扩散高方阻试验三
2-扩散工序检验标准
7.检验要求，判定及解决方案
a)R□:49-54滞留，氮气柜集中处理；
c)蓝斑片，一般放行下传；
d)黑斑片，一般放行下传；
“符合检验标准可正常流入下一工序；如不符合，先排查原因，及时上报有关人员，寻求解决办法，以保证生产正常进行。”
扩散工序检验标准
1.目的
检验扩散工序不良品，提高成品质量。
2.适用范围
本公司电池扩散工序检验标准。
3.检验项目
方块电阻大小及均匀性
外观检测
4.检验方法
四探针测试仪测量
目测
5.检验仪器
四探针测试仪，精度±1Ω/sq
眼睛
6.抽样方案
方块电阻大小及均匀性：抽检，每管等间距抽取3组（6片），硅片四角及中心方块电阻，片内及片间；
高方阻
一、高方阻1、高方阻的意义说到高方阻的意义，大家应该都很懂:较低的表面杂质浓度，有效降低了表面的杂质复合中心，提高了表面少子的存活率，同时增加短波的响应，如此有效的增加了Isc和Uoc，达到提高效率的目的；2、问题但是与此同时表面薄层电阻明显增加，增大了Rs，降低了FF。
要使最终的效率有所提高，就需要Uoc、Isc的提高大于FF的降低。
3、调整步骤高方阻工艺的调试需要整个制程的相互配合。
具体的动作如下3.1 方阻调试均匀性：影响均匀性的因素很多，设备需要注意温度、尾气负压、热排风；工艺需要注意预氧化层厚度、磷源与氧气比例等，这些需要进行DOE实验，均匀性需要极值差小于8。
高方阻的扩散方案：降温是最直接的方式，但是你需要配合diffusion time和drive in time的调整，也需要DOE实验以上完成后需要进行原有制程工艺的试生产，需要看到Uoc、Isc明显提升后，才能说明高方阻的扩散工艺已经调试成功3.2 PECVD调整大家可能不明白，高方阻为什么需要PECVD调整？那就仔细往下看表面钝化的改善：高方阻的目的就是降低表面复合，提高短波响应，如果表面钝化很糟糕，那Isc的损失会很明显反射光谱改善：高方阻是提高短波的响应，那就需要在一定的程度上减少短波的反射，需要PECVD的n和d的调整，也是DOE实验3.3 丝网印刷前面进行试生产的目的就是需要确认丝网的改善方向。
如果效率有提高，那只需要调节烧结炉的工艺即可，一般是在原有的工艺基础上降低温度，因为浅结更容易烧穿；当然不排除提高带速增加温度的可能。
如果效率没有提高，或很少，那就需要变更正电极网版的设计，增加栅线、降低细栅线宽度（细线密栅原则），最好是在不增加遮光面积的前提下进行网版的设计，这是最理想的。
而后进行DOE实验和烧结的调试。
最后就是产线的磨合，要一些时间。
很多国外的企业一般都已经做到80~90的方阻了，国内一般为50~60，而我们正在冲刺80~85。
扩散现象的实验报告(3篇)
第1篇一、实验目的1. 理解扩散现象的基本原理；2. 观察不同物质在不同条件下的扩散速度；3. 分析影响扩散速度的因素。
二、实验原理扩散是指不同物质在相互接触时，彼此进入对方的现象。
扩散速度受多种因素影响，如温度、浓度梯度、分子大小等。
本实验通过观察不同物质在不同条件下的扩散速度，分析影响扩散速度的因素。
三、实验材料与仪器1. 实验材料：墨水、水、不同温度的水杯、滤纸、铅笔、尺子等；2. 实验仪器：显微镜、计时器、温度计等。
四、实验方法与步骤1. 准备实验材料：取两杯等量的水，分别加入相同量的墨水；2. 设置实验条件：将其中一杯水置于室温，另一杯水置于冰水中；3. 观察墨水在两杯水中的扩散速度，记录扩散时间；4. 重复实验，记录数据；5. 分析实验结果，得出结论。
五、实验结果与分析1. 室温条件下，墨水在水中扩散速度较快，扩散时间较短；2. 冰水中，墨水扩散速度较慢，扩散时间较长；3. 温度越高，扩散速度越快；4. 通过对比实验，得出结论：温度是影响扩散速度的主要因素。
六、实验结论1. 扩散现象是物质在相互接触时，彼此进入对方的现象；2. 温度是影响扩散速度的主要因素，温度越高，扩散速度越快；3. 在实际生活中，扩散现象广泛应用于各种领域，如物质的分离、提纯、混合等。
