07级微电子机械系统技术大作业
微机械系统作业
研究生课程考试成绩单（试卷封面）任课教师签名：日期：注：1. 以论文或大作业为考核方式的课程必须填此表，综合考试可不填。
“简要评语”栏缺填无效。
2. 任课教师填写后与试卷一起送院系研究生秘书处。
3. 学位课总评成绩以百分制计分。
习题1.6查出两种压力传感器的产品性能表；一种基于MEMS技术，一种基于非MEMS技术。
根据本书1.3.2所列的标准，总结这两种产品的性能。
答：下表是艾克威特智能科技有限公司的陶瓷电容压力传感器CPS312和freescale的mems 压力传感器从以上性能表来看，基于MEMS技术的压力传感器的响应时间短，漂移小，但是其量程小，适合测量压力较小的精确测量，而非MEMS技术的压力传感器适合大压力的压力测量习题2.4画出本章讨论的压力传感器制造过程（图2-6）。
扩展教材中的流程图使其包含光刻步骤等所有的步骤。
这个练习的目的是认识、学习并熟悉画图软件。
试描绘出几何形状，包括诸如侧壁和斜坡的覆盖层等一些细节。
答：1）衬底准备2）生长二氧化硅3）涂光刻胶4）显影5）刻蚀二氧化硅6）刻蚀衬底7）去除二氧化硅8）上层圆片键合9）上层圆片减薄10）光刻胶淀积11）注入孔光刻12）掺杂区注入习题3.25证明中心点加力的双端固支梁的力常数可以看成两个简支的并联梁，并且横截面积不变，长度变为原来的一半。
解：设双端固支梁的长为l，宽为w，厚t，则可得其中点最大位移为：EIFld1923=所以其力常数为：3192dl EI d F k == ，其中123wt I = 设简支的悬臂梁的长为2ll ='，由于其截面积和双端固支梁相同，所以转动惯量不变，则可得其力常数为：339612dl EI l d EI d F k ='==' 两个悬臂梁并联后的力常数为：k k k e ='=2 因而得证以上结论习题3.26用单晶硅制造宽为20μm 的单端固支悬臂梁，使得力常数为10N/m 、谐振频率为10KHz 。
微机电系统作业
研究生课程考试成绩单（试卷封面）院系电子科学与工程学院专业微电子学与固体电子学学生姓名李艳学号121225 课程名称微电子机械系统授课时间2014年3月至2014年4 月周学时 2 学分 2简要评语考核论题[微电子机械系统] 作业总评成绩（含平时成绩）备注任课教师签名：日期：注：1. 以论文或大作业为考核方式的课程必须填此表，综合考试可不填。
“简要评语”栏缺填无效。
2. 任课教师填写后与试卷一起送院系研究生秘书处。
3. 学位课总评成绩以百分制计分。
1. 习题1.9A：查找至少来自两家公司的两种压力传感器的产品性能表。
根据1.3.2节所列的传感器性能标准，总结这两种产品的性能。
至少从转换原理、灵敏度、动态范围、噪声、销售价格及功耗等方面进行比较。
B：比较至少来自两家独立公司的两种压力传感器（或者其他传感器）。
上网搜索这两家公司的两种主要专利，并对专利的保护内容和授权日期进行对比，写一份两页的总结。
（提示：可以在下列免费网站搜索，如US Patent、Trademark Office Web、Google patent或者在线专利搜索网站）。
答：A：美国飞思卡尔公司的MPX5010压力传感器与德国JUMO公司的MIDAS C18 SW –OEM压力传感器比较如下：MPX5010 MIDAS C18 SW –OEM型号性能转换原理压电材料三氧化二铝陶瓷薄膜灵敏度450mV/kPa动态范围75kPa压力差 1.6—100bar相对压力最大误差 5.0% 1.6bar销售价格约65元功耗≤0.05W ≤0.6W前者为集成传感器体积较小，功耗较低；后者为机械式的传感器，体积和功耗都较大。
两者的应用领域也不同。
B：专利一：专利二：专利一（WO2012122875 A1）MEMS压力传感器及其制作方法发明内容：专利一解决的问题是提供一种MEMS压力传感器及其制作方法，能够与集成电路制造工艺兼容，有效地降低制作成本并减小传感器尺寸。
视觉检测技术-习题参考答案
视觉检测技术－习题答案1-1 何为计算机视觉？能够解释图像，实现类似人类视觉系统理解外部世界的机器系统称为计算机视觉或机器视觉。
1-2计算机视觉能够完成的四种基本任务是什么？尺寸和表面特征的检测；目标的识别和定位。
1-3制约计算机视觉技术应用水平的两大基础是什么？1）包括数字图像处理的视觉理论和算法；2）微电子技术1-4计算机视觉和视觉检测是什么关系？（无标准答案，根据自己的理解进行归纳、概括即可。
）以检测为目的的计算机视觉应用称为视觉检测。
视觉检测是计算机视觉内容的一部分。
第二章习题（人类视觉）2-1 做一个简单实验。
将视轴与观测书页的法线平行，给出高清晰观察区域的尺度范围。
2-2 人类视觉系统由几部分组成？各部分的功能是什么？三个部分：眼球、神经传输系统及大脑的视觉中枢；各部分作用是：光学成像、影象摄取或采集、影象信号的传输、影象信号、信息处理。
2-3 分别举出一个证明视觉空间分辨率和时间分辨率的实例。
并解释视觉区域时间分辨率不同的生理机制（生物物理原因）。
2-4 两种感受野的什么特性有利于检测影像的边缘？2-5 何为马赫带？其形成的生物学基础是什么？2-6 在夜间观赏烟火时，观察到得什么现象可以用视觉动态响应特性进行解释。
2-7 一粉笔沿轴向快速从眼前掠过留下的是什么影像，为什么？第三章习题（图象的基本知识）3-1 物体表面上某一点（小区域）的灰度（或亮度）与那些因素或分量有关？是什么关系？－语言陈述，列写公式3-2 伪彩色图象处理的目的是什么？为什么该处理方法可以实现这样一个目的？－从人类视觉对灰度和彩色的分辩能力谈起――。
3-3 假彩色图像处理的目的和任务是什么？概括：1）降低人类对对彩色区域的分辩难度；2）开展人类视觉的光谱范围。
3-4 请给出灰度直方图的两种应用。
①用于判断图像量化是否恰当。
②用于确定图像二值化的阈值。
③用于区域分割和面积计算。
