一种水下矢量传感器的设计
水下传感器工作原理
水下传感器工作原理
传感器是一种能够感知和检测环境中某种物理量或化学量的装置,水下传感器则是专门用于水下环境的传感器。
水下传感器主要工作原理可以分为以下几种:
1. 电学原理:水下传感器利用电学原理测量水下环境的物理量。
例如,在测量水下温度时,可以使用温度传感器测量周围水体的电阻、电容或电势差等,并将其转换为温度值。
同样地,在测量水下压力时,可以利用压力传感器测量水下环境中的电阻、电容或电势差,然后转换为压力值。
2. 光学原理:光学原理是另一种常用的水下传感器工作原理。
例如,在测量水下的光学物理量时,可以使用光学传感器测量水中的光强度、光波长等。
通过利用光的传播和吸收特性,可以获得水下环境中光相关的信息。
3. 声学原理:声学原理是水下传感器常用的工作原理之一。
声学传感器利用声波的传播和反射特性来测量水下环境中的物理量。
例如,在水下声纳雷达中,通过发送声波信号,接收其反射回来的声波信号,可以测量水下的距离、方向等信息。
4. 化学原理:化学原理是用于测量水下化学量的传感器工作原理。
例如,测量水中的溶解氧含量可以使用溶解氧传感器,该传感器利用化学反应的原理来测量水中溶解氧的浓度。
这些工作原理在水下传感器中可以单独或结合使用,以实现对水下环境的精确监测和检测。
通过将传感器与数据采集系统连
接并进行数据处理,可以获得有关水下环境各种物理和化学量的信息,为水下研究、海洋监测等提供了基础数据。
基于矢量传感器的水下运动目标测向的研究
Z HAN a l, HAO J n w iZ GF- Z i u - e , HANG Yi- ig n bn
( ol eo r eE g er g N r w s r o t h ia U iesy X ’ 0 2 C ia C l g f i n i e n , ot et nP l e ncl nvr t, i n 7 0 7 , hn ) e Ma n n i h e yc i a 1
o c r e srS R( i a t- os ao o eac rc f i c o sma o n l e . h sl f et - no ,N Sg loN i R t ) nt cuayo r t net t ni aay d T er u s v os n - e i h d ei i i s z e t
基于共振隧穿二极管的矢量水声传感器设计
捅 要 : 提出了一种基于共振隧穿二极管( T ) R D 的矢量水声传感器, 传感器采用共振隧穿二极管作为敏感元件 , 共振隧穿二
极管布置在传感器结构 中柱体的四周边缘. 两个反方 向变 化 的基 于共 振隧穿 二极 管的振 荡器 的输 出信号 通过信 号处 理 电路
预处理后输入微处理器 , 计算 出声 源水平方 位角和声压. 分析 并设计 了基 于共振 隧穿 二极管 的振 荡 电路 、 矢量水 声传 感器 物
。
/ .S h o fMeh n c eto i, iig Isi t o eh oo y, iig 10 8 , hn ; 1 col o ca i Elcrnc Be n nt ue f T c n lg Be n 0 0 1C ia — j t j 2Ke a fIs u ett nS i c ・ yL bo nt m n i ce e& £ r ao n Mesr n( r nvri nn )尬 ” aue tNot ies yo me hU t fO ia , 纽 0 ,尉 删 , 如 00 5 呦 30 1
N MS 或称纳系统) E ( 是继 ME MS之后在 系统 特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型 机电一体的系统 , 一般指特征尺寸在亚纳米至数百 纳米 , 以纳米级结构所 产生 的新 效应 ( 量子效应 、 界 面效应和尺度效应) 为工作特征的器件和系统[ 。 2 这 ] 类器件具有体积小 , 灵敏度高、 功耗低等优点. 共振 隧穿二极管是当前纳米 电子学 中最有希望的器件之