七、实验讨论1. 除了温度，还有哪些因素会影响扩散速度？2. 如何利用扩散现象进行物质的分离和提纯？3. 扩散现象在日常生活和工业生产中有哪些应用？八、实验总结本实验通过观察不同物质在不同条件下的扩散速度，分析了影响扩散速度的因素。
实验结果表明，温度是影响扩散速度的主要因素。
通过本实验，我们加深了对扩散现象的理解，并了解了扩散现象在实际生活中的应用。
在今后的学习和工作中，我们将继续关注扩散现象的研究，探索其在更多领域的应用。
第2篇一、实验目的1. 了解扩散现象的基本原理。
2. 掌握扩散实验的操作方法。
3. 通过实验观察和分析，加深对扩散现象的理解。
对扩散后方块电阻、表面浓度和结深的影响,采用四探针测
摘要：本文研究了单晶硅片不同的基体电阻率，对扩散后方块电阻、表面浓度和结深的影响，采用四探针测试法测定了发射极的方块电阻，结果显示基体电阻率越高，扩散后的方阻越高，采用电化学电压电容（ECV）测量方法测量了发射极表面浓度与结深的变化， ECV测量的结果表明了电阻率高的硅片扩散后表面浓度低、结深越小，是扩散后方阻高的原因，这些结果对太阳能电池生产的扩散工艺有一定的指导意义。
引言：目前，在国际环境和能源问题日趋严重的大背景下，新型无污染的新能源得到的快速的发展，而太阳能电池能够将太阳能直接转化成电能得到了大力的发展，到目前为止，晶体硅太阳能电池仍占据着整个太阳能电池的主要市场[1-3]。
然而到目前为止使用太阳能电池的成本依然较高，虽然成本每年都在降低。
降低太阳能电池发电的生产成本和提高其转换效率一直是研究的热点[4]。
扩散形成p-n结实太阳能生产中的重要的环节，p-n结是整个太阳能电池的心脏部分，通过改变扩散生产工艺，来提高太阳能电池性能的研究有很多。
李等通过改变扩散的时间和温度来改变多晶硅扩散的电阻在发现，当方阻小于70Ω/sq的时候，电池效率随着方阻的增加而增加，当大于70Ω/sq的时候随着方阻的增加而减小[ 5 ]。
Betezen等从实验中得出，降低温度和延长扩散时间有利于硅片的吸杂作用[6]。
豆等通过改变多晶硅中气体流量的大小与RIE制绒工艺进行匹配，在方阻为80Ω/sq的情况下得到了转换效率为17 . 5%的太阳能电池，比相应的酸制绒效率提高了0.5%[7]。
在一些重参杂的研究中发现，重参杂会增加发射极载流子的复合速率[8-9]。
上述的研究表明了扩散方阻对电池最终的转换效率有重要的影响，这些结果对生产中扩散工艺都具有重要的知道意义。
然而，上述的研究，都是通过改变扩散的时间或者源流量的大小来改变扩散后方阻的大小。
到目前为止，对不同电阻率硅片扩散后方阻的研究还比较少。
扩散层质量是个关键问题。
质量的要求，主要体现在扩散的深度（结深），扩散层的表面杂质浓度等方面。
对扩散后方块电阻、表面浓度和结深的影响,采用四探针测
对扩散后方块电阻、表面浓度和结深的影响,采用四探针测摘要：本文研究了单晶硅片不同的基体电阻率，对扩散后方块电阻、表面浓度和结深的影响，采用四探针测试法测定了发射极的方块电阻，结果显示基体电阻率越高，扩散后的方阻越高，采用电化学电压电容（ECV）测量方法测量了发射极表面浓度与结深的变化， ECV测量的结果表明了电阻率高的硅片扩散后表面浓度低、结深越小，是扩散后方阻高的原因，这些结果对太阳能电池生产的扩散工艺有一定的指导意义。
引言：目前，在国际环境和能源问题日趋严重的大背景下，新型无污染的新能源得到的快速的发展，而太阳能电池能够将太阳能直接转化成电能得到了大力的发展，到目前为止，晶体硅太阳能电池仍占据着整个太阳能电池的主要市场[1-3]。
然而到目前为止使用太阳能电池的成本依然较高，虽然成本每年都在降低。
降低太阳能电池发电的生产成本和提高其转换效率一直是研究的热点[4]。
扩散形成p-n结实太阳能生产中的重要的环节，p-n结是整个太阳能电池的心脏部分，通过改变扩散生产工艺，来提高太阳能电池性能的研究有很多。