3-5 黑白图像、普通灰度图像的灰度取值范围是多少？彩色图像中一个象素的颜色需要用多少个bit来表示？――每两个F表示一种基色，――24位，－3-6 结合三相CCD电荷包转移过程图，补充画出在满足t2<t2.5<t3的t2.5时刻的电荷转移示意图。
微机电系统习题及参考答案
第1、2xx习题及参考答案1．MEMS的设计涉及那些学科？简述MEMS的设计方法及特点。
MEMS综合了机、电、磁、光、声、热、液、气、生物、化学与多种学科而构成了一门独立的交叉学科。
它研究多种学科各自的特征参量相互之间的耦合关系，应用这些物理联系和耦合关系去分析和解决MEMS设计与制造中的问题。
MEMS研究多种学科各自的特征参量相互之间的耦合关系，应用这些物理联系和耦合关系去分析和解决MEMS设计与制造中的问题。
因此，在MEMS的设计中必须考虑系统设计方法，信息流程设计方法，建立统一物理特征参量设计方法。
1.MEMS设计与制造的研究和分析，MEMS产品分成系统，子系统、元件（元素）三个层次。
2.信息流程是指MEMS产品中各种信息或物理量传递的次序关系，这种传递关系是以程序形式表达的。
3.建立统一的物理特征参量，应该对所需设计对象涉及的各种物理特征参量都相对参照于同一概念的物理特征参量,即相对于系统能量变化而确定。
这样系统内各子系统和元件（元素）的物理特征都可以用相同的物理特征参量描述。
2．工程系统设计通常有几种方法？其主要思路是什么？试举例说明。
工程系统设计通常有:1.K.J法。
K.J法是由底向上处理大量数据之间关系的一种假设。
K．Jxx思路步骤：（1）标签制作：收集有关问题的所有事实和信息，并且在单个标签上或者纸片上书写每个事实。
（2）标签归类：对所有的标签进行分组，并仔细阅读。
相同属性的标签归在一起，不同属性的个别标签（孤独的狼）放在后面。
对每一组标签给定合适的名称，并把它放在面上。
在更高的水平上重复以及处理孤狼。
重复上述迭代过程，以及归类的类型数少于10个。
（3）范围制作：在恰当的空间图样内，仔细布阵最后确定的标签组，给出标签组结构总的了解，用符号描述标签组之间的关系。
对纸上图表进行转移排列，以同样的做法处理布阵子标签组。
（4）说明：用简短动词说明，构筑问题的一般情况，依据简图的事实内容，试图用文字表达、描述简图，并仔细区别个性说明。
微电子技术的应用
微电子技术的应用随着当今世界信息技术的发展,微电子技术得到了极大的发展。
本文主要介绍了什么事微电子技术,并分析了几个微电子技术在生产生活中的应用的实例。
1、引言微电子产业是基础性产业,微电子技术是高科技和信息产业的核心技术。
微电子技术具有极强的渗透性,发展速度非常快,与其他学科相结合后会产生出一系列崭新的学科和重大的经济增长点,对科技发展和国民经济都做出巨大的贡献。
2、什么是微电子技术微电子技术是随着集成电路,尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。
微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。
微电子技术是建立在以集成电路为核心的各种半导体器件基础上的高新电子技术,特点是体积小、重量轻、可靠性高、工作速度快,微电子技术对信息时代具有巨大的影响。
3、微电子技术在各个领域的应用微电子技术可以低成本、大批量的生产出具有高可靠性和高精度的微电子结构模块。
微电子技术的发展给人们的生产、生活带来了巨大的改变。
与微电子技术成功结合的典型例子便是MEMS技术和生物芯片等。
微电子机械系统使产品体积小、耗能少、运动灵活。
生物芯片则是微电子技术与生物工程技术结合的产物。
科学家们已在讨论把微芯片记忆线路植人人的大脑以治疗老年性痴呆症,或增加人的记忆能力的可能性。
采用微电子技术制成的集成电路芯片已发展到进人GSI时代。
最典型的是存贮器和处理器,应用极为广泛。
计算机的换代就取决于集成电路的集成规模。
随着集成电路的发展。
此外,光学与微电子学的结合,成为光电子技术,被称为尖端中的尖端,为微电子技术的进一步发展。
微电子技术还广泛应用于军事通信、火力控制、情报侦察、预替探测和电子战等方面,已使武器装备的面貌和性能发生了质的变化,也是当今实现武器装备信息化的基础和核心技术,是武器装备更新换代的重要推动力。
4、微电子技术应用的几则实例(1)目前,国内的数字电视分为标清与高清两种,标清的分辨率为720×576像素,而高清的分辨率则可达到1920×1080像素。
微电子机械系统MEMS设计与制造考核试卷
8.在所有的应用场景中，MEMS器件的尺寸越小越好。（×）
9. MEMS技术在生物医学领域的应用前景非常广阔。（√）
10.所有MEMS器件都可以采用硅微加工技术制造。（×）
五、主观题（本题共4小题，每题10分，共40分）
1.请简述MEMS技术的定义及其主要特点，并举例说明MEMS器件在日常生活中的应用。
A.微型加速度计
B.微型麦克风
C.微型太阳能电池
D.微型温度传感器
2. MEMS的全称是？()
A. Micro Electrical Machine System
B. Micro Electronic Machine System
C. Micro Electro Mechanical System
D. Micro Engineered Mechanical System
A.硅
B.玻璃
C.铝
D.钨
6. MEMS设计流程中，哪些环节是必要的？()
A.设计与仿真
B.原型制作
C.测试与优化
D.市场调研
7.以下哪些技术可以用于MEMS器件的封装？()
A.金线键合
B.铝线键合
C.焊接
D.粘接
8. MEMS器件的测试主要包括哪些方面？()
A.电学性能测试
B.机械性能测试
C.环境适应性测试
A.加速度计
B.心率传感器
C.温度传感器
D. GPS模块
13.提高MEMS器件耐磨性的方法包括以下哪些？()
A.硅化物涂层
B.氧化物涂层
C.纳米材料涂层
D.防腐蚀涂层
