直线超声波电动机精密定位系统位置精确控制

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ｐｓｉ．Ｉｌｒｈａｐｌｄｔｃｎｒｅｐｓｉｉｇｓｇｕｉｃｎｎｔｃｉｖｅｄｓｅｂｅｔｅ．ＴａｋｏｉｏＰＤａｏｔｍｗｓｐｉｏｔｌｈｏｉｏｎａｅｂｔｔａｏａｈｅｅｔｅｉｄｏｊｉｓｈｎｓｏｔｎｇｉａｅｏｏｔｔｎｔｈｒｃｖｔ
毛新丰，孙志峻，志远，姚冒娟娟
（京航空航天大学，苏南京２０１）南江１０６摘要：对直线超声波电动机驱动的精密定位平台，立了一个完整的闭环控制系统，人机交互、据采集针建集数
ＡｃｕｒｔｓｔｏｎｒｌｏｓｔｏｉｇＳｔｍｉｅｎｅｒＵｌｒｓｎｃＭｏｏｃａｅＰｏｉｉｎＣｏｔｏｆＰｏｉｉｎｎｙｓｅＤｒｖｎｂｙＬｉａｔａｏｉｔｒ
ＭＯＸｎｆｎ，Ｕｈ＿，ＡＡｉ－ｅｇＳＮＺｉｎＹＯ
ｓｒｕｓｍｉｒ —ｓｅｏｒｌｓｒｔｇｓａｓｒｄｉｔｈｅＰＩｃｎｒ１Ｆｉｌｙ，ｔｅｐｏｉｉｎｎｙｔｍｔａｎｏｄｈｏｔｐｌｅ，ｃｏｔｐｃｎｔｏｔａｅｙｗａｂｏｂｅｎｏｔＤｏｔｏ．ｎａｌｈｓｔｏｉｇｓｓｅａｔｉｓａｇｏ
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｉａｔａｏｎｃｍｏｏ；ｒｃｓｏｏｉｉｎｎＰＤ；ｃｏｔｐｃｎｔｏｌｎｅｒｕｌｓｉｔｒｐｅｉｉｎｐｓｔｏｉｇ；Ｉｍｉｒ —ｓｅｏｒｌｒ
０引言
随着当前精密工程若干领域的快速发展，其对关键技术之一，密定位技术的需求也日益增长。精
ｐｒｒｎｅＥｐｒｎａｅｕｔｉｄｃｔｔａｅｒｐｔｉｎｐｓｔｎｎｃｕａｙｉｌｓｈｎ０５ｍｎｅｉｅｅｔｉ— ｅｆｍａｃ．ｘｅｍｅｔｌｒｓｌｎｉａｅｈｔｈｅｅｉｏｏｉｏｉｇａｃｒｃｓｅｓｔａ．ｏｉｓｔｔｉｕｄｒｄｆｒｎｓｆｄｔｎｅ，ｎｈｔｔｅｍｏｅｎｓｓｏｈａｄｆｓ．ａｃｓａｄｔａｈｖｍｅｔｉｍｏｔｎａｔ
— ｕｎＭＡｕｎｊａｙａ，ＯＪａｕｎ
源自文库
（ａｊｇＵｉｅｉｆｅｏａｔｓａｄＡｔｎｕｉ，ａｊｇ１０６ＣｉａＮｎｉｎｖｒｔｏｒｎｕｉｎｓｏａｔｓＮｎｉ０１，ｈｎ）ｎｓｙＡｃｒｃｎ２
显示和位置精确控制于一体。在单纯ＰＤ连续控制无法达到理想控制目标的情况下，Ｉ结合超声波电动机的控制特点，借助其在极短脉冲激励下运行高分辨率的优势，融合了微步控制的思想，最终使系统达到了较好的控制品质。实验表明，系统在不同行程下的重复定位精度在０５ｍ以内，．且运行平稳、快速。关键词：直线超声波电动机；精密定位；Ｉ微步控制ＰＤ；中图分类号：Ｍ３９９Ｔ５．文献标识码：Ａ文章编号：０４７１（０１０－０６０１０－０８２１）６０６－３
ｔｅｃｎｒｌｅｔｒｓｏｎａｌａｏｉｔｒ，ｉｈｄａｔｇｆｉｉｈｍｏｅｅｏｕｉｎｗｈｎｓｉｌｔｄｂｌａｈｏｔａｕｅｆｌｅｒｕｔｓｎｃｍｏｏｓｗｔｔｅａｖｎａｅｏｓｈｇｖ－ｒｓｌｔｅｔｏｆｉｒｈｔｏｍｕａｅｙｕｔ — ｒ
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触持电棚２１第期０年６１
直线超声波电动机精密定位系统位置精确控制
ＡｂｔａｔＡｒｃｓｎｐｓｔｎｎｔｇｒｅｙａｌｅｒｕｔａｏｉｔｒｗｓｉｔｄｃｄＡｃｍｐｅｅｃｏｅｌｏｓｒｃ￣ｐｅｉｉｏｉｏｉｇｓａｅｄｉｎｂｉａｌｓｎｃｍｏｏａｎｒｕｅ．ｏｌｔｌｓｄ— ｏｐｏｉｖｎｒｏｃｎｒｌｙｔｍａｓａｌｈｄｉｔｇａｉｇｈｍａ－ｃｉｅｉｔｒｃｉｎ，ａａａｑｉｉｏｎｉｐａ，ｎｒｃｓｏｔｌｏｏｔｓｏｓｅｗｓｅｔｂｉｅ，ｎｅｒｔｕｎｍａｈｎｎｅａｔｓｎｏｄｔｃｕｓｉｎａｄｄｓｌｙａｄｐｅｉｅｃｎｒｆｔｏ