气体传感器的研究及发展方向
气体探测器现状和发展趋势
气体探测器现状和发展趋势检测工作场所的可燃气体和有毒气体从而来监控现场空气状况,从而来保证工作现场的安全可以追诉到隋代甚至更早,将鸡或鸟放到密闭的空间,观察它的的健康状况,从而确保现场的安全状况(瓦岗塞程咬金密洞探宝)。
这是采煤工人和探险人员一度采用的“高科技”方法。
如今广大的工人和公众不必依赖敏感的鸟类,现代气体监控仪表要先进的多。
气体探测和监控是当前比较热门的技术,已经在工业生产、医学诊断、环境监测、国防等领域得到了广泛应用。
我国在上世纪50年代已有相关方面的研究,与发达国家相比,在时间上并没有绝对的差距(一般国际上气体探测器起始于上世纪50年代的电化学传感器产生),不过国际上最早的气体探测器起始于上世纪20年代的催化燃烧气体传感器产生。
气体探测器市场发展的最大推动力是国际上对爆炸性气体环境控制和有毒气体排放和污染物排放方面的严格立法,法规的建立降低由于在狭窄空间内危险气体的存在所造成的事故数量,同时使得人们对家庭中出现的有害气体污染和爆炸性气体的危险的关心程度大幅度增强,这就使得气体探测器有了广泛的市场,如今气体探测器已经广泛的运用到了工业、环保、国防等诸多领域。
仅以用于安全保护家用燃气泄漏报警器为例,日本早在1980年1月开始实行安装城市煤气、液化石油气报警器法规,1986年5月日本通产省又实施了安全器具普及促进基本方针。
美国已有7个州11个城市通过立法,规定家庭、公寓等都要安装CO报警器。
目前我国已有黑龙江省、山西省、哈尔滨市、青岛市等发布文件。
随着城市燃气化的扩大、政府立法和人民安全保护意识的提高,城市家庭安装气体报警器必将很快推广普及,一氧化碳、氢气敏元件探测器的需求量将会急剧增加。
随着石油化学工业的发展,易燃、易爆、有毒气体的种类和应用范围都得到了增加。
这些气体在生产、运输、使用过程中一旦发生泄漏,将会引发中毒、火灾甚至爆炸事故,严重危害人民的生命和财产安全。
由于气体本身存在的扩散性,发生泄漏之后,在外部风力和内部浓度梯度的作用下,气体会沿地表面扩散,在事故现场形成燃烧爆炸或毒害危险区,扩大危害区域。
微型气体传感器的研发与应用
微型气体传感器的研发与应用一、引言微型气体传感器是一种能够快速、准确地检测环境中气体成分的仪器,广泛应用于环境监测、生物医学、工业生产及生活安全等领域。
近年来,随着微电子技术的不断发展,微型气体传感器得以快速发展,并广泛应用于各个领域。
本文将从传感器的研发与应用两个方面,介绍微型气体传感器的现状及未来发展趋势。
二、微型气体传感器的研发1. 传感器原理及发展微型气体传感器是利用物理、化学原理的传感器。
常用的微型气体传感器有半导体氧化物传感器、电化学传感器、纳米材料传感器和表面等离子体共振传感器等。
随着微纳工程技术及半导体制造工艺的发展,微型气体传感器在灵敏度、选择性、反应速度、功耗、体积等方面均有较大提升。
目前,微型气体传感器主要应用于环境、工业和医疗卫生等领域。
2. 研究进展与挑战随着传感器技术的不断发展,微型气体传感器可以实现更小、更灵敏、更具选择性、更快速的响应。
但是,对于某些气体传感器而言,它们仍面临着特定方面的挑战。
例如,在高温、高湿和高浓度气氛下,气体传感器可能会出现受干扰的情况,导致传感器读数失真,从而影响传感器的有效性。
此外,由于气体在环境中的存在形式的复杂性,使得气体传感器必须具有更强的选择性和特异性。
三、微型气体传感器的应用1. 环境监测微型气体传感器的应用在环境监测中显得尤为重要。
通过对气体传感器的检测,可以实现对空气中的温度、湿度和各种有害物质的检测和监控,如有毒气体、有害气体、医疗废气等。
例如,在室内空气监测中,通过安装微型气体传感器,可以检测各种有害气体的含量和浓度,从而及时发现问题,避免危害。
2. 生物医学微型气体传感器的应用还包括生物医学领域,例如对呼吸气体的检测。
人体呼出的气体中含有许多生物标志物,可以通过对微型气体传感器的检测来检测疾病或身体状态的变化,如肺癌、肺结核等。
3. 工业生产微型气体传感器在工业生产中也有广泛应用,在生产过程中检测气体的组分和浓度,降低生产过程中产生的有害气体的浓度和危害人员健康的可能。
气体传感器的材料选择与应用研究
气体传感器的材料选择与应用研究一、引言气体传感器是一种关键的技术,用于监测环境和过程中存在的气体浓度。
随着现代工业的发展和环境污染的日益加重,对气体传感器的需求越来越高。
对于不同的应用场合和工作要求,需要选择不同的材料以满足传感器的性能要求。
本文将就气体传感器的材料选择和应用进行研究。
二、气体传感器常用材料1. 金属氧化物半导体材料金属氧化物半导体材料是气体传感器材料中最常用的一种。
这种材料基于其表面在不同气体环境下的电学性质变化而工作。
金属氧化物半导体传感器有良好的选择性和灵敏度,且可用于各种气体和气体混合物。
其中常用的材料包括二氧化锡、氧化锌、二氧化钛等。
2. 半导体量子点材料半导体量子点是小于10纳米的半导体颗粒。
这种材料具有高灵敏度、高选择性、迅速回应速度和长期稳定性等优点,可以应用于气体传感器中。
一些研究者已经成功地利用半导体量子点材料开发出高响应的气体传感器。
3. 导电聚合物材料导电聚合物材料可作为一种替代金属氧化物半导体材料的选择,其优点包括灵活性、低成本和易纳入集成电路等。
聚苯胺是一种重要的导电聚合物材料,可用于氧化氮、氨气和挥发性有机化合物等气体的传感。
4. 贵金属氧化物材料贵金属氧化物材料因其高响应性和选择性而被广泛应用于气体传感器中。
其价格昂贵,但由于其优异性能和高质量,它们仍然是气体传感器材料中的重要选择。
铂氧化物是其中最常用的材料之一。
三、气体传感器的应用研究1. 环境监测气体传感器可用于监测环境中的有害气体和空气质量。
例如,二氧化氮传感器可用于监测室内和室外空气中的空气污染程度。
另外,气体传感器在测量建筑物中的气体含量以及测量温室气体浓度方面也具有潜在应用。
2. 工业监测气体传感器可在工业监测中使用。
例如,二氧化碳传感器用于监测生产过程中的二氧化碳浓度,从而确保工业过程的安全性。
气体传感器还可用于检测氧气浓度、温度和湿度等变量,这些变量对许多生产流程和产品有多种影响。
基于MEMS技术的气体传感器研究与应用
基于MEMS技术的气体传感器研究与应用近年来,随着科技的不断进步,MEMS技术得到了广泛应用和研究。