14.以下哪些是MEMS技术面临的主要挑战？()
机械系统测试技术 大作业 project
项目设计
动态测试信号采集仿真与实例分析
学 姓 日
号：02009519 名：孙小刚 期：2012 年 5 月
指导老师：贾民平
机械工程测试及控制技术
东南大学 2012 年
目录
1、绪论 ...........................................................................................................................................3 2、 项 目 设 计 选 题 1 ： 信 号 仿 真 、 采 集 与 分 析 处 理 ...................4 2.1 选题内容 ...................................................................................................................................4 2.2 设计过程 ...................................................................................................................................4 参数设定 1 .............................................................................................................................4 参数设定 2 .............................................................................................................................6 参数设定 3 .............................................................................................................................6 参数设定 4 .............................................................................................................................7 参数设定 5 .............................................................................................................................9 2.3 讨论分析 .................................................................................................................................10 3、项目选题 2：基于计算机的声信号采集与分析 ............................................................... 11 3.1 选题内容 ................................................................................................................................. 11 3.2 设计过程 ................................................................................................................................. 11 实例 1：采样频率 44100Hz，单声道，实验者一 .........................................................12 实例 2：采样频率 44100Hz，单声道，实验者二 .........................................................13 实例 3：采样频率 8000Hz，单声道，实验者二 ...........................................................13 实例 4：采样频率 44100Hz，单声道，实验者三 .........................................................14 3.3 讨论分析 .................................................................................................................................15 4、项目设计选题 3 ：机械运行数据分析与处理 .................................................................16 4.1 选题内容 .................................................................................................................................16 