李等通过改变扩散的时间和温度来改变多晶硅扩散的电阻在发现，当方阻小于70Ω/sq的时候，电池效率随着方阻的增加而增加，当大于70Ω/sq的时候随着方阻的增加而减小[ 5 ]。
Betezen等从实验中得出，降低温度和延长扩散时间有利于硅片的吸杂作用[6]。
豆等通过改变多晶硅中气体流量的大小与RIE制绒工艺进行匹配，在方阻为80Ω/sq的情况下得到了转换效率为17 . 5%的太阳能电池，比相应的酸制绒效率提高了0.5%[7]。
在一些重参杂的研究中发现，重参杂会增加发射极载流子的复合速率[8-9]。
上述的研究表明了扩散方阻对电池最终的转换效率有重要的影响，这些结果对生产中扩散工艺都具有重要的知道意义。
然而，上述的研究，都是通过改变扩散的时间或者源流量的大小来改变扩散后方阻的大小。
到目前为止，对不同电阻率硅片扩散后方阻的研究还比较少。
气体扩散实验的步骤和注意事项
气体扩散实验的步骤和注意事项实验步骤：1. 实验准备：实验前需要准备好实验所需的设备和材料。
通常情况下，实验所需的材料包括气体样品、实验容器、试管或烧杯、实验室垫、计时器等。
2. 样品制备：将需要进行扩散实验的气体样品收集或制备好。
样品的制备方法因实验目的和具体情况而异，可以通过化学反应产生气体，或者直接使用商业购买的气体样品。
3. 实验装置：选择合适的实验容器，如试管或烧杯，并将其放在实验室垫上以避免意外溢出。
确保实验容器干净无杂质，并严格遵守安全操作规程。
4. 观察和记录：在实验开始前，准备好记录实验过程的笔记本和计时器。
观察实验开始时气体样品的初始状态，并记录下相关的观察数据，如气体的颜色、气味等。
5. 开始实验：打开实验容器，将气体样品缓慢注入容器中，可使用滴管或气球等工具控制气体的流量和速度。
确保操作平稳，以避免任何液体或气体的泄漏。
6. 计时和观察：一旦气体进入实验容器，立即开始计时。
定时记录气体扩散的时间，并观察扩散过程中的变化。
记录有关气体的地方和速率的数据。
7. 实验结束：当实验时间结束或观察到所需的数据时，停止计时并关闭实验容器。
注意将残余的气体排除，以保持实验环境的清洁。
注意事项：1. 安全操作：实验过程中需要严格遵守化学实验室的安全操作规程，佩戴适当的防护眼镜和手套，避免有害气体对实验者造成伤害。
实验室的通风良好也是必要条件。
2. 注意观察：在实验过程中，及时观察实验容器中气体的扩散情况，并记录下相关数据。
注意观察气体的变色、气味和浓度等变化，以便后续分析和解释实验结果。
3. 控制变量：为了保证实验结果的可靠性，需要控制实验过程中的各个变量，如温度、压力等。
尽量保持实验环境的稳定，避免其他因素对实验结果产生影响。
4. 精确测量：在记录实验数据时，要尽量使用精确的测量工具和方法。
使用准确的标尺、滴管或容器来测量气体的体积或质量，以获得准确的实验数据。
5. 重复实验：为了验证实验结果的可靠性和重复性，建议进行多次实验。
实验三扩散硅压阻式压力传感器实验
北京XXX大学实验报告课程（项目）名称：实验三扩散硅压阻式压力传感器实验学院：专业：班级：学号：姓名：成绩：2013年12月10日一、任务与目的了解扩散硅压阻式压力传感器的工作原理和工作情况。
二、实验仪器（条件）所需单元及部件：主、副电源、直流稳压电源、差动放大器、F/V显示表、压阻式传感器(差压)旋钮初始位置：直流稳压电源±4V档，F/V表切换开关置于2V档，差放增益适中或最大，主、副电源关闭。
三、原理（条件）扩散硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的器件，也就是在单晶硅的基片上用扩散工艺(或离子注入及溅射工艺)制成一定形状的应变元件，当它受到压力作用时，应变元件的电阻发生变化，从而使输出电压变化。
四、内容与步骤（1）了解所需单元、部件、传感器的符号及在仪器上的位置。
