壁面粗糙度对空气静压系统微振动的影响研究

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中图分类号：Ｔ３．５Ｈ１３３文献标识码：Ａ文章编号：１０－７７２１）５０１－４００９８（０１０－０２０
ＲｅｅｒｈＯｌｍｉｒｖｂｒｔｏｆａｒｓａｉｅｒｎｓａｃｉｃｏ．ｉａｉｎｏｅｏｔｔｃｂａｉｇ
ｗｉｅａｉｅＳｒｃｏｇｎｓｎｅｎｌｓｎｍｂｒｉｏｔｉｅ．ｉｌｔｎｔｅｄｓｉｕｉｎｏｅｆｗｗｉｈｅｔｒｌｔｕａｅｒｕｈｅｓａｄＲｙｏｄｕｅＳｂａｎｄＳｍｕａｉｈｉｔｂｔｆｔｏｔｔｒｅｈｖｆｏｒｏｈｌｈｔｐｃｌｍｏｅｓｏｕｆｃｏｇｎｓｕｈａｑａｅｓｍｉｉｕａｎｒａｇｌｒｈｉｇａｏｐｅｎｙｉａｄｌｆｓＹｅｒｕｈｅｓｓｃｓｓｕｒ，ｅ — ｒｌｒａｄｔｎｕａ，ｔｅｄａｒｍｆｓｅｄａｄａｃｃｉｐｅｓｒｉｔｂｔｎｏｒｅｍｏｅｓＳｍｕａｉｎｓｏｈｔｕ￣ｃｏｇｎｓｕｄｃｕｅｖｒｅｌｗ，ａｅｕｔｒｓｕｅｄｓｒｕｉｆｔｅｄｌ．ｉｌｔｈｗｓｔａｉｅｒｕｈｅｓｗｏｌａｓｏｔｘ／ｉｏｈｏｆｃｏｈｅｓｙｔｍａｓｄｂｕｒａｅｒｕｇｎｓ
ＹＵＪｎｉｇ，ＷＵＫｅ，Ｌｎ —ｈｎＩＤｏｇｓｅｇ
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ｃｕｓｈｅｍｉｒ — ｉａｉｎｏｅｏｓａｉｅｔｎｙｔｍ．ｅｒｓｔｒｆｐａｔｃｌｓｇｉｃｎｅｆｒｔｅｒｓａｃｌａｅｔｃｏｖｂｒｔｏｆａｒｔｔｃｂａｇｓｓｅＴｈｅｕｌｓａｅｏｒｃｉａｉｎｆａｃｏｈｅｅｒｈＯｉｉｉ
２杭州明豪科技有限公司，．浙江杭州３２１）１１５
摘要：主要针对壁面粗糙度引起气体静压导轨微振动进行了分析。讨论了壁面粗糙度对沿程阻力系数
的影响，得到了沿程阻力系数与相对壁面粗糙度与雷诺数的关系。利用Ｆｕｎ软件仿真了方形、圆形、ｌｅｔ半
ｔｅｓｕｃｆｔｅｍｉｒ — ｉｒｔｎｏｅｏｔｔｅｒｇｈｏｒｅｏｃｏｖｂａｉｆａｒｓａｉｂａｉ．ｈｏｃｎＫｅｒｓｅｏｔｔｅｒｇｓｓｅｙｗｏｄ：ａｒｓｉｂａｉｙｔｍ；ｓｒｃｏｌｈｅｓｒｔｎｌｒｓｓａｃ；ｍｉｒ — ｉｒｔｎａｃｎｕａｅｒｔｎｓ；ｆｉｉａｅｉｔｎｅｆｇｃｏｃｏｖｂａｉｏ
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ＡｂｔａｔＭｉｒ — ｉｒｔｎｏｅｏｔｔｅｒｇｃｕｅｙｓｒｃｏｇｎｓｓａａｙｅ．ｈｒｔｎｌｒｓｓａｃｓｒｃ：ｃｏｖｂａｉｆａｒｓａｉｂａｉａｓｄｂｕｆｅｒｕｈｅｓｉｎｌｚｄＴｅｆｃｉａｅｉｔｎｅｏｃｎａｉｏ
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１２
传感器与微系统（ｒｎｄｃｒｎｃｓｓｍＴｃｎｌｇｓＴａｓｕｅａｄＭｉｏｙｔｅｈｏｏｉ）ｒｅｅ
２１０１年第３Ｏ卷第５期
壁面粗糙度对空气静压系统微振动的影响研究
禹静，吴珂李东升，
（．国计量学院计量测试工程学院，江杭州３０１；１中浙１０８
三角形三种典型粗糙壁面模型的流场分布情况，得到了各种模型下的速度与压力分布图。仿真结果显示
壁面粗糙度会引发流场内的涡流，从而引起气体静压导轨的微振动。研究结果对气体静压导轨微振动振源的探索提供了一定的研究意义。关键词：气体静压系统；壁面粗糙度；程阻力；微振动沿