4.2 程序编写 .................................................................................................................................16 4.3 讨论分析 .................................................................................................................................18 参考文献 .......................................................................................................................................20
07江苏省计算机等级考试二级
江苏省计算机等级考试二级（VB）2007春1.微电子技术是信息技术领域的关键技术，它以集成电路（IC）为核心。
在下列有关叙述中，错误的是 B 。
A．A．目前IC芯片（如CPU芯片）的集成度可达数千万个电子元件B．B．Moore定律指出，单块IC的集成度平均每半年翻一番C．C．从原料熔练到最终产品包装，IC的制造工序繁多，工艺复杂，技术难度非常高D．D．非接触式IC卡采用电磁感应方式无线传输数据，所以又称为射频卡或感应卡2．在下列有关通信中使用的传输介质的叙述中，错误的是 D 。
A．A．计算机局域网中大多使用无屏蔽双绞线，其无中继有效传输距离大约100mB．B．同轴电缆可用于传输电视信号C．C．光纤价格高，一般不在校园网和企业网中使用D．D．微波的波长很短，适合于长距离、大容量无线通信3．二进制数（1010）2与十六进制数（B2）16相加，结果为 B 。
A．(273)8 B.(274)8 C.(314)8 D.(313)84.设有一段文本由基本ASCII字符和GB2312字符集中的汉字组成，其代码为B0 A1 57 69 6E D6 D0 CE C4 B0 E6，则在这段文本中含有 D 。
A．1个汉字和9个西文字符 C.3个汉字和5个西文字符B.2个汉字和7个西文字符 D.4个汉字和3个西文字符5.在下列有关CPU的叙述中,错误的是 D .A. CPU的主要组成部分有运算器、控制器和寄存器组B. CPU的主要功能是执行指令，不同类型CPU的指令系统通常有所不同C. 为了加快运算速度，CPU中可包含多个算术逻辑部件（ALU）D. 目前PC机所有的CPU芯片均为Intel公司的产品6．PC机在加电启动过程中会运行POST程序、引导程序、系统自举程序等。
若在启动过程中，用户按某一热键（通常是Del键）则可以启动CMOS设置程序。
这些程序运行的顺序是 A 。
A．A．POST程序->CMOS设置程序->系统自举程序->引导程序B．B．POST程序->引导程序->系统自举程序->CMOS设置程序C．C．CMOS设置程序->系统自举程序->引导程序->POST程序D．D．POST程序->CMOS设置程序->引导程序->系统自举程序7.目前PC机一般都有USB和FirWire接口,用于连接各种外部设备.在下列关于这两种接口的叙述中,错误的是 B .A. A. USB是一种串行接口,可以连接键盘、鼠标器、优盘、数码相机等多种设备B. B. FireWire是一种并行接口，通常用于连接需要高速传输大量数据的设备（如音视频设备）C. C. USB 2.0的数据传输速率是USB 1.0的数十倍D. D. 一个USB接口上可以连接不同的设备8.在下列有关PC机外存储器的叙述中,错误的是 C .A.1.44MB软盘的每一面有80个磁道,每个磁道分为18个扇区,每个扇区512字节B.硬盘的主要性能指标之一是平均存取时间,它与硬盘的转速(rpm)有很大关系C.优盘的缺点是:优盘均无写保护功能,且不能起到引导操作系统的作用D.CD-R是目前常用的可记录式光盘,但其刻录的数据不能修改9.在下列关于Windows 98/XP操作系统的存储管理功能的叙述中,错误的是 C .A. A. 存储管理的功能主要包括内存的发配与回收、共享和保护、自动扩充（虚存的实现）等C. C. 虚拟存储器采用的页面调度算法是“先进先出”（FIFO）算法D. D. 在Window Windows XP 中，虚拟内存其实就是一个磁盘文件，即“交换文件”10．人们常说“软件的主体是程序，程序的核心是算法”。
北航微机电期末作业作业
《微机电系统技术概论》——超声微电机目录一前言 (1)二国内、外研究综述 (1)三研究目标与意义 (4)四拟解决的关键技术 (4)五总结 (5)一前言以微机械和微电子技术为基础的微电子机械系统(MEMS)是20世纪80年代末期兴起的新型学科。
在许多领域(如生物医疗、国防军工、精密仪器以及微型机器人等)均有广泛的应用，倍受发达国家政府和学者的重视并投入巨资进行开发和研究，可望在21世纪初成为新兴高科技支柱产业。
信息系统的微型化不仅使系统体积大大减小、功能大大提高，同时也使性能、可靠性得到优化，功耗和价格却大幅度降低。
目前，采用微电子技术可以方便地将电子系统微型化，但在非电子系统方面，其微型化能力远远落后于电子系统，已成了进一步发展的“瓶颈”，迫切需要取得突破。
信息系统的微型化和集成化是人们不断追求的目标，如果相关的非电子系统不小下来，整个系统将很难进一步小下去。
微电机是微电子机械系统中的核心，其体积大小和性能的优劣直接影响到微系统的总体品质，也一定程度上体现了一个国家微系统的发展水平。
因此，高性能微电机的研制已成为该领域关键问题之一。
图1. 超声微电机超声微电机一般是利用压电陶瓷材料(PZT或高分子PVDF薄膜材料等)的逆压电效应[1]，将压电振子的超声波振动能转换成机械能并依靠摩擦力来驱动的一种新型微电机。
