厚度频谱范围：430nm – 750nm 频谱分辨率：1nm 提供超过200多种材料的n&k值在薄膜厚度已知的条件下，计算薄膜材料 n&k 值可测量太阳能硅片绒面上氮化硅膜厚度本色图像可提供样品待测区域的重要信息
系统控制
典型系统配置
显微镜系统
光源：物镜：耦合镜：手动载物台： Z轴：数码相机：高亮度白光 LED 5x，10x，20x，50x，100x
Zeta 三维测量软件
实时视频成像快速数据采集（大约1分钟）三维表面浏览倾斜，旋转，缩放，过滤体积测量二维表面分析特征尺寸，直径，面积图案间距，标准偏差表面粗糙度二维台阶高度轮廓测量台阶高度测量粗糙度参数多横截面分析平均值测量标尺点对点测量标记
0.5x 100mm x 100mm XY 驱动范围 30mm 纵向驱动范围 1024x768像素， 1/3英寸 CCD
计算机控制系统

光学轮廓仪工作原理【下载】

光学轮廓仪一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。

它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

为什么需要测量表面形貌？在生产中，微观上的表面形貌对工程零件的许多技术性能的评价具有直接的影响，而且表面三维评定参数由于能更全面、更真实地反映零件表面的特征及衡量表面的质量而越来越受到重视，因此表面三维微观形貌的测量就越显重要。

通过对三维形貌的测量可以比较全面地评定表面质量的优劣，进而确认加工方法的好坏及设计要求的合理性，这样就可以反过来通过指导加工、优化加工工艺以加工出高质量的表面，确保零件使用功能的实现。

光学表面轮廓仪的测量原理：光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

功能光学轮廓仪对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

一句话概括就是测量超光滑表面（纳米级别）微观形貌。

典型应用中图仪器SuperView W1系列光学轮廓仪应用非常广泛。

在3C领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石屏、滤光片、表壳等表面粗糙度；在LED行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石、碳化硅衬底表面粗糙度；在光纤通信行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量光纤端面缺陷和粗糙度；在集成电路行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；在EMES行业，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量台阶高度和表面粗糙度；在军事领域，SuperView W1系列光学轮廓仪可以测量蓝宝石观察窗口表面粗糙度。