其中,基于MEMS技术的气体传感器在环境监测、工业控制、医疗诊断等领域发挥着重要作用。
本文将探讨MEMS技术在气体传感器研究与应用中的进展和前景。
1. MEMS技术的基本原理MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)技术是一种将微观电子技术与机械工艺相结合的技术。
它通过微纳加工技术,将微小的机械结构和电子元件集成在一起,实现对微小物理量的测量和控制。
MEMS技术的核心是微加工工艺,包括光刻、薄膜沉积、离子刻蚀等多种工艺。
2. MEMS气体传感器的原理与结构MEMS气体传感器是基于MEMS技术制造的一种传感器,用于检测和测量气体的浓度、压力、温度等参数。
其工作原理一般是通过气敏材料与被测气体的相互作用,产生电学信号,进而实现气体的检测和分析。
3. MEMS气体传感器的优势相比传统的气体传感器,基于MEMS技术的气体传感器具有以下优势:(1)体积小巧:由于MEMS技术的微纳加工特性,使得气体传感器可以制造成微小的芯片,方便集成到各种设备和系统中。
(2)低功耗:MEMS气体传感器的功耗较低,可以实现长时间的连续监测和控制。
(3)高灵敏度:MEMS气体传感器的灵敏度较高,可以实现对微小气体浓度的检测和分析。
(4)快速响应:基于MEMS技术的气体传感器响应速度快,可以实时监测气体的变化。
4. MEMS气体传感器的应用领域基于MEMS技术的气体传感器在各个领域都有广泛的应用。
在环境监测方面,可以用于检测空气质量、水质污染等;在工业控制方面,可以用于气体泄漏检测、燃气安全监测等;在医疗诊断方面,可以用于呼吸气体分析、病菌检测等。
此外,MEMS气体传感器还可以应用于智能家居、汽车电子等领域。
5. MEMS气体传感器的挑战与展望虽然MEMS技术在气体传感器领域取得了显著的进展,但仍面临一些挑战。
气体传感器原理及检测技术研究
气体传感器原理及检测技术研究随着社会的发展和人们生活水平的提高,空气质量已经成为人们日常关注的问题之一。
不断增加的污染源和恶劣的环境条件导致大气污染问题愈演愈烈。
检测和监控大气污染已经变得越来越重要。
气体传感器的发明和应用极大地帮助了环境监测和控制。
本文将从气体传感器的原理以及检测技术角度进行探讨。
一. 气体传感器原理介绍气体传感器是测量和检测空气中特定气体浓度的一种仪器。
在气体传感器中,气体通常被吸附或催化转变成信号,然后被检测器测量。
根据检测器的测量方式,可以将气体传感器分为电化学传感器、非色谱气体传感器和光学传感器三类。
电化学传感器电化学传感器利用电化学反应来检测气体。
它们包括一种感应电极和一种对比电极,涂有一种特殊材料。
当气体到达感应电极时,将通过氧化还原反应产生电流,对比电极将测量电流,从而计算出气体浓度。
这种传感器通常用于检测一氧化碳、硫化氢等有毒气体。
非色谱气体传感器非色谱气体传感器基于多种传感技术,包括传感控制膜、金属氧化物半导体、热敏电阻和石英晶体微天平等。
这些方法适用于不同类型的气体检测,如有毒气体、温室气体和可燃气体等。
其中最常用的是金属氧化物半导体传感器。
该传感器通过加热一种氧化物半导体,使其表面活性发生改变。
当特定气体分子到达表面时,将导致电阻变化,从而测量气体浓度。
光学传感器基于光学传感器的气体检测器使用光学吸收、发光和散射等方法来检测气体。
它们通常包括一个光源和一个光学探测器。
当光通过气体时,将吸收或散射光线,产生特定的光谱。
这种光学信号将传输到光学探测器接收并分析。
这种传感器通常用于检测二氧化碳、甲烷等气体。
二. 气体传感器检测技术的研究与应用近年来,气体传感器的检测技术得到了广泛的研究和应用。
一些系统可以同时监测多个气体,从而更有效地对大气污染进行监测。
同时,将气体传感器与物联网技术相结合,可以形成一个监测系统,对供应链进行实时监测。
例如,监测农场生产情况时,气体传感器可以帮助检测温室气体排放,从而提高环境监测的有效性和准确性。
气体传感器的现状及发展前景
气体传感器的现状及发展前景摘要:随着科学技术和制作工艺的发展、安全意识的提高,气体传感器在家庭生活和工业中起到越来越重要的作用。
本文就气体传感器的设计原理、分类、几种常用的气体传感器的工作原理及发展前景进行了综述。
关键词:气体传感器;设计原理;分类;工作原理;发展前景.Abstract:With the development of science and technology and craftsmanship and the improvement of safety awareness, gas sensors play an increasingly important role in the life and work. In this paper, the design principle of the gas sensor, classify, the working principle of a few frequent gas sensor, and developing prospects are summarized.Key Words:Gas sensor; Design principle; Classify; Working principle ; Developing prospect.1 引言由于人们生活水平的逐渐提高,伴随着越来越多的天然气、液化气、热水器等气体及电子设施的广泛使用,爆炸、中毒事件也时有发生,安全隐患防范愈来愈显得重要,因此,监控设施是否正常运转、环境中相关参数是否安全显得愈发重要。
利用气体传感器监控环境变化,有助于预防灾害的发生。
气体传感器在安全数字化社区的建设中占据越来越重要的位置。
本文就目前普遍使用的气体传感器的设计原理、种类、发展前景及发展方向进行了综述。
2 气体传感器的设计原理气体传感器是是气体检测系统的核心,通常安装在探测头内。
理论上,气体传感器是一种将气体的成份、浓度等信息,通过气体体积积分数转换成可以被人员、仪器仪表、计算机等利用的信息的装置。
气体传感器的研究进展及应用前景
气体传感器的研究进展及应用前景随着科技的发展,人们对于环保、安全等问题的关注也越来越高。
而气体传感器就是在这样的背景下应运而生的。