较之电磁电机的复杂结构及静电电机的微弱输出，超声微电机的效率与其尺寸不敏感，具有结构简单、紧凑，无电磁干扰、低转速大扭矩、分辨率高等特点，引起了国内外微电机工程界的广泛关注。
毫米超声微电机正与微型机器人、微型飞行器、微型医疗器件等结合，显示出较广阔的应用前景，对其研究具有重要价值。
二国内、外研究综述自1988年美国加州大学的Lober和Howe成功地研制成转子直径为120μm的静电型微电机[2]后，人们对静电型电机的原理、工艺和材料进行了不断的改进，研制了多种静电电机，其性能也不断提高，转子的直径从最初的数百μm缩小到50μm，转速到105r/min。
大作业题目12
《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目说明：SQ1—原位行程开关；SQ2—快转工行程开关；《机电传动控制》大作业题目考核分数《机电传动控制》大作业题目考核分数《机电传动控制》大作业题目考核分数《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目动作时，打开小车底门卸料，6s 后结束，完成一《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目考核《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目考核分数《机电传动控制》大作业题目姓名处将板料压紧、剪刀下行剪板。
板料剪断落至SQ5处，压钳和剪刀上行复《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目考核《机电传动控制》大作业题目1、I0.1 为运行启动控制按钮，I0.3为停车控制按钮。
《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目考核《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目《机电传动控制》大作业题目。
桂林电子工业大学 29211学期实验课程表
（07级机械、交通、建环、微电子60人）电子技术B（模电）（11.13.14.17周）P1＆JX04307
（07级机械、交通、建环、微电子60人）电子技术B（模电）（11.13.14.17周）P2＆JX04309
二
1.2
3.4
（07级机械、交通、建环、微电子60人）电子技术B（数电）（15.16周）P1＆7416
(08级电气工程60人)电路分析基础A实验(4.7.9.11.13.15.17.19周) P2（秦）＆JX04309课号：0911806
（08级微电子制造60人）电路分析基础B（8.10.12.14.16.18周）P1＆JX04307
（08级微电子制造40人）电路分析基础B（8.10.12.14.16.18周）P2＆JX04309
信息与通信学院2009-2010-1学期实验课程表2009年6月16日
一
1.2
3.4
5.6
(07级通信工程等60人)微机原理与接口技术实验（7.9.11.13.15.17.19周）P1（黄）＆7505课号：0911809
(07级通信工程等40人)通信电子电路实验（6.8.10.12.14.15.16.18周）P15（孟）＆7504课号：0911934
（08级通信工程等60人）模拟电子技术实验（8.9.11.12.15.17.18.19周）P4（秦）＆JX04309课号：0911820
(07级通信工程等40人)通信电子电路实验（6.8.10.12.14.15.16.18周）P4（孟）＆7504课号：0911833
9.10
(07级通信工程等40人)通信电子电路实验（6.8.10.12.14.15.16.18周）P5（孟）＆7504课号：0911834
微电子工艺作业参考答案（第1-第10次）
微电⼦⼯艺作业参考答案（第1-第10次）微电⼦⼯艺作业参考答案第⼀次作业（全体交）1、简单叙述微电⼦学对⼈类社会的作⽤答：⾃上世纪40年代晶体管诞⽣以来，微电⼦学科技术发展异常迅猛，⽬前已进⼊到巨⼤规模集成电路和系统集成时代，已经成为整个信息时代的标志和基础。
可以毫不夸张地说，没有微电⼦就没有今天的信息社会。
纵观⼈类社会发展的⽂明史，⼀切⽣产⽅式的重⼤变⾰都是由新的科学发明⽽引起的。
科学技术作为第⼀⽣产⼒，推动者社会向前发展。
1774年，英国格拉斯哥⼤学的修理⼯⽡特发明了蒸汽机，触发了第⼀次⼯业⾰命，产⽣了近代纺织业和机械制造业，使⼈类进⼊了利⽤机器延伸和发展⼈类体⼒劳动的时代。
1866年，德国科学家西门⼦发明了发发电机，引发了以电⽓化⼯业为代表的第⼆次技术⾰命。
当前，我们正在经历着⼀场新的技术⾰命，虽然第三次技术⾰命包含了新材料、新能源、⽣物⼯程、海洋⼯程、航天⼯程和电⼦信息技术等等，但影响最⼤、渗透性最强、最具有新技术⾰命代表性的仍是以微电⼦技术为核⼼的电⼦信息技术。
信息是客观事物状态和运动特征的⼀种普遍表现形式，是继材料和能源之后的第三⼤资源，是⼈类物质⽂明与精神⽂明赖以发展的三⼤⽀柱之⼀。
⽬前，全球正处在⼀场跨越时空的新的信息技术⾰命中，它将⽐⼈类历史上的任何⼀次技术⾰命对社会经济、政治、⽂化等带来的冲击都更为巨⼤，它将改变我们⼈类的⽣产⽅式、⽣活⽅式、⼯作⽅式，以及治理国家的⽅式。
实现社会信息化的关键是各种计算机和通讯设备，但其基础都是半导体和微电⼦技术。
1946年，美国宾⼣法尼亚⼤学莫尔学院诞⽣了世界第⼀台电⼦计算机ENIAC，运⾏速度只有每秒5000次，存储容量只有千位，平均稳定运⾏时间只有7分钟。
当时的专家认为，全世界只要有4台ENIAC就⾜够了。
然⽽，仅仅过了半多世纪，现在全世界的计算机数量已多达数亿台。
造成这个巨⼤变⾰的技术基础就是微电⼦。
现在，电⼦信息产业已经成为全球第⼀⼤产业。
微机电系统在机械工程中的应用与研究