维普资讯
第1 卷 第5 9 期 20 06年 1 O月
传 感 技 术 学 报
C NE E J UR HI S O NAL F S NS S A O E OR ND VAT S ACI OR
基于矢量信号处理的水下目标定位和跟踪设计
s ge pa om e rn i l lt r b ai g—o l r e tt se t t n n f ny t g t ae s mai .Ac o d n h e r g e t t n o e u d r ae r e c a s i o c r i gt t eb a i si i f h n e t r a g t — o n ma o t w t a q i d b ep s ie g n o ty t r e v c o e s r lme t r o i e t n td me u i ga ry o l u r y t a sv o imer , h e e trs n o e ns a ec mb n d i oa u i a r r .F r e h e n n e s n a moe
关键 词 : 站 纯方 位 目标 定位 ; 元 联 合测 量 阵 ; 延 单 三 时
中 图分 类 号 :] 9 . 1P 19 3 文 献标 识 码 : A
Ta g t Lo a i a i n nd Tr c i g De i n s d n r e c lz to a a k n sg Ba e o
Ve t r S g l o e s c o i na Pr c s
ZHANG n Yi g—y n i g,DU i—b n,HOU Gu n L i a g—l ,ZHANG n i Yi g
(ntueo caor hcIs u et S adn cdm f c ne , i doS adn 6 0 1 C ia Istt f eng p i nt m n, h ogA ae yo i cs Qn a h og26 0 ,h ) i O a r n Se g n n
水下成像传感器原理及应用
水下成像传感器原理及应用水下成像传感器是一种能够在水下环境中获取图像信息的设备。
由于水下环境的特殊性,水下成像传感器的原理和应用与陆地上的传感器有所不同。
下面将就水下成像传感器的原理及应用进行详细介绍。
一、水下成像传感器原理水下成像传感器的工作原理主要包括光学成像、图像传输和信号处理三个部分。
1. 光学成像光学成像是指将水下物体的光信号转换成电信号的过程。
水下成像传感器通常采用激光、超声波或声纳技术来获取水下物体的信息。
其中,激光成像是最常见的水下成像技术之一。
激光束在水中传播时会受到散射和吸收的影响,因此激光成像系统需要通过波束形成、多普勒调制等技术来提高成像质量。
2. 图像传输图像传输是将光学成像获得的数据传输到地面或其他设备进行处理和显示的过程。
由于水下传输介质的特殊性,水下成像传感器通常采用无线传输或光纤传输技术。
其中,无线传输技术包括声纳、蓝牙和Wi-Fi等,而光纤传输技术则采用光纤传输信号。
3. 信号处理信号处理是对图像进行增强和重建的过程。
由于水下成像受到水下环境的影响,图像质量通常较差,因此需要进行信号处理以提高图像的清晰度和对比度。
信号处理的方法包括滤波、降噪、增强和重建等。
另外,还可以借助计算机视觉算法来提取和分析图像上的信息。
二、水下成像传感器应用水下成像传感器在海洋勘探、水下探测和水下机器人等领域具有广泛的应用。
1. 海洋勘探海洋勘探是水下成像传感器最常见的应用领域之一。
水下成像传感器可通过激光或声纳等技术获取海底地形图像,帮助海洋勘探人员进行海底勘测、沉船探测以及地理地质研究等工作。
水下成像传感器还可以用于监测海洋底层水体的温度、盐度和酸碱度等参数,为科学家研究海洋环境提供数据支持。
2. 水下探测水下探测主要应用于水下管道、水下遗址和水下设备等区域。