气体传感器可以检测空气中的各种有害物质,比如有害气体、可燃气体、二氧化碳等等。
在人们的生活中,气体传感器的应用非常广泛,下面我们就来了解一下气体传感器的研究进展及应用前景。
一、气体传感器的研究进展1. 传感器技术在传感器技术上,主要有两个方面的进展。
一是微纳米技术的运用,可以大大提高气体传感器的灵敏度和准确性。
二是无线传感技术的应用,可以使传感器的使用更加便捷。
2. 检测材料针对不同的气体,气体传感器所使用的检测材料也不同。
目前,研究人员正在研发高灵敏的氧气、氮气、甲烷等气体的检测材料。
3. 检测机制气体传感器的检测机制也在不断研究和改进中。
目前,比较常见的检测机制有光学、电化学和热导等。
而在光学和电化学方面,研究人员正在研究如何提高传感器的灵敏度,并改进检测机制的精度和准确性。
二、气体传感器的应用前景1. 环保气体传感器可以检测空气中的各种污染物,可以提醒人们环保意识的养成。
而通过气体传感器的数据收集与分析,连环污染源也可以更具有针对性地被识别、治理和追溯。
2. 工业安全工业中经常会涉及可燃气体,而使用气体传感器可以及时发现可能的危险,并采取措施避免事故的发生。
另外,气体传感器也可以应用于某些特定领域如矿井、煤气行业等,防范和控制一些常见的有害气体泄漏,以保障工人们的安全。
3. 医疗保健气体传感器的一大应用领域就是医疗保健。
通过检测室内空气的二氧化碳浓度,可以帮助保持医院里的空气质量,减少医疗环境中各种疾病的传播。
通过感知心率、血压波形、呼吸节奏、运动状态等生理指标,还可以用于健康数据的采集和分析。
四、结语总的来说,气体传感器的研究进展和应用前景是非常广泛的。
而针对改善生活和保障人类健康这一目标,研究人员必须进一步改进和完善气体传感器在各领域的应用。
令人期待的是,未来一定会有更多新材料、新技术被应用于气体传感器的研究中,推动气体传感器在生产、环保、医疗等多个领域的应用进步。
激光气体传感技术
激光气体传感技术激光气体传感技术是一种基于激光原理和光谱分析的先进技术,可以用于检测和监测气体浓度和成分。
它在环境监测、工业生产、医疗诊断等领域具有广泛的应用前景。
本文将从激光气体传感技术的原理、应用领域和未来发展方向等方面进行阐述。
一、激光气体传感技术的原理激光气体传感技术是利用激光束与气体发生相互作用的原理来实现气体浓度和成分的检测。
当激光束通过气体时,会与气体分子发生光谱吸收,吸收的光谱特征与气体的浓度和成分密切相关。
通过测量激光束经过气体后的光强变化,可以反推出气体的浓度和成分信息。
1. 环境监测:激光气体传感技术可以用于监测大气中的污染物浓度,如二氧化硫、氮氧化物、臭氧等。
它具有高灵敏度、高准确度和快速响应的特点,可以实时监测环境中的气体污染情况。
2. 工业生产:激光气体传感技术可以用于监测工业生产过程中产生的有害气体,如氨气、氢气、甲烷等。
通过实时监测和控制气体浓度,可以保证生产过程的安全性和环境的可持续发展。
3. 医疗诊断:激光气体传感技术可以用于医疗诊断领域,如呼吸道疾病的诊断、肺功能评估等。
通过检测呼吸气中的气体成分和浓度,可以判断患者的病情和疾病的类型。
4. 安全监测:激光气体传感技术可以用于安全监测领域,如煤矿安全、化工厂安全等。
通过实时监测有害气体的浓度,可以及时预警和采取措施,保障人员的安全。
三、激光气体传感技术的发展方向随着科学技术的不断进步,激光气体传感技术也在不断发展和创新。
未来,激光气体传感技术有以下几个发展方向:1. 提高传感器的灵敏度和准确度:通过改进传感器的结构和材料,提高传感器对气体的灵敏度和测量精度,以满足更高的检测要求。
2. 实现多气体同时监测:当前的激光气体传感技术主要针对单一气体的检测,未来的发展趋势是实现多气体同时监测,提高传感器的多通道性能。
3. 发展远程传感技术:激光气体传感技术在工业生产过程中需要远程监测,因此,发展远程传感技术是未来的一个重要方向。
气体传感器简介介绍
提高稳定性与寿命
趋势描述
提高气体传感器的稳定性和寿命是持续 追求的目标。稳定性决定了传感器在长 时间使用过程中输出信号的稳定性,而 寿命则关系到传感器的使用成本和维护 成本。
VS
技术挑战
在提高稳定性和寿命方面,需要解决材料 老化、抗干扰能力、自适应校准等技术难 题,以实现传感器在恶劣环境下的长期稳 定运行。
气体传感器简介介绍
汇报人: 日期:
目录
• 气体传感器概述 • 气体传感器的技术特点 • 常见气体传感器类型及其原理 • 气体传感器的应用案例 • 气体传感器的发展趋势与挑战
01
气体传感器概述
定义与工作原理
• 气体传感器是指能感受气体浓度变化并转换成可用输出信号的 传感器。其工作原理通常基于物理或化学效应,如电化学、光 学、热学等。当目标气体与传感器接触时,会引起传感器内部 物理或化学性质的变化,从而产生与气体浓度成比例的电信号 。通过对这个电信号的检测和处理,可以实现气体浓度的测量 。
总之,气体传感器作为 一种将气体浓度转化为 电信号的装置,在各个 领域都发挥着重要作用 。随着科技的不断发展 ,气体传感器的性能将 不断提升,应用领域也 将进一步拓展。
02
气体传感器的技术特点
敏感性
高灵敏度
气体传感器需要具备高灵敏度, 能够检测到极低浓度的目标气体 ,确保对环境中的气体变化做出 准确响应。
气体传感器的应用案例
环境监测中的气体传感器
大气污染监测
气体传感器可用于监测大气中的 有害气体,如二氧化氮、硫化氢 等,以评估空气质量并及时发出
污染警报。
室内空气质量监测
在室内环境中,气体传感器可检 测甲醛、苯等挥发性有机物,保
障人们呼吸健康。
MEMS气体传感器应用和发展现状
MEMS气体传感器应用和发展现状一、市场概述在日常生活中,我们感知外界靠眼睛、耳朵和鼻子,在信息化时代、物联网时代、智能化时代,我们通过传感器连接世界。
在工业生产、环境、安全、智能生活中,气体的监测是必不可少的环节,气体传感器在其中扮演了重要的角色。
随着经济的发展、技术的进步,气体传感器的应用更加广泛,逐渐向小型化、集成化、模块化、智能化方向发展。
这些年,随着MEMS(微机电系统)技术的进步,以MEMS技术为基础的气体传感器逐步被开发出来,应用到各种场合。
MEMS全称是Micro Electromechanical System,即微机电系统,是指在尺寸几毫米甚至更小的材料上构建一个独立的智能系统,满足一定的使用功能。