微机电系统在机械工程中的应用与研究微机电系统（Microelectromechanical Systems, MEMS）是一种结合微电子技术、微机械制造技术和微观传感器技术的新兴学科，其应用领域广泛且日益增多。
本文将探讨微机电系统在机械工程中的应用与研究，并重点介绍其在传感器、驱动器、加速计和生物医学等领域的应用。
一、传感器的应用传感器是微机电系统最常见的应用之一。
它利用微机电技术制造出微米级的传感器件，实现对环境参数的高精度测量。
目前，微机电系统传感器已广泛应用于汽车、航空航天、环境监测等领域。
在汽车行业中，微机电系统传感器被用于测量汽车的加速度、转向角度等参数。
通过将这些传感器与汽车的控制系统连接，可以实现对车辆的实时监测和控制，提高行车安全性和驾驶舒适度。
在环境监测方面，微机电系统传感器被广泛应用于大气污染监测、水质检测等领域。
这些传感器能够实现对空气中污染物浓度、水质参数的监测，为环境保护和生态系统保护提供了有力的技术手段。
二、驱动器的应用微机电系统驱动器是指利用微机电技术制造的微型驱动器，广泛用于精密仪器、光学设备等领域。
与传统的电机相比，微机电系统驱动器具有体积小、功耗低、输出精度高等优势。
在精密仪器方面，微机电系统驱动器被广泛应用于光纤陀螺仪、惯性导航系统等设备中。
这些设备对驱动器的输出精度要求极高，而微机电系统驱动器能够满足这些要求，提高了设备的性能和可靠性。
在光学设备方面，微机电系统驱动器被用于调节光学元件的位置和角度，实现对光路的精确控制。
其具有快速响应、高精度的特点，被广泛应用于激光加工、光学成像等领域。
三、加速计的应用加速计是一种常见的微机电系统传感器，用于测量物体的加速度。
其利用微机电技术制造出微型的弹簧质量或压电材料构成的加速度传感器，广泛应用于汽车、无人机等领域。
在汽车行业中，加速计被用于测量车辆的加速度、制动力等参数。
通过对这些参数的监测，可以实时掌握车辆的行驶状态，为车辆的安全性和性能优化提供参考。
2020—2021学年秋季学期微机电系统工程专业《电工与电子技术》期末考试题试卷及答案(卷七)
2020—2021学年秋季学期微机电系统工程专业 《电工与电子技术》期末考试题试卷及答案 （卷七） 题 号 一 二 三 四 五 总 分 得 分 一、填空题（每小题1分，共计40分）。
1. 把两个完全相同的电阻，分别通入交流电和直流电，如果产生的（热量）相同，就把这个（直流电流）的数值叫作这个（交流电流）的有效值。
2. 在三相电路中，电源电压三相对称的情况下，如三相负载也对称，不管有无中性线， 中性点的电压都等于（0）。
如果三相负载不对称，且没有中性线或中性线阻抗较大时，三相负载中性点会出现电压，这种现象叫（中性点位移）现象。
3. 将电气设备的外壳和配电装置金属构架等与接地装置用导线作良好的电气连接叫接地，此类接地属（保护）接地，为防止因绝缘损坏而造成触电危险。
4. 电气设备发生接地时，接地电流流过接地装置，大地表面形成分布电位，在该地面离开设备水平距离和垂直距离间有（电位差），人体接触该两点时所承受的电压叫接触电压。
人步入该范围两脚跨间距离之间的电位差叫跨步电压，跨步电压不允许超 ………○…………○………装…………○…………订…………○…………线…………○…………-院系：专业班级：学号：姓名：座位号：过（40）V。
5. 在汽轮发电机中，由于定子磁场的不平衡或大轴本身带磁，当出现交变磁通时，在轴上感应出一定的电压，称为（轴电压）。
轴电压由轴颈、油膜、轴承、机座及基础底层构成通路，当油膜被破坏时，就在此回路内产生一个很大的电流，称为（轴电流）。
6. 反映电流的过量而动作，并通过一定的延时来实现选择性的保护装置，称为（过电流保护）。
7. 电气二次设备是与一次设备有关的（保护）、（信号）、（控制）、（测量）和操作回路中所使用的设备。
8. 感应电动机因某些原因，如所在系统短路、换接到备用电源等，造成外加电压短时（中断）或（降低），致使转速降低，而当电压恢复后转速又恢复正常，这就叫电动机的自起动。
9. 当电动机供电母线电压短时降低或短时中断时，为了防止电动机自起动时使电源电压严重降低，通常在次要电动机上装设（低电压保护），当供电母线电压低到一定值时，（低电压保护）动作将次要电动机切除，使供电母线电压迅速恢复到足够的电压，以保证重要电动机的（自启动）。
微机电系统_MEMS简介
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生物医疗和医学上的应用
微机械技术在生物医疗中的应用尤其令人惊叹。例如:将微型传感器用
口服或皮下注射法送入人体,就可对体内的五脏六腑进行直接有效的监测。
将特制的微型机器人送入人体 ,可刮去导致心脏病的油脂沉积物,除去体内的
胆固醇,可探测和清除人体内的癌细胞 ,进行视网膜开刀时 ,大夫可将遥控机
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在军事上的应用
MEMS已在空间超微型卫星上得到应用 ,该卫星外形尺寸为 2. 54 cm ×7. 62 cm ×10. 6 cm,重量仅为 250 g 。2000年 1月 ,发射的两颗试验小卫 星是证明空基防御能力增强的一个范例。对小卫星试验来说幸运的是 ,因 其飞行寿命短 ,所以 ,暴露在宇宙辐射之下并不是关键问题。小卫星上基 于硅的 RF开关在太空应用中表现出优异的性能 ,这得益于它的超微小尺 寸。作为一个在海上应用的实例 ,MEMS引信 /保险和引爆半导体,微电子, 集成电路,IC,工艺,设计,器件,封装,测试, F/SA 装置已成功地用于潜艇鱼雷 对抗武器上。引信 /保险和引爆装置的工作包括 3个独立步骤:发射鱼雷 后 ,解除炸药保险、引爆 引信 和防止在不正确时间爆炸 保险 。使用镀有 金属层的硅结合巧妙的封装技术 ,MEMS F/SA器件要比传统的装置小 1 个数量级 ,可安装在 15. 88 cm的鱼雷上 ,这是其他方法做不到的.