（见附录三）(2) 如图３０A将传感器及电路连A(3) 如图３０B图３０B(5) 将加压皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝拧松。
（6）开启主、副电源，调整差放零位旋钮，使电压表指示尽可能为零，记下此时电压表读数(7) 拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按加压皮囊，电压表有压力指示时，记下此时的读数，并将数据填入表格中记录。
注：根据所得的结果计算系统灵敏度S= ΔV／ΔP，并作出V-P关系曲线，找出线性区域。
五、数据处理（现象分析）（1）拧紧皮囊上单向调节阀的锁紧螺丝，轻按加压皮囊，电压表的读数随压力的变化如下表：（2）根据所得的结果计算系统灵敏度S= ΔV／ΔP，并作出V-P关系曲线，找出线性区域。
六、结论通过实验进一步了解了扩散硅压阻式压力传感器的工作原理，并且观察了实过程中的工作状况，通过对实验数据的整理计算，得出实验仪器的灵敏度为S=92.35 V/Kpa。
实验三双向琼脂扩散试验
使琼脂与玻片紧贴； • 将抗体按二倍比稀释法稀释成1:2，1:4，1:8，1:16，1:32 • 中间孔加抗原，周围孔加倍比稀释抗体，其中一个 孔加滴入生理盐水作
为对照（小心加样，不要溢出），每孔加20微升 • 置37 ℃湿盒24-48h • 结果观察：在抗原抗体比例合适处，出现白色沉淀，以出现明显的沉淀
• 可用此法来分析和鉴定标本中多种抗原或抗体成份， 并用以测定抗原或抗体的效价
• 若二孔中的抗原相同，与相应抗体形成的 沉淀线融合成弧形
• 若二孔中抗原不同，当抗血清中分别含有 与抗原相应的抗体时，则形成的沉淀线相 交叉
• 若两孔中抗原部分相同，抗血清中有各相 应的抗体，形成的沉淀线相切
二、实验材料
两者相互扩散当扩散到他们的浓度比例合适的部位相遇时就会形成抗原抗体复合物的沉淀每一抗原与其相对应抗体只能形成一条沉淀线若同时含有若干对抗原抗体系统可在琼脂中出现多条沉根据沉淀线融合情况还可鉴定两种抗原是完全相同还是部分相同可用此法来分析和鉴定标本中多种抗原或抗体成份并用以测定抗原或抗体的效价若二孔中的抗原相同与相应抗体形成的沉淀线融合成弧形若二孔中抗原不同当抗血清中分别含有与抗原相应的抗体时则形成的沉淀线相交叉若两孔中抗原部分相同抗血清中有各相应的抗体形成的沉淀线相切二实验材料玻片打孔器加样器tip头等三步骤称取1g琼脂粉加至100ml8高渗盐水中配制1琼脂凝胶
线的最高稀释度为该抗体的效价
四、作业
• 实验报告（画图并解释实验结果） • 琼扩试验应注意哪些事项？ • 琼扩试验有何意义？
实验三 双向琼脂扩散试验
一、实验目的
• 掌握双向琼扩试验的原理和用途 • 掌握双向琼扩试验操作方法 • 观察抗原、抗体在琼脂板中形成的沉淀线
海航施工专用高强度灌浆材料的扩散性能测试
海航施工专用高强度灌浆材料的扩散性能测试概述：在施工过程中，选择高强度灌浆材料是非常关键的。
为了确保施工质量和安全性，必须对海航施工专用高强度灌浆材料的扩散性能进行测试。
本文将对这一材料的扩散性能进行详细的描述和分析，同时提供测试结果和结论。
引言：高强度灌浆材料在海洋工程、港口工程和航空工程等施工领域具有广泛应用。
扩散性能是判断灌浆材料质量的一个关键指标。
通过测试材料的扩散性能，可以评估其渗透性和耐久性，进而保证施工的安全性和可靠性。
方法：扩散性能测试方法通常采用盘状扩散或圆柱扩散实验。
通过实验，可以测量灌浆材料在规定时间内在水中扩散的距离，从而评估其渗透性能。
测试过程：1. 准备工作：选取代表性的样品，按照标准规定的配比准备灌浆材料，并将其注入到测试容器中；2. 测试方法：使用盘状扩散或圆柱扩散实验装置进行测试，即将材料与水分隔开，使其在一定时间内与水接触，测量材料在水中扩散的距离；3. 测试参数：需要记录的测试参数包括材料的扩散距离、时间和环境温度等。
测试结果与分析：根据我们进行的实验测试，海航施工专用高强度灌浆材料的扩散性能表现出色。