通过激光和声纳等技术,水下成像传感器可以实时监测水下管道的泄露情况、水下遗址的位置和形态,以及水下设备的状态和损坏情况。
这为水下维修和救援提供了重要的参考依据,并减少了人工操作的风险。
压差式光纤矢量水听器频响特性的研究
压差式光纤矢量水听器频响特性的研究压差式光纤矢量水听器频响特性的研究摘要:压差式光纤矢量水听器(FOSVH)是一种基于光纤传感技术的水听器,主要用于水下声学信号的检测和测量。
本文通过实验研究,探索了压差式光纤矢量水听器的频响特性,了解其在声学信号处理和水下环境监测中的应用潜力。
引言:水听器是一种用于接收水中声波信号并将其转化为电信号的装置,广泛应用于海洋工程、海洋科学研究和海洋资源勘探等领域。
传统的水听器通常采用压电材料或磁光材料作为敏感元件,其灵敏度和频率响应受到一定限制。
而压差式光纤矢量水听器则利用了光纤传感技术的优势,具有高灵敏度、宽频带特性和低噪声等优点,因此成为了当前研究的热点之一。
方法:本研究采用了压差式光纤矢量水听器作为实验对象,并采用了实验室自行设计的信号发生器和精密测量设备进行测试和数据采集。
首先,我们测量了压差式光纤矢量水听器在不同频率下的压力输出信号,并通过信号发生器产生了各种频率的声波信号进行输入。
然后,将输出信号与输入信号进行比较,计算得到压差式光纤矢量水听器的频响特性曲线。
最后,我们还研究了不同参数(如温度、压力等)对压差式光纤矢量水听器频响特性的影响。
结果与讨论:实验结果表明,压差式光纤矢量水听器在较宽频率范围内具有较为均匀的响应特性。
频率范围从几十Hz到几千Hz,其灵敏度变化较小,频率响应较为平坦。
在高频率情况下,压差式光纤矢量水听器的灵敏度略有下降,这可能是由于光纤耦合效应导致的损耗。
此外,实验结果还表明,温度和压力对压差式光纤矢量水听器的频响特性影响较小。
结论:通过对压差式光纤矢量水听器频响特性的研究,我们认识到该传感器在声学信号处理和水下环境监测方面具有广泛应用潜力。
压差式光纤矢量水听器的高灵敏度和宽频带特性使其能够准确接收和分析水下声学信号,为海洋科学研究和海洋工程提供了有效手段。
此外,由于其结构简单且易于制造,压差式光纤矢量水听器具有较低的成本和良好的可靠性。
水下声学传感器设计及数据处理研究
水下声学传感器设计及数据处理研究水下声学传感器是一种用于测量水下环境中声信号的设备。
在海洋资源开发、海洋环境监测和海洋科学研究等领域,应用十分广泛。
本文将从水下声学传感器的设计与数据处理两个方面入手,阐述其相关技术原理和应用。
一、水下声学传感器的设计1、水下声学传感器的工作原理水下声学传感器是一种利用压电陶瓷材料的声电效应测量水中声信号的装置。
其工作原理基于声波在水中传播的特性,当发射声波器发出声波时,声波会在水中传播并被水中的各种物体反射。
水下声学传感器可以接收到这些声波,并将其转化为电信号,经过处理后得到声波的相关参数。
2、水下声学传感器的结构水下声学传感器的结构一般包括声源、接收器和信号处理器三个部分。
其中,声源是用来发射声波的装置,接收器则是用来接收回波信号的。
信号处理器则可以对接收到的信号进行滤波、放大、去噪等处理,以得到目标信息。
3、水下声学传感器的技术指标水下声学传感器的技术指标影响着其在不同应用场景中的表现。
常见的技术指标如下:灵敏度:声学传感器对声压变化的响应能力。
带宽:声学传感器可以接收的频率范围。
定向性:声学传感器的接收方向性。
工作深度:声学传感器能够工作的最大深度。
噪声衰减:声学传感器对周围水流、海洋生物等噪声的抑制能力。
二、水下声学传感器数据处理研究1、水下声学传感器数据处理方法水下声学传感器采集到的数据需要进行处理,以提取出有意义的信息。
数据处理的方法主要有以下三种:时域分析:时域分析是指对声波信号进行时间上的分析。
可以通过时域分析提取出声波的幅值、周期和频率等信息。
频域分析:频域分析是指对声波信号进行频率上的分析。
可以通过频域分析了解声波信号的频率成分和能量分布情况。
小波分析:小波分析是指用小波函数对声波信号进行分解和重构。
可以通过小波分析得到声波信号的多个尺度和频带信息。
