立体光刻(SL)工艺研究
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立体光刻(SL)工艺研究
王青岗;颜永年;郭戈;祁鹏;张定军
【期刊名称】《新技术新工艺》
【年(卷),期】2004(000)005
【摘要】介绍了立体光刻工艺的成形机理和工艺特点及应用,并对成形过程进行了详细的分析.讨论了进一步提高工艺水平需要进行研究的几个方面.
【总页数】3页(P42-44)
【作者】王青岗;颜永年;郭戈;祁鹏;张定军
【作者单位】清华大学,100084;清华大学,100084;清华大学,100084;清华大
学,100084;清华大学,100084
【正文语种】中文
【中图分类】TQ59
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