在盘状扩散实验中，材料在规定时间内扩散的距离超过了预期要求。
在圆柱扩散实验中，材料表现出较低的扩散系数，这表明该材料具有较好的渗透性和耐久性。
结论：基于以上测试结果和分析，可以得出以下结论：1. 海航施工专用高强度灌浆材料具有良好的扩散性能，能够满足施工需求；2. 该材料具有较好的渗透性和耐久性，能够有效抵抗水下环境对其的侵蚀。
建议：1. 推广应用：基于测试结果，建议在适宜的工程中广泛推广应用海航施工专用高强度灌浆材料；2. 监测与维护：在施工过程中，应定期对灌浆材料进行扩散性能检测，及时采取维护措施，确保材料的性能和安全性。
总结：海航施工专用高强度灌浆材料的扩散性能测试是保证施工质量和安全性的重要手段。
通过对该材料的扩散性能进行测试和分析，我们得出了材料具有良好渗透性和耐久性的结论。
e试验法 扩散法 -回复
e试验法扩散法-回复“e试验法扩散法”是一种经典的科学实验方法，用于研究物质的扩散性质。
在这篇文章中，我将一步一步回答有关这个主题的问题，并介绍该实验方法的原理、步骤和应用。
本文将以科学实验的方法论为基础，以期帮助读者深入理解这一实验方法的原理和应用。
第一步：引言扩散是物质从高浓度区域向低浓度区域自发移动的过程。
这种现象在自然界中普遍存在，例如空气中的气体、液体或固体的分子都会通过扩散达到平衡。
e试验法扩散法是一种常用的实验方法，可以用来研究不同物质在不同条件下的扩散性质。
在接下来的文章中，我将详细介绍这种实验方法的原理和实施步骤。
第二步：实验原理e试验法扩散法的原理基于弗里德里希.塞尔俱乐部的扩散方程，即法拉第定律。
根据法拉第定律，扩散通量与扩散系数之间存在线性关系。
所以，我们可以通过测量扩散通量和变量之间的关系来得到扩散系数。
这个实验方法的优点是可以直接测量物质的扩散性能，而无需额外的测量设备。
第三步：实施步骤1. 准备实验材料：我们需要两个相邻的区域，这两个区域之间有一种物质进行扩散。
可以使用实验室中常见的盛水的容器，然后在容器的两边放置两个测试样品。
2. 设定实验条件：我们需要控制实验的条件，例如温度、压力和湿度等。
这些变量可以影响物质的扩散速率和扩散系数。
3. 测量扩散通量：我们可以使用称重法来测量物质扩散的速率。
我们可以在扩散区域的两侧放置称重器，然后测量时间内物质的质量变化。
通过计算不同时间点上的质量差异，我们可以得到扩散过程中的质量通量。
4. 计算扩散系数：通过测量扩散通量和其他相关变量（例如浓度差、距离等），我们可以计算出扩散系数。
这个计算过程可能需要使用数学公式。
第四步：实验应用e试验法扩散法可以应用在许多科学领域，例如化学、物理和材料科学等。
在化学领域，这个实验方法可以用来研究物质的扩散性质，确定物质在不同条件下的扩散速率。
在物理学中，这个实验方法可以用来研究气体或液体分子的运动规律。
e试验法 扩散法 -回复
e试验法扩散法-回复“[e试验法扩散法]：一种快速测定化学反应速率的实验方法”引言：在化学实验中，测定化学反应速率是一种基本且重要的实验手段。
为了更准确地确定反应速率，科学家们不断提出各种试验方法。
本文将重点介绍一种名为“e试验法扩散法”的实验方法，以及如何一步一步进行这个实验。
1. 简介首先，让我们了解一下“e试验法扩散法”的基本原理。
这种方法广泛应用于测定气体反应的速率。
它基于扩散现象，即分子随机运动的结果。
根据分子之间的碰撞，速率可以通过扩散速度来估算。
这一方法特别适用于反应速率较慢、浓度变化较小的反应。
2. 实验准备在进行“e试验法扩散法”实验之前，我们需要准备以下实验器材和试剂：- 实验器材：- 反应器：通常为圆柱形反应器，以便于观察和控制温度。
- 热水浴：用于保持反应器内的恒定温度。
- 扩散装置：可用玻璃管或拉氏管等。
- 毛细管：用于向反应器中注入试剂。
- 试剂：- 反应物：根据实验需求选择。
- 指示剂：用于标记反应后产物。
3. 实验步骤接下来，我们将一步一步介绍“e试验法扩散法”的实验步骤。
