罗茨真空泵概述和设备要求

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罗茨真空泵作用

罗茨真空泵作用

罗茨真空泵作用一、引言罗茨真空泵是一种用于制造高度真空的设备,其主要作用是将气体从一个区域排出,以达到所需的真空度。

罗茨真空泵由两个旋转的叶轮组成,它们在壳体内旋转,从而将气体吸入并排出。

二、罗茨真空泵的结构1. 壳体:罗茨真空泵的外壳通常由铸铁或不锈钢制成。

它是保护泵内部部件免受损坏和污染的重要组成部分。

2. 叶轮:罗茨真空泵包括两个叶轮,它们相互咬合并在壳体内旋转。

这些叶轮通常由铸铁或不锈钢制成。

3. 电机:电机驱动罗茨真空泵中的叶轮旋转。

电机通常由三相交流电源供电。

三、罗茨真空泵的工作原理1. 压缩气体:当罗茨真空泵中的两个叶轮旋转时,它们会将气体吸入,并将其压缩到更高的压力水平。

2. 排出气体:压缩的气体通过罗茨真空泵的出口排出。

在排出气体之前,通常需要将其冷却以降低温度。

3. 产生真空:通过重复压缩和排出气体的过程,罗茨真空泵可以产生高度真空的环境。

四、罗茨真空泵的应用1. 制造半导体器件:在制造半导体器件时,需要使用高度真空的环境。

罗茨真空泵可以产生所需的高度真空,并帮助保持清洁的制造环境。

2. 医疗设备:许多医疗设备需要使用高度真空的环境。

罗茨真空泵可以帮助提供所需的环境,以确保这些设备能够正常运行。

3. 工业应用:罗茨真空泵可以用于许多工业应用中。

例如,在化学工厂中,它们可以帮助处理有害化学物质。

五、罗茨真空泵维护1. 定期更换油润滑剂:为了确保罗茨真空泵能够正常运行并达到所需的性能水平,必须定期更换油润滑剂。

2. 清洁过滤器:罗茨真空泵中的过滤器必须经常清洁,以确保它们能够有效地过滤气体并防止泵内部部件受到污染。

3. 检查密封:罗茨真空泵中的密封必须定期检查,以确保其正常运行并防止气体泄漏。

六、总结罗茨真空泵是一种用于制造高度真空的设备。

它由两个旋转的叶轮组成,可以将气体从一个区域排出,以达到所需的真空度。

罗茨真空泵广泛应用于制造半导体器件、医疗设备和工业应用中。

为了确保其正常运行并达到所需的性能水平,必须定期进行维护和保养。

b罗茨真空泵介绍

b罗茨真空泵介绍

概述
泵型号意义:ZJ P- XXX A ZJ——是取“机械增压泵 ”中的
“增 ”、“机 ”两字的第一个拼 音字母而来 ,表示机械增压泵, 俗称罗茨真空泵。
P———表示带旁通溢流阀。 XXX—数字表示抽气速率: 多少升/
秒。
A——字母表示第一次改进型 如ZJP1200A表示: 带旁通溢流阀的
抽气速率为1200升/秒 ,并作了第 一次改进的罗茨真空泵。
¨ 8 、在泵的进排气管道上 ,最好能装上真空阀门 , 以达 到停车后泵腔内保持真空。
¨ 9 、冷却水进水管路应装阀门 ,可以调节水量 ,控制在 工作时冷却水出口温度在20~40C °之间即可 ,注意水 温应不超过40C ° , 以免在水套内产生沉垢。
¨ 10 、泵必须有预抽真空泵作为它的前级泵,它不能单 独使用 ,必须二者串联使用 ,如配用油封机械真空泵 作为前级泵 。因而 ,它同样也不适于抽除含氧过高, 有爆炸性的 ,对黑色金属有腐蚀性的 ,对真空油起化 学反应和含有尘埃的气体 ,否则要影响前级泵的使用 寿命。
图示一
主要特点:
A. 应用广泛:如化工医药、食品、电工器材制造、真空 冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理等 , 并对小量灰尘不敏感 ,极限真空高(同前级泵串联使 用极限真空度在3×10 – 4 ~ 1×10 – 4 托之间)。
B. ZJP系列本身配带溢流阀起自动保护作用、安全可靠。
C. 泵腔内无互相滑动的零件 , 因此无需用油润滑、避免 了油蒸汽对系统的污染。
使用说明
¨ 3 、 停车: ¨(1) 先关闭进气口管路上的进气阀门。
¨ (2) 停止本泵(并关闭排气阀门)
¨ (3) 停止前级泵。 ¨ (4) 关闭冷却水进水阀。
¨(5) 如果长期停止使用或者在寒冷地带 必须将冷却水套内的水全部排净 , 否则 会使¨ 1 、 应经常保持泵房环境清洁干燥。

