一、总费用清单(单位:万元)二、经费预算明细表:研发费(单位:万元)三、经费预算明细表:设备费(单位:万元)三、经费预算明细表:材料费(单位:万元)四、经费预算明细表:外协费(单位:万元)五、经费预算明细表:业务费。