3.1 准备工作首先，在反应器中注入适量的反应物和指示剂。
确保反应物溶液或混合物均匀分布。
然后，将反应器放置在热水浴中，保持恒定温度。
3.2 扩散装置设置准备好扩散装置，确保其与反应器连接紧密。
扩散装置的设计应使气体只能通过扩散装置进入反应器，并且反应物不能逆向扩散离开反应器。
3.3 记录观察数据打开记录装置，开始记录扩散过程中指示剂的扩散位置和时间。
记录的数据可以通过摄像、计时器等手段进行。
3.4 数据处理与分析通过观察和分析记录的数据，我们可以绘制反应物在时间上的扩散曲线。
从扩散曲线中，我们可以确定指示剂在反应器中扩散的速率和量。
4. 注意事项在进行实验时，需要注意以下几点：- 反应器与扩散装置的连接应紧密，以防止气体逆向扩散。
- 温度变化应控制在一个合适的范围内，以保持反应物浓度的稳定。
- 实验记录的精确性对于正确计算反应速率至关重要。
药敏试验(扩散法)操作方法课件
药敏试验(扩散法)操作方法
21
1、纸片琼脂扩散法（3/3）
3、培养观 察
将平 皿培养基 置于37℃ 温箱中倒 置培养24 小时后， 观察效果
药敏试验(扩散法)操作方法
22
2、牛津杯法
第一步同“纸片法”细菌涂抹平板。 以无菌操作将灭菌的不锈钢小管（内径6nm、外径8nm、
高10 nm的圆形小管，管的两端要光滑，也可用玻璃管、 瓷管），放置在培养基上，轻轻加压，使其与培养基接 触无空隙，并在小管处标记各种药物名称。每个平板可 放4-6支小管。待分钟后，分别向各小管中滴加一定数 量的各种药液，勿使其外溢。
药敏试验(扩散法)操作方法
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药液的制备（用于商品药的试验）：
按兽药说明书(或标签)上标明的治疗量的10-20倍比例配制药液。 如某药品：100g兑水100kg，表明该药治疗量为1g兑水1L，配制 药液时就是1g加50-100ml水或1L水加10-20g药品，即为配制药敏 片所用的药液浓度。
抗菌药的稀释剂通常用纯化水。
药敏试验(扩散法)操作方法
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4、其他用品
药敏试验(扩散法)操作方法
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四、药敏试验操作步骤：
一步法：用病料直接在平板上进行涂抹后贴药敏 片，培养后观察。
二步法：先进行细菌的增值培养后，再取培养菌 进行平板药敏试验。（纸片法、牛津杯法、打孔 法）
药敏试验(扩散法)操作方法
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细菌增值培养：
用法：称取本品18.0g,加热溶解于 1000ml蒸馏水中,分装三角瓶或试 药敏试管验,(1扩21散℃法高)操压作灭方法菌15分钟备用。
MH肉汤 （¥100）、
MH琼脂 （¥250） ；
营养肉汤 （¥60） 、 营养琼脂 （¥80）均 可以生化试 剂店买到。
对扩散后方块电阻、表面浓度和结深的影响,采用四探针测
摘要：本文研究了单晶硅片不同的基体电阻率，对扩散后方块电阻、表面浓度和结深的影响，采用四探针测试法测定了发射极的方块电阻，结果显示基体电阻率越高，扩散后的方阻越高，采用电化学电压电容（ECV）测量方法测量了发射极表面浓度与结深的变化， ECV测量的结果表明了电阻率高的硅片扩散后表面浓度低、结深越小，是扩散后方阻高的原因，这些结果对太阳能电池生产的扩散工艺有一定的指导意义。
引言：目前，在国际环境和能源问题日趋严重的大背景下，新型无污染的新能源得到的快速的发展，而太阳能电池能够将太阳能直接转化成电能得到了大力的发展，到目前为止，晶体硅太阳能电池仍占据着整个太阳能电池的主要市场[1-3]。
然而到目前为止使用太阳能电池的成本依然较高，虽然成本每年都在降低。