罗茨真空泵参数

罗茨真空泵参数

罗茨真空泵参数一、罗茨真空泵概述罗茨真空泵是一种常用于工业和科学领域的真空设备。

它通过两个相互啮合的叶轮旋转运动,将气体从一个区域抽出,从而创建一个真空环境。

罗茨真空泵的性能主要由一些关键参数决定,下面将详细介绍这些参数的含义和影响。

二、功率参数罗茨真空泵的功率参数是指其运行所需的功率大小。

通常使用单位为千瓦(kW)。

功率参数的大小主要取决于罗茨真空泵的尺寸和设计,以及所抽气体的性质和压力。

三、抽速参数抽速是罗茨真空泵的一个重要性能参数,用来描述单位时间内真空泵从系统中抽出气体的能力。

抽速通常以升/秒(L/s)或立方米/小时(m³/h)为单位。

抽速参数的大小与罗茨真空泵的设计和运行状态有关。

1. 额定抽速额定抽速是指罗茨真空泵在标准工作条件下可达到的最大抽速。

这是一个重要的参数,可以帮助用户选择适合自己需求的真空泵。

2. 全压范围抽速全压范围抽速是指罗茨真空泵在不同压力下的抽速能力。

在实际应用中,不同压力区间的抽速需求是不同的,全压范围抽速参数可以帮助用户更好地了解罗茨真空泵的适用范围。

3. 最大抽速最大抽速是指罗茨真空泵在最理想状态下能够达到的最大抽速。

在实际操作中,抽速往往随着压力的增加而降低,所以最大抽速并不总能够达到。

压力是指真空泵的压力水平,通常使用帕斯卡(Pa)或毫巴(mbar)为单位。

罗茨真空泵通常被用来抽气体至较低的压力水平。

1. 等压比(Compression Ratio)等压比是指罗茨真空泵将气体从入口压力抽到出口压力的比值。

等压比越大,表示真空泵具有更高的压缩能力。

2. 最大允许压力差最大允许压力差指的是罗茨真空泵在工作过程中允许的最大压力差。

超过最大允许压力差可能导致设备损坏或其他问题。

3. 极限压力极限压力是指罗茨真空泵能够抽取的最低压力水平。

通常,这个值取决于真空泵的设计和维护情况等因素。

五、温度参数温度参数用于描述罗茨真空泵的运行温度范围以及对气体和真空泵自身的影响。

罗茨真空泵 -回复

罗茨真空泵 -回复

罗茨真空泵
罗茨真空泵(Roots vacuum pump)是一种常用于真空系统中的离心式排气泵,它通过两个旋转的叶轮(称为罗茨叶轮)之间的空气密封,实现气体的抽取和排放。

罗茨真空泵的工作原理基于体积变化和压力差。

它由两个相互啮合的叶轮组成,其中一个叶轮称为主叶轮,另一个称为从动叶轮。

这两个叶轮的齿数相等且相互咬合,但它们之间没有直接的机械接触。

当主叶轮旋转时,它将气体从吸气口吸入,然后通过从动叶轮的转动,将气体排出排气口。

罗茨真空泵的主要优点是其高抽速和大排气容量。

它可以提供相对较高的真空度,并能够处理较大的气体流量。

此外,罗茨真空泵也具有低振动、低噪音和可靠性高的特点。

然而,罗茨真空泵也有一些限制。

它通常不能直接排气到大气压,需要与其他真空泵(如旋片泵或分子泵)结合使用,以实现更高的真空度。

此外,由于罗茨真空泵没有内部密封,因此对于某些气体,如可燃气体或腐蚀性气体,需要采取额外的措施来保护泵的使用寿命。

总之,罗茨真空泵是一种常用的离心式排气泵,适用于各种真空应用,如工业生产、实验室研究和真空冷冻等领域。

它具有高抽速、大排气容量和可靠性高的特点,但在实际应用中需要考虑与其他真空泵的配合和对特殊气体的适应性。

ZJP系列罗茨真空泵

ZJP系列罗茨真空泵

ZJP系列罗茨真空泵概述:机械增压泵是具有一对同步高速旋转的双叶形转子的机械真空泵。

是利用两个8字形转子在泵壳中旋转而产生吸气和排气作用。

其原理和罗茨鼓风机相似。

由于它在低压强范围内工作,气体分子自由路程大,气体漏过微小缝隙的阻力很大,因而获得较高的压缩比,可以作为增压泵使用;但它不能单独地直接把气体排到大气中去,需要和前级真空泵串联使用。

ZJP型泵特点:1、转子与泵腔,转子与转子之间由空隙,互不接触,不需要用润滑油。

2、转子具有良好的几何对称性,无磨擦,功耗低,运转平稳,噪音低,直联传动转速高,体积小,重量轻,抽速大。

3、在泵腔内并不发生象机械真空泵那的压缩现象。

因此它不需要排气阀。

故可抽除可疑性蒸气。

4、起动快,能在短时间内达到极限真空,功率小,运转维护费用低。

5、本泵装有旁通阀,使泵运行安全可靠。

6、泵在很宽的压强范围内(1.3×103~1.3帕),有很大抽速,能迅速排出突然放出的气体。

弥补了扩散泵和油封机械泵在1.3×103~1.3托时抽速很小的缺陷。

本泵广泛用于真空冶金工业的真空脱气真空冶炼,钢水真空处理真空及热处理等方面,也可以用于化工、食品、医药、电机制造等工业。

特别需要指出,当它的前级采用双级水环泵时,能抽除含有大量水蒸汽的气体,因此它又适用于蒸馏、蒸发、冷冻、干燥等生活过程。

工作原理:1、泵工作原理工作时,被抽气体由进气口进入转子与泵体之间,这时一个转子和泵体把气体与进气口隔开,被隔开的气体,在转子连续不断地旋转过程中,被送到排气口。

VO空间是处在封闭状态。

因此,没有压缩和膨胀。

但当转子的峰部转到排气口边缘时,由VO部分的压强较之排气口处的压强低。

为了使相连体积内压力均匀,气体就从排气体就从排气口处扩散到VO 处的气体压缩到排气口将其排除。

这时转子的另一面与进气口相连部分则吸入气体。

当转子不断地旋转时,重复上述抽气过程不断地排出溜进来的气体。

这种工作过程相当于转子空间由某一最小值增加到最大值,然后再由最大值减少到最小值。

罗茨真空泵极限真空度

罗茨真空泵极限真空度

罗茨真空泵极限真空度
【原创实用版】
目录
1.罗茨真空泵的概念和原理
2.罗茨真空泵的极限真空度
3.罗茨真空泵的应用范围
4.罗茨真空泵的维护和选型
正文
一、罗茨真空泵的概念和原理
罗茨真空泵是一种旋转式变容真空泵,它需要与前级泵配合使用。