2024年轮廓仪市场需求分析

2024年轮廓仪市场需求分析引言轮廓仪是一种用来测量物体三维形状的设备，具有广泛的应用领域，包括工业制造、3D打印、医疗、艺术等。

随着科技的进步和人们对精度要求的提高，轮廓仪市场需求正呈现出稳定增长的趋势。

本文旨在分析轮廓仪市场的需求特点和趋势，为相关厂商提供市场参考。

市场需求特点在2024年轮廓仪市场需求分析中，我们可以发现以下几个特点：1. 市场规模不断扩大随着科技的发展和相关行业需求的增长，轮廓仪市场规模逐年扩大。

例如，3D打印技术的快速发展带动了对高精度轮廓仪的需求增长。

2. 高精度需求增加随着生产过程的自动化和工业制造的精细化要求，对于高精度轮廓仪的需求越来越大。

高精度轮廓仪的出现可以满足客户对于产品质量和精细度的要求。

3. 自动化需求增强随着工业制造的发展，客户对于自动化设备的需求越来越高。

在轮廓测量领域，自动化轮廓仪的需求日益增加，以提高生产效率和降低人工成本。

4. 跨行业应用扩展轮廓仪的应用不仅局限于工业制造领域，还涉及到医疗、艺术等领域。

随着科技的突破和应用范围的扩展，轮廓仪在不同行业中的需求也在不断增加。

市场需求趋势分析根据市场需求特点，可以分析出以下几个市场需求趋势：1. 产品多元化为了满足不同客户的需求，厂商需要研发多种型号和规格的轮廓仪。

例如，针对不同行业需求设计开发出医疗领域的轮廓仪、工业制造领域的轮廓仪等。

2. 高精度和高效率随着客户对于产品精度要求的提高，厂商需要不断提升轮廓仪的精度和测量效率，以满足客户的需求。

3. 自动化和智能化随着工业制造的自动化水平不断提升，客户对于自动化和智能化轮廓仪的需求也在增加。

厂商应积极研发具备自动化功能和智能化算法的轮廓仪产品。

4. 跨行业应用拓展随着轮廓仪在医疗、艺术等领域的应用不断扩展，厂商可以通过不同行业间的合作，进一步拓展市场份额。

结论轮廓仪市场需求正在不断增长，市场规模扩大，高精度和高效率需求增加，自动化和智能化需求增强，跨行业应用进一步拓展。

接触式轮廓测量仪与非接触式轮廓测量仪对比分析

接触式轮廓测量仪与非接触式轮廓测量仪对比分析前言：目前市场上的轮廓测量仪主要有接触式轮廓测量仪和非接触式轮廓测量仪，本文将从功能、原理、应用三个方面对这两种轮廓测量仪进行对比分析。

功能1.接触式轮廓测量仪（以中图仪器SJ5700为例）可测量各种精密机械零件的素线轮廓形状参数，角度处理（坐标角度，与Y坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线的距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟曲率半径、沟边距、沟心距、轮廓度、水平距离等形状参数。

2.非接触式轮廓测量仪（以中图仪器SuperView W1光学3D轮廓仪为例）适用于各类光滑、连续光滑和适度粗糙物体表面从毫米到亚微米、纳米尺度的3D形貌轮廓、坐标、厚度、粗糙度、体积、表面纹理等测量。

●工作原理1.接触式轮廓测量仪测量原理为直角坐标测量法，即通过X轴、Z轴传感器，测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点，通过电器组件，将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC 机，软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理，标注所需的工程测量项目。

2.非接触式轮廓测量仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。

●典型应用1.接触式轮廓测量仪广泛应用于机械加工、汽车、摩托车、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。

适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室。

在汽车、摩托车、制冷行业,可测汽车、摩托车、压缩机的活塞、活塞销、齿轮和气门顶杆的母线参数等.并可测量各种斜形零件的参数。

在轴承行业,可测内外套圈的密封槽形状(角度、倒角R、槽深、槽宽等);各种滚子轴承的滚子和套圈母线的凸度、角度、对数曲线; 电机轴、圆柱销、活塞销、滚针轴承、圆柱滚子轴承、直线轴承的滚动体和套圈的直线度；球轴承沟道的沟曲率半径及沟边距;双沟轴承的沟心距；四点接触轴承(桃形沟)的沟心距和沟曲率半径等。

三维表面形貌仪(ST400

ST400三维表面形貌仪（美国NANOVEA
产品介绍：
ST400型三维表面形貌仪是一款多功能的三维形貌仪，采用国际领先的白光共聚焦技术，可实现对材料表面从纳米到毫米量级的粗糙度测试，具有测量精度高，速度快，重复性好的优点，该仪器可用于测量大尺寸样品，并具有多种选项，包含360°旋转工作台，原子力显微镜模块，光学显微镜，特征区域定位等多种功能模块。

·应用范围广
·适合大样品的测试
·测量范围：150mm×150mm
·360O旋转工作台
·带彩色摄像机（测量前可自动识别特征区域）
1355/ 2027/ 062 云
产品特性:
1，采用白光共聚焦色差技术，可获得纳米级的分辨率
2，测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高
3，测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…)；
4，尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面
5，不受样品反射率的影响
6，不受环境光的影响
7，测量简单，样品无需特殊处理
8，Z方向,测量范围大：为27mm
主要技术参数：
1，扫描范围：150mm×150mm(最大可选600mm*600mm)
2，扫描步长：0.1μm
3，扫描速度：20mm/s
4， Z方向测量范围：27mm
4， Z方向测量分辨率：2nm
产品应用：
MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料，光学元件、陶瓷和先进材料的研发。