由于MEMS器件和系统具有体积小、重量 轻、功耗小、成本低、可靠性高、性能优异、 功能强大、可以批量生产等传统传感器无法比 拟的优点，因此在航空、航天、汽车、生物医 学、环境监测、军事以及几乎人们接触到的所 有领域中都有着十分广阔的应用前景。
19年12月考试《机械电子工程设计》期末大作业答案
B.脉冲分配电路
C.矢量控制电路
答案:B
30.下面哪个环节属于在总体设计中互补性设计（）
A.性能分析
B.功能分配
C.性能分配
答案:C
31.机电产品融合新技术使产品功能得以增强，称为（）
A.功能附加型
B.功能替代型
C.机电融合型
答案:A
32.伺服系统中的机械传动必须要进行消隙处理，这主要是为了（）
14.机械夹持器所具有的基本功能是（）
A.夹持和松开
B.传递转速
C.拧紧和松弛
答案:A
15.调速范围、行程和运动轨迹属于运动参数，这句话正确与否（）
A.不正确
B.无法判断
C.其他
D.正确
答案:D
16.三相步进电动机的通电方式中，哪种适合于负载较大且工作平稳（）
A.三相单三拍
B.三相双三拍
C.三相六拍
3.若三相步进电动机的转子是4齿，那么三相六拍的通电方式下的步距角是（）
A.90度
B.30度
C.15度
答案:C
4.静态误差的参数值不随时间变化，这句话正确与否（）
A.无法判断
B.其他
C.不正确
D.正确
答案:D
5.以下哪种调隙方式属于斜齿轮传动机构的调隙方法（）
A.轴向压簧法
B.周向压簧法
C.双片薄齿轮错齿调整法
20.以齿轮传动链为例，升速传动中传动件k到末端件n的传动比均小于1，所以误差传递过程是（）
A.无法判断
B.放大关系
C.成倍缩小关系
D.缩小关系
答案:B
21.若按误差源来分类,( )属于机电系统误差
A.随机误差
B.静态误差
《MEMS与微制造》课件
Part Five
MEMS设计方法与 仿真
MEMS设计的基本原则和方法
纳米级结构的技术
激光加工技术：利用激光在 硅片上形成微米级或纳米级
结构的技术
添加标题
添加标题
添加标题
微加工技术分类：光刻、刻 蚀、沉积、电镀、激光加工
等
添加标题
刻蚀技术：利用化学或物理 方法在硅片上形成微米级或
纳米级结构的技术
添加标题
电镀技术：利用电化学反应 在硅片上形成微米级或纳米
级结构的技术
典型的MEMS制造工艺流程
智能制造技术： 利用人工智能和 物联网技术进行 制造，实现智能 制造和智能生产
THANKS
汇报人：PPT
Part One
单击添加章节标题
Part Two
MEMS技术概述
MEMS的定义和特点
MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）：微机电系统，是一种将微电子技术与机械 工程相结合的技术。
特点：体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、集成度高、功能强大。
应用领域：广泛应用于航空航天、生物医学、通信、消费电子等领域。
分类：根据封装材料、工艺和结构的不同，MEMS封装可分为陶瓷封装、金 属封装、塑料封装等。
发展趋势：随着MEMS技术的不断发展，对MEMS封装的要求也越来越高。 未来，MEMS封装将朝着小型化、集成化、低成本和高可靠性的方向发展。
MEMS封装材料与结构
苏州大学应用技术学院07级机械(本)班上课时间表
苏州大学应用技术学院07级机械（本）班上课时间表班号：0716001（应07机械）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级机电（本）班上课时间表班号：0716002（应07机电）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级电气工程（本）班上课时间表班号：0716003（应07电气）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级测控（仪表）（本）班上课时间表班号：0716004（应07测控）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级电子信息（本）班上课时间表班号：0716005（应07电子）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级计算机（本）班上课时间表班号：0716006（应07计算机）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级信息工程（本）班上课时间表班号：0716007（应07信息）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级通信工程（本）班上课时间表班号：0716008（应07通信）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级服装（本）班上课时间表班号：0716009（应07服装）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级艺术（产品设计）（本）班上课时间表班号：0716010（应07艺术1）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级艺术（动漫设计）（本）班上课时间表班号：0716110（应07艺术2）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级艺术（视觉传达）（本）班上课时间表班号：（应07艺术3）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级旅游（酒店）（本）班上课时间表班号：0716012 (应07旅游1班) 2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级旅游（酒店）（本）班上课时间表班号：0716013 (应07旅游2班) 2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级旅游（会展）（本）班上课时间表班号：0716014 (应07会展) 2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级英语1（本）班上课时间表班号：0716015（应07英语1.1）学号1-42号2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级英语1（本）班上课时间表班号：0716015（应07英语1.2）学号43-80号2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级英语2（本）班上课时间表班号：0716016（应07英语2.1）学号81-118号2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级英语2（本）班上课时间表班号：0716016（应07英语2.2）学号119-160号2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级日语（本）班上课时间表班号：0716017（应07日语1）学号1-42号2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级日语（本）班上课时间表班号：0716017（应07