罗茨真空泵的工作原理是通过两个 8 字形转子在泵壳内作同步转动,完成吸气和排气的过程。

这种泵在较宽的压力范围内有较大的抽速,并且对被抽除气体中含有灰尘和水蒸气不敏感。

罗茨真空泵广泛应用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。

二、罗茨真空泵的极限真空度
罗茨真空泵的极限真空度一般为 0.5 到 1Pa。

这个真空度指的是泵在没有负载的条件下,经过长时间的运行后,容器压力达到稳定时的真空度。

需要注意的是,罗茨真空泵本身并不具有真空度,它只是一种机械增压泵,需要与其他真空泵组成罗茨机组才能使用。

三、罗茨真空泵的应用范围
罗茨真空泵适用于需要大吸气量的粗真空和高真空应用。

它通常与前级泵(如单级旋片真空泵、油封液环真空系统等)串联使用,以提高系统的真空度和抽速。

罗茨真空泵广泛应用于真空冶炼、真空包装、检漏系统、空调制冷等行业的真空脱气、干燥和镀膜系统等。

四、罗茨真空泵的维护和选型
罗茨真空泵的维护主要包括定期检查轴承和齿轮是否正常,泵腔内是否有异物等。

在选型时,需要根据所需真空度和抽气量选择合适的罗茨真空泵,并结合实际应用场景选择合适的前级泵和机组。

罗茨泵技术标准

罗茨泵技术标准

罗茨泵技术标准罗茨泵是一种常用的排气设备,广泛应用于工业生产、环保设备、食品加工等领域。

为了保障罗茨泵的质量和性能,制定了一系列的技术标准,以确保产品符合规定的要求。

下面将详细介绍关于罗茨泵技术标准的内容。

一、产品分类与命名1. 罗茨泵的分类根据其结构和用途,可将罗茨泵分为一级罗茨泵和二级罗茨泵,前者主要用于低真空范围,后者用于中高真空范围。

根据不同的用途,还可以有专用的罗茨泵,如用于化工领域、医疗设备等。

2. 罗茨泵的命名在产品标识和使用说明中,应明确标注产品的型号、规格、使用范围和适用介质,以及相应的技术标准编号。

二、技术要求1. 结构设计罗茨泵的结构设计应符合国家相关标准和行业规范,具有合理的结构布局和紧凑的体积,便于安装、运行和维护。

2. 材料选用罗茨泵的主要构件材料应符合相关标准,具有良好的耐腐蚀性能和机械强度,能够适应不同的工作环境和介质。

3. 真空性能罗茨泵应具有良好的真空吸附性能和稳定的抽真空速度,能够满足不同工艺要求下的真空度要求。

4. 噪音与振动罗茨泵在运行时应具有低噪音和低振动的特性,以减少对周围环境和人员的影响。

5. 安全与可靠性罗茨泵应具有完善的安全保护装置和可靠的运行控制系统,确保设备在工作过程中能够安全、稳定地运行。

6. 环保性能罗茨泵应符合环境保护要求,减少对大气和环境的污染,符合相关的排放标准。

7. 出厂检测罗茨泵在出厂前应进行严格的检测和试验,确保产品的性能和质量符合相应的技术标准和规定。

三、质量控制1. 生产管理罗茨泵的生产应按照质量管理体系要求进行,严格执行相关生产工艺和工艺规程,确保产品质量稳定。

2. 进货检验对原材料和关键零部件进行进货检验,保证材料质量符合要求,防止次品和劣质材料投入生产。

3. 过程控制在生产过程中,对关键工艺和环节进行过程控制,确保产品质量符合要求。

4. 出厂检验对每批产品进行出厂检验,按照相关标准进行各项性能测试和检测,确保产品出厂质量合格。

罗茨泵型号意义及安装操作

罗茨泵型号意义及安装操作

罗茨泵型号意义及安装操作一、罗茨泵概述:罗茨泵(罗茨泵),是在LC型泵的基础上,解决输送沥青及冷凝油改制而成的,在泵壳外表或端盖加保温层,利用蒸汽或导热油循环对泵的工作室进行保温,从而对泵的连续工作和间歇工作,提供方便和良好的条件.罗茨泵分皮带传动和齿轮减速器驱动两种形式.此泵具有:低转数、效率高、体积小、流量大、消耗功率小、自吸能力强、不用引油、使用方便等特点.可广泛用于输送石油及石油产品(汽油可换铜泵叶)和工厂输送各种油类和液体.如原油、油漆、润滑油、玻璃胶、油脂酸、牙膏和淡碱性(肥皂加工)液体等;食品加工可输送各种液体,如豆浆、酵母、糖稀等.装卸各种油槽车及油轮等速度快、效率高、使用方便,可以正反转工作.LC型罗茨油泵由泵体、泵盖、轴、齿轮、转子、填料、压盖等部件组成,该泵有带传动和齿轮减速机驱动两种形式,可以反转作用,轴两端处装有骨架耐油密封,中间装有回油装置,以防进气或漏油。

二、罗茨泵具有以下特点:1、对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感;2、转子不必润滑,泵腔内无油;3、振动小,转子动平衡条件较好,没有排气阀;4、驱动功率小,机械摩擦损失小;5、结构紧凑,占地面积小;6、运转维护费用低。

7、在较宽的压强范围内有较大的抽速;8、起动快,能立即工作;三、罗茨泵的工作原理:在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。

在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。

由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。

罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。

为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。

四、罗茨泵的安装:罗茨泵的支座或法兰与其驱动电机应采用共同的安装基础,基础.法兰或支座均需具有足够的刚度,以减小转子泵运转时产生的振动和噪声.电动机与转子泵须用弹性联轴器连接,同轴度小于0.1毫米,倾斜角不得大于1度.安装联轴器时不得用锤敲打,以免伤害转子泵的齿轮等零件.紧固转子泵、电动机的地脚螺钉时,螺钉受力应均匀,连接可靠.用手转动联轴器时,应感觉到转子泵能够轻松地转动,没有卡紧等异常现象出现,然后才可以配管.LC型罗茨泵的吸油管道内径应足够大,并避免狭窄通道或急剧拐弯.减少弯头,去除不必要的阀门.附件尽可能地降低泵的安装高度,缩短吸油管道的长度,以减少压力损失.管接头等元件的密封要良好,以防止空气侵入,从而控制气穴与气蚀的发生.在开始运转前,往转子泵的壳体内灌满待输送的液体,便于安全启动.若环境温度低于冰点,应预先向泵内通入热蒸汽,进行预热处理,然后才可启动转子泵.转子泵的旋转方向要与进.出油口相符,转子泵若是第一次运行,或长期闲置后再使用,最好在空载或小负荷情况下先跑合一小时左右,如果在跑合阶段预先觉察出异常温升.泄漏.振动和噪声时,应停机检查。

罗茨真空泵简介.

罗茨真空泵简介.