MEMS涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械工程、医学、信息工程及生物工程等多种学科和工程技术,为智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。
MEMS加速度计、MEMS麦克风、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器等在我们日常生活中经常用到。
MEMS气体传感器是近些年兴起的一项先进技术,用于探测气体浓度的MEMS传感器。
MEMS气体传感器继承了MEMS传感器的优点:体积小,只有芯片大小,重量轻、耗能低;基于硅基加工工艺,可实现批量生产,一片 8英寸的硅片晶元上可同时切割出大约1000个MEMS芯片,可大大降低单个MEMS的生产成本;便于集成,单颗MEMS往往在封装机械传感器的同时,还会集成ASIC芯片,控制MEMS 芯片以及转换模拟量为数字量输出,同时可将多个传感器或执行器集成于一体,形成微传感器阵列、微执行器阵列。
MEMS气体传感器体积小、成本低的特点为我们的生活提供了无限的想象,随着技术的日益进步,可以实现各种各样的应用。
试想,我们的手机、家电、汽车等日常物品都内置各种传感器,可以随时感知环境,了解世界,这将是多么美妙的事情,这也将是多么巨大的一个市场。
气体传感器研究报告
气体传感器研究报告
随着工业化和城市化的不断发展,空气污染问题日益严重,对人类健康和环境造成了极大的威胁。
因此,气体传感器的研究和应用变得越来越重要。
气体传感器是一种能够检测和测量空气中各种气体浓度的设备。
它可以通过电化学、光学、热学等不同的原理来实现气体的检测。
在工业、环保、医疗等领域,气体传感器都有着广泛的应用。
在气体传感器的研究中,最重要的是选择合适的传感材料。
传感材料的选择直接影响到传感器的灵敏度、选择性和稳定性等性能。
目前,常用的传感材料包括金属氧化物、半导体、聚合物等。
其中,金属氧化物是最常用的传感材料之一,因为它们具有高灵敏度、选择性和稳定性等优点。
除了传感材料的选择,传感器的结构和工作原理也是研究的重点。
传感器的结构通常包括传感元件、信号处理电路和外壳等部分。
传感元件是传感器的核心部分,它能够将气体浓度转化为电信号。
信号处理电路则负责将传感元件输出的电信号进行放大、滤波和处理等操作,最终输出可读的气体浓度值。
在气体传感器的应用中,最常见的是环境监测和安全监测。
环境监测主要是针对空气中的污染物进行检测,以保障人类健康和环境质量。
而安全监测则是针对有害气体的泄漏进行检测,以保障工业生
产和人员安全。
气体传感器的研究和应用对于环境保护和人类健康具有重要意义。
未来,随着科技的不断发展,气体传感器的性能和应用范围将会不断扩大和提高。
光纤气体传感器
光纤气体传感器引言光纤气体传感器是一种使用光纤技术来监测和检测气体浓度的设备。
它具有高灵敏度、快速响应、低功耗等优点,因此在各种工业应用领域广泛使用。
本文将介绍光纤气体传感器的工作原理、应用领域以及未来发展趋势。
工作原理光纤气体传感器利用光的传输特性来实现气体浓度的检测。
其工作原理基于气体分子与光子之间的相互作用。
当气体分子中存在目标气体时,目标气体分子会与光纤中传输的光信号发生相互作用,改变光的传输特性。
通过测量这种改变,可以间接地获得气体浓度的信息。
光纤气体传感器通常由光源、光纤、传感器元件和信号处理单元组成。
光源通过光纤传输光信号到传感器元件中,传感器元件将光信号与目标气体进行相互作用,然后再通过光纤将信号传输回信号处理单元进行处理和分析。
应用领域光纤气体传感器在工业和环境监测中有广泛的应用。
以下是一些典型的应用领域:工业过程监测光纤气体传感器可以用于工业过程监测,例如化工厂中的有害气体检测、燃烧过程中的燃气排放检测等。
通过检测和监测气体浓度,可以确保工业过程的安全性和稳定性。
环境监测光纤气体传感器可以应用于环境监测中,例如大气污染物的监测、地下水的污染物检测等。
通过对环境中气体浓度的监测,可以有效地评估环境质量,并采取相应的保护和治理措施。
医疗诊断光纤气体传感器可以应用于医疗诊断中,例如呼吸气体中二氧化碳、氧气等气体的监测。
通过监测呼吸气体中气体浓度的变化,可以及时发现和诊断患者的呼吸系统疾病。
气体泄漏检测光纤气体传感器还可以用于气体泄漏检测,例如天然气管道中的泄漏检测、化学实验室中的有害气体泄漏检测等。
通过实时监测气体浓度的变化,可以及时发现并采取相应的安全措施,保障人员和设备的安全。
未来发展趋势光纤气体传感器在传感器技术领域具有广阔的应用前景,也面临着一些挑战。
以下是一些未来发展的趋势:高灵敏度随着科技的发展,人们对气体传感器的灵敏度要求越来越高。
传统的光纤气体传感器已经取得了很大的进展,但在一些特定的应用领域还需要进一步提高灵敏度以满足需求。
化学敏感气体传感器的研究及应用
化学敏感气体传感器的研究及应用第一章引言化学敏感气体传感器,是利用化学反应的原理来检测气体的一种传感器。
它广泛应用于生产、环保、医疗等行业。
随着社会对环境安全要求的提高,化学敏感气体传感器的研究和应用也日益重要。
本文旨在介绍化学敏感气体传感器的研究及应用,包括其原理、分类、工作原理等。
第二章化学敏感气体传感器原理化学敏感气体传感器是利用化学反应的原理来检测气体的。
传感器内部含有传感元件和信号处理电路两个主要部分。
其中传感元件是检测气体的最重要的部分。
根据传感元件的不同,化学敏感气体传感器可以分为低温传感器、高温传感器、半导体传感器等。
低温传感器的传感元件一般采用铂、铑、钨等高熔点金属作为催化剂,使得气体在低温下发生化学反应。
高温传感器的传感元件一般采用固体电解质,通过氧离子传递的方式来检测气体。
半导体传感器的传感元件则是利用半导体材料的电性能变化来检测气体。
传感元件的选择取决于所要检测的气体种类和检测目的等因素。
在选择时需要考虑到传感元件的响应速度、灵敏度、稳定性等因素。
第三章化学敏感气体传感器分类根据传感元件的不同,化学敏感气体传感器可以分为以下几种类型:1. 电化学传感器。
电化学传感器基于电化学反应来检测气体,常用于检测气体中的电子或离子含量。
2. 光学传感器。
光学传感器基于光学特性的变化来检测气体。