轮廓仪,你真的了解吗？

轮廓仪，你真的了解吗？
轮廓仪，顾名思义，是测量产品表面轮廓尺寸的仪器，根据工作原理的不同，可以分为接触式轮廓仪和非接触式轮廓（光学轮廓仪）。

1.接触式轮廓仪
接触式轮廓仪是通过触针在被测物体表面滑过获取表面轮廓参数，如角度处理（坐标角度，与Y坐标的夹角，两直线夹角）、圆处理（圆弧半径，圆心到圆心距离，圆心到直线的距离，交点到圆心的距离，直线到切点的距离）、点线处理（两直线交点，交点到直线距离，交点与交点距离，交点到圆心的距离）、直线度、凸度、对数曲线、槽深、槽宽、沟曲率半径、沟边距、沟心距、轮廓度、水平距离等形状参数。

代表型号为中图仪器SJ57系列。

SJ57系列接触式轮廓仪广泛应用于机械加工、电机、汽配、摩配、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。

适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室、车间。

2.非接触式轮廓仪（光学轮廓仪）
非接触式轮廓仪（光学轮廓仪）是以白光干涉为原理制成的一款高精度微观形貌测量仪器，可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共
计300余种2D、3D参数作为评价标准。

代表型号为中图仪器Super View W1系列。

SuperView W1光学轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航
空航天、国防军工、科研院所等领域中。

高精度智能三维轮廓测量仪

术 … ：白光干涉条纹中光强最大的零级条纹与零光即
中图分类号：Ｈ７１３．４．Ｉ
上海光学仪器厂生产的６Ａ干涉显微镜是我国计Ｊ量领域应用最广泛的测量工程表面粗糙度的光学仪
器，具有性能稳定、积小、格低的特点。随着生它体价但
产与技术的发展，精加－微电子、ＭＳ技术的兴超Ｖ、ＭＥ起，物体表面质量、观形貌的检测要求越来越高。对微新的国家标准或国际标准，以及正在实施的 “ 品几何产量国际标准体系（Ｓ ”要求真实充分反映表面的形ＧＰ）貌、确的三维几何特征、面功能特征及频谱分析准表等，就要求测量仪器及评定方法有质的改进。为目这作视仪器，Ｊ干涉显微镜所测数据过于简单，差大，６Ａ误效率低，已不能适应国家标准及国际标准的要求，因此，我们以６Ａ干涉显微镜的光学系统为基础，以ＣＣＪ配Ｄ摄像头、动工作台以及强大的测控及数据处理软件微
部分。
压电陶瓷的驱动电压通过１位的Ｄ／Ａ转换器由６
计算机控制，此系统位移的理论分辨率达０３ｎｎ因．／。
－家自然科学基金资助项目（号：０７０７ｋ国编５１５３）

3d轮廓仪原理

3d轮廓仪原理
3D轮廓仪是一种常用于非接触式检测的三维形貌测量设备，原理是基于光线三角测量原理和相位移位原理。

它主要由投影仪，相机和相应的软件组成。

其中，投影仪会将白光分成多束并投射在待测物体表面上，形成一个具有编码条纹的图像。

而相机则用于收集被测物体上形成的这些编码条纹。

当物体有微小的形变或移动时，编码条纹发生相对位移。

根据相位移位原理，从编码条纹的位移量可以计算出物体表面像素点处的高度信息，进而得到待测物体的三维表面数据。

这样，通过全方位拍摄待测物体，就可以获得该物体在三维空间中的完整轮廓，并生成对应的三维模型。

特别需要注意的是，由于编码条纹的形成是基于光学原理，因此在非黑暗环境下可能会受到环境光和反射光的影响，导致测量误差或数据失真。

因此，在使用3D轮廓仪时需要尽可能地避免这些外界光干扰。

NanoFocus三维表面形貌轮廓测量仪(共聚焦显微镜)运用于汽车材料检测、气缸内壁检测、钢板表面涂层检测

德国NanoFocus µsurf cylinder汽缸表面无损检测系统是世界上唯一的一款专为测量汽缸内壁设计的非接触式三维表面测量仪，并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力，被世界顶级的汽车厂商所应用。

下面为部分实际检测数据图。

汽车制造
曲柄轴
轴承
薄钢板
汽车外观检测
巴斯夫（BASF）作为NanoFocus合作用户，其研发的车身涂料检测，NanoFocus为其高品质产品带来简便
快捷且无任何破坏性的。