2、水下声学传感器数据处理应用水下声学传感器的数据处理应用广泛,涉及海洋资源开发、海底地貌勘测、水下生物探测等多个领域。
一种新型MEMS矢量水听器的设计
is suit for lot manufacturing and multiple arrays.This paper simulated the novel structure by ANSYS.It could be
concluded that resonance frequency was 1 840 Hz and the position of the piezo-resistor was away from edges about
Key words:vector hydrophone;EMS;package and test;ANSYS
0 引 言
水 声 是 海 洋 中 信 息 传 播 的 主 要 载 体 ,水 下 探 测 、 定 位 与 导 航 、目 标 识 别 、通 信 等 水 下 作 业 都 必 须 借 助 于水声技 术 来 完 成。 作 为 一 种 重 要 的 水 下 探 测 装 置,声 呐 的 出 现 在 民 用 方 面 逐 渐 发 挥 重 要 的 作 用 。 [1-2]
器”,该水听器的 结 构 如 图 1 所 示。 图 中,仿 生 纤 毛 固 定 于 四 梁 -中 心 连 接 体 的 中 央 (即 四 梁 交 叉 处 ),压 阻敏感单元分别设置于四梁的边缘处。
图 1 纤 毛 + 四 梁 微 结 构 芯 片
经检 验,该 矢 量 水 听 器 具 有 矢 量 探 测 和 高 灵 敏 的优势。但按照 当 前 国 内 外 MEMS 加 工 工 艺 的 加 工 能 力 ,四 梁 微 结 构 和 仿 生 纤 毛 是 无 法 一 体 化 成 型 ,
3.1 振 动 台 实 验 振动台标定法是对敏感单元的振动检测性能进
首先采用 SOLID45 单 元 对 实 体 模 型 进 行 静 力 学分析,沿z 方向给仿生纤毛施加 1Pa载荷。 由硅 微压阻式传感器工 作 原 理 可 知,应 将 压 敏 电 阻 分 布 在梁上应力线性度 好 的 地 方,为 了 得 到 最 佳 的 排 布 位置,通过 ANSYS提取路径的方法,得到单梁上的 应 力 分 布 曲 线 如 图 3(a)所 示 。 通 过 图 3(a)可 发 现 , 应 力 分 布 基 本 是 线 性 的 ,不 过 在 梁 的 根 部 有 跳 动 ,所 以压阻应该避开 这 个 区 域 进 行 排 布。 为 此,将 梁 上 的压敏电阻布置在距根部180μm 的中心位置处。
单片集成阵列式MEMS矢量水听器设计与仿真
单片集成阵列式MEMS矢量水听器设计与仿真单片集成阵列式MEMS矢量水听器是一种可以用于水下声学和声呐的高性能传感器。
它可以实现对水中声音的准确测量,具有经济、高效和精确的特点。
本文将介绍关于单片集成阵列式MEMS矢量水听器的设计与仿真。
1. 设计方案为满足复杂水下环境中的测量需求,本文采用一个多元MEMS晶圆,将多个听器单元集成在同一块硅芯片上,由此构成了一个矢量水听器阵列。
采用CMOS集成电路工艺制备晶圆,使用并行平板扩散法生长适宜的硼掺杂层,以形成单元电池。
为了尽可能降低系统的噪声,设计中采用了多种降噪技术,并将矢量水听器阵列和降噪电路集成在同一块芯片上。
此外,为了实现快速响应和灵敏的测量,采用了高速放大器和AGC电路。
为了减少系统的大小和成本,本文还采用了一种双层PCB设计,将集成电路和被动元件都集成在同一块芯片上,在贴片面实现器件的布局和联接。
这种双层PCB设计不仅降低了系统成本,而且可提高器件的可靠性。
2. 仿真分析在对单片集成阵列式MEMS矢量水听器进行仿真分析时,需要考虑多个因素。
其中包括信噪比、频率响应、灵敏度和带宽等因素。
理论分析和仿真结果表明,本文所设计的水听器具有优秀的性能,可以在复杂的水下环境中精确测量和分析水压、水流等声学参数。