3. 半导体传感器。
半导体传感器使用半导体材料的电性变化来检测气体,常用于检测有毒气体或易燃气体。
4. 热导传感器。
热导传感器是利用热量传导原理来检测气体的。
5. 催化传感器。
催化传感器是利用催化剂的特性来检测气体的。
以上传感器类型各自有其优缺点,在实际应用中需要根据具体的检测任务来选择适合的传感器类型。
第四章化学敏感气体传感器工作原理化学敏感气体传感器的工作原理主要是基于化学反应的原理。
以半导体气体传感器为例,其工作原理如下:传感器静置时,气敏元件与氧气反应,电阻值变为R1。
当有待检测的气体进入传感器内部时,就会与气敏元件上的氧气反应,产生一定的化学反应。
气体传感器的现状及发展趋势
移动离子相同的传感器 ,如氧气传感器等。
I I类:材料中吸附待测气体派生的离子 与电解质中 气体的浓度。电化学式气体传感器主要的优点是检测气
生好 的移动离子不相同的传感器 :如用于测量氧气的由固体 体 的灵 敏 度高 ,选择 I 。
电解质 SF 和 P 电极组成 的气体传感器。 r t I 类:材料中吸附待测气体派生的离子与电解质中 I I 的移动离子 以及材料中的 固定离子都不相同的传感器:
5 、光学 式气 体传 感器
光学式气体传感器主要是以红外吸收式气体分析仪 为主,由于不同气体的红外吸收峰不同,通过测量和分
如新开发高质量的 C 固体 电解质气体传感器是由固体 析红外 吸收峰来检测气体 。目前的最新动向是研制开发 O: 电解质 N SC N ( a r i O A IO N , :2 。 Z S P )h和辅助 电极材 料 了流体切换式 、流程直接测定式和富里叶变换式在线红 N 2O一 a O 或 L2O一a O 、LC 3 a O 组成的。 a 3 C 3 i 3 C 3 iO一 C 3 C B C C B 外分析仪。该传感器具有高抗震能力和抗污染能力 ,与 目前新近开发 的高质量固体 电解质传感器绝大多数属于 计算机相结合 ,能连续测试分析气体,具有 自动校正 、 第 1 类 ,又如用于测量 N : I I O 的由固体 电解质 N SC N a iO 自动运行的功能。 光学式气体传感器还包括化学发光式 、
是研制和开 发复合型和混合型半导体气敏材料和高分子 气敏材料,使得这些新材料对不同气体具有高灵敏度 、
接触燃烧式气体传感器可分为直接接触燃烧式和催 艺简单、常温选择性好 、价格低廉、易与微结构传感器 化接触燃烧式 , 其工作原理是气敏材料如 P 电热丝等在 和声表面波器件相结合 ,在毒性气体和食品鲜度等方面 t
气体传感器检测技术研究
气体传感器检测技术研究气体传感器是一种重要的检测设备,它能够实现对气体浓度的高精度检测,有着广泛的应用前景。
但是,气体检测技术的研究一直是一个复杂和富有挑战性的领域。
本文对气体传感器检测技术的研究进行探讨。
一、气体传感器检测技术的基本原理气体传感器的基本原理是通过测量气体与传感器之间的交互量,来间接地测量气体浓度的。
主要包括光学、电学、热学、化学等方面的传感技术,例如红外线气体传感器、电化学传感器等。
其中,红外线气体传感器最为常用,它利用红外线对分子的特异性吸收和辐射特性,来检测气体分子的浓度。
二、气体传感器检测技术的研究内容1. 探究气体分子的吸收光谱气体分子的吸收光谱是指在分子转动、振动状态之间发生跃迁时所吸收或发射的辐射的研究。
这些跃迁所需的能量非常微小,且吸收光谱具有特定的光谱特性,因此可以用于气体分子的浓度检测。
对不同气体分子的吸收光谱进行深入分析,是研究气体传感器检测技术的重要内容之一。
2. 研究气体传感器的响应特性气体传感器的响应特性是指在特定条件下,传感器对目标气体浓度所产生的信号与目标气体浓度之间的关系。
研究响应特性,可以确定传感器的检测灵敏度、响应时间、稳定性等参数,从而提高传感器的检测精度。
3. 基于机器学习的气体分析算法气体传感器检测技术发展到今天,已经越来越依赖于计算机和先进的算法。
近年来,基于机器学习的气体分析算法获得了广泛关注。
这种算法能够自动学习气体数据的特征,快速准确地判断气体是否存在,并提供有效的检测解决方案。
三、气体传感器检测技术的应用气体传感器检测技术的应用领域非常广泛,主要包括环境监测、医疗卫生、工业控制等方面。
例如,在环境监测领域,气体传感器能够检测大气中的各种有害气体,有效维护人类健康;在医疗卫生领域,气体传感器可应用于病人的呼吸监测等方面;在工业控制领域,气体传感器则能够保障工业生产中的安全性和高效性。
四、气体传感器检测技术的未来发展方向随着新材料、新技术的不断涌现,气体传感器检测技术正在向着更加灵敏、便携、低成本、智能化等方向发展。
中国气体传感器的发展史_概述说明以及解释
中国气体传感器的发展史概述说明以及解释1. 引言1.1 概述气体传感器是一种能够检测和量化各种气体成分的装置,广泛应用于环境监测、工业生产、安全防护等领域。
随着科学技术的不断发展和进步,气体传感器在中国的发展也取得了长足的进步和突破。
本文将对中国气体传感器的发展史进行概述、说明以及解释。
1.2 文章结构本文共分为六个部分,每个部分都有重要的内容和信息。
首先是引言部分,我们将在这一部分中介绍文章的背景和目的,并概述文章结构。
接下来是第二部分,探讨气体传感器的起源和早期发展情况,包括起源背景、早期传感技术以及发展趋势与应用拓展。
第三部分将重点关注中国气体传感器行业的兴起,包括基础研究与技术突破、创新发展与产业化进程以及国内外竞争与合作格局。
第四部分会详细分析当前中国气体传感器的发展现状,主要涉及主要产品与市场需求分析、技术进步与应用领域拓展以及行业面临的挑战与机遇总结。
第五部分将展望未来发展趋势和重点领域研究方向,包括新技术和材料创新方向、应用场景的拓宽和深化发掘,以及政策支持和国际合作推动。
最后,在第六部分中我们将进行总结回顾,评估取得的成就与不足,并展望中国气体传感器未来的发展前景。
1.3 目的本文旨在全面概述中国气体传感器的发展史,探讨其起源背景、早期传感技术以及发展趋势与应用拓展。
通过分析中国气体传感器行业的兴起、当前的发展现状以及未来的发展趋势,我们可以更好地了解该行业所面临的挑战和机遇,并提出相应的建议和解决方案。
同时,本文也旨在引起人们对于气体传感器研究与应用重要性的重视,促进相关领域在科技创新、市场推广等方面做出更多积极贡献。
