使用AFM测量纳米尺度线宽的不确定度研究
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使用AFM测量纳米尺度线宽的不确定度研究
褚巍;赵学增;王凌;肖增文;李洪波
【期刊名称】《计量学报》
【年(卷),期】2005(026)002
【摘要】针对NanoscopeⅢ型原子力显微镜,进行了纳米尺度线宽测量的不确定度分析.提出一个线宽测量的误差校正步骤,确定并分析了影响测量结果不确定度的4方面因素.根据实验和测量过程,分析和计算得到被测样品的线宽值、不确定度分量以及合成不确定度.
【总页数】5页(P120-124)
【作者】褚巍;赵学增;王凌;肖增文;李洪波
【作者单位】哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,黑龙江,哈尔滨,150001
【正文语种】中文
【中图分类】TB92
【相关文献】
1.纳米尺度线宽测量技术的研究 [J], 褚巍;赵学增;肖增文;王凌
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3.纳米尺度线宽粗糙度测量技术 [J], 李洪波;赵维谦;赵学增;高思田
4.AFM以纳米管针尖测量纳米尺度线宽的研究 [J], 肖增文;赵学增
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巍;Theodore V Vorburger;Joseph Fu;John Song;Cattien V Nguyen
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