3. 结论本文设计了一种单片集成阵列式MEMS矢量水听器,在设计中采用了多种降噪技术,高速放大器和AGC电路,采用双层PCB设计实现器件的布局和联接。
仿真分析表明,该水听器具有优秀的性能,可以在复杂的水下环境中精确测量和分析水压、水流等声学参数。
这种设计具有经济、高效和精确的特点,可以在水下声学和声呐领域得到广泛的应用。
单片集成阵列式MEMS矢量水听器是一种具有优秀性能的传感器,下面将从信噪比、频率响应、灵敏度和带宽等方面分析其相关数据。
1. 信噪比信噪比是评估水听器性能的一个重要指标。
它是信号强度与噪声强度之间的比值。
在采集声学信号时,噪声会影响系统的测量精度和鉴别能力。
MEMS矢量水听器阵列信号处理研究
R= ∑ V + ∑ , s "
式中
() 3
为 由大特 征值对 应 的特征 向量 张成 的子空 间亦
体 周伺 介质 的密度 与水接近 。因此 , 在透声 橡胶 帽 内注满
与水密度接近又绝缘 的硅油 。水 听器 的封装示 意 图如图 2
所示 。
即信号子空间 , 为 由小特征值对应 的特征矢量 张成 的子
图 2 ME MS水 听 器 的 封装 示 意 图
Fi Di g a o h n ap u a e EM S v c o dr p ne g2 a r m f t e e c s l t d M e t r hy o ho s
, = 3 组 阵 实 验 研 究
.
㈩
利 用国防一级计量站 的矢量水 听器校 准装置对 ME MS 矢量水 听器 进行了初 步标定 , 标定结 果如 图 3所 示。 由此
为了验证 ME 矢量 阵的 目标估 计性能 , MS 进行 了多次
外 场实验。实验环境 为深海 , 测试海域比较宽 阔, 测试 水域 较 深 , 以, 所 环境 噪声 较为理想 , 以认 为是各 向同性 噪声 可 场 。实验采用 的是面 阵 , 2个平 行 的均 匀线 阵组 成 , 由 其 中, 每个线阵均是 由3只 ME MS矢量水听器组成 , 各阵元间
a lc to pp iain. Ke y wor ds: MEM S v co ra e tra ry;M US C lo ih ;sg a o e sng I ag rt m in pr c s i l
0 引 言
和对水下运动 目标 的可靠跟 踪能力 , ME 为 MS矢 量水听器 的工程化应用 奠定 了基础 。
收 稿 日期 :0 1 1— 5 2 1 - 1 1
水下传感器网络的设计与应用
水下传感器网络的设计与应用在当今科技飞速发展的时代,水下传感器网络作为一种新兴的技术手段,正逐渐在多个领域展现出其重要的应用价值。
无论是海洋科学研究、水下资源勘探,还是海洋环境监测和国防安全等方面,水下传感器网络都发挥着不可或缺的作用。
水下传感器网络,简单来说,就是由多个部署在水下的传感器节点组成的网络系统。
这些传感器节点能够感知、采集和传输水下环境中的各种信息,如水温、水压、水流速度、水质以及水下物体的运动等。
要设计一个高效可靠的水下传感器网络,可不是一件容易的事情。
首先得考虑传感器节点的硬件设计。
由于水下环境的特殊性,这些节点必须具备良好的防水、抗压和耐腐蚀性能。
同时,为了保证长时间的稳定工作,它们还需要具备低功耗的特点,毕竟在水下更换电池或者进行能源补给可不是一件轻松的事儿。
在能源供应方面,太阳能在水下可没法使用,所以一般会采用电池供电或者利用海洋中的能量,比如潮汐能、温差能等。
但这些能源的获取和转化技术目前还存在一定的挑战,需要不断地研究和改进。
通信问题也是水下传感器网络设计中的一个关键难题。
在水下,电磁波的传播受到很大的限制,而声波则成为了主要的通信手段。
但声波在水下传播时,速度较慢、衰减较大,而且容易受到多径效应和噪声的干扰。
因此,如何提高通信的效率和可靠性,是研究人员一直努力解决的问题。
为了实现有效的通信,通常需要采用合适的通信协议和算法。
比如,在网络拓扑结构的设计上,要考虑节点的分布和连接方式,以确保信息能够快速准确地传输。
在数据传输过程中,还需要进行数据压缩、纠错编码等处理,以减少数据量和提高数据的准确性。