2. 气体传感器的起源和早期发展2.1 起源背景气体传感器作为一种用于检测和测量环境中特定气体浓度的装置,在现代科技发展中起到了至关重要的作用。
其起源可以追溯到19世纪末。
最早的气体传感器实际上是针对可燃气体的检测而设计的,早期在工业领域中使用。
这些早期传感器大多基于化学原理,通过与目标气体之间发生化学反应来产生可观察的信号。
气敏传感器的现状及发展趋势
1国内外气敏传感器的产生与发展气敏传感器又称“气体传感器”,是指利用各种化学、物理效应将气体成分、浓度按一定规律转换成电信号输出的传感器件,是化学传感器中最活跃的一种。
早在20世纪30年代人们就已发现金属氧化物具有气敏效应,而半导体气敏元件则是在60年代初期研制成功的,最先研制的ZnO薄膜元件,它是利用ZnO薄膜电阻接触的可燃性气体浓度增加而下降,实现对可燃性气体检测。
继而又发现在SnO2中添加Pt或Pd等贵重金属做增感剂能提高其灵敏度[1]。
日本气体传感器经过20多年的发展,其制造技术与产品水平已提高到相当水准,由日本费加罗技术研究公司规模生产的SnO2系列气敏传感器达21种规格,广泛用于11种气体的测量。
在美国,氧传感器主要用于汽车发动机空/燃比控制和家用报警器。
英国电气阀门公司生产的催化燃烧型气敏传感器,德国DraegerwerkAG生产的医用薄膜型气敏传感器,瑞士CerbertlsLlmited生产的火灾报警用气敏传感器等,都是世人所熟悉的[2]。
20世纪70年代中期我国开始研制金属氧化物半导体气敏传感器和钯栅MOS场效应氢敏晶体管,并开始在家用燃气报警器和电力工业变压器油变质监测上应用。
近年来我国的气敏传感器技术飞速发展,全国有30多所高等院校和研究所研究开发各种类型的气敏传感器,在工艺方面引入表面掺杂、表面覆膜以及制作表面催化反应层和修隔离层等工艺;另外新研究的AL2O3气敏材料、石英晶体和有机半导体也开始用于气敏材料。
但与国外发达国家相比还有较大差距,主要体现在产品生产技术和产业化等方面。
2工作原理气敏电阻的材料是金属氧化物,在合成材料时,通过化学计量比的偏离和杂志缺陷制成,金属氧化物半导体分N型半导体,如氧化锡、氧化锌等,P型半导体,如氧化钴、氧化铅等。
为了提高某种气敏元件对某些气体成分的选择性和灵敏度,合成材料有时还掺入了钯、铂、银等催化剂。
金属氧化物在常温下是绝缘的,制成半导体后却显示气敏特性。
电化学气体传感器的研究与发展
电化学气体传感器的研究与发展随着环境污染日益严重,气体传感技术在环境监测和工业检测等方面变得越来越重要。
在这个领域,电化学气体传感器具有诸多的优势,已经成为了气体传感技术研究的热点之一。
本文将阐述电化学气体传感器的研究现状,以及对其未来发展的展望。
一、电化学传感器的基本原理电化学传感器是指利用化学反应过程中产生的电荷或电流信号与待检物质浓度之间的关系,来检测待检物质浓度的一种传感器。
为了实现对某种气体的浓度检测,需要将该气体与探测元件表面的感受层发生反应,从而引起电流信号的变化。
目前常用的电化学传感器包括电化学氧化还原传感器、电化学阻抗传感器和电化学离子传感器等。
二、电化学气体传感器的分类电化学气体传感器根据气体检测机理的不同,主要分为两种类型:一种是利用气体直接与探测元件表面发生化学反应,例如电化学气敏传感器;另一种是利用气体被吸附在探测元件表面的一种物理现象,例如气体吸附电容式传感器和气体吸附热电偶传感器。
三、电化学气敏传感器的研究现状电化学气敏传感器是一种直接反应式电化学传感器,它主要通过氧化还原反应来实现对某些气体浓度的检测。
气敏传感器的检测原理是将待检测气体与探测电极产生化学反应,从而改变电极表面的电荷状态和电导率,最终由信号放大器将这种变化转换成电信号输出。
气敏传感器具有响应速度快、检测灵敏度高、响应线性度好的特点,因此在环境空气检测、医学诊断、工业安全监督等领域得到了广泛的应用。
四、电化学气体传感器的未来展望在未来,电化学气体传感器的发展方向主要有以下几个方面:首先是针对不同气体的检测要求,开展相关探测材料的研究和开发,形成专业化的探测材料库;其次是对传感器的灵敏度和响应速度进行进一步提升,同时还要加强传感器工作的可靠性和稳定性;另外,传感器的功耗和成本也是未来的研究重点,研究人员需要在多方面对传感器进行优化,以满足不同领域的检测需求。
总之,电化学气体传感器在环境监测、医学诊断、工业安全等领域具有广泛的应用前景。
气体传感器在环保领域中的应用及发展
气体传感器在环保领域中的应用及发展1. 引言气体传感器是一种测量气体浓度、组分及其他相关参数的设备。
气体传感器的应用范围非常广泛,其中环保领域是其重要的应用领域之一。
本文将深入探讨气体传感器在环保领域中的应用及未来的发展趋势。
2. 环保领域的气体传感器应用(1)大气污染监测气体传感器可以用于监测大气中各种污染物的浓度和组成,比如二氧化硫、氮氧化物、臭氧、PM2.5等。
利用气体传感器可以在实时性、准确性、高精度等多个方面提供数据,使得环保部门可以及时性地采取相应的控制措施,从而保护环境、保护人民的身体健康。
(2)室内污染监测室内空气质量也是一个非常重要的环保问题,特别是在现代城市中,人们长时间处于室内,因此室内污染问题尤为关注。
气体传感器可以监测空气中的CO2、挥发性有机物、甲醛等有害气体,从而保障人们日常生活的健康。
(3)固体废物处理固体废物处理也是环保领域的重点。
气体传感器可以用于监测垃圾场中的沼气浓度,对垃圾发酵过程中的沼气排放进行实时监控,特别是在垃圾填埋场和堆肥场中的应用非常广泛。
(4)水质污染监测水质污染也是环境污染中的重要因素之一。
利用气体传感器可以对水体中的气体进行快速监测。
比如,在水库和水厂中可以及时检测二氧化碳、氯气等,从而提供有关水处理工艺的重要信息,有助于提高水处理工艺的效率和安全性。
3. 气体传感器的应用技术(1)激光吸收光谱技术该技术通过激光在待测气体中的吸收光谱,从而测量气体浓度。
激光吸收光谱技术具有非常高的准确性和精度,可以用于监测多种气体浓度,适用于大气污染、工业排放等领域。
(2)化学传感器技术该技术是利用化学材料与待测气体发生化学反应,通过传感器检测化学反应后产生的电子信号来测量气体浓度。
这种技术简单、易于实现,可以实现对多个有害气体的快速监测与分析。
