非接触式扫描反射镜转角测量系统

非接触式扫描反射镜转角测量系统
王洋;颜昌翔;胡春晖;汪逸群;顾志远;张达;张新洁
【期刊名称】《光学精密工程》
【年(卷),期】2014(022)004
【摘要】为了提高扫描反射镜转角检测系统的测角范围,建立了基于一字线激光器和线阵CCD的高精度非接触式扫描镜角度检测系统.介绍了检测系统的结构和工作原理,该系统根据激光光斑在CCD上的位置计算扫描反射镜的转角,并利用特殊设计的阵列反射镜增大测角范围.为了降低对加工及装调精度的要求,对系统进行了误差分析,给出了采用多项式拟合法进行角度测量的理论依据.讨论了影响系统检测精度的一系列误差源,计算了系统测量的总误差.最后进行了相关的测量实验.实验结果表明:系统的检测系统分辨率为2.5",测角范围为11°,测角精度可达3",可以满足扫描反射镜对角度测量系统提出的高精度、非接触、大测角范围的要求.
【总页数】6页(P850-855)
【作者】王洋;颜昌翔;胡春晖;汪逸群;顾志远;张达;张新洁
【作者单位】中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院大学,北京100049;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院大学,北京100049;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033
【正文语种】中文
【中图分类】TP731;TB92
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