罗茨真空泵简介一、罗茨真空泵的概念罗茨式真空泵(简称罗茨泵是利用两个8字形转子在泵壳中旋转而产生吸气和排气作用的。

由于它在低压力范围内工作,气体分子自由程较大,气体通过微小缝隙的阻力很大,因而能获得较高的压缩比,可以作为增压真空泵使用。

罗茨式真空泵根据泵体结构可分为两类:一类为普通型,另一类为直排大气型。

二者区别除结构之外,主要是普通型罗茨泵不能单独把气体直接排入大气中去,需要和前级真空泵串联使用,被抽气体通过前级真空泵将气体排到大气中。

而后者则可以直接将被抽气体排入大气。

汉钟现有PS 和PDR 系列真空泵中的Booster 机体就属于普通型罗茨泵。

普通型罗茨泵又可分为一般型泵和带旁通阀型泵两种。

一般型泵的最大允许压差在2000Pa~10000Pa范围,而带旁通阀的压差仅限于2000Pa~4000Pa。

当压差超过每一规格泵的规定值时,旁通阀就会自动顶开,泵出口出的气体经旁通阀返流入进口处,以使泵安全运行。

因为罗茨泵的转子受力面积较大,在大压差情况下运行,会使泵的负载变的很大。

汉钟的PS 系列的Booster 机体就属于一般型泵,而PDR 系列的Booster 机体则属于带旁通阀型泵。

二、工作原理罗茨泵的工作原理如图一所示,工作时,被抽气体由进气口进入转子与泵体之间,这时一个转子和泵体把气体与进气口隔开,被隔开的气体(如图中影线部分所示在转子连续不断的旋转过程中,被送到排气口。

在图(a中,V0空间是处在封闭状态的,因此,没有压缩和膨胀,但当转子的峰部转到排气口边缘时,由于V0部分的压力较之排气口处的压力低,为了使相连体积内压力均匀,气体就会从排气口处扩散到V0区域,其扩散方向与转子旋转方向相反。

当转子再转动时,把V0处的气体压缩到排气口将其排出。

这时转子的另一面与进气口相连部分则吸入气体,当转子不断地旋转时,重复上述抽气过程不断地排出流进来的气体。

这种工作过程相当于转子空间由某一最小值增加到最大值,然后再由最大值减小到最小值。

罗茨真空泵工作原理

罗茨真空泵工作原理

罗茨真空泵工作原理标题:罗茨真空泵工作原理引言概述:罗茨真空泵是一种常用的真空设备,其工作原理基于罗茨叶轮的相互啮合运动。

通过罗茨叶轮的旋转,气体在泵内被吸入并排出,从而实现真空抽取的目的。

下面将详细介绍罗茨真空泵的工作原理。

一、罗茨真空泵的结构1.1 罗茨叶轮:罗茨真空泵的核心部件,由两个相互啮合的叶轮组成。

1.2 泵腔:叶轮旋转时形成的密闭泵腔,用于吸入和排出气体。

1.3 驱动装置:用于驱动罗茨叶轮旋转的电机或其他动力装置。

二、罗茨真空泵的工作原理2.1 吸气阶段:当罗茨叶轮旋转时,泵腔内形成一定的容积,气体被吸入泵腔。

2.2 压缩阶段:随着叶轮的继续旋转,泵腔内的气体被挤压,压缩。

2.3 排气阶段:当气体压缩到一定程度时,排气阀打开,将压缩后的气体排出泵腔。

三、罗茨真空泵的特点3.1 无油运行:罗茨真空泵无需添加润滑油,避免了油污染问题。

3.2 高效率:由于叶轮的相互啮合运动,罗茨真空泵具有较高的抽气速度。

3.3 低振动、低噪音:罗茨真空泵结构简单,运行平稳,振动和噪音较小。

四、罗茨真空泵的应用领域4.1 半导体制造:罗茨真空泵在半导体行业中用于真空腔体的抽气。

4.2 医疗设备:用于吸引、输送气体,如呼吸机等医疗设备。

4.3 化工工业:在化工工业中用于真空蒸馏、真空干燥等工艺。

五、罗茨真空泵的维护与保养5.1 定期清洁:保持泵腔内外清洁,避免灰尘和杂质进入。

5.2 检查润滑:定期检查叶轮轴承的润滑情况,确保正常运转。

5.3 定期检修:定期检查罗茨真空泵的各部件,及时更换磨损部件,延长设备寿命。

结论:罗茨真空泵通过罗茨叶轮的相互啮合运动实现气体的吸入、压缩和排出,具有无油运行、高效率、低振动、低噪音等优点,在半导体制造、医疗设备、化工工业等领域有着广泛的应用。