(3)微机电系统技术该技术主要是利用微型机电系统的原理来设计制造传感器,仅需微小体积即可完成对待测气体的快速、精准、实时测量和记录,适用于室内和车内等小空间中的气体监测。
气体探测领域的新技术研究
气体探测领域的新技术研究
近年来,气体探测领域得到了飞速发展,除了常规的气体传感器外,越来越多
的新技术正逐渐引起人们的关注。
一、光纤传感技术
光纤传感技术是一种基于变化光学特性的传感技术,可以用于气体、液体等的
探测。
这种技术的优点在于其高灵敏度、抗干扰能力强、反应速度快等,因此在生化、环保、安全等领域有广泛的应用。
目前,这种技术已经被广泛应用于石油化工、化工、环保等行业中。
二、微波传感技术
微波传感技术是一种利用微波电磁波与物质的相互作用来探测物质的一种技术。
其技术优点在于能够通过物质的电磁波吸收、散射、反射等反应来检测物质的存在和浓度等参数。
这种技术可用于空气污染指标的监测,以及液体和固体中有机化合物的分析等。
三、微型气体分析仪技术
微型气体分析仪技术是一种新型的气体检测技术。
其核心部件是微型传感器芯片,能够对空气中的某些特定物质进行高效分析。
该技术具有高分辨率、高速率、高精度等优点,并且可广泛应用于环境污染、生化研究、工业以及公共卫生等领域。
四、生物传感器技术
生物传感器技术是一种新型的气体探测技术,利用生物体内的生化反应对特定
的气体进行检测。
其优点在于高灵敏度、高选择性、实时监测等等。
这种技术已经被应用于病原体的检测和分析、环境监测、生化武器早期预警等领域。
总体而言,目前气体探测领域的新技术研究正发展迅速,不断涌现出新的探测手段和新型探测器。
这些新技术为人们带来了更高精度、更快速反应、更可靠的气体检测手段,未来将有更为深远的应用。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
气体传感器的研究及发展方向马戎,周王民,陈明(西北工业大学自动化学院,陕西西安710072) 摘 要:介绍了气体传感器的特性;根据气体传感器使用的气敏材料以及气敏材料与气体相互作用的效应不同,对气体传感器进行了分类;介绍了目前气敏元件的加工技术;论述了气体传感器的发展方向。
关键词:气体传感器;气敏材料;加工技术;发展方向中图分类号:T P 212 文献标识码:A 文章编号:100226061(2004)0420001204Study and D evelop i ng Trend of Ga s Sen sorsM A Rong ,ZHOU W ang 2m in ,CH EN M ing(NW PU A utom atic Contro l D epartm ent ,X i’an 710072,Ch ina )Abstract :T h is p ap er in troduces the cha racter of the ga s sen so rs .B a sed on the ga s sen sitivem a teria ls u sed in the ga s sen so rs and the d ifferen t in teracti on m echan is m s bet w een the ga s sen sitive m a teria ls and the ga ses ,the sen so rs a re cla ssified .T he p resen t p rocessing techno l ogy of the ga s sen so rs is stud ied .T he devel op ing trend of the ga s sen so rs is in troduced e m p ha tica lly.Key words :ga s sen so r ,ga s sen sitive m a teria l ,p rocessing techno l ogy ,devel op ing trend收稿日期:2004204226;收修改稿日期:2004206207作者简介:马戎(19632),女,讲师,在职博士,主要从事传感器检测与控制方面工作。
0 引言气体传感器是气体检测系统的核心,通常安装在探测头内。
从本质上讲,气体传感器是一种将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器。
探测头通过气体传感器对气体样品进行调理,通常包括滤除杂质和干扰气体、干燥或制冷处理、样品抽吸,甚至对样品进行化学处理,以便化学传感器进行更快速的测量。
气体的采样方法直接影响传感器的响应时间。
目前,气体的采样方式主要是通过简单扩散法,或是将气体吸入检测器。
简单扩散是利用气体自然向四处传播的特性。
目标气体穿过探头内的传感器,产生一个正比于气体体积分数的信号。
由于扩散过程渐趋减慢,所以扩散法需要探头的位置非常接近于测量点。
扩散法的一个优点是将气体样本直接引入传感器而无需物理和化学变换。
样品吸入式探头通常用于采样位置接近处理仪器或排气管道。
这种技术可以为传感器提供一种速度可控的稳定气流,所以在气流大小和流速经常变化的情况下,这种方法较值得推荐。
将测量点的气体样本引到测量探头可能经过一段距离,距离的长短主要是根据传感器的设计,但采样线较长会加大测量滞后时间,该时间是采样线长度和气体从泄漏点到传感器之间流动速度的函数。
对于某种目标气体和汽化物,如Si H 4以及大多数生物溶剂,气体和汽化物样品量可能会因为其吸附作用甚至凝结在采样管壁上而减少。
气体传感器是化学传感器的一大门类。
从工作原理、特性分析到测量技术,从所用材料到制造工艺,从检测对象到应用领域,都可以构成独立的分类标准,衍生出一个个纷繁庞杂的分类体系,尤其在分类标准的问题上目前还没有统一,要对其进行严格的系统分类难度颇大[1]。
1 主要特性111 稳定性稳定性是指传感器在整个工作时间内基本响应的稳定性,取决于零点漂移和区间漂移。
零点漂移是指在没有目标气体时,整个工作时间内传感器输出响应的变化。
区间漂移是指传感器连续置于目标气体中的输出响应变化,表现为传感器输出信号在工作时间内的降低。
理想情况下,一个传感器在连续工作条件下,每年零点漂移小于10%。
12灵敏度是指传感器输出变化量与被测输入变化量之比,主要依赖于传感器结构所使用的技术。
大多数气体传感器的设计原理都采用生物化学、电化学、物理和光学。
