新型扩散泵操作流程

扩散泵操作流程
初始状态：真空气氛炉所有针阀、手动挡板阀、扩散泵上的3个阀门都处于关闭状态。

开启：
1先开水冷机
2开前级泵，打开上阀门，右表显示10Pa以下后关上阀门，打开下阀门，左表显示10Pa以下。

关下阀门，打开上阀门，打开手动挡板阀。

右表显示10Pa以下，再打开下阀门，左右两表均10Pa以下后打开加热键，30-40min后关闭上阀门，打开高压阀，打开电离开关键
关闭：
关闭电离键—关闭高压阀—关加热键—关闭手动挡板阀—（下阀门开启，上阀门关闭状态）—待扩散泵冷却后—关闭下阀门—关前级泵—关闭水冷。