汽车制造未加工的和镀层的钢板
NanoFocus mobile（便携式三维形貌轮廓测量），基于其轻巧结构，方便携带至工厂、车间、实验室等几
乎任何地方检测，且受到周围环境影响微乎其微。

发动机气缸缸壁分析
国内应用厂商目前有上海大众，成都一汽，美捷特，中科院等汽车研究、应用方向众多客户。

缸壁磨损
德国NanoFocus 三维轮廓形貌测量仪（共聚焦显微镜）表面无损检测系统是世界上唯一的一款专为测量汽缸内壁设计的非接触式三维表面测量仪，并拥有超高光学分辨率和最全面广泛的三维表面形貌分析能力，被世界顶级的汽车厂商所应用。

光学式表面粗糙度轮廓形貌仪Proscan 2000(英国Scantron)

截面积计算
三维轮廓显示
表面轮廓粗糙度测量仪
3
Proscan 2100
表面轮廓粗糙度测量仪
技术规范扫描仪最大尺寸（长*宽*高）扫描仪最大重量电控部分尺寸电控部分重量计算机显示器照明与定位摄像头（可选）扫面平台尺寸 X 和 Y 轴行程 Z 轴行程电源使用环境 X 及 Y 轴扫描点最小间隔距离 X 及 Y 轴扫描点最大间隔距离标准配置扫描样品最大重量数据采集最大速度（取决于传感器及设定）最大扫描速度（取决于传感器及设定）回程速度最大扫描点数
扫描前的产品原貌 7
Proscan 2100
表面轮廓粗糙度测量仪
扫描后的分析图对板材类、纸张类产品的表面进行纹理和形貌特征分析，自动计算各种表面分析的参数，如Ra、Rz、Rmax、 Rvm、Rpm、Sm和材料比等，测量速度快，结果准确，操作简单。
8
产品介绍英国 Scantron Industrial Products Ltd 公司生产的 Proscan 2000 光学表面粗糙度轮廓仪，采用非接触式传
感器扫描技术，用于对各种产品和部件的表面形貌特征进行测量和分析，它比传统的探针式轮廓仪操作更方便，测量精度更高。由于采用非接触无损的测量方式，避免了对被测物体造成划痕和磨损，尤其适用于各种柔软材料、易腐蚀材料和传统方式无法检测的表面形态测量和分析。
各种可选项 * 照明与定位摄像头，用于小型部件的定位和缺陷检查； * 其他各种传感器； * 仿制材料，用于对不容易进入的区域和对表面测量有困难的场合； * 比标准的 X 和 Y 行程范围更大的测量平台。
技术原理白光色差技术白光色差技术白光色差技术白光色差技术白光色差技术白光色差技术三角测量技术三角测量技术三角测量技术三角测量技术

美国NANOVEA公司的三维非接触式表面形貌仪资料

•最后将采集的数据交给专业的三维处理软件进行各种表面参数的分析。•软件能够自动获取用户关心的表面形貌参数。
四、产品技术优势
1．采用国际最前端的白光轴向色像差技术，可获得最小2nm的分辨率
2．测量具有非破坏性，测量速度快，精确度高
3．测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…；
6、具有精确定位功能，可以从已经扫描的区域中重新精确扫描任意特定区域。
6.2专业3D
分析软件功能：
1、创建2D，3D图像；
2、自动得到样品的线粗糙度参数（Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku），面粗糙度（Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku），平整度，波纹度等参数；
3、自动校准功能，例如粗糙度，一般情况下对于曲面样品，首先展平，然后自动给出粗糙度的参数；
六、测试软件：
NANOVEA软件包含两个软件：NANOVEA 3D数据采集软件与专业的3D分析软件。
6.1 3D
数据采集软件功能：
1、可采集每一个测量点的XYZ三维坐标；
2、线扫描与面扫描两种模式可供选择；
3、可设置测量范围、测量步长、扫描速度等参数；
4、实时显示测量所需时间；
5、实时显示样品的2D图像与3D图像
·超高的扫描速度（可达1m/s，数据采集频率可达
31KHz，最高可达
324KHz）
·能保证超高平整度和稳定性（花岗石平台）
三、测量原理简介：
Nanovea公司的三维非接触式表面形貌测量仪采用的是国际最前端的白光轴向色差技术技术实现先进的高分辨率的三维图像扫描与表面形貌测量。