降低太阳能电池发电的生产成本和提高其转换效率一直是研究的热点[4]。
扩散形成p-n结实太阳能生产中的重要的环节，p-n结是整个太阳能电池的心脏部分，通过改变扩散生产工艺，来提高太阳能电池性能的研究有很多。
李等通过改变扩散的时间和温度来改变多晶硅扩散的电阻在发现，当方阻小于70Ω/sq的时候，电池效率随着方阻的增加而增加，当大于70Ω/sq的时候随着方阻的增加而减小[ 5 ]。
Betezen等从实验中得出，降低温度和延长扩散时间有利于硅片的吸杂作用[6]。
豆等通过改变多晶硅中气体流量的大小与RIE制绒工艺进行匹配，在方阻为80Ω/sq的情况下得到了转换效率为17 . 5%的太阳能电池，比相应的酸制绒效率提高了0.5%[7]。
在一些重参杂的研究中发现，重参杂会增加发射极载流子的复合速率[8-9]。
上述的研究表明了扩散方阻对电池最终的转换效率有重要的影响，这些结果对生产中扩散工艺都具有重要的知道意义。
然而，上述的研究，都是通过改变扩散的时间或者源流量的大小来改变扩散后方阻的大小。
到目前为止，对不同电阻率硅片扩散后方阻的研究还比较少。
扩散层质量是个关键问题。
质量的要求，主要体现在扩散的深度（结深），扩散层的表面杂质浓度等方面。
常见扩散方阻异常分析ppt课件
炉门异常
第四步氧气 反应不适当
排废稍大
大氮偏小
反应过饱和
反应不充分
炉中、炉尾 偏高
温度偏低
第四步氧气 反应不适当
炉尾气密性 差
反应过饱和
反应不充分
6
整体偏低
排废太小
温度偏高
换源后未 调整温度
扩散时间 过长
恒温槽温 度偏高
气体流量 偏差
工艺等待
取舟异常
小氮偏高
大氮？
PS：大氮对方阻的影响暂时不确定需实验来验证
10
超净扩散方阻异常分析
1
摘要
方阻的影响因素
a.排废 b.温度、时间 c.气体流量
方阻偏高
a.整组偏高 b.单点偏高
方阻偏低
a.整组偏低 b.单点偏低
方阻不稳定
a.扩散不均匀 b.均值不均匀
2
排废
排废的变化对管内温度、气流、杂质源均有影响，但主要影响杂质源浓度。 排废过大：管内杂质源浓度降低，硅片P扩散不充分，方阻偏高，且气流速度加 快，片内均匀性较差； 排废过小：管内杂质源浓度相对偏高，P扩散过饱和，方阻偏低。
4
整组偏高
排废过大
进气管脱落
扩散温度偏 低
第四步氧气 反应不适当
气体流量偏 差
源瓶泄露
恒温槽液位 低
灰区源少
恒温槽温度 较低
管内反应 的小氮偏
小
气体未能 通入炉管
内反应
小氮偏小
大氮偏高
杂质源未 能通入炉
管反应
氧气偏差
液位以上源 温度低影响 小氮携带
小氮携带 的源浓度
偏低
5
单点偏高
炉口偏高
温度偏低
扩散间测方块电阻标准作业指导书
一、目的：为了加强产线管理，确保制造过程中能够严格按照标准作业流程来操作，以达到降低报废和提高效率。
二、适用范围：本规定适用于本公司太阳能电池产品在生产过程中对所有生产操作人员的管理。
三、职责：1、生产部经理对此规定监督负责；2、生产制造部对此规定执行负责。
四.管理内容:(扩散间测方块电阻）相关夹具: 洁净柜操作提示: 把硅片放入洁净柜，等待硅片冷却。
相关夹具：石英吸笔操作提示: 从炉门位置取片，注意吸笔不要碰碎硅片。
1.冷却硅片2.炉门取片相关夹具: 石英吸笔操作提示: 从炉中等距离取3片。
相关夹具：石英吸笔操作提示: 从炉口位置取片，注意吸笔不要碰碎硅片。
3.炉中间位置取片4.炉口取片相关夹具: 四探针测试仪操作提示:无相关夹具: 四探针测试仪操作提示: 把待测试硅片放到测片台上，扩散面向上。
5.准备测试硅片6.放置硅片相关夹具: 四探针测试仪操作提示: 用手按下“下降”按钮使针头平压在硅片上。
相关夹具: 四探针测试仪操作提示: 打开电源开关，初次测量时，要预热15min。
7.按“下降”按钮8.打开电源相关夹具: 四探针测试仪操作提示: 使“R□”“I”EXCH.1各个指示灯亮。
电流档位是0.1MA。
相关夹具: 四探针测试仪操作提示：把电流档位从0.1MA调至10MA。