首先要考虑的是选择一种敏感技术,它对目标气体的阀限制(TLV2th resh2o ld li m it value)或最低爆炸限(L EL2low er exp lo sive li m it)的百分比的检测要有足够的灵敏性。
113 选择性选择性也被称为交叉灵敏度。
可以通过测量由某一种浓度的干扰气体所产生的传感器响应来确定。
这个响应等价于一定浓度的目标气体所产生的传感器响应。
这种特性在追踪多种气体的应用中是非常重要的,因为交叉灵敏度会降低测量的重复性和可靠性,理想传感器应具有高灵敏度和高选择性。
114 抗腐蚀性抗腐蚀性是指传感器暴露于高体积分数目标气体中的能力。
在气体大量泄漏时,探头应能够承受期望气体体积分数10~20倍。
在返回正常工作条件下,传感器漂移和零点校正值应尽可能小。
气体传感器的基本特征,即灵敏度、选择性以及稳定性等,主要通过材料的选择来确定。
选择适当的材料和开发新材料,使气体传感器的敏感特性达到最优。
2 主要原理及分类通常以气敏特性来分类,主要可分为:半导体型气体传感器、电化学型气体传感器、固体电解质气体传感器、接触燃烧式气体传感器、光化学型气体传感器、高分子气体传感器等。
211 半导体气体传感器半导体气体传感器是采用金属氧化物或金属半导体氧化物材料做成的元件,与气体相互作用时产生表面吸附或反应,引起以载流子运动为特征的电导率或伏安特性或表面电位变化。
这些都是由材料的半导体性质决定的。
自从1962年半导体金属氧化物陶瓷气体传感器问世以来,半导体气体传感器已经成为当前应用最普遍、最具有实用价值的一类气体传感器,根据其气敏机制可以分为电阻式和非电阻式两种。
电阻式半导体气体传感器主要是指半导体金属氧化物陶瓷气体传感器,是一种用金属氧化物薄膜(例如:SnO2,ZnO,Fe2O3,T i O2等)制成的阻抗器件,其电阻随着气体含量不同而变化。
气味分子在薄膜表面进行还原反应以引起传感器传导率的变化。
为了消除气味分子还必须发生一次氧化反应。
传感器内的加热器有助于氧化反应进程。
它具有成本低廉、制造简单、灵敏度高、响应速度快、寿命长、对湿度敏感低和电路简单等优点。
不足之处是必须工作于高温下、对气味或气体的选择性差、元件参数分散、稳定性不够理想、功率要求高,当探测气体中混有硫化物时,容易中毒。
现在除了传统的SnO,SnO2和Fe2O3三大类外,又研究开发了一批新型材料,包括单一金属氧化物材料、复合金属氧化物材料以及混合金属氧化物材料。
这些新型材料的研究和开发,大大提高了气体传感器的特性和应用范围。
另外,通过在半导体内添加P t,Pd,Ir等贵金属能有效地提高元件的灵敏度和响应时间。
它能降低被测气体的化学吸附的活化能,因而可以提高其灵敏度和加快反应速度。
催化剂不同,导致有利于不同的吸附试样,从而具有选择性。
例如各种贵金属对SnO2基半导体气敏材料掺杂,P t,Pd,A u提高对CH4的灵敏度,Ir降低对CH4的灵敏度;P t,A u提高对H2的灵敏度,而Pd降低对H2的灵敏度。
利用薄膜技术、超粒子薄膜技术制造的金属氧化物气体传感器具有灵敏度高(可达10-9级)、一致性好、小型化、易集成等特点。
非电阻式半导体气体传感器是M O S二极管式和结型二极管式以及场效应管式(M O SFET)半导体气体传感器。
其电流或电压随着气体含量而变化,主要检测氢和硅烷气等可燃性气体。
其中,M O SFET气体传感器工作原理是挥发性有机化合物(VO C)与催化金属(如钯)接触发生反应,反应产物扩散到M O SFET的栅极,改变了器件的性能。
通过分析器件性能的变化而识别VO C。
通过改变催化金属的种类和膜厚可优化灵敏度和选择性,并可改变工作温度。
M O SFET气体传感器灵敏度高,但制作工艺比较复杂,成本高。
212 电化学型气体传感器电化学型气体传感器可分为原电池式、可控电位电解式、电量式和离子电极式四种类型。
原电池式气体传感器通过检测电流来检测气体的体积分数,市售的检测缺氧的仪器几乎都配有这种传感器,近年来,又开发了检测酸性气体和毒性气体的原电池式传感器。
可控电位电解式传感器是通过测量电解时流过的电流来检测气体的体积分数,和原电池式不同的是,需要由外界施加特定电压,除了能检测CO,NO,NO2,O2,SO2等气体外,还能检测血液中的氧体积分数。
电量式气体传感器是通过被测气体与电解质反应产生的电流来检测气体的体积分数。
离子电极式气体传感器出现得较早,通过测量离子极化电流来检测气体的体积分数。
电化学式气体传感器主要的优点是检测气体的灵敏度高、选择性好。
213 固体电解质气体传感器固体电解质气体传感器是一种以离子导体为电解质的化学电池。
20世纪70年代开始,固体电解质气体传感器由于电导率高、灵敏度和选择性好,获得了迅速的发展,现在几乎应用于环保、节能、矿业、汽车工业等各个领域,其产量大、应用广,仅次于金属氧化物半导体气体传感器。
近来国外有些学者把固体电解质气体传感器分为下列三类:1)材料中吸附待测气体派生的离子与电解质中的移动离子相同的传感器,例如氧气传感器等。
2)材料中吸附待测气体派生的离子与电解质中的移动离子不相同的传感器,例如用于测量氧气的由固体电解质SrF2H和P t电极组成的气体传感器。
3)材料中吸附待测气体派生的离子与电解质中的移动离子以及材料中的固定离子都不相同的传感器,例如新开发高质量的CO2固体电解质气体传感器是由固体电解质NA S I CON(N a3Zr2Si2PO12)和辅助电极材料N a2CO32B aCO3或L i2CO32CaCO3,L i2CO32 B aCO3组成的。
目前新近开发的高质量固体电解质传感器绝大多数属于第三类。
又如:用于测量NO2的由固体电解质N aSi CON和辅助电极N aNO22L i2CO3制成的传感器;用于测量H2S的由固体电解质YST2A u2W O3制成的传感器;用于测量N H3的由固体电解质N H42Ca2O3制成的传感器;用于测量NO2的由固体电解质A g014N a716和电极A g2A u制成的传感器等。
214 接触燃烧式气体传感器接触燃烧式气体传感器可分为直接接触燃烧式和催化接触燃烧式,其工作原理是气敏材料(如P t电热丝等)在通电状态下,可燃性气体氧化燃烧或者在催化剂作用下氧化燃烧,电热丝由于燃烧而生温,从而使其电阻值发生变化。