日语2）学号43-84号2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级心理学（本）班上课时间表班号：0716018（应07心理学）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级工商（商务）（本）班上课时间表班号：0716019（应07商务）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07年级工商（物流）（本）班上课时间表班号：0716020（应07物流）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级会计1（本）班上课时间表班号：0716021（应07会计1）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级会计2（本）班上课时间表班号：0716022（应07会计2）2009—2010学年第二学期苏州大学应用技术学院07级财务（本）班上课时间表班号：0716023（应07财务）2009—2010学年第二学期。
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简答：
1．什么是MEMS？
2．硅片加工包括哪几个工艺步骤？
3．基本光刻技术包括哪几个工艺步骤？4．光刻掩膜的阴版、阳版结构与光刻胶的正胶、负胶分别搭配使用时，能够刻蚀出什么样的结构？
5．二氧化硅层的作用是什么，及其制备方法有哪些？
6．CVD反应步骤包括哪些？
7．完成扩散工艺需要哪些步骤？
8．湿法腐蚀技术包括哪两种，用化学方程式解释说明硅湿法腐蚀机理
9．硅自停止腐蚀技术包括哪几种，简要说明其中一种自停止腐蚀技术？
10．如何通过自停止腐蚀技术制备“微喷嘴”，简要叙述其工艺步骤。
词汇：
1．Moore’s Law
2．pressure sensors
3．accelerometers
4．flow sensors
5．inkjet printers
6．deformable mirror devices
7．gas sensors
8．micromotors
9．microgears
10．lab-on-a-chip systems 11．Sacrificial layer process 12．Deep reactive ion etching 13．Wafer bonding 14．Piezoelectric films
15．Bulk-micromachining 16．Surface micromachining 17．Integrated Circuit Processes 18．Crystal growth
19．Oxidation
20．Lithography
21．Etching
22．Diffusion and ion implantation 23．Metallization
24．Chemical vapor deposition 25．Assembly and packaging 26．Crystal plane 27．Diamond structure
28．Doping
29．Crystal oriention
30．Isotropic etching of silicon 31．Anisotropic etching of silicon 32．Dopant dependent etch stop 33．Electrochemical etch stop
34．P-N Junction Etch Stop
35．Dry Etching
36．epitaxial
37．Silicon substrate
38．high-aspect-ratio
MEMS领域英文文献翻译：
Czochralski（CZ）pulled method
Melt ultrapure polycrystalline silicon and small amount of dopant in a quartz crucible under an inert atmosphere.
Clamp and dip a small single crystal see, with normal to its bottom face carefully aligned along a predetermined direction into the molten silicon.
Once the temperature equilibrium is established, the temperature of the melt in the vicinity of the seed crystal is reduced, and silicon from melt begins to freeze out onto the seed crystal.
The added materal is a structurally perfect extension of the seed crystal. The seed crystal is slowly rotated and withdrawn from the melt => more and more silicon to freeze out on the bottom of growing crystal.
Typical pull rate for 100mm dia ～20cm/hr.
Plasmas
Apply 1.5 kVDC over 15 cm, field is 100 V/cm. Breakdown of argon when electrons transfer a kinetic energy of 15.7 eV to the argon gas (electrons migrate from the cathode to the anode). These energetic collisions generate a second electron and a positive ion for each successful strike (ions migrate from the anode to the cathode). If creating an avalanche of ions and electrons, we get a
glow or plasma. At the start of a sustained gas breakdown, a current starts flowing and voltage drops to about 150V. To sustain a plasma, a mechanism must exist to generate additional free electrons after the plasma generating that have been captured at the anode. The additional electrons are formed by ions of sufficient energy striking the cathode (Auger electrons). This continuous generation provides a steady supply of electrons and a stable plasma.。