定期清洁、检查润滑和检修是保持罗茨真空泵正常运转的关键。

罗茨真空泵工作原理

罗茨真空泵工作原理

罗茨真空泵工作原理
引言概述:
罗茨真空泵是一种常用的真空泵,广泛应用于各个领域。

本文将详细介绍罗茨真空泵的工作原理,包括其结构、工作过程以及应用领域。

正文内容:
1. 罗茨真空泵的结构
1.1 主体结构:罗茨真空泵由两个相互啮合的旋转叶轮组成,其中一个叶轮称为主叶轮,另一个叶轮称为从叶轮。

1.2 叶轮材质:叶轮通常由高强度的铸铁或合金材料制成,以确保其耐腐蚀性和耐磨性。

1.3 传动机构:罗茨真空泵通常使用齿轮传动或皮带传动来驱动叶轮的旋转。

2. 罗茨真空泵的工作过程
2.1 吸气过程:当叶轮旋转时,两个叶轮之间的空间逐渐增大,从而形成一个负压区域,吸入气体。

2.2 压缩过程:当叶轮继续旋转时,负压区域逐渐减小,气体被压缩并排出泵体。

2.3 冷却过程:由于叶轮旋转时会产生一定的摩擦热,因此罗茨真空泵通常需要冷却系统来降低温度。

3. 罗茨真空泵的应用领域
3.1 工业领域:罗茨真空泵广泛应用于化工、制药、电子、食品等工业领域,用于抽取气体、蒸汽等。

3.2 环保领域:罗茨真空泵可用于污水处理、废气处理等环境保护领域,有效清除有害气体。

3.3 实验室领域:罗茨真空泵在实验室中用于真空干燥、真空冷冻、真空提取等实验操作。

总结:
在本文中,我们详细介绍了罗茨真空泵的工作原理。

通过了解其结构和工作过程,我们了解到罗茨真空泵是一种重要的真空设备,广泛应用于工业、环保和实验室领域。

通过不断的技术创新和应用研究,罗茨真空泵在各个领域的应用前景将会更加广阔。

罗茨真空泵

罗茨真空泵
罗茨真空泵
使用说明书
பைடு நூலகம் 述
• • 1. 主要结构说明: 罗茨真空泵又称机械增压泵,是一种旋转式容积真空 泵。罗茨真空泵的结构示意如图1-1所示,在泵壳1内有 两个8字型转子2,平行地安装在一对轴上,由一对传动比 为1的同步齿轮带动作等速反向旋转,转子与转子、转子 与泵壳之间均保持一定的间隙而互不接触,因而运转时的 摩擦损失很小,摩擦消耗功率极小,且可以实现高转速运 转。罗茨真空泵内部结构参考图1-2, 泵的二个转子被支承在泵壳二侧端盖上的滚动轴承中,依 靠一对可调节的同步齿轮使二个转子在高速旋转时始终保 持着一定的相互位置,而转子与端盖之间的端面间隙是靠 固定端(靠近电机一侧)的特殊结构来保证的,使泵在工 作时因受热而只能向齿轮箱一端膨涨。 二侧端盖内的四 组聚四氟乙烯活塞环密封装置可 防止两侧油箱内的润滑油 进入泵腔内,出轴处的平衡式机械密封可防止大气漏入泵 腔内。 泵的冷却方式通常为风冷,如果泵用于高压力范 围工作,推荐选配水冷结构的泵。 电动机的动力通过联轴 器传给主动轴,再经过同步齿轮由主动轴驱动从动轴旋转。 ZJ系列罗茨真空泵均为卧式结构,泵采用联轴器与电机 直联。但特殊要求的泵可采用三角带传动结构。
表示第几次改进型 表示抽气速率:升/秒
表示带旁通溢流阀
是取“机械增压泵”中的“增机” 两字字母,表示机械增压泵,俗 称罗茨真空泵。
使用说明
维护及保养
故障原因及消除方法
易损件及间隙一览表

工作原理:叶轮处于位置I和II时,进口法兰内体积增加。当叶轮进一步 旋转到位置III时,一部分容积从进口侧被封离出来。 在位置IV时,这个 容积开放到出口侧,前置压力气体(高于进口压力)流入。流入气体压 缩从进口侧抽过来的气体体积。当叶轮进一步转动时,压缩气体通过排 气法兰排出。

罗茨真空泵标准

罗茨真空泵标准

罗茨真空泵是一种容积式真空泵,主要用于中获得中、高真空度。

其工作原理与罗茨鼓风机相似,通过两个8字形转子在泵壳内作同步转动,完成吸气和排气过程。

在选型时,罗茨真空泵的标准主要包括以下几个方面:
1. 真空度:罗茨真空泵可以分为粗真空泵、中真空泵和细真空泵。

不同类型的真空泵适用于不同的真空度范围。

一般来说,粗真空泵适用于真空度在0.1-100kPa之间,中真空泵适用于真空度在100-1000kPa之间,细真空泵适用于真空度在1000-100000kPa之间。