三坐标测量仪厂家-三坐标测量仪器厂家【品牌大全】

三坐标测量厂家，三坐标测量仪器厂家，三坐标测量仪品牌内容来源网络，由深圳机械展收集整理！更多三坐标测量仪器展览展示，就在深圳机械展的测量展区！三坐标测量机，又叫三次元。

三坐标测量厂家、三坐标测量仪器厂家，三坐标测量品牌很多，网上找，但部分（如测量杆，测量头及光栅尺）很多都是进口的，生产三坐标的厂家有德国蔡司，海克斯康、捷克博测量技术等。

测量仪器的概念其内容包括：精度、误差、测量标准器材、长度测量、角度测量、形状测量、传统光学仪器。

在精密测量上的应用等等。

生活、生产都要用到测量仪器，测绘工作离不开各种测量仪器，测量仪器行业覆盖食品安全、环境保护、石油化工、电子电器、药物研发、4G无线通信技术、航空航天等产业等领域，成为近年来发展快的仪器仪表电子行业之一。

三坐标测量厂家，三坐标测量仪器厂家，三坐标测量仪品牌1 海克斯康HEXAGON(海克斯康测量技术(青岛)有限公司)2 雷顿Leader(从事三坐标测量机等精密测量设备研发生产与技术服务的中美合资企业,青岛雷顿数控测量设备有限公司)3 温泽Wenzel(德国温泽集团旗下分公司,计量解决方案制造商之一,跨国公司,温泽测量仪器(上海)有限公司)4 卡尔蔡司(始创于1890年德国,光学仪器制造企业之一,蔡司光学仪器(上海)国际贸易有限公司)5 三丰Mitutoyo(于1934年日本,跨国公司,致力于各种精密测量仪器研发生产销售的企业,三丰精密量仪(天津)有限公司)6 东京精密Accretech(始创于1949年日本,致力于个性领域的精密机械仪器研发、生产的企业,东精精密设备(上海)有限公司)7 爱德华(中国坐标测量机制造企业之一,外商企业,西安爱德华测量设备股份有限公司)8 德仁Dukin(韩国独资企业,从事三坐标的研制、生产、销售及服务的技术企业,济南德仁三坐标测量机有限公司)9 思瑞Serein(从事研发生产精密坐标测量机/影像测量仪/测高仪等计量设备的企业,思瑞测量技术(深圳)有限公司)10 奥秋(组建于2005年,致力于各种精密测量仪器研发生产销售的企业,上海奥秋精密仪器有限公司)三坐标测量厂家——苏州精坐标测量技术有限公司精坐标测量技术（苏州）有限公司是研发，生产和销售精密量测仪器的公司，是一家源于德国的三坐标生产厂家。

三坐标测量仪什么牌子好

三坐标测量仪什么牌子好？三坐标测量仪十大品牌随着现代制造业不断发展，企业对机械制造产品的精密度要求越来越高，用于工业检测、质量控制等领域的三坐标测量仪在汽车、航空航天及国防等众多行业得到广泛应用。