除了硬件和通信方面的设计,软件算法也同样重要。
比如,如何对传感器节点进行有效的定位和时间同步,如何进行数据的融合和处理,以及如何实现网络的自组织和自适应等,这些都需要精心设计的算法来支持。
在实际应用中,水下传感器网络有着广泛的用途。
在海洋科学研究中,它可以帮助科学家们收集海洋中的各种数据,从而更好地了解海洋的生态系统、气候变化以及海洋环流等现象。
多通道水下电场传感器阵列设计技术
多通道水下电场传感器阵列设计技术
多通道水下电场传感器阵列设计技术是指利用多个传感器通道来对水下电场进行监测和记录的一种技术。
这种技术可以实时监测水下电场的参数,比如电压、电流、电势等,并将这些数据传输到远程控制系统进行分析和处理。
多通道水下电场传感器阵列设计技术的关键包括传感器选择、布置和数据处理等方面:
1. 传感器选择:根据具体的应用需求选择合适的传感器,比如电压传感器、电流传感器、电位传感器等。
这些传感器需要具有高精度、高灵敏度和稳定性等特性,以确保监测数据的准确性和可靠性。
2. 传感器布置:在水下电场的监测区域内,根据电场的分布和检测需求进行传感器的布置。
传感器可以通过固定式安装或者移动浮标等方式进行布置,以获取全面和准确的电场数据。
3. 数据处理:传感器采集到的电场数据需要进行分析和处理,以提取有用的信息。
这个过程可以通过实时数据传输到远程控制系统进行,也可以在现场进行数据存储和分析。
数据处理可以包括滤波、校准、异常检测等步骤,以提高数据的可靠性和可用性。
多通道水下电场传感器阵列设计技术可以应用于多个领域,比如海洋工程、水下勘探、水下电力输送等。
通过准确监测和分
析水下电场参数,可以提高工程的安全性和效率,为相关领域的发展提供支持。
基于水声通信的水下传感器网络设计与实现
基于水声通信的水下传感器网络设计与实现水下传感器网络(USN)是指通过在水下设置传感器节点,通过无线电、声学等方式收集环境信息并将其传输到接收器。
USN在海洋、水利、水生生物、气象和水文监测等领域中具有广阔的应用前景。
然而,传统的USN设计存在一些问题,如信号干扰、通信距离有限、可靠性较低等,这些问题严重影响了传感器网络的应用。
因此,本文提出了一种基于水声通信的USN系统设计,并实现了该系统的原型测试。
设计思路本文所提出的USN系统主要通过水声通信实现传感器之间的数据传输,包括两个核心模块:传感器节点和基站节点。
其中,传感器节点负责定时采集环境数据并将其发送到基站节点;基站节点接收并分析传感器数据,并根据需要向传感器节点发送命令。
本系统采用了一种基于DS-CDMA的调制解调技术,通过支持自适应等化器和卷积码纠错技术实现了高可靠性的数据传输。
此外,系统还采用了多普勒补偿和自适应滤波等技术,有效降低了传输距离和多普勒效应对信号传输的影响。
传感器节点设计传感器节点是整个网络系统中最基本的单元,其主要功能是从环境中收集物理量,并将数据通过水声通信传输到基站节点。
传感器节点设计的关键是选择合适的传感器和数据采集电路,并将其与水声通信系统相结合。
为了实现传感器节点的完整功能,我们在传感器模块中使用了压力、温度和水深等多个传感器。
采集到的数据被处理成数字信号并储存在传感器芯片中。
当传感器芯片收到来自空中或水下基站的信号时,它将把数据通过水声信号传输出去。
基站节点设计基站节点是网络中的另一个核心元素,它主要负责接收、解调传感器节点发来的信号,分析数据并将它们转发到中央数据处理系统。
基站的重要任务是接收来自传感器的数据并确保数据的完整性和准确性。
由于网络中有很多节点,基站必须能够接受来自不同传感器节点的信号并将其不间断地转发到后端处理中心。
当基站收到传感器发来的数据时,它将通过解调和解码等技术将信号转换成数字数据。
纳机电矢量水听器耐压结构设计
纳机电矢量水听器耐压结构设计赵鹏;张国军;刘源;申辉;刘林仙;张文栋【摘要】纳机电矢量水听器具有低频性能好,灵敏度高等性能优点,在深海探测领域具有巨大的应用潜力,为满足超深水工作的要求提出了绝缘托盘式新型封装结构,解决了纳机电矢量水听器的耐高静水压技术难题。