9.指示灯亮10.调节电流档位相关夹具：四探针测试仪操作提示：把“I”的指示灯切换至R□/P：相关夹具：四探针测试仪操作提示：检查各类指示灯是否正确，确保温度正常，无强光直射，无高频干扰。
11.切换指示灯12.检查指示灯相关夹具：四探针测试仪操作提示：用手轻轻旋转调节按钮使电流值为4.532MA。
相关夹具：四探针测试仪操作提示：待R□数值稳定时读取数值13.调整电流14.读取数值相关夹具：四探针测试仪操作提示：按下“上升”按钮，取出测试好的硅片。
相关夹具：无操作提示：读取稳定数值,做好记录重复以上步骤，测试其余的硅片，并做好记录。
扩散实验报告
扩散实验报告实验目的：本实验旨在观察和研究气体扩散现象，通过实验得出关于扩散速率和扩散距离的相关规律。
实验器材：1. 封闭容器2. 气体源3. 量杯4. 实验室温度计5. 实验室计时器实验步骤：1. 准备实验器材，确保容器封闭且无泄漏现象。
2. 选择一种气体作为扩散源，并将其置于容器的一侧。
3. 利用量杯测量出特定的气体容积，并将其记录下来。
4. 将实验室温度计放置于容器内以确保实验环境温度的一致性。
5. 用计时器记录气体扩散时间。
6. 当气体扩散到一定位置或容积减少到一定百分比时，停止计时器并记录下时间数据。
7. 重复上述步骤至少三次，以得出准确的平均值。
实验结果：根据实验数据计算得出气体扩散速率和扩散距离。
通过对比不同实验数据，我们可以看到气体扩散速率与扩散距离成正比，即扩散速率随着扩散距离的增加而增加。
实验讨论：通过本实验，我们观察到气体分子在封闭容器内扩散的过程。
扩散是由于气体分子间的热运动而引起的，分子越活跃，扩散速率就越快。
此外，扩散速率还受到温度、压力和浓度的影响。
在温度相同的情况下，我们发现气体扩散速率随着浓度的增加而增加。
当浓度差异大时，扩散速率也会更快。
此现象可以解释为浓度差异驱动了气体分子的移动，使其更容易通过容器壁。
压力也会影响气体扩散速率。
当压力增加时，气体分子之间的距离变小，分子之间的相互作用也更强，从而使扩散速率增加。
实验结论：本实验的结果表明，气体扩散速率与扩散距离成正比，扩散速率受到温度、压力和浓度的影响。
研究气体扩散现象的规律有助于我们对自然现象的理解和应用。
参考文献：1. 作者1. (年份). 文章标题. 期刊名称, 卷号(期号), 页码范围.2. 作者2. (年份). 文章标题. 期刊名称, 卷号(期号), 页码范围.。
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扩散高方阻试验三
试验编号：ZH-kuosan-004
试验负责人：戚涛
试验日期：2011-11-15
试验概述及目的：在之前的两次高方阻试验中，我们所得结果是高方阻片效率略微好些，在实验一报告中我们已简单分析过高方阻的好处，但在实际生产中，我们做高方阻片需要很多工艺都做相应调整，每次若只做单一变量的调整，则需多次试验才能找到做高方阻片的最佳工艺条件。
本次试验片共三组，两组为镇江荣德片，一组为旭阳雷迪片。
三组片子用同炉管同程序扩散，其他条件保持一样，并且与生产片除了drive in时间不同外，其他工艺均基本相同，以作对比。
在之前陪片试验的基础上，我们发现在现程序基础上drive in时间减少5分钟，方阻可以提高到61左右，均匀性也较好，我们决定使用此陪片试验的程序做本次试验。
试验步骤：
一.用一批镇江荣德片放在3-4炉管扩散，使用试验程序，即在原程序基础上Drive in时间改为20分钟。
试验程序及结果如下：
二.再用一批镇江荣德片放在3-4炉管扩散，使用试验程序，试验程序及结果如下：
三．用一批旭阳雷迪片放在3-4炉管扩散，使用试验程序，试验程序及结果如下：
三组片子各段过程控制参数：
试验结果：
电性能数据对比：
试验结论：
通过三组试验的电性能数据与最近同片源厂家的电池片数据对比，可以明显看出，以我们目前的工艺条件，平均方阻可以提高到60.。