越来越多的机械加工企业开始关注三坐标测量这项重要工序。

三坐标测量仪三轴均有气源制动开关及微动装置，可实现单轴的精密传动；数据采集系统采用高性能手动三坐标专用系统，可靠性好。

今天，小编精选了十个全球知名的三坐标测量仪器品牌，看看他们是如何完成精密测量。

一、ZEISS蔡司始于1846年德国，是全球领先的光学、精密工程及电子观测制造商，在光学及光电子学领域处于领先地位的全球性国际化公司。

1973年蔡司就已经成功制造世界上第一台CNC三坐标测量机-UMM500。

同时蔡司不断开发新技术与推出新产品，到现在为止已拥有多个国际专利。

在中高端市场，每年销售额占全球市场占有量的三分之一。

蔡司测量机在航空、航天、汽车、电子、机械与塑料等多个行业中得到广泛的使用。

二、HEXAGON海克斯康创建于1975年瑞士，其测头技术在机床工具行业享有盛名。

海克斯康测量技术主要包括两个部分：“大尺寸计量”，主要包括山体测量、城市测绘、道路干线、隧道桥梁、以及其它建筑工程的的测量。

“小尺寸计量”，关注更加精密的尺寸测量任务，面向制造业提供的各种产品，包括汽车、航空航天、机床、军工、加工制造以及日用消费品。

三、Mitutoyo三丰日本著名测量仪品牌，全球测量方案和测量设备专业提供商，专注于测量方案和测量设备的全球性公司，在整个量具行业独占鳌头。

主要产品包括：量具行业的各个项目，包括：千分尺、卡尺、深度尺、内径千分尺、千分表、杠杆千分表、高度尺、微分头、量块、线性测微器、光栅尺、粗糙度仪、轮廓测量仪、显微镜、硬度计、三坐标测量机等。

四、Wenzel温泽德国温泽集团是计量领域创新的先驱。

温泽多样化的产品提供了三维测量、计算机断层扫描、光学高速扫描等多个行业的独特解决方案。

光学轮廓仪测量原理

光学轮廓仪测量原理
光学轮廓仪是一种用于测量物体轮廓的仪器，它利用光学原理，将物体表面的轮廓形状转化为光学信号，再通过电子信号处理，得到物体各点的坐标信息，从而实现对物体形状进行测量和分析。

光学轮廓仪的测量原理基于光的反射和折射规律，利用激光或白光束照射在被测物体表面，然后通过光学透镜和光电传感器对反射光或透射光进行检测和采集。

由于被测物体表面形状的不同，反射或透射出来的光线也会有所不同，从而形成一组光学信号，这些信号经过电子信号处理后，可以得到被测物体各点的坐标信息，进而还原出物体表面的轮廓形状。

光学轮廓仪具有高精度、高速度、非接触式测量等优点，适用于对各种形状的物体进行精确的三维测量和形状分析。

在制造业、质检、科研等领域得到广泛应用，例如测量机械零件、塑料件、汽车车身、航空航天部件等等。

然而，光学轮廓仪也存在一些局限性。

首先，它对被测物体表面的反射和透射要求较高，如果物体表面有较强的反射或透射，则可能影响测量精度。

其次，光学轮廓仪的测量范围受限于光束的射程和角度，如果物体尺寸过大或形状复杂，则需要采用多个仪器进行拼接测量，增加了测量成本和难度。

总的来说，光学轮廓仪是一种高精度、高效率的测量仪器，具有广
泛的应用前景和市场需求。

随着科技的不断进步和应用领域的不断拓展，光学轮廓仪将会得到更加广泛的应用和发展。

3D光学轮廓仪

廓仪Sensofar S系列感受3D最新的S系列3D光学轮廓仪，为您展现全新的3D立体形貌全新设计的3D光学轮廓仪 S neox颠覆传统，将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融合于一身，测量头内无运动部件。

S neox，将三种技术都做到最好2融合3种测量方式于一体D体验共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。

它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09µm。

利用它可实现临界尺寸的测量。

当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。

专利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

相位差干涉相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。

它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率。

使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。

白光干涉白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。

它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米级的纵向分辨率。

多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。

根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。

该技术的最大亮点是快速 (mm/s)、扫描范围大和支援斜率大（最大86°）。

此功能对工件和模具测量特别有用。

干涉多焦面叠加共聚焦无运动部件的共聚焦380160240320400480560400425450475500525550575600625650675700725Dichroic Blue FilterBlue LED Green LED Red LEDDichroic Green FilterDichroic Red FilterWhite LED多波长的LED 光源红色.绿色.蓝色.白色S neox 有4个独立的LED 光源红色(630nm), 绿色(530nm), 蓝色(460nm) 和白色，可以满足各种应用的需要。