2. 抽气量:罗茨真空泵的抽气量表示在单位时间内泵能抽出的气体体积。

抽气量与泵的结构、转子直径、转速等因素有关。

选型时应根据实际需求选择合适的抽气量。

3. 工作效率:罗茨真空泵的工作效率包括泵的抽气速率、抽气效率和能耗。

高效能的罗茨真空泵能在短时间内达到所需的真空度,节省能源消耗。

4. 可靠性:罗茨真空泵在连续运行过程中,应具有较高的可靠性,避免因故障停机。

选型时应考虑泵的材料、制造工艺、零部件的耐磨性等因素。

5. 适用范围:罗茨真空泵适用于不同行业和领域,如化工、制药、食品、建材、造纸等。

在选型时,应根据实际应用场景选择具有针对性设计的罗茨真空泵。

6. 售后服务:购买罗茨真空泵时,应考虑厂家提供的售后服务,如产品故障维修、零部件更换等。

选择具有良好售后服务的厂家有助于确保泵的正常运行。

罗茨真空泵的型号参数

罗茨真空泵的型号参数

罗茨真空泵的型号参数1. 简介罗茨真空泵是一种离心式排气真空泵,由两个相互啮合的叶轮组成。

它以其高效、低噪音和长寿命等特点,在许多行业中被广泛应用。

本文将介绍罗茨真空泵的型号参数,包括其工作原理、主要特点和适用范围等。

2. 工作原理罗茨真空泵通过两个相互啮合的叶轮的运动来实现气体的吸入和排出。

其中一个叶轮称为主叶轮,另一个称为从动叶轮。

当主叶轮旋转时,从动叶轮也会跟随旋转,形成一个密封腔。

当腔体扩大时,气体通过进气口进入腔体;当腔体缩小时,气体被压缩并排出。

3. 主要特点罗茨真空泵具有以下几个主要特点:3.1 高效率罗茨真空泵采用离心式排气方式,具有较高的排气速度和较低的能耗。

它可以在较短的时间内将大量气体排出,提高工作效率。

3.2 低噪音罗茨真空泵采用双重吸声器和隔音罩等降噪设计,减少了运行时的噪音产生。

这使得它在对噪音要求较高的场合中得到广泛应用,如实验室和医疗设备等。

3.3 长寿命罗茨真空泵采用优质材料和精密制造工艺,具有较高的耐磨性和耐腐蚀性。

它能够长时间稳定运行而不易受损,延长了设备的使用寿命。

3.4 可靠性罗茨真空泵具有良好的密封性能和稳定的工作状态。

它可以在恶劣环境下正常工作,并且不易受到外界干扰。

4. 型号参数罗茨真空泵的型号参数包括以下几个方面:4.1 排气量排气量是指单位时间内泵排出气体的体积。

通常以升/分钟或立方米/小时为单位进行表示。

不同型号的罗茨真空泵具有不同的排气量范围,用户可根据实际需求选择合适的型号。

4.2 最大真空度最大真空度是指泵能够达到的最低压力。

它通常以帕斯卡(Pa)或毫巴(mbar)为单位进行表示。

较高的最大真空度意味着泵能够排除更多的气体,适用于对真空度要求较高的场合。

4.3 功率功率是指泵运行所需的能量消耗。

通常以千瓦(kW)为单位进行表示。

功率越大,泵能够产生更大的吸力和排气能力。

4.4 转速转速是指泵叶轮旋转一周所需的时间。

通常以转/分钟或转/小时为单位进行表示。

气冷罗茨真空泵

气冷罗茨真空泵

气冷罗茨真空泵气冷罗茨真空泵是一种常见的真空泵,它采用罗茨叶轮结构,通过叶轮的旋转来实现气体的吸入和排出。

与其他真空泵相比,气冷罗茨真空泵具有许多优点,如高效、可靠、耐用等。

本文将详细介绍气冷罗茨真空泵的工作原理、结构特点、应用领域等方面的内容。

一、工作原理气冷罗茨真空泵的工作原理是基于罗茨叶轮结构的。

罗茨叶轮由两个相互啮合的叶轮组成,它们在罐体内旋转,使气体被吸入并压缩,最终被排出。

罗茨叶轮的旋转速度非常高,可以达到几千转每分钟,因此气冷罗茨真空泵的排气速度非常快。

气冷罗茨真空泵的工作过程中,气体从进气口进入罗茨叶轮的吸气侧,随着叶轮的旋转,气体被压缩并排出到出气口。

在这个过程中,罗茨叶轮的两个叶轮相互啮合,形成一个密闭的空间,使气体被压缩。

由于罗茨叶轮的旋转速度非常高,因此气冷罗茨真空泵的排气速度非常快,可以达到几千升每分钟。

二、结构特点气冷罗茨真空泵的结构特点主要包括以下几个方面:1. 罗茨叶轮结构:气冷罗茨真空泵采用罗茨叶轮结构,由两个相互啮合的叶轮组成。

罗茨叶轮的旋转速度非常高,可以达到几千转每分钟,因此气冷罗茨真空泵的排气速度非常快。

2. 气冷式冷却:气冷罗茨真空泵采用气冷式冷却,不需要外部冷却水,因此可以在恶劣的环境下工作。

同时,气冷罗茨真空泵的维护成本也比较低。

3. 双级结构:气冷罗茨真空泵通常采用双级结构,可以提高排气压力和排气速度。

双级结构的气冷罗茨真空泵通常用于高真空和超高真空的应用领域。

4. 耐用性:气冷罗茨真空泵的叶轮和罐体通常采用高强度材料制成,具有较高的耐用性和抗腐蚀性。

三、应用领域气冷罗茨真空泵广泛应用于各种真空系统中,如半导体制造、光学薄膜制备、真空冷却、真空干燥等领域。

由于气冷罗茨真空泵具有高效、可靠、耐用等优点,因此在这些领域中得到了广泛的应用。

在半导体制造领域,气冷罗茨真空泵通常用于制造晶圆和集成电路。

在光学薄膜制备领域,气冷罗茨真空泵通常用于制备光学薄膜和涂层。

罗茨真空泵机组

罗茨真空泵机组

罗茨真空泵机组罗茨真空泵机组是一种常用的真空泵设备,广泛应用于工业生产、实验室研究和其他领域。

它以其高效、可靠、安全的特点,成为许多行业中必不可少的设备之一。

罗茨真空泵机组是由一对对称的转子组成,通常由铸铁或不锈钢制成。

每个转子上都有若干个叶片,通过转子的旋转将气体吸入至泵腔中,并将其压缩后排出。

这种结构使得罗茨真空泵机组具有较高的吸气速度和较低的振动和噪音水平。

罗茨真空泵机组的工作原理基于罗茨压缩原理,即通过两个相互啮合叶轮之间的间隙,将气体逐渐压缩至排气端。

这种设计使得罗茨真空泵机组能够在较低的气体压力下工作,且不会出现液体或颗粒物进入泵腔的情况,从而保证了其长期稳定运行的能力。

罗茨真空泵机组具有许多优点。

首先,它的结构简单、紧凑,不需要额外的润滑剂或冷却系统,无需维护成本较低。

其次,由于旋转部件之间没有接触,因此几乎没有磨损,使用寿命较长。

此外,罗茨真空泵机组还具有较高的抗腐蚀性能,可以处理各种常见气体,如空气、氢气、氧气、氮气等。

在工业生产中,罗茨真空泵机组被广泛应用于许多领域。

例如,它常用于食品加工中的真空包装、电子行业中的电子元器件制造、化工行业中的化学反应过程以及制药行业中的药物制备。

它能够有效地提供稳定的真空环境,保证产品质量,并避免可能的污染风险。

在实验室研究中,罗茨真空泵机组也起着重要的作用。

例如,在材料科学中,它常用于样品制备过程中的真空干燥和真空烧结。

在物理学和化学领域,它用于真空腔体的抽气和真空抽吸实验。

同时,罗茨真空泵机组还可以与其他真空设备配合使用,如油封真空泵和分子泵,以实现更高级别的真空环境。

尽管罗茨真空泵机组具有许多优点,但也需要注意一些使用注意事项。

首先,由于该设备在运行过程中会产生一定的温度,因此需要确保其通风良好,以防止发热过高。

其次,在使用过程中应定期检查和更换转子上的叶片,以确保其正常运转。

此外,对于不同的气体,可能需要配备不同材质或特殊涂层的叶轮,以增加其抗腐蚀性能。

罗茨真空泵概述和设备要求

罗茨真空泵概述和设备要求
用油封机械泵作前级泵时: 单级罗茨泵极限全压力:5×10-1~1×10-2 Pa 极限分压力 :5×10-2~5×10-3 Pa 双级罗茨泵极限全压力:1×10-2~5×10-3 Pa 极限分压力 :1×10-3~5×10-4 Pa 用水环泵作前级泵时: 单级罗茨泵极限分压力: 200 Pa , 双级罗茨泵极限分压力 : 4 Pa 。
双级或多级罗茨泵机组可获得高真空; 对于干式清洁无油的抽气系统多用气冷式罗茨
泵机组; 对于含水蒸气的被抽系统,多用湿式罗茨泵。
旋片-罗茨泵机组
滑阀-罗茨泵机组2
罗茨泵的工作原理及其结构特点 罗茨泵的工作原理
罗茨泵抽气时两个 转子由传动比为1 的一对齿轮带动, 作彼此反向的同步 旋转运动 。转子 彼此无接触,其间 存在间隙。
6.1.6.1 转子的空气冷却
在泵的排气口处安装冷 却器,对出口处的气体 进行冷却,当被冷却的 气体反冲到泵腔内时, 使转子得到冷却。这种 方法一般可散出转子80 %左右的热量。当排气 压力较高时,气体分子 密度大,传热效果好, 可以保证泵在较高压差 下正常工作。
6.1.6.2 气冷式罗茨泵
将冷却后的出口气体回流到泵腔内去直接冷却热 态的转子,提高了泵的抗热能力,使泵仍可保持 较小的转子装配间隙。气冷式罗茨泵适用于长期 在高压差下工作或被抽气体的温度比较高的情况 下工作。
罗茨真空泵概述和 设备要求
《真空技术》
培训系列之
一. 真空技术发展概况 (杨乃恒) 二. 真空工程理论基础 (孙丽娜) 三. 真空系统设计 (刘坤) 四. 低真空获得设备 (张以忱) 五. 清洁真空获得技术 (巴德纯) 六. 中真空获得设备 (张以忱) 七. 高真空与超高真空获得设备 (杨乃恒) 八. 真空测量 (刘玉岱) 九. 真空检漏 (刘玉岱) 十. 真空镀膜(一):PVD物理气相沉积 (张以忱) 十一. 真空镀膜(二):CVD化学气相沉积 张世伟) 十二. 真空冷冻干燥技术 (徐成海) 十三. 真空设备的自动化控制 (王庆) 十四. 真空材料与真空卫生 (张以忱)