首先,进行聚氨酯透声帽外围封装承压分析,理论论证聚氨酯基体树脂材料的极限耐静水压强度为42.3 MPa。
然后,对MEMS芯片输出电压进行理论计算以及对其进行模态仿真,得出在高达20 MPa的静水压作用下,传感器的输出灵敏度基本无变化,而且工作频带有所拓宽。
测试结果表明:改进封装的纳机电矢量水听器在高压20 MPa时,可以实时获得敲击信号;加压前后,该水听器在20 Hz~1000 Hz工作频带内水听器的灵敏度和指向性基本一致。
%The NEMS( Nano-Electromechanical System) vector hydrophone,which has advantages of low frequency, highsensitivity,etc,has huge potential for application in deep ocean detection. A novel encapsulation structure of insulation tray was proposed to meet deepwater work requirements, which solved the problem of high pressure-resisting for NEMS vector hydrophone. First, pressure-resisting analysis of the polyurethane sound-transparent cap was conducted,and the theoretical demonstration shows that the ultimate pressure-resisting capacity of polyurethane substrate material is 42. 3 MPa. Then,this paper conducted theoretical calculation about the output voltage of the MEMS chip and completed its mode simulation. The analysis results reveals that the sensitivity of hydrophone is changed rarely, even in the high hydrostatic pressure at 20 MPa, and the working frequency band isbroaden. Finally,the hydrophone was tested. Results show that the NEMS hydrophone with improved structure can obtain knocking signals in high hydrostatic pressure at 20 MPa;Comparing results before and after the pressure testing, there is almost no change about the sensitivity and directional pattern of NEMS vector hydrophone.【期刊名称】《传感技术学报》【年(卷),期】2014(000)005【总页数】6页(P610-615)【关键词】矢量水听器;纳机电;耐压【作者】赵鹏;张国军;刘源;申辉;刘林仙;张文栋【作者单位】中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原030051; 中北大学电子测试技术重点实验室,太原030051【正文语种】中文【中图分类】TB565.1近年来,人们对海洋能源与海洋资源的需求不断增加,进行深海探测有极大的科研意义和现实意义。