罗茨真空泵安全要求

罗茨真空泵安全要求

罗茨真空泵安全要求罗茨真空泵是一种常用于工业领域的真空泵,其工作原理是通过两个互相啮合的罗茨齿轮在内部产生真空效应。

由于罗茨真空泵涉及到高速旋转的部件和真空工作环境,因此在使用过程中需要严格遵守一系列安全要求,以确保操作人员和设备的安全。

首先,在安装罗茨真空泵的过程中,必须确保其与设备的正常接线,并按照相关说明书进行正确安装。

安装时需要注意保持泵体水平,并应配备合适的温度和振动隔离措施,以减少噪音和振动对设备的影响。

其次,在启动和停止罗茨真空泵前,必须确保其周围环境符合相应的工作条件,例如温度、湿度和通风等要求。

在启动泵前,应检查泵体和连接件是否紧固,并检查是否有异常噪音或震动。

在停止泵前,应先关闭真空系统的入口阀门,再关闭泵的电源,以充分减少对泵体和设备的损坏风险。

接下来,对于罗茨真空泵的维护和保养工作也是至关重要的。

定期检查泵的润滑油和过滤器的状态,并根据需要进行更换或清洗。

对于罗茨泵的密封件、齿轮和轴承等易磨损部件,需要定期进行检查和更换,以确保其正常工作。

此外,罗茨真空泵在运行过程中还需要注意以下安全事项:1.罗茨真空泵工作时会产生一定的噪音和振动,因此需要保持足够的安全距离。

操作人员应佩戴防护耳塞、防护眼镜等个人防护装备,以避免受到噪音和振动的伤害。

2.在日常操作中,操作人员应熟悉设备运行和维护的相关知识,并经过相应的培训。

只有经过专业培训的操作人员才能独立操作罗茨真空泵,避免潜在的安全事故。

3.真空泵在运行过程中会产生高温,因此需要确保周围环境通风良好,避免发生过热或引起火灾。

4.真空泵的排气口应与安全通风系统连接,以避免有害气体对操作人员和环境的污染。

5.当发现罗茨真空泵出现异常噪音、振动或温度过高等情况时,应立即停机检查,并请专业人士进行维修和维护。

总之,罗茨真空泵的安全工作要求从安装到维护都需要严格遵守,以确保操作人员和设备的安全,减少事故风险。

在使用过程中,操作人员应遵循相关的操作规程,必要时可以寻求专业人士的指导和支持,以确保罗茨真空泵的正常工作和安全使用。

ARF型罗茨鼓风机(真空泵)

ARF型罗茨鼓风机(真空泵)

一. 用途及使用条件1. 用途ARF型罗茨鼓风机、ARF-V型干式罗茨真空泵、ARF-W型湿式罗茨真空泵(以下无特别说明时均统称为鼓风机)广泛应用于石油、化工、冶金、电力、建材、矿山、港口、轻纺、食品、医药、环保及养殖业等国民经济各部门以输送(或吸收)空气或与空气性质相接近的其它中性混合气体。

2. 使用条件2.1 介质中微粒杂质含量不得超过100mg/m3,最大微粒尺寸不得超过鼓风机工作间隙表规定的最小工作间隙的一半。

2.2 工作压力或真空度不得高于鼓风机铭牌上所规定的升压。

2.3 进气温度不高于40℃。

二.安装及配管1.安装1.1安装地点鼓风机的周围应尽量选择宽阔的场地,以便拆卸、组装和日常检查。

室外安装时,应设臵防雨棚,室内安装时,应保持通风良好。

1.2基础要求机组的混凝土基础应符合设备安装及机器基础有关资料的规定。

用户在基础设计时,应充分考虑鼓风机的重量和地基的耐压力,基础表面应尽量保持水平。

基础应留有充裕的地脚螺栓预留孔。

1.3安装将鼓风机臵于基础上,在机组底座与基础面之间适当位臵插入垫铁,使机组得到均匀支撑,找正机组水平后,进行第二次灌浆。

待水泥砂浆凝固后,将地脚螺栓螺母同时均匀地拧紧。

2.配管2.1管道安装前应彻底清除配管中的铁锈、焊渣等异物,以免混入气缸引起严重事故。

2.2为了保证鼓风机的长期安全运行,须在进气管路上安装空气过滤器或真空过滤器。

2.3为了有效地降低鼓风机的噪声,进出口的消声器应按标定的气流方向安装在离鼓风机进出口尽可能近的位臵。

2.4弹性接头宜靠近鼓风机进、出口端,不仅补偿配管的安装误差,而且可以消减鼓风机运转时振动沿刚性管道的传递。

2.5在靠近鼓风机的排气(或真空泵的进气)管路上应考虑布臵一个放空旁路并配臵消声器,以利于鼓风机的空载启动和卸载停车。

2.6鼓风机的排气侧最好配臵安全阀、逆止阀,真空泵的进气侧配臵真空安全阀。

2.7鼓风机进、排气侧应装有压力计,真空泵进气侧应安装真空计。

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3、泵体端面的静密封
真空耐油橡胶圈密封,不仅可靠而且拆卸方便。 采用聚氨酯胶垫进行平面密封,不用加工密封槽,
拆卸方便。 有机硅室温硫化橡胶膜密封,密封可靠并且不用
加工密封槽。但用户须备有这种材料,否则不能 自行拆装修理。
6.1.3.4罗茨泵的润滑部位主要有三处 :
轴封 齿轮 轴承。
传动方式示意图
2) 电动机与齿轮传动设在转子的两侧
这种结构克服了上述的缺点,但主动轴扭转 变形较大。为了保证转子在运转过程中的间隙, 要求轴应有足够的刚度。
轴与转子要 固结(铸造的转子采用轴转子整 体结构或热压过盈配合,焊接的转子采用转子和 轴直接焊在一起的整体结构)。
这种结构拆卸和装配都很方便。
两个形状对称的转子,转子形状有两叶、三叶和四 叶。
两个转子按一定相位安装在一对平行轴上, 由轴端齿轮(i =1)驱动做同步反向旋转运动。转 子彼此无接触,转子与泵腔壁也无接触,其间通常 有0.15~1.0mm的间隙。泵腔靠间隙及高转速来密 封(相对密封)。
由于泵腔内无摩擦,转子可高速运转,一般: 500~3000r/min。泵的润滑部位仅限于轴承、齿 轮及动密封处(齿轮箱有油,且与泵腔之间有压差, 预抽管通前级侧)。
6.1.3罗茨泵的结构
1-前端端盖;2-油标;3-压力传感器;4-注油塞; 5-放油塞;6-齿轮侧轴承端盖;7-泵体;8-入口法兰 9-出口法兰;10-转子;11-马达侧轴承盖; 12-中间法兰;13-油封处注油塞;14-油封处放油塞; 15-笼形支架;16-电动机;17-泵底座
罗茨泵是双转子容积式真空泵。其在泵腔内有
结构图
6.1.3.3泵的密封结构
主要有3个部位: 主动轴外伸部分的动密封(密封外部大气与齿轮
箱之间); 端盖或齿轮箱与泵体间的静密封; 齿轮箱和泵体间的转子轴的动密封(避免油进入
泵腔,同时预真空与高真空之间得到密封)。
1、主动轴外伸部分的动密封
目前采用较多的是: 双端面摩擦环式机械密封; 带加强环的JO圈密封。 机械密封运转可靠,耗功率小.允许线速度大;
结构型式示意图1
立式结构
卧式结构
6.1.3.2泵的传动方式
传动方式有如下两种:
1)电动机与齿轮放在转子的同一侧,从动转子的 扭矩由电动机端齿轮直接传过去,所以主动转子 轴的扭转变形小,因而转子与转子之间的间隙就 不会因主动轴的扭转变形较大而改变,故使间隙 在运转过程中均匀。
缺点:主动轴上有三个轴承,给加工和装配带来 一定困难,对齿轮的拆装和检查都不方便,整个 结构也显得不匀称,使泵的重心移向电动机和齿 轮箱一端。所以,采用这种结构的较少。
6.1.1概述
罗茨泵是一种无内压缩的旋转变容式真空泵
6.1.1.1罗茨泵的种类
低真空罗茨泵: 直排大气的干式单级罗茨泵(10000Pa)和湿式 罗茨泵(2000Pa);
中真空罗茨泵: 机械增压泵(1×10-1 Pa);
高真空罗茨泵: 多级干式罗茨泵(高真空多级罗茨泵)
6.1.1.2罗茨泵在真空工程领域中应用:
在中真空范围作为机械增压泵应用,一般与前级 泵(旋片泵,滑阀泵和水环泵等)串联构成真空 机组;
双级或多级罗茨泵机组可获得高真空; 对于干式清洁无油的抽气系统多用气冷式罗茨
泵机组; 对于含水蒸气的被抽系统,多用湿式罗茨泵。
水环-罗茨泵机组2
旋片-罗茨泵机组
滑阀-罗茨泵机组2
6.1.2罗茨泵的工作原理及其结构特点 6.1.2.1罗茨泵的工作原理
6.1.3.1泵的结构特点
转子在泵体中如何安装决定了泵的总体结构。目前国内外 的罗茨泵大致有两种型式:
1)立式:这种结构的进、排气口成水平位置,装配和连接都 比较方便。但泵的重心较高,在高速运转时稳定性差,故 多用于小泵。
2)卧式:泵的进气口在上,排气口在下。有时排气口水平 方向接出,因而,进、排气方向是相互垂直的。排气口可 以从两个方向接出,一端接排气管道,另一端ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ死或接旁 通阀。这种结构重心低,高速运转时稳定性好,一般用于 大、中型泵。
罗茨泵抽气时两个 转子由传动比为1 的一对齿轮带动, 作彼此反向的同步 旋转运动 。转子 彼此无接触,其间 存在间隙。
6.1.2.2罗茨泵具有以下特点:
在较宽的压力范围内有较大的抽速 ;
转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙,泵腔内运 动件无摩擦,不必润滑,泵腔内无油;
转子形状对称,动平衡性能良好,运转平稳,选 择高精度的齿轮传动,运转时噪音低;可获得较 高转速(抽速);
对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感;
抽气特点:
罗茨泵在抽气过程中其工作空间容积是不变 的,即“无内压缩”,这与大多数的变容式真空 泵不同。
气体的排出:当转子顶部转过排气口边缘,封 闭空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压力较 高,则有一部分高压气体返冲到封闭空间中,使 空间内气体压强突然升高到排气压力,即所谓的 “外压缩过程”。当转子继续转动时,气体排出 泵外。
罗茨真空泵概述和 设备要求
《真空技术》
培训系列之
一. 真空技术发展概况 (杨乃恒) 二. 真空工程理论基础 (孙丽娜) 三. 真空系统设计 (刘坤) 四. 低真空获得设备 (张以忱) 五. 清洁真空获得技术 (巴德纯) 六. 中真空获得设备 (张以忱) 七. 高真空与超高真空获得设备 (杨乃恒) 八. 真空测量 (刘玉岱) 九. 真空检漏 (刘玉岱) 十. 真空镀膜(一):PVD物理气相沉积 (张以忱) 十一. 真空镀膜(二):CVD化学气相沉积 张世伟) 十二. 真空冷冻干燥技术 (徐成海) 十三. 真空设备的自动化控制 (王庆) 十四. 真空材料与真空卫生 (张以忱)
但结构复杂,制造成本高。 JO圈密封结构简单,耗功率大,胶圈容易磨损,
但更换方便,成本低。 磁流体密封是一种密封效果及使用寿命长的动密
封型式,功耗小,但成本高。
2、齿轮箱与泵体之间的轴封
由于齿轮箱或端盖壳体内均有预抽管道与泵的出 口相通,即这两部分的真空度与前级泵入口基本 相同。所以齿轮箱与泵腔之间的压差较小,通常 采用迷宫式密封、反螺旋式密封或活塞胀圈密封。
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